JPH05228746A - ゲルパックトレイの位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 構造が簡単で、しかもゲルパックトレイの交
換を簡単迅速に行えるゲルパックトレイの位置決め装置
を提供する。 【構成】 テーブル３上に設けられて、ゲルシート５ｃ
の上面にチップＰが接着されたゲルパックトレイ５を摺
動自在にガイドするガイド部材４と、このテーブル３の
下方に昇降自在に配設された昇降部材１０と、この昇降
部材１０を昇降させる昇降手段１１と、この昇降部材１
０に設けられて、昇降部材１０の昇降によりゲルパック
トレイ５の下面に形成された吸引孔５ａに接離される吸
引部１９と、この吸引部１９に接続されて、上記ゲルパ
ックトレイ５の内部空気を吸引する吸引手段３２とから
ゲルパックトレイの位置決め装置を構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はゲルパックトレイの位置
決め装置に係り、詳しくはテーブル上に位置決めされた
ゲルパックトレイを簡単迅速に交換できるようにした位
置決め装置の構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】チップを基板に搭載するダイボンダに使
用されるチップ供給装置において、大形のチップは、ト
レイにマトリクス状に形成されたポケットに収納され
て、チップ供給装置のテーブル上に載置されている。こ
のポケットは、移載ヘッドのノズルによるチップのピッ
クアップがスムーズにできるように、チップの外形より
大き目に形成されており、このためトレイに入れてチッ
プを移送する際に、チップがポケットの枠壁にぶつかっ
て破損しやすいものであった。

【０００３】このような問題点を解消する手段として、
従来、米国特許４，６６７，９４４号公報に記載された
ゲルパックトレイが提案されている。このものは、下面
に吸引孔が形成されたトレイ本体上に、メッシュシート
を覆うようにゲルシートを積層したものである。このゲ
ルシートは、表面がねばねばした粘着性の柔らかいシー
トであって、移送中には、その粘性によりチップがゲル
シート上に面接着され、チップをがたつきなく静止させ
ておくことができる。また、チップをピックアップする
際には、吸引孔からゲルパックトレイの内部空気を吸引
して、このゲルシートを凹凸のあるメッシュシートに圧
着し、それまでゲルシートに面接着されていたチップを
点接着に変えることにより、接着力を小さくして、チッ
プを容易にピックアップできるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで現在、ゲルパ
ックトレイをチップマウンタのチップ供給装置に位置決
めするための位置決め手段の具体的な構造は未だ提案さ
れていない実情にある。ゲルパックの位置決め手段とし
ては、ゲルパックトレイをテーブル上に位置決めする構
造とすることが考えられるが、この場合、このテーブル
にはゲルパックトレイの内部空気を吸引する吸引手段を
設けねばならないことから、テーブル付近の構造が複雑
化し、またゲルパックトレイ上のチップが品切れになっ
てゲルパックトレイの交換を行う場合には、吸引手段が
障害物となって交換を迅速簡単に行えないこととなる。

【０００５】そこで本発明は上記事情を勘案してなされ
たものであって、構造が簡単で、しかもゲルパックトレ
イの交換を簡単迅速に行えるゲルパックトレイの位置決
め装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】このために本発明は、テ
ーブル上に設けられて、ゲルシートの上面にチップが接
着されたゲルパックトレイを摺動自在にガイドするガイ
ド部材と、このテーブルの下方に昇降自在に配設された
昇降部材と、この昇降部材を昇降させる昇降手段と、こ
の昇降部材に設けられて、昇降部材の昇降によりゲルパ
ックトレイの下面に形成された吸引孔に接離される吸引
部と、この吸引部に接続されて、上記ゲルパックトレイ
の内部空気を吸引する吸引手段とからゲルパックトレイ
の位置決め装置を構成した。

【０００７】

【作用】上記構成によれば、ゲルパックトレイをガイド
部材の間に装入し、昇降手段を操作して昇降部材を上昇
させることにより、吸引部をゲルパックトレイの吸引孔
に接続して、ゲルパックトレイをテーブル上に位置決め
する。

