JPH05224013A

JPH05224013A - カラーフィルターの製造方法

Info

Publication number: JPH05224013A
Application number: JP5598692A
Authority: JP
Inventors: Kazuya Ishiwatari; 和也石渡; Tatsuo Murata; 辰雄村田; Naoya Nishida; 直哉西田
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1992-02-07
Filing date: 1992-02-07
Publication date: 1993-09-03

Abstract

(57)【要約】【目的】アライメントマーク上にカラーフィルター材
料の残渣が残らず、精度良くアライメントができ、自動
化が可能なカラーフィルターの製造方法を提供する。【構成】基板上にスピンコート法によりカラーフィル
ター材料を塗布し、フォトリソ工程を用いてパターニン
グするカラーフィルターの製造方法において、カラー
フィルター材料を塗布する前に、あらかじめ基板上に設
けられているアライメントマーク上に離型剤を塗布する
方法、アライメントマークが形成された基板上にカラ
ーフィルター材料を塗布してプリベークした後、アライ
メントマーク上のカラーフィルター材料に溶媒を吸収さ
せ、次いでこすり落としてアライメントマークを露出さ
せる方法、アライメントマークが形成された基板上に
カラーフィルター材料を塗布し、プリベークする前にア
ライメントマーク上のカラーフィルター材料を除去する
方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルターの製造
方法に関し、特に液晶ディスプレイ用カラーフィルター
の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、感光性着色樹脂を用いてカラーフ
ィルターを形成するには、コーティング品位の観点か
ら、スピンコートにより、カラーフィルター材料を基板
上に塗布している。この基板上にはあらかじめ、遮光層
及びアライメントマークをメタル又は着色樹脂で形成し
てあるものが多い。この塗布工程の後にプリベークする
が、プリベーク工程はホットプレート又はクリーンオー
ブンを用いてベーク処理を行う。次いで、マスクアライ
ナーを用いて、所望の位置にパターンを焼付けた後に現
象処理を行なう。これによって得られたカラーフィルタ
ーパターンを最後にベーク処理して、第一色目のカラー
フィルターの形成を終了する。同様の工程を複数回繰返
すことにより、多色カラーフィルターを形成している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来例において
は、基板上にスピンコート法によりカラーフィルター材
料を塗布している。このスピンコート法による塗布方法
は、カラーフィルター材料を所望の位置に選択的に塗布
することができず、基板全面にカラーフィルター膜が形
成される。そのため、あらかじめ基板上に設けられてい
るアライメントマークの上にもカラーフィルター膜が形
成されてしまう。

【０００４】したがって、アライメントスコープにより
アライメントマークを見てアライメントを行なう場合に
おいては、カラーフィルター膜を通してアライメントマ
ークを見ることになり、非常に見えにくく、アライメン
トしにくいという欠点があった。

【０００５】そのためアライメントマーク上のカラーフ
ィルター膜をプリベーク後に、手作業により除去する工
程が必要となるが、図３に示す様に、何も処理せずカラ
ーフィルター膜１３を堅い物でこすり落とすことも考え
られるが、アライメントマーク１３上に残渣１６やスジ
状の欠陥が残ってしまう。この様な欠陥が残ると、オー
トアライメント機構を備えたマスクアライナーにおいて
はオートアライメントができないという欠点もあった。
また、手作業により除去する工程が入ると、カラーフィ
ルターの自動生産ラインの現実化が難しい欠点もあっ
た。

【０００６】本発明は、この様な従来技術の欠点を改善
するためになされたものであり、アライメントマーク上
にカラーフィルター材料の残渣が残らず、アライメント
マークを露光させ、精度良くアライメントが出来、しか
も自動化が可能なカラーフィルターの製造方法を提供す
ることを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】即ち、本発明の第一の発
明は、基板上にスピンコート法によりカラーフィルター
材料を塗布し、フォトリソ工程を用いてパターニングす
るカラーフィルターの製造方法において、カラーフィル
ター材料を塗布する前に、あらかじめ基板上に設けられ
ているアライメントマーク上に離型剤を塗布することを
特徴とするカラーフィルターの製造方法である。

