JPH052142A - 光ビームの走査線偏位量検出方法および光ビーム走査装置 - Google Patents
光ビームの走査線偏位量検出方法および光ビーム走査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光ビームが正確に目標位置を走査することが
できるようにした比較的安価な光ビーム走査装置を提供
することにある。 【構成】 ビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂにより検出
したビーム位置データに基づいて予測総偏位量を演算
し、この予測総偏位量に基づいて補助偏向器３のピエゾ
素子３ｃを活性化することにより、主偏向器４により偏
向される光ビームが被記録体６上の目標位置を走査する
ようにしている。 【効果】 光偏向器は偏向面以外の面の加工に高い精度
を要求されず、また光ビームの走査位置を補正するため
の専用の検出器も必要としない。
できるようにした比較的安価な光ビーム走査装置を提供
することにある。 【構成】 ビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂにより検出
したビーム位置データに基づいて予測総偏位量を演算
し、この予測総偏位量に基づいて補助偏向器３のピエゾ
素子３ｃを活性化することにより、主偏向器４により偏
向される光ビームが被記録体６上の目標位置を走査する
ようにしている。 【効果】 光偏向器は偏向面以外の面の加工に高い精度
を要求されず、また光ビームの走査位置を補正するため
の専用の検出器も必要としない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、写真製版、複写、プ
リント基板作成等に用いる光ビーム走査装置、さらに詳
しくいえば所要の画像信号によって変調された光ビーム
を偏向して線順次に被走査面に投射する回転型あるいは
揺動型の光偏向器を備える光ビーム走査装置に関する。
発明はまた、光偏向器により偏向された光ビームが走査
される主走査方向に対し、これとほぼ垂直な副走査方向
に生じる走査線偏位量を検出する方法に関する。
リント基板作成等に用いる光ビーム走査装置、さらに詳
しくいえば所要の画像信号によって変調された光ビーム
を偏向して線順次に被走査面に投射する回転型あるいは
揺動型の光偏向器を備える光ビーム走査装置に関する。
発明はまた、光偏向器により偏向された光ビームが走査
される主走査方向に対し、これとほぼ垂直な副走査方向
に生じる走査線偏位量を検出する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知の光偏向器を備えた光ビーム走査装
置においては、光ビームを主走査方向に走査しつつ、主
走査方向にほぼ垂直な副走査方向に光ビーム及び被走査
面を相対的に移動して、感光材料などの被走査面を露光
している。このような光ビーム走査装置には、所要の画
像信号によって変調された光ビームを偏向し、線順次に
被走査面に投射する光偏向器が用いられている。この光
偏向器には、ポリゴンミラーやガルバノミラー、それに
ホログラムディスクを始めとする回転型あるいは揺動型
の光偏向器が採用される。
置においては、光ビームを主走査方向に走査しつつ、主
走査方向にほぼ垂直な副走査方向に光ビーム及び被走査
面を相対的に移動して、感光材料などの被走査面を露光
している。このような光ビーム走査装置には、所要の画
像信号によって変調された光ビームを偏向し、線順次に
被走査面に投射する光偏向器が用いられている。この光
偏向器には、ポリゴンミラーやガルバノミラー、それに
ホログラムディスクを始めとする回転型あるいは揺動型
の光偏向器が採用される。
【０００３】ところで、上記のような回転型あるいは揺
動型の光偏向器により被走査面上に光ビームを走査させ
る場合、この光ビームは光偏向器の定常偏位および非定
常偏位によって所定の目標位置から外れた位置を走査す
ることがある。例えばポリゴンミラーについて説明する
と、このポリゴンミラーの各偏向面は切削の精度誤差に
より必ずしも回転軸と平行でない部分を有しており、こ
の部分で光ビームが反射することで被走査面上で光ビー
ムの走査位置が目標位置から定常的に偏位する。また、
ポリゴンミラーを回転軸回りに回転させると、この回転
軸の軸ぶれにより設計上の回転軸に対する偏向面の角度
が非定常的に偏位し、それにより走査線も副走査方向に
非定常的に偏位する。なお、偏向面の規定姿勢に対する
偏位を面倒れといい、前述のような偏向面の切削の精度
誤差等による定常偏位を一般に静的面倒れと呼び、回転
軸の軸ぶれによる偏向面の非定常偏位を一般に動的面倒
れと呼んでいる。
動型の光偏向器により被走査面上に光ビームを走査させ
る場合、この光ビームは光偏向器の定常偏位および非定
常偏位によって所定の目標位置から外れた位置を走査す
ることがある。例えばポリゴンミラーについて説明する
と、このポリゴンミラーの各偏向面は切削の精度誤差に
より必ずしも回転軸と平行でない部分を有しており、こ
の部分で光ビームが反射することで被走査面上で光ビー
ムの走査位置が目標位置から定常的に偏位する。また、
ポリゴンミラーを回転軸回りに回転させると、この回転
軸の軸ぶれにより設計上の回転軸に対する偏向面の角度
が非定常的に偏位し、それにより走査線も副走査方向に
非定常的に偏位する。なお、偏向面の規定姿勢に対する
偏位を面倒れといい、前述のような偏向面の切削の精度
誤差等による定常偏位を一般に静的面倒れと呼び、回転
軸の軸ぶれによる偏向面の非定常偏位を一般に動的面倒
れと呼んでいる。
【０００４】上述したような走査線の位置ずれは複製画
像の品質不良を誘起するため、光ビームの走査位置は前
記所定の目標位置に一致するように補正する必要があ
る。こうした補正を行うようにした光ビーム走査装置