【０００８】またゲルパックトレイのチップが品切れに
なった時には、昇降手段を操作して昇降部材を下降させ
ることにより、吸引部をゲルパックトレイの吸引孔から
分離して下方へ退去させ、その状態で品切れになったゲ
ルパックトレイをガイド部に沿って摺動させて取り出
す。次に新たなゲルパックトレイをガイドレールの間に
装入して、昇降部材を上昇させれば、吸引部は吸引孔に
接続して、交換作業は終了する。このように本手段によ
れば、ゲルパックトレイの位置決めや交換を簡単に行え
る。

【０００９】

【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。図１はチップの供給装置の正面図であって、
１はターンテーブルである。２はターンテーブル１を回
転させる駆動部としてのモータであり、カップリング６
０を介して減速機６１に連結され、この減速機６１のシ
ャフト６１ａにターンテーブル１が取り付けられてい
る。モータ２を駆動すると、カップリング６０を介して
減速機６１が駆動してターンテーブル１が水平回転す
る。

【００１０】３はターンテーブル１上に放射状に取り付
けられた複数個のテーブルであり、ウェハーが載置され
た一般的なテーブル（図外）と、ゲルパックトレイ５
（後述）が載置されたテーブルが任意の順に配列されて
いる。このテーブル３は、ブロック５１とねじ５２を介
してターンテーブル１上に片持状態で着脱自在に螺着さ
れている。図２および図３において、このゲルパックト
レイ５が載置されたテーブル３上には、各々所定間隔を
おいてガイド部材としての３本のガイドレール４が突設
されており、各ガイドレール４の間にはそれぞれ２個の
ゲルパックトレイ５が摺動自在に装入されている。ゲル
パックトレイ５の上面には、各テーブル３ごとに各々異
なる品種のチップＰが接着されており、ターンテーブル
１を回転させることにより、ウェハーが載置されたテー
ブル３や所望品種のチップＰを有するゲルパックトレイ
５を備えたテーブル３を、移載ヘッド３４（図１参照）
によるピックアップステージＳに位置させるようになっ
ている。

【００１１】図２において、７は左右のガイドレール４
に各々一対づつ形成されたラッパ形の貫通孔、８はＶ字
形のばね材であって、両端部がボルト９によりテーブル
３に固着されて各貫通孔７内に収納されている。このば
ね材８は、ガイドレール４の間に載置されたゲルパック
トレイ５の側面に弾接し、ゲルパックトレイ５を固定す
る。図３において、１０は各テーブル３の下方に昇降自
在に配設された昇降部材としてのプレートであり、この
プレート１０はコイルばね５０のばね力により常時テー
ブル３の下面に弾接されている。１１はプレート１０の
昇降手段であり、次に、この昇降手段１１を詳細に説明
する。

【００１２】図４はチップの実装装置に使用される昇降
手段の斜視図、図５はチップの実装装置に使用される正
面図である。１２はブロックであり、テーブル３の先端
部の下面に装着されている。このブロック１２には、ア
ーム１３がピン１４により軸着されている。１５はプレ
ート１０とアーム１３を結合するためのビスであり、ア
ーム１３の一端部がピン１６により上下方向に回転自在
に軸着されている。１７はアーム１３の柄部であり、こ
の柄部１７には長尺な指当て用ピン１８が装着されてい
る。図５に示すように、柄部１７に指先を当ててこれを
押し上げると、アーム１３は時計方向に回転し、プレー
ト１０はコイルばね５０（図１及び図３参照）のばね力
に抗して、図５鎖線位置まで若干下降する。また柄部１
７から指先を離すと、プレート１０はばね５０のばね力
により上昇し、テーブル３の下面に弾接される。以上の
ように上記構成部品１２〜１８は、プレート１０をテー
ブル３に対して昇降させるための昇降手段１１を構成し
ている。

【００１３】図１および図３において、１９は吸引部で
あり、プレート１０に設けられている。この吸引部１９
の上部には吸着パッド２０が設けられており、上述のよ
うに昇降手段１１を操作してプレート１０を昇降させる
と、この吸着パッド２０はゲルパックトレイ５の下面に
形成された吸引孔５ａに接離される。この吸着パッド２
０は、上昇位置において、その上端面は、若干テーブル
３上に突出する。このため、ゲルパックトレイ５の交換
時には、昇降手段１１によりプレート１０を下降させて
吸着パッド２０をゲルパックトレイ５から分離させて下
方に退去させないと、この吸着パッド２０が障害物とな
ってゲルパックトレイ５はガイドレール４に沿って出し
入れできない。

