JP3921608B2 - 導電性ボール搭載装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電性ボール搭載装置の改良に関するもので、主として半田ボール搭載装置のボール保持ヘッドから昇降駆動手段を分離することに主眼をおいて開発されたものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より導電性ボール搭載装置は、特許第3254459号特許公報記載の発明のように、半田ボール保持ヘッド及びその昇降駆動手段、フラックス供給ヘッド及びその昇降駆動手段、これらのヘッドの横移動手段、X−Yテーブルを備え、半田ボール保持ヘッドに半田ボールを保持させ、フラックス供給ヘッドにより基板上の搭載箇所にフラックスを供給し、搭載箇所に半田ボール保持ヘッドで保持した半田ボールを搭載するようにしていた。しかし、各ヘッドに昇降駆動手段が備えられておりヘッドが重くなり、導電性ボール搭載装置の高速化、特に横移動手段の高速化を阻害していた。
【0003】
そこで、昇降駆動手段を、ヘッド(ノズル)から分離して高速化を図ろうとする開発もいくつか見られた。例えば、特開昭62−188329号公開特許公報記載の発明は、ペレットを吸着して搬送するノズルの昇降駆動手段をノズルから分離して高速化を図っている。該従来技術では、ノズルは昇降レール上を移動するようになっており、昇降レールの上下動により昇降されるようになっている。この構成でボール保持ヘッドとフラックス供給ヘッドを設けると、両者は連動して常に同時に昇降させられることになり、更に、各々で昇降量を変えることもできず、ボール保持ヘッド及びフラックス供給ヘッドを有する導電性ボール搭載装置において、適用することは好ましいものではなかった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記課題を解決しようとするもので、ヘッドの昇降駆動手段をヘッドから分離し、ヘッドを軽量化することで横移動の高速化すなわち搭載動作の高速化を図ると共に、ヘッドの昇降駆動手段を分離した上で、単一の昇降駆動手段により導電性ボール保持ヘッドとフラックス供給ヘッドを各々独立させて昇降でき、それぞれに昇降量を異ならせることも可能な導電性ボール搭載装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
第1の発明は、上記課題を解決するため、導電性ボール搭載装置に次の手段を採用する。
第1に、導電性ボールを保持するボール保持ヘッドと、被搭載物上の導電性ボール搭載箇所にフラックスを供給するフラックス供給ヘッドと、該ボール保持ヘッド及びフラックス供給ヘッドを横移動させる移動手段と、被搭載物を支持して水平面内で移動させる支持テーブルとを備えた導電性ボール搭載装置とする。
第2に、ボール保持ヘッド及びフラックス供給ヘッドを、上方に付勢して、移動手段で移動するベース部材に上下動自在に取り付ける。
第3に、該ボール保持ヘッド及びフラックス供給ヘッドに当接して下方に押し下げる押圧部材と、押圧部材を上下動させる昇降手段を設ける。
第4に、該押圧部材の作動範囲内にボール保持ヘッドもしくはフラックス供給ヘッドを選択的に位置させて、いずれか一方を下方へ押し下げて被搭載物に接近させる。
【0006】
第2の発明は、第1の発明の改良に関するもので、押圧部材を、ボール保持ヘッドが導電性ボールを保持するボール供給位置と、導電性ボールを搭載する搭載位置に対応できるように形成配置し、搭載位置に対応する押圧部材に対して、ボール保持ヘッドもしくはフラックス供給ヘッドを選択的に位置させるようにした導電性ボール搭載装置である。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、図面に従って、実施例と共に本発明の実施の形態について説明する。図1は、半田ボール搭載装置1の全体を示す概略説明図である。本発明は、特に半田ボールを連続的に1個ずつ搭載させる場合に有効であるため、本実施例もその種の半田ボール搭載装置1である。