が、特開昭６２−１８３４２３号公報に開示されてい
る。ここに開示される光ビーム走査装置は、光ビームの
実際の走査位置と目標走査位置との副走査方向における
総偏位量を求め、この総偏位量に基づいて目標位置を走
査するように光ビームを副走査方向に偏向させるように
している。すなわち、図１１に示すように、まず回転軸
１００ｃを中心に回転する光偏向器１０１の反射面１０
１ａに検出用光源１００から検出用光ビーム１０２を投
射し、この検出用光ビーム１０２の反射光１０３のずれ
を位置検出器１０４により検出している。そして、この
検出値を回転時における光偏向器１０１の偏向面１０１
ｂの非定常偏位量ｂとしている。
像の品質不良を誘起するため、光ビームの走査位置は前
記所定の目標位置に一致するように補正する必要があ
る。こうした補正を行うようにした光ビーム走査装置
が、特開昭６２−１８３４２３号公報に開示されてい
る。ここに開示される光ビーム走査装置は、光ビームの
実際の走査位置と目標走査位置との副走査方向における
総偏位量を求め、この総偏位量に基づいて目標位置を走
査するように光ビームを副走査方向に偏向させるように
している。すなわち、図１１に示すように、まず回転軸
１００ｃを中心に回転する光偏向器１０１の反射面１０
１ａに検出用光源１００から検出用光ビーム１０２を投
射し、この検出用光ビーム１０２の反射光１０３のずれ
を位置検出器１０４により検出している。そして、この
検出値を回転時における光偏向器１０１の偏向面１０１
ｂの非定常偏位量ｂとしている。
【０００５】一方、走査線１０５の走査開始点および走
査終了点にそれぞれ位置検出器１０６，１０７を配置
し、これらの位置検出器１０６，１０７により前記走査
開始点および走査終了点における副走査方向の光ビーム
位置ｃ，ｄを検出している。そして、位置検出器１０
６，１０７により検出された光ビーム位置ｃ，ｄから非
定常偏位量ｂを減算することにより、走査開始点および
走査終了点における副走査方向の定常偏位量ｅ，ｆを求
め、演算器１０８において定常偏位量ｅ，ｆに基づいて
直線補間により走査途中の定常偏位量ｇを演算してい
る。総偏位量はこの演算器１０８で演算した定常偏位量
ｇに非定常偏位量ｂを加算することにより求めている。
そして、この総偏位量ｇ＋ｂに基づいて、走査用光源１
０９と光偏向器１０１の間に設けた補正用偏向器１１０
を駆動することにより、総偏位量ｇ＋ｂを打ち消す方向
に光ビームを偏向させるようにしている。なお、図１１
において、１１１，１１２は光学系、１１３は補正用偏
向器１１０の駆動回路である。
査終了点にそれぞれ位置検出器１０６，１０７を配置
し、これらの位置検出器１０６，１０７により前記走査
開始点および走査終了点における副走査方向の光ビーム
位置ｃ，ｄを検出している。そして、位置検出器１０
６，１０７により検出された光ビーム位置ｃ，ｄから非
定常偏位量ｂを減算することにより、走査開始点および
走査終了点における副走査方向の定常偏位量ｅ，ｆを求
め、演算器１０８において定常偏位量ｅ，ｆに基づいて
直線補間により走査途中の定常偏位量ｇを演算してい
る。総偏位量はこの演算器１０８で演算した定常偏位量
ｇに非定常偏位量ｂを加算することにより求めている。
そして、この総偏位量ｇ＋ｂに基づいて、走査用光源１
０９と光偏向器１０１の間に設けた補正用偏向器１１０
を駆動することにより、総偏位量ｇ＋ｂを打ち消す方向
に光ビームを偏向させるようにしている。なお、図１１
において、１１１，１１２は光学系、１１３は補正用偏
向器１１０の駆動回路である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の光
ビーム走査装置では、総偏位量を得るのに必要な非定常
偏位量を検出するために、光偏向器１０１に偏向面１０
１ｂの他に検出用ビーム１０２を反射させるための反射
面１０１ａを形成することが必要となる。しかしなが
ら、反射面１０１ａの加工には高い精度が要求され、こ
のため光偏向器１０１のコストが高くなるという問題が
あった。また、上記公知の方法を採用した光ビーム走査
装置は、光偏向器１０１の反射面１０１ａに検出用光ビ
ームを投射する検出用光源１００等の光学系や光偏向器
１０１の反射面１０１ａで反射した反射光のずれを検出
する位置検出器１０４等、総偏位量を求めるために新た
な専用部品を必要とし、このことによって装置のコスト
が高くなるという問題もあった。
ビーム走査装置では、総偏位量を得るのに必要な非定常
偏位量を検出するために、光偏向器１０１に偏向面１０
１ｂの他に検出用ビーム１０２を反射させるための反射
面１０１ａを形成することが必要となる。しかしなが
ら、反射面１０１ａの加工には高い精度が要求され、こ
のため光偏向器１０１のコストが高くなるという問題が
あった。また、上記公知の方法を採用した光ビーム走査
装置は、光偏向器１０１の反射面１０１ａに検出用光ビ
ームを投射する検出用光源１００等の光学系や光偏向器
１０１の反射面１０１ａで反射した反射光のずれを検出
する位置検出器１０４等、総偏位量を求めるために新た
な専用部品を必要とし、このことによって装置のコスト
が高くなるという問題もあった。
【０００７】発明は上記のような事情に鑑みなされたも
のであって、走査に用いる偏向面以外に高い加工精度を
必要としない比較的安価な光偏向器を用いて行うことが
できる、光ビームの走査線偏位量検出方法を提供するこ
とを目的としている。
のであって、走査に用いる偏向面以外に高い加工精度を
必要としない比較的安価な光偏向器を用いて行うことが
できる、光ビームの走査線偏位量検出方法を提供するこ
とを目的としている。
【０００８】発明はまた、光偏向器の定常偏位による走
査線の定常偏位量もしくは光偏向器の回転軸の軸ぶれに
よる走査線の非定常偏位量を個別に検出することができ
る光ビームの走査線偏位量検出方法を提供することを目