【００１４】図１において、２１はプレート１０に設け
られた中空のジョイントプラグであり、その上端部がテ
ーブル３に穿孔された貫通孔３ａから突出している。ま
た、ジョイントプラグ２１の下端部には、各ゲルパック
トレイ５の下部に設けられた吸引部１９に連結された連
結管２２が接続されている。２３は中空のプラグであ
り、ターンテーブル１の各取り付けブロック５１の近傍
に穿孔された孔部１ａに各々接続されている。２４は連
結チューブであり、各プラグ２１とプラグ２３を連結し
ている。

【００１５】図１において２５はジョイント部であり、
チップＰのピックアップステージＳの下方に昇降自在に
配設されている。次にこのジョイント部２５を詳細に説
明する。２６はジョイント部２５を昇降させるシリンダ
であり、減速機６１のピックアップステージＳ側に設け
られたブラケット２７に取り付けられている。シリンダ
２６のロッドには、上記孔部１ａに断接する吸着パッド
３１が設けられている。この孔部１ａは、チューブ２４
を介して、テーブル３の吸着パッド２０に連通してい
る。シリンダ２６のロッドを突出させると、吸着パッド
３１は孔部１ａに圧接されて、上記吸着パッド２０に連
通し、またロッドを下降させると、吸着パッド３１は孔
部１ａから離れる。すなわちシリンダ２６は、ジョイン
ト部２５の吸着パッド３１をテーブル３の吸着パッド２
０に断接自在に接続させる断接手段となっている。

【００１６】３２は空気吸引装置などの吸引手段であっ
て、吸着パッド３１に連結管３３を介して連結されてい
る。上述のようにシリンダ２６を駆動してそのロッドを
突出させると、吸着パッド３１は孔部１ａに圧接され
て、吸引手段３２はピックアップステージＳに位置する
テーブル３の吸着パッド２０に接続される。その状態で
吸引手段３２を駆動すると、ゲルパックトレイ５の吸引
孔５ａからその内部空気が吸引される。すると、図６に
示すようにゲルパックトレイ５のトレイ本体５ｂ上に積
層されたゲルシート５ｃは、凹凸のあるメッシュシート
５ｄに沿って圧着されて、それまでゲルシート５ｃに面
接着されていたチップＰを、鎖線に示すように点接着に
変えてゲルシート５ｃの接着力を小さくし、図１に示す
移載ヘッド３４のノズル３５によるピックアップを容易
にすることができる。

【００１７】図１において、３６はゲルパックトレイ５
を搭載したテーブル３を検出するセンサであり、上記ブ
ラケット２７に設けられている。３７はゲルパックトレ
イ５が載置されたテーブル３に設けられたドグであり、
このテーブル３のブロック５１の下面から、先端部がタ
ーンテーブル１の下方に突出するように垂設されてい
る。モータ２を駆動してターンテーブル１を回転する途
中でセンサ３５がドグ２７を検出することにより、ゲル
パックトレイ５を搭載したテーブル３がピックアップス
テージＳに到達したことを検出する。このようにセンサ
３６がドグ３７を検出することにより、ピックアップス
テージＳに到達したテーブル３が、ウェハーを載置した
ものか、ゲルパックトレイ５を載置したものかを判断す
るので、１台のチップの供給装置に、ウェハーやゲルパ
ックトレイ５という品種の異なるチップＰの供給部材を
載置したテーブル３を一緒に搭載することができる。

【００１８】本装置は上記のような構成より成り、次に
動作を説明する。まず、図１において、モータ２を駆動
してターンテーブル１を回転させると、各テーブル３は
順次ピックアップステージＳに送られる。このとき、ピ
ックアップステージＳにウェハーが載置されたテーブル
３（図外）が到達した場合には、移載ヘッド３４のノズ
ル３５にウェハーのチップＰを吸着してピックアップ
し、リードフレームなどの基板に移送搭載する。なお、
このウェハーが載置されたテーブル３にはドグ３７が取
り付けてないので、センサ３５はドグ３７の未検出状態
のままであり、従ってゲルパックトレイ５用の吸引手段
３２と吸着パッド２０を接続するシリンダ２６は駆動さ
れない。

