JPH0523538U - Ic用ソケツト - Google Patents

Ic用ソケツト

Info

Publication number
JPH0523538U
JPH0523538U JP7004491U JP7004491U JPH0523538U JP H0523538 U JPH0523538 U JP H0523538U JP 7004491 U JP7004491 U JP 7004491U JP 7004491 U JP7004491 U JP 7004491U JP H0523538 U JPH0523538 U JP H0523538U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printed circuit
circuit board
wiring pattern
probe
spring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7004491U
Other languages
English (en)
Inventor
和浩 影山
Original Assignee
茨城日本電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 茨城日本電気株式会社 filed Critical 茨城日本電気株式会社
Priority to JP7004491U priority Critical patent/JPH0523538U/ja
Publication of JPH0523538U publication Critical patent/JPH0523538U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Connecting Device With Holders (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】 スプリングプローブを保持し被試験体のIC
を搭載する導電ブロック上に中継プリント基板を設け、
この中継プリント基板上にチップコンデンサを搭載し、
チップコンデンサの一方の端子を電源供給用のスプリン
グプローブのプローブピン部に近接している外部導体部
に接続し、チップコンデンサの他方の端子を中継プリン
ト基板の配線パターンを介して本IC用ソケットを搭載
しているプリント基板の接地用配線パターンと接続す
る。 【効果】 電源ノイズの影響を遮断することができ、従
って高速のICの電気試験を行うことが可能となる。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、ICの製造過程において実施する電気試験のための装置やバーンイ ンテストのときに使用するIC用ソケットに関する。
【0002】
【従来の技術】
集積回路(IC)は、各種のタイプのものが製造されており、それらに対応し て、それぞれのタイプのICに適合するIC用ソケットが実用されているが、そ のうちの一つとして、一つの面にバンプを高密度に設けたIC用のソケットとし て、スプリングプローブピンを有するIC用ソケットがある。
【0003】 この形式の従来のIC用ソケットは、ICを装着する本体部に複数個のスプリ ングプローブが設けられており、各スプリングプローブは、ICに設けてある複 数個のバンプのそれぞれにピン部(スプリングローブピン)に接触するように配 設されている。また、スプリングプローブによってICに供給する電源のノイズ を除去するため、電源用のスプリングプローブのリード部がはんだ付けされてい るプリント基板上に、コンデンサが取付けられている。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】
上述したような構成の従来のIC用ソケットは、電源の高周波ノイズによるI Cへの影響を完全に除去できないという問題点を有している。
【0005】 すなわち、上述のように、コンデンサが、スプリングプローブのリード部をは んだ付けしているプリント基板上に取付けられているため、このコンデンサの取 付け位置とスプリングプローブのピン部とICのバンプとの接触点との距離が長 く、このため高周波ノイズの影響を受け易く、この距離が長ければ長い程、その 影響が大きい。この高周波ノイズの影響によって、電気試験の実施が困難になる ことがある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本考案のIC用ソケットは、被試験体のICを搭載し先端部のプローブピン部 において前記ICのバンプと接触する電源供給用のスプリングプローブを含む複 数本のスプリングプローブを保持しプリント基板上に搭載される導電ブロックと 、前記導電ブロック上に搭載されて前記プリント基板に設けてある接地用配線パ ターンと接続する配線パターンを有する中継プリント基板と、前記中継プリント 基板上に搭載され一方の端子を前記電源供給用のスプリングプローブの前記プロ ーブピン部に接続し他方の端子を前記中継プリント基板の前記配線パターンと接 続するコンデンサとを備えている。
【0007】
【実施例】
次に、本考案の実施例について図面を参照して説明する。
【0008】 図1は本考案の一実施例を示す部分断面図、図2は図1の実施例の主要部を拡 大して示した断面図である。
【0009】 図1において、IC用ソケットの本体部は、導電性のブロック(導電ブロック )5によって形成されており、この導電ブロック5は接地されている。複数本の スプリングプローブ2は、導電ブロック5によって保持されており、図2に示す ように、外部導体部2cの外周をテフロンチューブ2bによって被覆してあり、 これによって導電ブロック5と電気的に絶縁されている。
【0010】 導電ブロック5の上面には、中継プリント基板3が設けられており、この中継 プリント基板3は、チップコンデンサ1を搭載して接続している。被試験体のI C4は、下面に複数の入出力信号および電源を接続するためのバンプ4aを設け ており、これらは、スプリングプローブ2の先端部のプローブピン部2aと接触 したとき、外部導体部2c下端部のリード部2eにおいてはんだ付けされている プリント基板6の配線パターンと接続している。
【0011】 スプリングプローブ2には、図2に示すように、内部の下端部にスプリング2 dが装着されており、このスプリング2dの圧力によってプローブピン部2aを IC4のバンプ4aに対して押圧して所定の接触圧力を保持している。
【0012】 導電ブロック5は、プリント基板6の上に搭載されて取付けねじ7によって固 定され、はんだ付け部6aによってスプリングプローブ2のリード部2eをその 配線パターンに接続している。
【0013】 IC4に対して電源を供給するためのスプリングプローブは、IC4のバンプ 4aと接触するプローブピン部2aの直下の位置において、テフロンチューブ2 bから露出している外部導体部2cにおいて、中継プリント基板3に搭載されて いるチップコンデンサ1の一方の端子とはんだ付け部1bによって接続されてい る。チップコンデンサ1の他方の端子は、中継プリント基板3とはんだ付け部1 aによって接続されている。中継プリント基板3はプリント基板6の接地用の配 線パターンと接続されているため、電源供給用のスプリングプローブがIC4の バンプ4aと接触すると、IC4のバンプ4aは、プローブピン部2aおよび外 部導体部2cおよびチップコンデンサ1および中継プリント基板3およびプリン ト基板6を介して接地される。従って、従来のリード部2eとチップコンデンサ とを介する接地よりも、スプリングプローブの長さの分だけ接続距離が短縮され る。
【0014】 このように構成したIC用ソケットは、ICの製造過程において実施する電気 試験のための装置やバーンインテストのとき、導電ブロック5の上にIC4を搭 載してプローブピン部2aをIC4のバンプ4aに接触させると、電源供給用の スプリングプローブと接触するバンプが、プローブピン部2aおよび外部導体部 2cおよびチップコンデンサ1および中継プリント基板3およびプリント基板6 を介して接地されるため、高周波ノイズの影響を排除でき、高速のICの電気試 験が可能となる。
【0015】
【考案の効果】
以上説明したように、本考案のIC用ソケットは、スプリングプローブを保持 し被試験体のICを搭載する導電ブロック上に中継プリント基板を設け、この中 継プリント基板上にチップコンデンサを搭載し、チップコンデンサの一方の端子 を電源供給用のスプリングプローブのプローブピン部に近接している外部導体部 に接続し、チップコンデンサの他方の端子を中継プリント基板の配線パターンを 介して本IC用ソケットを搭載しているプリント基板の接地用配線パターンと接 続することにより、電源ノイズの影響を遮断することができるという効果があり 、従って高速のICの電気試験を行うことが可能となるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の一実施例を示す部分断面図である。
【図2】図1の実施例の主要部を拡大して示した断面図
である。
【符号の説明】
1 チップコンデンサ 1a はんだ付け部 1b はんだ付け部 2 スプリングプローブ 2a プローブピン部 2b テフロンチューブ 2c 外部導体部 2d スプリング 2e リード部 3 中継プリント基板 4 IC 4a バンプ 5 導電ブロック 6 プリント基板 6a はんだ付け部 7 取付けねじ

