JP5474304B2 - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
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Description
2 基板
3 R画素パターン
4 G画素パターン
5 B画素パターン
6 基板側アライメントマーク
7 ITO層
8 遮光層
8a ブラック層
8b ブラックインキ
9 薄肉部
9a 開口部
10 露光装置
11 基板保持手段
13 マスク保持手段
14 CCDカメラ
15 アライメント用光源
16 移動手段
17 制御手段
21 ブラック用マスク
21a マスク側アライメントマーク
23 レーザ発振器
23a ヘッド
31 カラーフィルター
32 基板
33 R画素パターン
34 G画素パターン
35 B画素パターン
36 基板側アライメントマーク
37 ITO層
38 遮光層
39 保護層
Claims (2)
- 基板を準備する工程と、
基板上にR画素パターンと、G画素パターンと、B画素パターンとを各々形成するとともに、R画素パターン、G画素パターン、およびB画素パターンのいずれかとともに基板側アライメントマークを形成する工程と、
R画素パターン、G画素パターン、B画素パターン、および基板側アライメントマーク上にITO層を形成する工程と、
ITO層上全面に、顔料と溶剤と接合性樹脂とからなるブラックインキを塗布してブラック層を形成する工程と、
形成されたブラック層をプリベークする工程と、
ブラック層がプリベークされた後、プリベークされたブラック層を冷却する工程と、
プリベークされたブラック層が冷却された後、プリベークされて冷却されたブラック層のうち、基板側アライメントマークに対応する部分にレーザ光を照射して、この部分のブラック層を除去して、薄肉部を形成する工程と、
ブラック層の薄肉部を介して外方へ現れる基板側アライメントマークと、ブラック用マスクのマスク側アライメントマークとを用いて、基板に対するブラック用マスクの位置決めを行なう工程と、
ブラック用マスクを介してブラック層を露光し、現像することにより、R画素パターンと、G画素パターンと、B画素パターンとの間に遮光層を形成する工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。 - ブラックインキの顔料は、カーボン微粒子、金属酸化物、無機顔料、有機顔料等の遮光性微粒子のうちいずれかの材料からなることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルターの製造方法。
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