【０００８】また、本発明の第二の発明は、アライメン
トマークが形成された基板上にスピンコート法によりカ
ラーフィルター材料を塗布し、フォトリソ工程を用いて
パターニングするカラーフィルターの製造方法におい
て、基板上にカラーフィルター材料を塗布してプリベー
クした後、アライメントマーク上のカラーフィルター材
料に溶媒を吸収させ、次いでこすり落としてアライメン
トマークを露出させることを特徴とするカラーフィルタ
ーの製造方法である。

【０００９】また、本発明の第三の発明は、アライメン
トマークが形成された基板上にスピンコート法によりカ
ラーフィルター材料を塗布し、フォトリソ工程を用いて
パターニングするカラーフィルターの製造方法におい
て、基板上にカラーフィルター材料を塗布し、プリベー
クする前に前記アライメントマーク上のカラーフィルタ
ー材料を除去することを特徴とするカラーフィルターの
製造方法である。

【００１０】以下、本発明を詳細に説明する。まず、本
発明の第一の発明について説明する。本発明によれば、
基板上にあらかじめ設けられているアライメントマーク
上に、シリコン系及びフッ素系の無色透明な離型剤を塗
布することにより、後工程におけるカラーフィルター材
料の基板全面へのスピンコート塗布時において、アライ
メントマーク上にカラーフィルター膜が形成されないよ
うにしたものである。

【００１１】図１は本発明のカラーフィルターの製造方
法の一例を示す工程図である。同図において、ガラス基
板１上には、遮光層２およびアライメントマーク３が形
成されている（図１（ａ）参照）。そして、このアライ
メントマーク上に離型剤４が数十Å〜数百Åの厚さに設
けられている。離型剤の塗布方法としては、オフセット
印刷、タンポ印刷等があげられるが、アライメントマー
ク上に選択的に塗布できれば、その他の何の方法でもよ
い。塗布後の乾燥は、希釈溶媒を蒸発させることのみが
目的であるから、５０℃〜１００℃で約１０分位のベー
クで十分である。

【００１２】離型剤としては、シリコン系及びフッ素系
の無色透明な離型剤が好ましく、例えばＫＰ８０１Ｍ
（信越シリコーン社製品）、ファミックＥ（昭和電工社
製品）等が挙げられる。これら離型剤は溶媒で希釈して
塗布するが、溶媒には、例えばｍ−キシレンヘキサフロ
ライド等が用いられる。

【００１３】この離型剤の層を形成した後、スピンコー
ト法によりカラーフィルター材料（赤色）５ａを全面に
塗布する（図１（ｂ）参照）。塗布されたカラーフィル
ター材料は、アライメントマーク上の離型剤４の層部に
おいては必然的に除去される。ここで用いられるカラー
フィルター材料は、主として感光性ポリアミド樹脂中に
顔料を分散したものが用いられるが、離型剤を選択する
ことにより、離型剤はどのようなカラーフィルター材料
にも対応可能である。

【００１４】次に、このようにして形成されたカラーフ
ィルター層をパターニングするが、この際にフォトマス
ク１０のマスクアライナーを用いるが、この離型剤層の
上はカラーフィルター膜が除去されているので、非常に
アライメントマークがはっきり見え、スムーズかつ高精
度のアライメントができる（図１（ｃ）参照）。

【００１５】次に、このようにしてアライメントした
後、紫外線（ＵＶ）露光を行ない、所望の部分を光硬化
させ、露光後、現像液を用いて、未光硬化部分を溶解除
去した後、リンス処理を行なう。そしてポストベークし
て第一色目のカラーフィルター（赤色）が形成される
（図１（ｄ）参照）。同様にして、緑色６、青色７、白
色（透明）８の各カラーフィルターを順次形成する（図
１（ｅ）参照）。最後に、保護層９を形成して４色カラ
ーフィルターを得る（図１（ｆ）参照）。

【００１６】次に、本発明の第二の発明について説明す
る。本発明によれば、アライメントマークが形成された
基板上にスピンコート法によりカラーフィルター材料を
塗布してプリベークした後、カラーフィルター下地に形
成されたアライメントマーク上のカラーフィルター材料
に溶媒を吸収させ、次いで堅い物、例えば、ステンレス
へら，テフロンへら等で除去し、下地のアライメントマ
ークを露出させることにより、アライメント露光の精度
を高くし、自動化を容易にしようとするものである。