的としている。
査線の定常偏位量もしくは光偏向器の回転軸の軸ぶれに
よる走査線の非定常偏位量を個別に検出することができ
る光ビームの走査線偏位量検出方法を提供することを目
的としている。
【０００９】発明の他の目的は、光ビームが走査される
主走査方向に対しこれと垂直な副走査方向に生じる走査
線偏位を補正できるにも拘らず、光偏向器を高価なもの
に変更する必要がなく且つ新たな専用部品が比較的少な
い光ビーム走査装置を提供することにある。
主走査方向に対しこれと垂直な副走査方向に生じる走査
線偏位を補正できるにも拘らず、光偏向器を高価なもの
に変更する必要がなく且つ新たな専用部品が比較的少な
い光ビーム走査装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する請求
項１の光ビームの走査線偏位量検出方法は、被記録体の
走査開始点および／または走査終了点で、光偏向器によ
り主走査方向に周期的に偏向された光ビームの副走査方
向のビーム位置データを複数個検出する工程と、検出し
たビーム位置データを平均化して、走査開始点および／
または走査終了点における前記光ビームの副走査方向の
定常偏位量を演算する工程と、を含むことを特徴として
いる。
項１の光ビームの走査線偏位量検出方法は、被記録体の
走査開始点および／または走査終了点で、光偏向器によ
り主走査方向に周期的に偏向された光ビームの副走査方
向のビーム位置データを複数個検出する工程と、検出し
たビーム位置データを平均化して、走査開始点および／
または走査終了点における前記光ビームの副走査方向の
定常偏位量を演算する工程と、を含むことを特徴として
いる。
【００１１】請求項２の光ビームの走査線偏位量検出方
法は、請求項１の光ビームの走査線偏位量検出方法にお
いて、複数のビーム位置データのそれぞれと各データに
対応する前記定常偏位量との差を演算して各ビーム位置
データ中の非定常偏位量を求める工程、をさらに備える
ことを特徴としている。
法は、請求項１の光ビームの走査線偏位量検出方法にお
いて、複数のビーム位置データのそれぞれと各データに
対応する前記定常偏位量との差を演算して各ビーム位置
データ中の非定常偏位量を求める工程、をさらに備える
ことを特徴としている。
【００１２】請求項３の光ビームの走査線偏位量検出方
法は、被記録体の走査開始点および／または走査終了点
で、光偏向器により主走査方向に周期的に偏向された光
ビームの副走査方向のビーム位置データを複数個検出す
る工程と、検出したビーム位置データと予め記憶された
前記光ビームの副走査方向の定常偏位量のデータとの差
に基づいて前記光ビームの副走査方向の非定常偏位量を
演算する工程と、を備えることを特徴としている。
法は、被記録体の走査開始点および／または走査終了点
で、光偏向器により主走査方向に周期的に偏向された光
ビームの副走査方向のビーム位置データを複数個検出す
る工程と、検出したビーム位置データと予め記憶された
前記光ビームの副走査方向の定常偏位量のデータとの差
に基づいて前記光ビームの副走査方向の非定常偏位量を
演算する工程と、を備えることを特徴としている。
【００１３】請求項４の光ビームの走査線偏位量検出方
法は、請求項２または３の光ビームの走査線偏位量検出
方法において、演算により求めた非定常偏位量から選択
した２以上の非定常偏位量に基づいて、外挿法により次
の走査周期における走査開始点および／または走査終了
点における前記光ビームの副走査方向の予測非定常偏位
量を求める過程、を備えることを特徴としている。
法は、請求項２または３の光ビームの走査線偏位量検出
方法において、演算により求めた非定常偏位量から選択
した２以上の非定常偏位量に基づいて、外挿法により次
の走査周期における走査開始点および／または走査終了
点における前記光ビームの副走査方向の予測非定常偏位
量を求める過程、を備えることを特徴としている。
【００１４】請求項５の光ビーム走査装置は、光偏向器
により光ビームを偏向させることにより光ビームを被走
査面の走査開始点から走査終了点に走査させる光ビーム
走査装置であって、前記光ビームの主走査方向とほぼ直
交する副走査方向への偏向量を調整する補正偏向手段
と、この補正偏向手段を駆動する駆動手段と、被走査面
の走査開始点および／または走査終了点に配設されて前
記光ビームの副走査方向の位置を検出するビーム位置検
出手段と、このビーム位置検出手段が検出したビーム位
置データを順次記憶する記憶手段と、記憶手段から読み
出した走査開始点および／または走査終了点における複
数のビーム位置データの平均値を演算する定常偏位量演
算手段と、前記複数のビーム位置データのそれぞれと各
データに対応する走査開始点および／または走査終了点
における前記定常偏位量との差を演算する非定常偏位量
演算手段と、この非定常偏位量演算手段により演算した
走査開始点および／または走査終了点における複数の非
定常偏位量に基づいて、次の走査時における非定常偏位
量を予測演算する予測非定常偏位量演算手段と、この予
測非定常偏位量演算手段により演算された非定常偏位量
に定常偏位量を加算して予測総偏位量を求める総偏位量
演算手段と、前記予測総偏位量に基づいて、光ビームが
被走査面上の目標位置を走査するように補正偏向手段を
駆動するための前記駆動手段用の駆動データを演算する
駆動データ演算手段と、を備えることを特徴としてい
る。
により光ビームを偏向させることにより光ビームを被走
査面の走査開始点から走査終了点に走査させる光ビーム
走査装置であって、前記光ビームの主走査方向とほぼ直
交する副走査方向への偏向量を調整する補正偏向手段
と、この補正偏向手段を駆動する駆動手段と、被走査面
の走査開始点および／または走査終了点に配設されて前
記光ビームの副走査方向の位置を検出するビーム位置検