【0008】
実施例では、本発明における導電性ボールとして、半田ボール2が用いられている。勿論、本発明における導電性ボールが半田ボール2に限定されるものではない。又、実施例では被搭載物としてウエハ3を使用しているが、他にBGA基板などのプリント配線基板であってもよいことは勿論である。
【0009】
該半田ボール搭載装置1は、半田ボール2が多数貯留されており、半田ボール2を1個ずつ繰り出すボール供給装置4と、半田ボール2を真空吸引して保持するボール保持ヘッド5と、ウエハ3上の半田ボール搭載箇所にフラックスを供給するフラックス供給ヘッド6と、カメラ7と、該ボール保持ヘッド5、フラックス供給ヘッド6及びカメラ7を横移動させるX軸移動装置8(図1中斜め左右方向への移動装置)と、ボール保持ヘッド5及びフラックス供給ヘッド6に当接して下方に押し下げる押圧部材9と、押圧部材9を上下動させる昇降装置10と、ウエハ3を支持して水平面内でX軸方向(横方向)、Y軸方向(縦方向)及び回転方向に移動回転可能なX−Yテーブル11とが設けられている。
【0010】
本実施例ではボール保持ヘッド5として、吸引ノズル30が用いられている。尚、吸引ノズル30には、半田ボール2を吸着保持する吸着孔が形成され、図示されていないバキューム源と接続されており、バキューム源からの負圧により吸着孔に半田ボール2を吸着保持する。他方、フラックス供給ヘッド6には、ディスペンサ18が利用されている。
【0011】
カメラ7は、ウエハ3上の半田ボール搭載箇所の位置を認識する。
【0012】
X軸移動装置8は、X軸モータ12により駆動力を得て、ボール保持ヘッド5、フラックス供給ヘッド6及びカメラ7を同時に移動させる。すなわち、ボール保持ヘッド5、フラックス供給ヘッド6及びカメラ7は、ベースプレート14に装着され、該ベースプレート14がX軸移動装置8に装着され、X軸移動装置8によりベースプレート14をX軸方向(図1中斜め左右方向)へと移動させることにより、ボール保持ヘッド5、フラックス供給ヘッド6及びカメラ7をX軸方向に移動させている。
【0013】
ベースプレート14に対し、カメラ7は、固定されているが、ボール保持ヘッド5及びフラックス供給ヘッド6は、スプリング15により上方に付勢され、且つベースプレート14に対して上下動自在に取り付けられている。図3(A),(B)がベースプレート14への装着構造を示す図であり、図3(B)に示されるように、ベースプレート14に上下スライドガイド13を介してスライドブロック16を取り付け、該スライドブロック16に対して図1に示すようにボール保持ヘッド5及びフラックス供給ヘッド6を装着している。従って、2つのスライドブロック16に装着されたボール保持ヘッド5及びフラックス供給ヘッド6は、自然体で上方に位置している。
【0014】
尚、図2及び図3に示されているように、2つのスライドブロック16の上端部にはローラ当接面17が設けられている。このうちボール保持ヘッド5のスライドブロック16の上端部に装着されたローラ当接面17の高さは、フラックス供給ヘッド6のスライドブロック16の上端部に装着されたローラ当接面17の高さより低くなるよう設定してある。
【0015】
押圧部材9は、後端部で揺動自在に昇降装置10に装着されている。押圧部材9は、ローラ支持部材19の先端側に昇降用ローラ32と供給用押圧ローラ20と搭載用押圧ローラ21が形成され、後端側に回転軸31が形成されたもので、供給用押圧ローラ20と搭載用押圧ローラ21の間は切欠部22とされている。尚、押圧部材9は、供給用押圧ローラ20が、ボール保持ヘッド5がボールを供給装置4で供給される半田ボール2を保持する供給位置に対応して位置し、他方搭載用押圧ローラ21が、ボール保持ヘッド5がウエハ3上に半田ボール2を搭載する搭載位置に対応して位置するよう配置されている。
【0016】