【００１７】この際に、カラーフィルター材料をプリベ
ーク後、溶媒処理をしないで、堅い物でこすり落とした
のでは、前述した様に、落とし残しや、アライメントマ
ークにキズをつけるなどの欠陥を発生させる為、溶媒、
例えば、アセトン，ＭＥＫ，ＮＭＰ，γ−ブチロラクト
ン等でウエット（Ｗｅｔ）状態にし、カラーフィルター
膜をやわらかくした後に、溶媒が乾燥する前に、こすり
落とすことにより、欠陥のないアライメントマークを露
出させることができる。

【００１８】次に、本発明の第三の発明について説明す
る。本発明によれば、アライメントマークが形成された
基板上にスピンコート法によりカラーフィルター材料を
塗布し、プリベークする前に前記アライメントマーク上
のカラーフィルター材料を除去することにより、アライ
メント時のアライメント精度及び自動化への道を開こう
とするものである。

【００１９】本発明においては、アライメントマーク上
のカラーフィルター材料を除去する方法として、カラー
フィルター材料を吸収できる材料にて部分的に押しつけ
ることにより除去する方法、スピンナー塗布した直後に
スピンヘッド上で除去する方法、カラーフィルター材料
を吸収できる材料を用いた回転式ローラーを押しつける
ことにより除去する方法等が挙げられる。

【００２０】また、上記と同様に、カラーフィルター材
料は感光性ポリアミド樹脂を主体とし、顔料を含有する
ものが好ましい。

【００２１】

【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明
する。

【００２２】実施例１図１に示す方法によりカラーフィルターを形成した。ま
ず、図１（ａ）に示すように、ガラス基板（板厚１．１
ｍｍ）１上にＣｒ膜を約１０００Åの膜厚に成膜した
後、フォトリソ工程により遮光層２及びアライメントマ
ーク３を形成した。その後、オフセット印刷によりアラ
イメントマーク３上に離型剤４を選択的に塗布した。印
刷機としては、オングストローマ印刷機（日本写真印刷
社製品）を、離型剤としてシリコン系離型剤（ＴＳＭ６
３０、東芝シリコーン社製品）を用いた。離型剤の膜厚
は３００Åとし、溶剤蒸発除去のためのベークは、クリ
ーンオーブン中で８０℃、１０分間行った。これらの工
程により、アライメントマーク上に離型層膜が形成され
た。

【００２３】次に、図１（ｂ）に示す様に、離型層膜が
形成された基板上に、カラーフィルター材料５ａとして
感光性着色樹脂（赤色）（リソコートＰＡ−１０１２
Ｒ、宇部興産社製）をスピンコート法により、１．６μ
ｍの膜厚に全面塗布した。この全面塗布を行なっても、
離型層膜上にはカラーフィルター膜は形成されず、アラ
イメントマークは、はっきりと見えていた。全面塗布後
のプリベークは、８０℃×１０分間、ホットプレート
（日本写真印刷社製）によりベークを行なった。その
後、マスクアライナー（タマラック社製）により、基板
とフォトマスクをアライメントマークを使って位置合せ
した（図１（Ｃ）参照）。先にも述べたように、アライ
メントマーク上にはカラーフィルター膜がないのでスム
ーズかつ正確なアライメントが可能である。

【００２４】このようにしてアライメントした後、３０
０ｍＪ／ｃｍ² のエネルギーでＵＶ露光を行ない、所望
の部分を光硬化させ、現像液に不溶なものとした。露光
後、専用現像液（ＰＡ−ＡＤ、宇部興産社製）を用い
て、未光硬化部分を溶解除去した後、ＩＰＡ（イソプロ
ピルアルコール）により、リンス処理を行った。そし
て、ポストベークは、クリーンオーブン中で２００℃×
１ｈｒ行った。これにより、第一色目の赤色カラーフィ
ルター５が形成された（図１（ｄ）参照）。

【００２５】同様にして、緑色層６、青色層７、白色
（透明）層８を順次形成した（図１（ｅ）参照）。感光
性着色樹脂材料としては、ＰＡ−１０１２Ｇ、ＰＡ１０
１２Ｂ、ＰＡ−１０００Ｃ（宇部興産社製）を用い、塗
布膜厚、露光エネルギー、ベーク温度は、赤色層と同一
である。尚、離型層膜は、初めに一度形成したものが、
最後まで効果を発揮した。