出手段と、このビーム位置検出手段が検出したビーム位
置データを順次記憶する記憶手段と、記憶手段から読み
出した走査開始点および／または走査終了点における複
数のビーム位置データの平均値を演算する定常偏位量演
算手段と、前記複数のビーム位置データのそれぞれと各
データに対応する走査開始点および／または走査終了点
における前記定常偏位量との差を演算する非定常偏位量
演算手段と、この非定常偏位量演算手段により演算した
走査開始点および／または走査終了点における複数の非
定常偏位量に基づいて、次の走査時における非定常偏位
量を予測演算する予測非定常偏位量演算手段と、この予
測非定常偏位量演算手段により演算された非定常偏位量
に定常偏位量を加算して予測総偏位量を求める総偏位量
演算手段と、前記予測総偏位量に基づいて、光ビームが
被走査面上の目標位置を走査するように補正偏向手段を
駆動するための前記駆動手段用の駆動データを演算する
駆動データ演算手段と、を備えることを特徴としてい
る。
【００１５】請求項６の光ビーム走査装置は、請求項５
の光ビーム走査装置において、ビーム位置検出手段によ
り検出されたビーム位置データが、前記駆動手段により
補正偏向手段が駆動されているときに検出されたビーム
位置データである場合、このビーム位置データに補正偏
向手段を駆動するのに用いた対応する予測総偏位量を加
算するデータ補正手段をさらに備え、且つ前記定常偏位
量演算手段と非定常偏位量演算手段が前記データ補正手
段が演算した補正データをビーム位置データとして定常
偏位量と非定常偏位量とをそれぞれ演算すること、を特
徴としている。
の光ビーム走査装置において、ビーム位置検出手段によ
り検出されたビーム位置データが、前記駆動手段により
補正偏向手段が駆動されているときに検出されたビーム
位置データである場合、このビーム位置データに補正偏
向手段を駆動するのに用いた対応する予測総偏位量を加
算するデータ補正手段をさらに備え、且つ前記定常偏位
量演算手段と非定常偏位量演算手段が前記データ補正手
段が演算した補正データをビーム位置データとして定常
偏位量と非定常偏位量とをそれぞれ演算すること、を特
徴としている。
【００１６】請求項７の光ビーム走査装置は、光偏向器
により光ビームを主走査方向に周期的に偏向させること
により光ビームを被走査面の走査開始点から走査終了点
に走査させる光ビーム走査装置であって、光ビームの主
走査方向とほぼ直交する副走査方向への偏向量を調整す
る補正偏向手段と、この補正偏向手段を駆動する駆動手
段と、前記光偏向器による前記光ビームの副走査方向の
定常偏位量を表すデータを記憶した第１の記憶手段と、
被走査面の走査開始点および／または走査終了点に配設
されて前記光ビームの副走査方向の位置を検出するビー
ム位置検出手段と、このビーム位置検出手段が検出した
ビーム位置データを順次記憶する第２の記憶手段と、第
２の記憶手段から呼び出した走査開始点および／または
走査終了点における複数のビーム位置データのそれぞれ
と前記第１の記憶手段に記憶された定常偏位量を表すデ
ータとに基づいて、走査開始点および／または走査終了
点における前記光ビームの副走査方向の非定常偏位量を
演算する非定常偏位量演算手段と、この非定常偏位量演
算手段により演算した走査開始点および／または走査終
了点における複数の非定常偏位量に基づいて、次の走査
周期における非定常偏位量を予測演算する予測非定常偏
位量演算手段と、この予測非定常偏位量演算手段により
演算された非定常偏位量に定常偏位量を加算して総偏位
量を求める総偏位量演算手段と、前記予測総偏位量に基
づいて、光ビームが被走査面上の目標位置を走査するよ
うに補正偏向手段を駆動するための前記駆動手段用の駆
動データを演算する駆動データ演算手段と、を備えるこ
とを特徴としている。
により光ビームを主走査方向に周期的に偏向させること
により光ビームを被走査面の走査開始点から走査終了点
に走査させる光ビーム走査装置であって、光ビームの主
走査方向とほぼ直交する副走査方向への偏向量を調整す
る補正偏向手段と、この補正偏向手段を駆動する駆動手
段と、前記光偏向器による前記光ビームの副走査方向の
定常偏位量を表すデータを記憶した第１の記憶手段と、
被走査面の走査開始点および／または走査終了点に配設
されて前記光ビームの副走査方向の位置を検出するビー
ム位置検出手段と、このビーム位置検出手段が検出した
ビーム位置データを順次記憶する第２の記憶手段と、第
２の記憶手段から呼び出した走査開始点および／または
走査終了点における複数のビーム位置データのそれぞれ
と前記第１の記憶手段に記憶された定常偏位量を表すデ
ータとに基づいて、走査開始点および／または走査終了
点における前記光ビームの副走査方向の非定常偏位量を
演算する非定常偏位量演算手段と、この非定常偏位量演
算手段により演算した走査開始点および／または走査終
了点における複数の非定常偏位量に基づいて、次の走査
周期における非定常偏位量を予測演算する予測非定常偏
位量演算手段と、この予測非定常偏位量演算手段により
演算された非定常偏位量に定常偏位量を加算して総偏位
量を求める総偏位量演算手段と、前記予測総偏位量に基
づいて、光ビームが被走査面上の目標位置を走査するよ
うに補正偏向手段を駆動するための前記駆動手段用の駆
動データを演算する駆動データ演算手段と、を備えるこ
とを特徴としている。
【００１７】請求項８の光ビーム走査装置は、請求項７
の光ビーム走査装置において、ビーム位置検出手段によ
り検出されたビーム位置データが、前記駆動手段により
補正偏向手段が駆動されているときに検出されたビーム
位置データである場合、このビーム位置データに補正偏
向手段を駆動するのに用いた対応する予測総偏位量を加
算するデータ補正手段を備え、且つ前記非定常偏位量演
算手段が前記データ補正手段が演算した補正データをビ
ーム位置データとして非定常偏位量を演算すること、を