昇降装置10は、Z軸モータ23、Z軸モータで回転させられる送りねじ24,該送りねじ24の回転を上下動に変換させるナット部材25、ナット部材25の上下動を押圧部材9に伝える接続部材26とによりなる。接続部材26の上端部は、前方切欠の受け凹部33が形成されており、接続部材26の受け凹部33にローラ支持部材19の昇降用ローラ32が回転及び前後動自在に装着されている。従って、昇降装置10の作動により押圧部材9に形成された供給用押圧ローラ20及び搭載用押圧ローラ21を回転軸31を中心にダイレクトに昇降、揺動することができ、精度の良い昇降が可能である。
尚、Z軸モータ23の作動量を各々設定することで、搭載するボール径に対応してボール保持ヘッド5の下降量を変更したり、ボール保持ヘッド5とフラックス供給ヘッド6の下降量を異にしたり、更には、供給位置と搭載位置でのボール保持ヘッド5の下降量を異ならせることができ、それぞれ必要に応じた最適な下降量を設定可能である。
【0017】
次に、本実施例における半田ボール搭載装置でのボール搭載動作について説明する。先ず、X−Yテーブル11を作動させてウエハ3上の半田ボール2の搭載箇所をボール保持ヘッド5による搭載位置に位置させると共に、X軸モータ12の作動によりカメラ7を搭載位置に移動させて、その上方に位置させ、搭載箇所の位置を認識してX−Yテーブル11により正確な位置合わせを行う。
【0018】
X軸モータ12を作動させて、ボール供給装置4の上方に位置する供給用押圧ローラ20の下方位置にボール保持ヘッド5を位置させる。このときボール保持ヘッド5は、スプリング15の上方への付勢を受けており、上方位置に存在する。Z軸モータ23を作動させて接続部材26を引き、押圧部材9を所定量下方へ揺動させる。
【0019】
押圧部材9が下方へ揺動することにより、供給用押圧ローラ20が、ボール保持ヘッド5の装着されているスライドブロック16上端のローラ当接面17に当接し、ボール保持ヘッド5をスプリング15の付勢に逆らって下降動させる。そこで、ボール供給装置4より繰り出された1個の半田ボール2を吸着する。このときフラックス供給ヘッド6は、押圧部材9の切欠部22の部分に位置しているため押圧部材9のローラ支持部材19とは干渉しない。
【0020】
続いて、押圧部材9を上方へ揺動させて、ボール保持ヘッド5の装着されているスライドブロック16上端のローラ当接面17から供給用押圧ローラ20を解除すると、ボール保持ヘッド5はスプリング15の上方への付勢によって上昇する。
【0021】
続いて、X軸モータ12の作動により搭載用押圧ローラ21の下方位置にフラックス供給ヘッド6を位置させ、押圧部材9を所定量下方へ揺動させると、搭載用押圧ローラ20が、フラックス供給ヘッド6の装着されているスライドブロック16上端のローラ当接面17に当接し、フラックス供給ヘッド6をスプリング15の付勢に逆らって下降動させる。所定近接位置で、ディスペンサ18からフラックスを噴射してウエハ3上の搭載箇所にフラックスを供給する。
【0022】
この際、ボール保持ヘッド5のローラ当接面17の高さがフラックス供給ヘッド6のローラ当接面17の高さよりも低くなるよう設定しているので、押圧部材9を揺動させても、供給用押圧ローラ20及び搭載用押圧ローラ21を支持しているローラ支持部材19がボール保持ヘッド5とで干渉することはない。
【0023】
フラックス供給後、押圧部材9を上方へ揺動させて、フラックス供給ヘッド6の装着されているスライドブロック16上端のローラ当接面17から搭載用押圧ローラ21を解除すると、フラックス供給ヘッド6はスプリング15からの上方への付勢によって上昇する。
【0024】
かようにして押圧部材9を上方へ揺動させてフラックス供給ヘッド6との当接を解除した後、X軸モータ12の作動により搭載用押圧ローラ21の下方位置にボール保持ヘッド5を位置させ、押圧部材9を所定量下方へ揺動させてボール保持ヘッド5を下降させる。これにより所定の接近位置まで下降され保持したボールがウエハ3上の搭載箇所に当接されるので、吸引を解除してボールを搭載する。
【0025】
押圧部材9を上方へ揺動させてボール保持ヘッド5との当接を解除した後、ボール保持ヘッド5はスプリングの付勢力により上昇して1回の搭載工程を終了する。