【００２６】最後に、保護膜の形成は、透明層と同一の
材料を用い、オフセット印刷（オングストローマ印刷機
日本写真印刷社製）により１．６μｍの膜厚に形成し
た。その後、８０℃×１０分間のプリベークを行ない、
ＵＶにより１０００ｍＪ／ｃｍ² のエネルギーで全面露
光した後、２５０℃×１ｈｒクリーンオーブン中で加熱
することにより４色カラーフィルターを得た（図１
（ｆ）参照）。

【００２７】実施例２図１に示す方法によりカラーフィルターを形成した。ま
ず、図１（ａ）に示すように、ガラス基板（板厚１．１
ｍｍ）１上にＣｒ膜を約１０００Åの膜厚に成膜した
後、フォトリソ工程により遮光層２及びアライメントマ
ーク３を形成した。その後、オフセット印刷によりアラ
イメントマーク３上に離型剤４を選択的に塗布した。印
刷機としては、オングストローマ印刷機（日本写真印刷
社製品）を、離型剤としてフッ素系離型剤（モールドス
パットＳ２０、旭硝子社製）を用いた。離型剤の膜厚は
３００Åとし、溶剤蒸発除去のためのベークは、クリー
ンオーブン中で８０℃、１０分間行った。これらの工程
により、アライメントマーク上に離型層膜が形成され
た。

【００２８】次に、図１（ｂ）に示す様に、離型層膜が
形成された基板上に、カラーフィルター材料５ａとして
感光性着色樹脂（赤色）（リソコートＰＡ−１０１２
Ｒ、宇部興産社製）をスピンコート法により、１．６μ
ｍの膜厚に全面塗布した。この全面塗布を行なっても、
離型層膜上にはカラーフィルター膜は形成されず、アラ
イメントマークは、はっきりと見えていた。全面塗布後
のプリベークは、８０℃×１０分間、ホットプレート
（日本写真印刷社製）によりベークを行なった。その
後、マスクアライナー（タマラック社製）により、基板
とフォトマスクをアライメントマークを使って位置合せ
した（図１（Ｃ）参照）。先にも述べたように、アライ
メントマーク上にはカラーフィルター膜がないのでスム
ーズかつ正確なアライメントが可能である。

【００２９】このようにしてアライメントした後、３０
０ｍＪ／ｃｍ² のエネルギーでＵＶ露光を行ない、所望
の部分を光硬化させ、現像液に不溶なものとした。露光
後、専用現像液（ＰＡ−ＡＤ、宇部興産社製）を用い
て、未光硬化部分を溶解除去した後、ＩＰＡ（イソプロ
ピルアルコール）により、リンス処理を行った。そし
て、ポストベークは、クリーンオーブン中で２００℃×
１ｈｒ行った。これにより、第一色目の赤色カラーフィ
ルター５が形成された（図１（ｄ）参照）。

【００３０】同様にして、緑色層６、青色層７、白色
（透明）層８を順次形成した（図１（ｅ）参照）。感光
性着色樹脂材料としては、ＰＡ−１０１２Ｇ、ＰＡ１０
１２Ｂ、ＰＡ−１０００Ｃ（宇部興産社製）を用い、塗
布膜厚、露光エネルギー、ベーク温度は、赤色層と同一
である。尚、離型層膜は、初めに一度形成したものが、
最後まで効果を発揮した。

【００３１】最後に、保護膜の形成は、透明層と同一の
材料を用い、オフセット印刷（オングストローマ印刷機
日本写真印刷社製）により１．６μｍの膜厚に形成し
た。その後、８０℃×１０分間のプリベークを行ない、
ＵＶにより１０００ｍＪ／ｃｍ² のエネルギーで全面露
光した後、２５０℃×１ｈｒクリーンオーブン中で加熱
することにより４色カラーフィルターを得た（図１
（ｆ）参照）。

【００３２】実施例３図２は本発明のカラーフィルターの製造方法の他の実施
例を示す説明図である。図２において，１１はガラス基
板、１２はアライメントマーク上に形成されたカラーフ
ィルター膜、１３はガラス基板上に形成されたアライメ
ントマーク、１４はアライメントマーク上に形成された
カラーフィルターをこすり落とす為の除去手段、１５は
カラーフィルターに溶媒を浸み込ませた部分である。