特徴としている。
の光ビーム走査装置において、ビーム位置検出手段によ
り検出されたビーム位置データが、前記駆動手段により
補正偏向手段が駆動されているときに検出されたビーム
位置データである場合、このビーム位置データに補正偏
向手段を駆動するのに用いた対応する予測総偏位量を加
算するデータ補正手段を備え、且つ前記非定常偏位量演
算手段が前記データ補正手段が演算した補正データをビ
ーム位置データとして非定常偏位量を演算すること、を
特徴としている。
【００１８】請求項９の光ビーム走査装置は、請求項５
乃至請求項８の光ビーム走査装置において、ビーム位置
検出手段が前記走査開始点と走査終了点の両方に設けら
れており、走査開始点の駆動データと走査終了点の駆動
データに基づいて走査途中の複数箇所の駆動データを補
間法により演算する走査途中部駆動データ演算手段をさ
らに備えていること、を特徴としている。
乃至請求項８の光ビーム走査装置において、ビーム位置
検出手段が前記走査開始点と走査終了点の両方に設けら
れており、走査開始点の駆動データと走査終了点の駆動
データに基づいて走査途中の複数箇所の駆動データを補
間法により演算する走査途中部駆動データ演算手段をさ
らに備えていること、を特徴としている。
【００１９】
【作用】請求項１によると、複数のビーム位置データを
平均化することによりこれらのビーム位置データに含ま
れていた非定常偏位量がキャンセルされ、走査線の定常
偏位量が求められる。
平均化することによりこれらのビーム位置データに含ま
れていた非定常偏位量がキャンセルされ、走査線の定常
偏位量が求められる。
【００２０】請求項２，３によると、過去に形成された
複数の走査線の各走査開始点および／または走査終了点
における非定常偏位量が、各走査開始点および／または
走査終了点における光ビームの位置のデータのみを用い
て演算される。
複数の走査線の各走査開始点および／または走査終了点
における非定常偏位量が、各走査開始点および／または
走査終了点における光ビームの位置のデータのみを用い
て演算される。
【００２１】請求項４によると、これから行われる次の
走査における前記走査開始点および／または走査終了点
における予測非定常偏位量を予め求めることができる。
予測非定常偏位量を求めるにあたって、検出する必要が
あるのは過去の走査における走査開始点および／または
走査終了点における光ビームの位置のデータのみであ
る。
走査における前記走査開始点および／または走査終了点
における予測非定常偏位量を予め求めることができる。
予測非定常偏位量を求めるにあたって、検出する必要が
あるのは過去の走査における走査開始点および／または
走査終了点における光ビームの位置のデータのみであ
る。
【００２２】請求項５，６によると、ビーム位置検出手
段により検出されるビーム位置データに基づいて過去の
定常偏位量と各走査毎の非定常偏位量が演算され、これ
らの定常偏位量と非定常偏位量から次の走査における走
査開始点および／または走査終了点における光ビームの
予測総偏位量が求められる。予測総偏位量に基づいて駆
動データ演算手段が演算した駆動データにより補正偏向
手段を駆動することで、補正偏向手段は光ビームが被走
査面上の目標位置を走査するようにこの光ビームを偏向
させる。
段により検出されるビーム位置データに基づいて過去の
定常偏位量と各走査毎の非定常偏位量が演算され、これ
らの定常偏位量と非定常偏位量から次の走査における走
査開始点および／または走査終了点における光ビームの
予測総偏位量が求められる。予測総偏位量に基づいて駆
動データ演算手段が演算した駆動データにより補正偏向
手段を駆動することで、補正偏向手段は光ビームが被走
査面上の目標位置を走査するようにこの光ビームを偏向
させる。
【００２３】請求項７，８によると、ビーム位置検出手
段により検出されるビーム位置データに基づいて各走査
毎の非定常偏位量が演算され、これらの非定常偏位量か
ら次の走査における走査開始点および／または走査終了
点における光ビームの予測総偏位量が求められる。予測
総偏位量に基づいて駆動データ演算手段が演算した駆動
データにより補正偏向手段を駆動することで、補正偏向
手段は光ビームが被走査面上の目標位置を走査するよう
にこの光ビームを偏向させる。
段により検出されるビーム位置データに基づいて各走査
毎の非定常偏位量が演算され、これらの非定常偏位量か
ら次の走査における走査開始点および／または走査終了
点における光ビームの予測総偏位量が求められる。予測
総偏位量に基づいて駆動データ演算手段が演算した駆動
データにより補正偏向手段を駆動することで、補正偏向
手段は光ビームが被走査面上の目標位置を走査するよう
にこの光ビームを偏向させる。
【００２４】請求項９によると、走査途中部駆動データ
演算手段において演算した駆動データで補正偏向手段を
駆動することにより、走査開始点から走査終了点に至る
走査途中の複数箇所においても光ビームを目標位置を走
査するように偏向させることができる。
演算手段において演算した駆動データで補正偏向手段を
駆動することにより、走査開始点から走査終了点に至る
走査途中の複数箇所においても光ビームを目標位置を走
査するように偏向させることができる。
【００２５】
【実施例】図１に発明の実施例による光ビーム走査装置
の概略構成を示している。この図１において、光源たる
レーザダイオード１からは画像信号発生回路１Ａから送
られる信号で変調されたレーザ光が発せられる。このレ
ーザ光はコリメータ２により平行光とされ、補助偏向器
３を介して主偏向器４に投射される。この主偏向器４は
ポリゴンミラーでなり、回転軸４ａを中心にφ方向に回
転することにより偏向面４ｂに投射された光ビームを偏
向させる。主偏向器４により偏向された光ビームは、ｆ
θレンズ等の走査レンズ５を介して被記録体６上を走査