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被試験体のICを搭載し先端部のプロー
    ブピン部において前記ICのバンプと接触する電源供給
    用のスプリングプローブを含む複数本のスプリングプロ
    ーブを保持しプリント基板上に搭載される導電ブロック
    と、前記導電ブロック上に搭載されて前記プリント基板
    に設けてある接地用配線パターンと接続する配線パター
    ンを有する中継プリント基板と、前記中継プリント基板
    上に搭載され一方の端子を前記電源供給用のスプリング
    プローブの前記プローブピン部に接続し他方の端子を前
    記中継プリント基板の前記配線パターンと接続するコン
    デンサとを備えることを特徴とするIC用ソケット。
  2. 【請求項2】 被試験体のICを搭載し先端部のプロー
    ブピン部において前記ICのバンプと接触する電源供給
    用のスプリングプローブを含む複数本のスプリングプロ
    ーブを保持しプリント基板上に搭載される導電ブロック
    と、前記導電ブロック上に搭載されて前記プリント基板
    に設けてある接地用配線パターンと接続する配線パター
    ンを有する中継プリント基板と、前記中継プリント基板
    上に搭載され一方の端子を前記電源供給用のスプリング
    プローブの前記プローブピン部に近接している外部導体
    部に接続し他方の端子を前記中継プリント基板の前記配
    線パターンと接続するコンデンサとを備えることを特徴
    とするIC用ソケット。
JP7004491U 1991-09-03 1991-09-03 Ic用ソケツト Pending JPH0523538U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7004491U JPH0523538U (ja) 1991-09-03 1991-09-03 Ic用ソケツト

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7004491U JPH0523538U (ja) 1991-09-03 1991-09-03 Ic用ソケツト

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0523538U true JPH0523538U (ja) 1993-03-26

Family

ID=13420187

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7004491U Pending JPH0523538U (ja) 1991-09-03 1991-09-03 Ic用ソケツト

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0523538U (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6258779B2 (ja) * 1986-03-27 1987-12-08 Satake Eng Co Ltd
JPH02216467A (ja) * 1989-02-17 1990-08-29 Tokyo Electron Ltd プローバ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6258779B2 (ja) * 1986-03-27 1987-12-08 Satake Eng Co Ltd
JPH02216467A (ja) * 1989-02-17 1990-08-29 Tokyo Electron Ltd プローバ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2008122403A (ja) ウェハープローブの組み立て方法
JP2001099889A (ja) 高周波回路の検査装置
JP2000088920A (ja) 検査装置用インターフェイスユニット
US5446393A (en) Electrical measuring and testing probe having a malleable shaft facilitating positioning of a contact pin
JPH10142291A (ja) Ic試験装置
JPH11248748A (ja) プローブカード
JPS612338A (ja) 検査装置
JPH0523538U (ja) Ic用ソケツト
JPH0555319A (ja) Ic用ソケツト
US6498299B2 (en) Connection structure of coaxial cable to electric circuit substrate
JP2847309B2 (ja) プローブ装置
JPH0829475A (ja) 実装基板検査装置のコンタクトプローブ
JP3249865B2 (ja) 半導体集積回路装置の製造方法
JP3048842U (ja) プロービングカード
JP2601680Y2 (ja) 接地基板つきオートハンドラ用コンタクトボード
JPS6325573A (ja) 集積回路のテストボ−ド
JP2980952B2 (ja) プローブボード
JPH0652748B2 (ja) プロ−ブカ−ド
JPH026376Y2 (ja)
JP3120784B2 (ja) 半導体製品の電気特性検査装置及び検査方法
JP2528910Y2 (ja) コンタクトプローブ支持カバー
JPH0315765A (ja) テストボード
JPH0341464Y2 (ja)
KR200276955Y1 (ko) 동축케이블커넥터의프로브팁연결구조
JPS631250Y2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19980303