【００３３】金属アライメントマーク１３が形成された
ガラス基板１１上に、スピンナー塗布方法により、カラ
ーフィルター材料を約１．６μｍの厚さに形成した。こ
の塗布形成後、プリベークを行ない、塗布形成されたカ
ラーフィルター膜１２を乾燥状態にし、次にその塗布膜
に、アセトン溶媒をアライメントマー１３より少し大き
めのサイズに滴下して浸み込ませた。次に、除去手段１
４としてステンレスでできたへらを用いて、アライメン
トマーク１３上のカラーフィルター材料をこすり落と
た。溶媒が十分に浸み込んでいれば、こすり落とす際に
残渣が残らず、きれいな表面を持った下地のアライメン
トマークが露出した。

【００３４】この様な操作を必要なアライメントマーク
の回数だけ行ない、露光させたアライメントマークに露
光用マスクをアライメントし、必要なパターン部が形成
される様に露光した。次に、現像を行ない、パターニン
グし、ポストベークしてカラーフィルターを強固な膜に
した。Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）を形成する為に
は、同様な行程を形成する色の回数分行なう。

【００３５】この様な方法により形成されたカラーフィ
ルター基板は、下地に金属遮光膜がある場合は、それぞ
れの位置関係は精度良く形成され、また、遮光膜がなく
とも、各色間での相互の位置が適切に保たれた品質の良
いカラーフィルター基板を製造することができた。ま
た、本発明の方法により、アライメント自体も自動化で
き、歩留り向上、タクトの向上に大きく寄与することが
できる。

【００３６】実施例４図２の１１のガラス基板上に、Ｃｒ膜を約１０００Åの
厚さにスパッタ方法で形成し、フォトリソ方法によって
遮光パターンとアライメントマーク１３を形成した。こ
のガラス基板上に、カラーフィルター材料として、ＲＧ
Ｂ各々の顔料を含んだ感光性ポリアミドを主体としたカ
ラーフィルター材料の１つをスピンナー塗布方法におい
て全面塗布した。塗布後、約８０℃、１０分間程度でプ
リベークし、その後、ＮＭＰ（Ｎ−メチル−２−ピロリ
ドン）をアライメントマークより少し大きめに滴下し、
浸透した直後に堅い物でこすり落とした。ウエット（Ｗ
ｅｔ）の状態で落とすと、カラーフィルター材料は取れ
やすく残渣も残らない。この様にして、アライメントマ
ーク上のカラーフィルター材料を除去した後、露光機で
自動アライメントし、数百ｍＪの露光を行った。この
後、現像・リンスを行ないポストベークをし、必要なカ
ラーフィルターパターンを形成した。ＲＧＢ形成する為
には、同様な行程を形成する色の回数分行なう。

【００３７】この様な方法により形成されたカラーフィ
ルター基板は、下地に金属遮光膜がある場合は、それぞ
れの位置関係は精度良く形成され、また、遮光膜がなく
とも、各色間での相互の位置が適切に保たれた品質の良
いカラーフィルター基板を製造することができた。ま
た、本発明の方法により、アライメント自体も自動化で
き、歩留り向上、タクトの向上に大きく寄与することが
できる。

【００３８】実施例５図４は本発明のカラーフィルターの製造方法の他の実施
例を示す説明図である。図４において、２１はガラス基
板、２２は適切な厚みに形成したカラーフィルター材
料、２３は金属Ｃｒでできた厚み約８００Åのアライメ
ントマーク、２４は本発明の実施後のカラーフィルター
材料を除去した部分、２５はカラーフィルター材料を吸
収し、なおかつ回転しているカラーフィルター除去ヘッ
ドである。除去ヘッドの材料としてはゴミの出ない材料
が良く、例えばベルクリンやルビセルクリーン等の既知
の材料が用いられる。また、回転数は余り速くなく、吸
収したカラーフィルター材料が飛び散らない様に注意す
る必要がある。

【００３９】２１のガラス基板上に、Ｃｒ膜を約８００
Åの厚さにスパッタ方法で形成し、フォトリソ方法によ
って、遮光パターンとアライメントマーク２３を形成し
た。このガラス基板上に、カラーフィルター材料とし
て、ＲＧＢ各々の顔料を含んだ感光性ポリアミドを主体
としたカラーフィルター材料の１つををスピンナー塗布
方法において全面塗布した。この塗布した基板をスピン
ナーヘッドから取り出した後、該基板の位置決めを行な
った。位置決めセンサーは光学式の方が精度は良く、こ
の方法を用いるのが好ましい。次に、ベルクリンを主材
としたカラーフィルター吸収材を円筒形状に加工したカ
ラーフィルター除去ヘッド２５を６０ｒｐｍの回転数に
て回転させ静かに基板に押し付けた。