する。本実施例においては、被記録体６はψ方向に回転
駆動され、このような被記録体６としては例えば感光ド
ラムや、感光フィルムが巻き回されたドラム等が適用さ
れる。主偏向器４が６面体のポリゴンミラー、すなわち
６つの偏向面４ｂを備えるポリゴンミラーである場合、
この主偏向器４が一回転する間に６本の走査線がトレー
スされることになる。また、上記走査線は、主偏向器４
による偏向で主走査を行うとともに、光ビームを投射す
る光学系と被記録体６との相対移動に伴って主走査方向
と交差する方向に副走査を行う。
の概略構成を示している。この図１において、光源たる
レーザダイオード１からは画像信号発生回路１Ａから送
られる信号で変調されたレーザ光が発せられる。このレ
ーザ光はコリメータ２により平行光とされ、補助偏向器
３を介して主偏向器４に投射される。この主偏向器４は
ポリゴンミラーでなり、回転軸４ａを中心にφ方向に回
転することにより偏向面４ｂに投射された光ビームを偏
向させる。主偏向器４により偏向された光ビームは、ｆ
θレンズ等の走査レンズ５を介して被記録体６上を走査
する。本実施例においては、被記録体６はψ方向に回転
駆動され、このような被記録体６としては例えば感光ド
ラムや、感光フィルムが巻き回されたドラム等が適用さ
れる。主偏向器４が６面体のポリゴンミラー、すなわち
６つの偏向面４ｂを備えるポリゴンミラーである場合、
この主偏向器４が一回転する間に６本の走査線がトレー
スされることになる。また、上記走査線は、主偏向器４
による偏向で主走査を行うとともに、光ビームを投射す
る光学系と被記録体６との相対移動に伴って主走査方向
と交差する方向に副走査を行う。
【００２６】ところで、補助偏向器３は、後述する駆動
制御手段１３により駆動制御されることで、コリメータ
２を介して投射された光ビームを上下方向すなわち副走
査方向に所定量偏向させることができる。図３に示すよ
うに、この補助偏向器３はベース部材３ａにミラー３ｂ
とピエゾ素子３ｃを装着してなる。ベース部材３ａは弾
性金属部材や合成樹脂材によりなり、底部３ａａの両端
からそれぞれ立ち上がる装着部３ａｂ，３ａｃを備える
ことにより側面視ほぼＵ字状に形成されている。底部３
ａａと一方の装着部３ａｂの繋ぎ目には薄肉のヒンジ部
３ａｄが形成されており、このヒンジ部３ａｄを中心に
して装着部３ａｂは前後方向に揺動することができる。
装着部３ａｂと装着部３ａｃの間にピエゾ素子３ｃが介
設されると共に、装着部３ａｂの外壁面にミラー３ｂが
装着されている。以上の構成において、ピエゾ素子３ｃ
に対して駆動電圧を印加することによりミラー３ｂをヒ
ンジ部３ａｂを中心として微小回転変位させることがで
きる。すなわち、コリメータ２を介して投射された光ビ
ームをミラー３ｂにより反射させて主偏向器４に到達す
るようにしておくことにより、ミラー３ｂを微小回転変
位させることで光ビームを上下すなわち副走査方向に偏
向させることができる。
制御手段１３により駆動制御されることで、コリメータ
２を介して投射された光ビームを上下方向すなわち副走
査方向に所定量偏向させることができる。図３に示すよ
うに、この補助偏向器３はベース部材３ａにミラー３ｂ
とピエゾ素子３ｃを装着してなる。ベース部材３ａは弾
性金属部材や合成樹脂材によりなり、底部３ａａの両端
からそれぞれ立ち上がる装着部３ａｂ，３ａｃを備える
ことにより側面視ほぼＵ字状に形成されている。底部３
ａａと一方の装着部３ａｂの繋ぎ目には薄肉のヒンジ部
３ａｄが形成されており、このヒンジ部３ａｄを中心に
して装着部３ａｂは前後方向に揺動することができる。
装着部３ａｂと装着部３ａｃの間にピエゾ素子３ｃが介
設されると共に、装着部３ａｂの外壁面にミラー３ｂが
装着されている。以上の構成において、ピエゾ素子３ｃ
に対して駆動電圧を印加することによりミラー３ｂをヒ
ンジ部３ａｂを中心として微小回転変位させることがで
きる。すなわち、コリメータ２を介して投射された光ビ
ームをミラー３ｂにより反射させて主偏向器４に到達す
るようにしておくことにより、ミラー３ｂを微小回転変
位させることで光ビームを上下すなわち副走査方向に偏
向させることができる。
【００２７】図１に示すように、被記録体６の両側に
は、走査開始点と走査終了点に対応する位置にそれぞれ
ビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂが配設されている。こ
れらのビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂは、各センサ７
Ａ，７Ｂ上の光スポット、すなわち走査線の始端と終端
における光スポットの副走査方向の位置を、走査目標位
置からの位置変位に応じた検出信号として出力する。
は、走査開始点と走査終了点に対応する位置にそれぞれ
ビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂが配設されている。こ
れらのビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂは、各センサ７
Ａ，７Ｂ上の光スポット、すなわち走査線の始端と終端
における光スポットの副走査方向の位置を、走査目標位
置からの位置変位に応じた検出信号として出力する。
【００２８】図４はビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂの
受光面の具体例を示している。図４に示すように、この
ビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂは、下半分の幅が上半
分の幅よりも広い正面視Ｌ字型の受光面を有する半導体
受光素子によりなり、上下の境界線が目標走査線ＴＬに
合致するように設けられている。このようなビーム位置