【0026】
予め設定したウエハ3上の複数の搭載箇所が、ボール保持ヘッド5、フラックス供給ヘッド6が昇降する搭載位置に順次位置するように、X−Yテーブル11の移動を制御し、搭載位置にウエハ3の搭載箇所を順次位置させて、上記搭載動作を繰り返し連続的にボール搭載を行う。
【0027】
【発明の効果】
本発明は、導電性ボール搭載装置において、ボール保持ヘッド及びフラックス供給ヘッドを、上方に付勢して、移動手段で移動するベース部材に上下動自在に取り付ける共に、該ボール保持ヘッド及びフラックス供給ヘッドに当接して下方に押し下げる押圧部材と、押圧部材を上下動させる昇降手段を設け、該押圧部材の作動範囲内にボール保持ヘッドもしくはフラックス供給ヘッドを選択的に位置させて、いずれか一方を下方へ押し下げて被搭載物に接近させるものとしたので、昇降装置をボール保持ヘッド及びフラックス供給ヘッドから分離することができ、これらのヘッドの軽量化、高速化を図ることができた。
【0028】
請求項2記載の発明の効果ではあるが、押圧部材を、ボール保持ヘッドが導電性ボールを保持するボール供給位置と、導電性ボールを搭載する搭載位置に対応できるよう形成配置し、搭載位置に対応する押圧部材に対しては、ボール保持ヘッドもしくはフラックス供給ヘッドを選択的に位置させるものとしたので、単独の昇降装置で、ボール供給、フラックス転写、ボール搭載のすべての際の昇降が可能となる導電性ボール搭載装置となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例に係る半田ボール搭載装置の全体を示す概略説明図
【図2】分離昇降装置を示す分解斜視図。
【図3】ベースプレートとスライドブロックの関係を示す図で、(A)は斜視説明図で、(B)は側面説明図である。
【符号の説明】
1......半田ボール搭載装置
2......半田ボール
3......ウエハ
4......ボール供給装置
5......ボール保持ヘッド
6......フラックス供給ヘッド
7......カメラ
8......X軸移動装置
9......押圧部材
10.....昇降装置
11.....X−Yテーブル
12.....X軸モータ
13.....スライドガイド
14.....ベースプレート
15.....スプリング
16.....スライドブロック
17.....ローラ当接面
18.....ディスペンサ
19.....ローラ支持部材
20.....供給用押圧ローラ
21.....搭載用押圧ローラ
22.....切欠部
23.....Z軸モータ
24.....送りねじ
25.....ナット部材
26.....接続部材
30.....吸引ノズル
31.....回転軸
32.....昇降用ローラ
33.....受け凹部
Claims (2)
- 導電性ボールを保持するボール保持ヘッドと、被搭載物上の導電性ボール搭載箇所にフラックスを供給するフラックス供給ヘッドと、該ボール保持ヘッド及びフラックス供給ヘッドを横移動させる移動手段と、被搭載物を支持して水平面内で移動させる支持テーブルとを備えた導電性ボール搭載装置において、ボール保持ヘッド及びフラックス供給ヘッドを、上方に付勢して、移動手段で移動するベース部材に上下動自在に取り付けると共に、該ボール保持ヘッド及びフラックス供給ヘッドに当接して下方に押し下げる押圧部材と、押圧部材を上下動させる昇降手段を設け、該押圧部材の作動範囲内にボール保持ヘッドもしくはフラックス供給ヘッドを選択的に位置させて、いずれか一方を下方へ押し下げて被搭載物に接近させることを特徴とする導電性ボール搭載装置。
- 押圧部材は、ボール保持ヘッドが導電性ボールを保持するボール供給位置と、導電性ボールを搭載する搭載位置に対応できるよう形成配置され、搭載位置に対応する押圧部材に対して、ボール保持ヘッドもしくはフラックス供給ヘッドを選択的に位置させることを特徴とする請求項1記載の導電性ボール搭載装置。
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