【００４０】この際に、除去ヘッドの数は必要数だけ同
時に押し付ける。また、ヘッドの数量によっては切換可
能な状況にし、新しいヘッドが直ちにセット出来る様に
しておく。上述のごとくカラーフィルター材を除去後、
プリベークを行ない露光機にて自動アライメントし、露
光を行った。この後、現像・リンスを行ないポストベー
クをし、必要なカラーフィルターパターンを形成した。
ＲＧＢ形成する為には、同様な行程を形成する色の回数
分行なう。

【００４１】この様な方法により形成されたカラーフィ
ルター基板は、下地に金属遮光膜がある場合は、それぞ
れの位置関係は精度良く形成され、また、遮光膜がなく
とも、各色間での相互の位置が適切に保たれた品質の良
いカラーフィルター基板を製造することができた。ま
た、本発明の方法により、アライメント自体も自動化で
き、歩留り向上、タクトの向上に大きく寄与することが
できる。

【００４２】実施例６実施例５と同様な工程において、カラーフィルター材料
を除去する工程をスピンナーヘッド上で行なった。通常
のインライン装置において、スピンナーヘッドの位置決
めを厳密に行なうことは困難ではなく、従って、カラー
フィルター材料の除去工程をスピンナーヘッド上で行な
うことは位置決め工程を１つ少なくすることができる。

【００４３】実施例７図５は本発明のカラーフィルターの製造方法の他の実施
例を示す説明図である。図５において、２１はガラス基
板、２２は適切な厚みに形成したカラーフィルター材
料、２３は金属Ｃｒでできた厚み約８００Åのアライメ
ントマーク、２５はカラーフィルター材料を吸収し、な
おかつ回転しているカラーフィルター除去ヘッドであ
る。ヘッド材料としてはゴミの出ない材料が良く、例え
ばベルクリンやルビセルクリーン等々既知の材料が用い
られる。また、回転数は余り速くなく、吸収した材料が
飛び散らない様に注意する必要がある。２６はヘッド部
を上下させる装置、２７は基板を固定させる装置であ
る。

【００４４】２１のガラス基板上に、Ｃｒ膜を約８００
Åの厚さにスパッタ方法で形成し、フォトリソ方法によ
って、遮光パターンとアライメントマーク２３を形成し
た。このガラス基板上に、カラーフィルター材料とし
て、ＲＧＢ各々の顔料を含んだ感光性ポリアミドを主体
としたカラーフィルター材料の１つををスピンナー塗布
方法において全面塗布した。この塗布した基板をスピン
ナーヘッドから取り出した後、該基板の位置決めを行な
った。位置決めセンサーは光学式の方が精度は良く、こ
の方法を用いるのが好ましい。次に、ベルクリンを主材
としたカラーフィルター吸収材を円筒形状に加工したカ
ラーフィルター除去ヘッド２５を６０ｒｐｍの回転数に
て回転させ静かに基板に押し付けた。

【００４５】この際に、除去ヘッドの数は必要数だけ同
時に押し付ける。または、ロールバーの様に基板の長さ
を持たせアライメントマークが形成されている基板端全
域に当ててもよい。前述の様なロールを用いてカラーフ
ィルターを除去する際には、実際の有効領域には回転方
向が向かない様な工夫も考慮に入れる必要がある。

【００４６】カラーフィルター材を除去後、プリベーク
を行ない露光機にて自動アライメントし、露光を行っ
た。この後、現像・リンスを行ないポストベークをし、
必要なカラーフィルターパターンを形成した。ＲＧＢ形
成する為には、同様な行程を形成する色の回数分行な
う。

【００４７】この様な方法により形成されたカラーフィ
ルター基板は、下地に金属遮光膜がある場合は、それぞ
れの位置関係は精度良く形成され、また、遮光膜がなく
とも、各色間での相互の位置が適切に保たれた品質の良
いカラーフィルター基板を製造することができた。ま
た、本発明の方法により、アライメント自体も自動化で
き、歩留り向上、タクトの向上に大きく寄与することが
できる。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、アライメントマー
ク上に離型剤を塗布し離型層膜を設けることにより、ア
ライメントがスムーズ、かつ正確にできるようになっ
た。又、オートアライメント機構も十分に使用すること
が可能となった。したがって、アライメント精度が向上
し、画素の重なりのない高品位のカラーフィルターが得
られる。同時にオートアライメント機構の有効利用によ
り、生産性が向上しコストダウンにつながる等の効果が
ある。