検出センサ７Ａ，７Ｂにより出力される位置検出信号を
図５に示している。この図５に示すように、主走査方向
において目標走査線ＴＬよりも下側にのみ受光面を有す
る部分７ｂを光ビームが通過する時刻ｔ ｂにおける位置
検出信号のレベルは、目標走査線ＴＬの上下に受光面を
有する部分７ａを光ビームが通過する時刻ｔ ａにおける
位置検出信号のレベルよりも低下する。そして、光ビー
ムの中心が目標走査線ＴＬから上下どれだけ離れた位置
を通過するかによって、時刻ｔ ｂにおける位置検出信号
のレベルは変化する。すなわち、図４に破線Ｙで示すよ
うに、光ビームの中心が目標走査線上ＴＬを通過した場
合には、図５（ｂ）に示すように、時刻ｔ ｂにおける位
置検出信号のレベルは時刻ｔ ａにおけるレベルに比べ半
分のレベルとなる。また、図４に破線Ｘで示すように、
光ビームが目標走査線ＴＬよりも上方を通過したとき
は、図５（ａ）に示すように、時刻ｔ ｂにおける位置検
出信号のレベルは、時刻ｔ ａにおけるレベルの半分未満
になると共に光ビームの通過位置に応じて変動する。さ
らに、図４に破線Ｚで示すように、光ビームが目標走査
線ＴＬよりも下方を通過したときは、図５（ｃ）に示す
ように、時刻ｔ ｂにおける位置検出信号のレベルは、時
刻ｔ ａにおけるレベルの半分よりも大きくなると共に光
ビームの通過位置に応じて変動する。以上から明らかな
ように、図４の光ビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂを用
いた場合には、時刻ｔ ｂにおける位置検出信号のレベル
によりビーム位置を知ることができる。但し、光ビーム
位置検出センサ７Ａ，７Ｂは必ずしも図４のような構成
のものでなくてもよい。
受光面の具体例を示している。図４に示すように、この
ビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂは、下半分の幅が上半
分の幅よりも広い正面視Ｌ字型の受光面を有する半導体
受光素子によりなり、上下の境界線が目標走査線ＴＬに
合致するように設けられている。このようなビーム位置
検出センサ７Ａ，７Ｂにより出力される位置検出信号を
図５に示している。この図５に示すように、主走査方向
において目標走査線ＴＬよりも下側にのみ受光面を有す
る部分７ｂを光ビームが通過する時刻ｔ ｂにおける位置
検出信号のレベルは、目標走査線ＴＬの上下に受光面を
有する部分７ａを光ビームが通過する時刻ｔ ａにおける
位置検出信号のレベルよりも低下する。そして、光ビー
ムの中心が目標走査線ＴＬから上下どれだけ離れた位置
を通過するかによって、時刻ｔ ｂにおける位置検出信号
のレベルは変化する。すなわち、図４に破線Ｙで示すよ
うに、光ビームの中心が目標走査線上ＴＬを通過した場
合には、図５（ｂ）に示すように、時刻ｔ ｂにおける位
置検出信号のレベルは時刻ｔ ａにおけるレベルに比べ半
分のレベルとなる。また、図４に破線Ｘで示すように、
光ビームが目標走査線ＴＬよりも上方を通過したとき
は、図５（ａ）に示すように、時刻ｔ ｂにおける位置検
出信号のレベルは、時刻ｔ ａにおけるレベルの半分未満
になると共に光ビームの通過位置に応じて変動する。さ
らに、図４に破線Ｚで示すように、光ビームが目標走査
線ＴＬよりも下方を通過したときは、図５（ｃ）に示す
ように、時刻ｔ ｂにおける位置検出信号のレベルは、時
刻ｔ ａにおけるレベルの半分よりも大きくなると共に光
ビームの通過位置に応じて変動する。以上から明らかな
ように、図４の光ビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂを用
いた場合には、時刻ｔ ｂにおける位置検出信号のレベル
によりビーム位置を知ることができる。但し、光ビーム
位置検出センサ７Ａ，７Ｂは必ずしも図４のような構成
のものでなくてもよい。
【００２９】図６はビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂの
変形例を示している。この図６のビーム位置検出センサ
７Ａ，７Ｂは、半導体受光素子７１，７２を、目標走査
線ＴＬを境にしてその上下に配置することによって構成
され、半導体受光素子７１，７２の出力信号の差が位置
検出信号となる。図７は、上記図６のビーム位置検出セ
ンサ７Ａ，７Ｂにより出力される位置検出信号を示して
いる。光ビームの光量分布がガウス分布であれば、図６
に破線Ｙ′で示すように光ビームの中心が目標走査線Ｔ
Ｌ上を通過した場合には、半導体受光素子７１，７２の
出力信号が同じであるので、図７（ｂ）に示すように位
置検出信号は雰である。また、図６に破線Ｘ′で示すよ
うに、光ビームが目標走査線ＴＬよりも上方を通過した
ときは、半導体受光素子７１の出力信号が半導体受光素
子７２の出力信号よりも大きくなり、図７（ａ）に示す
ように、位置検出信号はプラス側の領域で光ビームの通
過位置に応じて変動する。さらに、図６に破線Ｚ′で示
すように、光ビームが目標走査線ＴＬよりも下方を通過
したときは、半導体受光素子７２の出力信号が半導体受
光素子７１の出力信号よりも大きくなり、図７（ｃ）に
示すように、位置検出信号はマイナス側の領域で光ビー
ムの通過位置に応じて変動する。
変形例を示している。この図６のビーム位置検出センサ
７Ａ，７Ｂは、半導体受光素子７１，７２を、目標走査
線ＴＬを境にしてその上下に配置することによって構成
され、半導体受光素子７１，７２の出力信号の差が位置
検出信号となる。図７は、上記図６のビーム位置検出セ
ンサ７Ａ，７Ｂにより出力される位置検出信号を示して
いる。光ビームの光量分布がガウス分布であれば、図６
に破線Ｙ′で示すように光ビームの中心が目標走査線Ｔ
Ｌ上を通過した場合には、半導体受光素子７１，７２の
出力信号が同じであるので、図７（ｂ）に示すように位
置検出信号は雰である。また、図６に破線Ｘ′で示すよ