【００１９】また、ピックアップステージＳにゲルパッ
クトレイ５が載置されたテーブル３が到達した場合に
は、センサ３６がドグ３７を検出し、シリンダ２６が駆
動して吸着パッド３１を上昇させ、これを孔部１ａに圧
接するとともに、吸引手段３２を駆動して、その吸引力
により、ゲルパックトレイ５の内部空気を吸引する。す
ると、図６を参照しながら説明したように、ゲルシート
５ｃに面接着されていたチップＰが点接着に変る。そこ
で点接着となってピックアップが容易になったチップＰ
を移載ヘッド３４のノズル３５に吸着してピックアップ
し、基板に移送搭載する。基板に搭載するチップＰの品
種を変更する場合には、モータ２を駆動してターンテー
ブル１を回転させることにより、所望のチップＰを有す
るテーブル３をピックアップステージＳまで移動させ、
上述した動作を繰り返す。

【００２０】チップＰが品切れになって、テーブル３上
のゲルパックトレイ５を交換する際には、図５に示すよ
うに、指先により柄部１７を押し上げてプレート１０を
引き下げることにより、吸着パッド２０をゲルパックト
レイ５から分離して、ゲルパックトレイ５の摺動の障害
にならないように、ガイドレール４の下方へ退去させ
る。そして指先による柄部１７の押し上げ状態を保持し
たまま、品切れになったゲルパックトレイ５をガイドレ
ール４間をスライドさせて取り出すとともに、新たなゲ
ルパックトレイ５を各ガイドレール４の間に装入して補
充する。次に柄部１７から指先を離すと、プレート１０
はコイルばね５０のばね力により上昇して、ゲルパック
トレイ５の吸引孔５ａに吸着パッド２０が圧接されて、
ゲルパックトレイ５の交換は終了する。このように、ゲ
ルパックトレイ５の出し入れの障害となる吸着パッド２
０を、昇降手段１１により引き下げてゲルパックトレイ
５をガイドレール４間に装入するようにしたので、ゲル
パックトレイ５を簡単迅速に交換することができる。

【００２１】また本装置は、ターンテーブル１を回転さ
せて、所望品種のチップＰが載置されたテーブル３をピ
ックアップステージＳに停止させるようにしているの
で、ゲルパックトレイ５上の多品種のチップＰを基板に
搭載することができる。本発明は上記実施例に限定され
ないのであって、例えば上記実施例ではプレート１０は
手動的に昇降させているが、モータなどの動力により昇
降させてもよい。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、テーブル
上に設けられて、ゲルシートの上面にチップが接着され
たゲルパックトレイを摺動自在にガイドするガイド部材
と、このテーブルの下方に昇降自在に配設された昇降部
材と、この昇降部材を昇降させる昇降手段と、この昇降
部材に設けられて、昇降部材の昇降によりゲルパックト
レイの下面に形成された吸引孔に接離される吸引部と、
この吸引部に接続されて、上記ゲルパックトレイの内部
空気を吸引する吸引手段とからゲルパックトレイの位置
決め装置を構成したので、装置の構造を簡単化でき、し
かもゲルパックトレイの交換を簡単迅速に行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るチップの供給装置の正面図

【図２】本発明に係るチップの供給装置に使用されるテ
ーブルの平面図

【図３】本発明に係るチップの供給装置に使用されるテ
ーブルの側面図

【図４】本発明に係るゲルパックトレイの位置決め装置
の斜視図

【図５】本発明に係るゲルパックトレイの位置決め装置
の使用状態の正面図

【図６】本発明に係るゲルパックトレイの位置決め装置
に使用されるゲルパックトレイの断面図

【符号の説明】

３ テーブル ５ ゲルパックトレイ ５ａ 吸引孔 ５ｃ ゲルシート １０ 昇降部材 １１ 昇降手段 １９ 吸引部 ３２ 吸引手段 Ｐ チップ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】テーブル上に設けられて、ゲルシートの上
   面にチップが接着されたゲルパックトレイを摺動自在に
   ガイドするガイド部材と、このテーブルの下方に昇降自
   在に配設された昇降部材と、この昇降部材を昇降させる
   昇降手段と、この昇降部材に設けられて、昇降部材の昇
   降によりゲルパックトレイの下面に形成された吸引孔に
   接離される吸引部と、この吸引部に接続されて、上記ゲ
   ルパックトレイの内部空気を吸引する吸引手段とを備え
   たことを特徴とするゲルパックトレイの位置決め装置。