【００４９】また、本発明によれば、下地にアライメン
トマークが形成されている基板上に、カラーフィルター
材料をスピンナー塗布方法の様な特定領域を選択的に塗
布できない方法においては、塗布・プリベーク後に溶媒
を必要領域の近傍部に浸み込ませた後、カラーフィルタ
ー材料を堅い物でこすり取ることにより、アライメント
マーク上に残渣が残らず、アライメントマークを露光さ
せ、アライメント精度の向上、自動化等を達成できる様
になる効果がある。

【００５０】また、本発明によれば、カラーフィルター
材料をスピンナー塗布直後、アライメントマーク上のカ
ラーフィルター材料を除去することにより、精度良くア
ライメントが出来、しかも自動化できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカラーフィルターの製造方法の一例を
示す工程図である。

【図２】本発明のカラーフィルターの製造方法の他の実
施例を示す説明図である。

【図３】従来のカラーフィルターの製造方法を示す説明
図である。

【図４】本発明のカラーフィルターの製造方法の他の実
施例を示す説明図である。

【図５】本発明のカラーフィルターの製造方法の他の実
施例を示す説明図である。

【符号の説明】

１，１１，２１ガラス基板２遮光層３，１３，２３アライメントマーク４離型剤５赤色カラーフィルター５ａカラーフィルター材料（赤色）６緑色カラーフィルター７青色カラーフィルター８白色（透明）カラーフィルター９保護層１０フォトマスク１２カラーフィルター膜１４除去手段１５カラーフィルターに溶媒を浸み込ませた部分１６残渣２２カラーフィルター材料２４カラーフィルター除去部分２５カラーフィルター除去ヘッド２６除去ヘッド上下装置２７基板固定装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板上にスピンコート法によりカラーフ
ィルター材料を塗布し、フォトリソ工程を用いてパター
ニングするカラーフィルターの製造方法において、カラ
ーフィルター材料を塗布する前に、あらかじめ基板上に
設けられているアライメントマーク上に離型剤を塗布す
ることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【請求項２】前記離型剤がシリコン系またはフッ素系
の離型剤である請求項１記載のカラーフィルターの製造
方法。
【請求項３】前記カラーフィルター材料が感光性ポリ
アミド樹脂を主体とし、顔料を含有するものである請求
項１記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項４】アライメントマークが形成された基板上
にスピンコート法によりカラーフィルター材料を塗布
し、フォトリソ工程を用いてパターニングするカラーフ
ィルターの製造方法において、基板上にカラーフィルタ
ー材料を塗布してプリベークした後、アライメントマー
ク上のカラーフィルター材料に溶媒を吸収させ、次いで
こすり落としてアライメントマークを露出させることを
特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【請求項５】前記アライメントマーク上のカラーフィ
ルター材料に溶媒を吸収させ、該溶媒が乾燥する前にこ
すり落としてアライメントマークを露出させる請求項４
記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項６】アライメントマークが形成された基板上
にスピンコート法によりカラーフィルター材料を塗布
し、フォトリソ工程を用いてパターニングするカラーフ
ィルターの製造方法において、基板上にカラーフィルタ
ー材料を塗布し、プリベークする前に前記アライメント
マーク上のカラーフィルター材料を除去することを特徴
とするカラーフィルターの製造方法。
【請求項７】前記アライメントマーク上のカラーフィ
ルター材料を除去する手段が、カラーフィルター材料を
吸収できる材料にて部分的に押しつけることにより除去
する請求項６記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項８】前記アライメントマーク上のカラーフィ
ルター材料を除去する工程が、スピンナー塗布した直後
にスピンヘッド上で除去する請求項６記載のカラーフィ
ルターの製造方法。
【請求項９】前記アライメントマーク上のカラーフィ
ルター材料を除去する手段が、カラーフィルター材料を
吸収できる材料を用いた回転式ローラーを押しつけるこ
とにより除去する請求項６記載のカラーフィルターの製
造方法。
【請求項１０】前記カラーフィルター材料が感光性ポ
リアミド樹脂を主体とし、顔料を含有するものである請
求項６記載のカラーフィルターの製造方法。