うに、光ビームが目標走査線ＴＬよりも上方を通過した
ときは、半導体受光素子７１の出力信号が半導体受光素
子７２の出力信号よりも大きくなり、図７（ａ）に示す
ように、位置検出信号はプラス側の領域で光ビームの通
過位置に応じて変動する。さらに、図６に破線Ｚ′で示
すように、光ビームが目標走査線ＴＬよりも下方を通過
したときは、半導体受光素子７２の出力信号が半導体受
光素子７１の出力信号よりも大きくなり、図７（ｃ）に
示すように、位置検出信号はマイナス側の領域で光ビー
ムの通過位置に応じて変動する。
【００３０】図１の光ビーム走査装置はさらに、アンプ
８Ａ，８Ｂ、Ａ／Ｄ変換器９Ａ，９Ｂ、記憶手段１０
Ａ，１０Ｂ、プロセッサ１１、Ｄ／Ａ変換器１２および
駆動制御手段１３を備えている。
８Ａ，８Ｂ、Ａ／Ｄ変換器９Ａ，９Ｂ、記憶手段１０
Ａ，１０Ｂ、プロセッサ１１、Ｄ／Ａ変換器１２および
駆動制御手段１３を備えている。
【００３１】アンプ８Ａ，８Ｂは、上記図４あるいは図
６に示すようなビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂより出
力される位置検出信号を増幅する。
６に示すようなビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂより出
力される位置検出信号を増幅する。
【００３２】Ａ／Ｄ変換器９Ａ，９Ｂは、アンプ８Ａ，
８Ｂが出力したアナログ信号をディジタル化し、記憶手
段１０Ａ，１０Ｂに送出する。
８Ｂが出力したアナログ信号をディジタル化し、記憶手
段１０Ａ，１０Ｂに送出する。
【００３３】記憶手段１０Ａ，１０Ｂは、Ａ／Ｄ変換器
９Ａ，９Ｂが出力したディジタル信号、すなわち走査線
開始点および終了点におけるビーム位置データを順次記
憶する。この記憶手段１０Ａ，１０Ｂは、記憶したビー
ム位置データが所定数に達すると、新しいビーム位置デ
ータを入力する毎に最も古いビーム位置データを順次除
去してゆく。
９Ａ，９Ｂが出力したディジタル信号、すなわち走査線
開始点および終了点におけるビーム位置データを順次記
憶する。この記憶手段１０Ａ，１０Ｂは、記憶したビー
ム位置データが所定数に達すると、新しいビーム位置デ
ータを入力する毎に最も古いビーム位置データを順次除
去してゆく。
【００３４】プロセッサ１１は、記憶手段１０Ａ，１０
Ｂからビーム位置データを読み込み、これらのビーム位
置データに基づいて、次の走査中に補助偏向器３を駆動
させるための駆動データを演算し、光ビームの主走査に
同期して出力する。なお、このプロセッサ１１の詳細な
構成は後述する。
Ｂからビーム位置データを読み込み、これらのビーム位
置データに基づいて、次の走査中に補助偏向器３を駆動
させるための駆動データを演算し、光ビームの主走査に
同期して出力する。なお、このプロセッサ１１の詳細な
構成は後述する。
【００３５】Ｄ／Ａ変換器１２は、プロセッサ１１が出
力したディジタル駆動データをアナログ駆動信号に変換
して駆動制御手段１３に送出する。
力したディジタル駆動データをアナログ駆動信号に変換
して駆動制御手段１３に送出する。
【００３６】駆動制御手段１３は、入力したアナログ駆
動信号に応じた駆動電圧を補助偏向器３の駆動源たるピ
エゾ素子３ｃに印加する。
動信号に応じた駆動電圧を補助偏向器３の駆動源たるピ
エゾ素子３ｃに印加する。
【００３７】プロセッサ１１は、図２に示すように、ビ
ーム位置データを補正するデータ補正手段２０、各偏向
面４ｂの切削誤差によって生じた静的面倒れ量すなわち
定常偏位量を演算する定常偏位量演算手段２１、主偏向
器４の回転に伴う軸ぶれによって生じた動的面倒れ量す
なわち非定常偏位量を演算する非定常偏位量演算手段２
２、つぎの走査時における動的面倒れの予測量を演算す
る予測非定常偏位量演算手段２３、つぎの走査時におけ
る総面倒れ量すなわち予測総偏位量を演算する予測総偏
位量演算手段２４および補助偏向器３を駆動するための
駆動データを演算する駆動データ演算手段２５を備えて
いる。
ーム位置データを補正するデータ補正手段２０、各偏向
面４ｂの切削誤差によって生じた静的面倒れ量すなわち
定常偏位量を演算する定常偏位量演算手段２１、主偏向
器４の回転に伴う軸ぶれによって生じた動的面倒れ量す
なわち非定常偏位量を演算する非定常偏位量演算手段２
２、つぎの走査時における動的面倒れの予測量を演算す
る予測非定常偏位量演算手段２３、つぎの走査時におけ
る総面倒れ量すなわち予測総偏位量を演算する予測総偏
位量演算手段２４および補助偏向器３を駆動するための
駆動データを演算する駆動データ演算手段２５を備えて
いる。
【００３８】データ補正手段２０は、記憶手段１０Ａ，
１０Ｂにそれぞれ記憶されたビーム位置データを駆動制
御手段１３による補助偏向器３のミラー３ｂの変位状態
に応じて補正し、補正ビーム位置データを形成する。そ
れは、補助偏向器３のミラー３ｂが既に変位している場
合には、記憶手段１０Ａ，１０Ｂの中に記憶されている
各ビーム位置データが偏向面４ｂの面倒れ量そのもので
はなく、この面倒れ量からミラー３ｂの変位による走査
位置補正量を差引いたものとなっていることに起因して
いる。すなわち、真の面倒れ量を把握するには、記憶手
段１０Ａ，１０Ｂの中の各ビーム位置データのほかに、
既にミラー３ｂの変位によって補償された偏位量をも考
慮し、これらを加算しておかねばならないわけである。
具体的には、このデータ補正手段２０は、記憶手段１０
Ａ，１０Ｂにそれぞれ記憶された各ビーム位置データ
に、後述する予測総偏位量演算手段２４で演算される、
それぞれのビーム位置データに応じた予測総偏位量を加
算する。記憶手段１０Ａまたは１０Ｂに記憶されたビー
ム位置データをｄ ｋ、このビーム位置データｄ ｋに対応
する予測総偏位量をＰ ｋとすると、補正ビーム位置デー
タｒ ｋは数１の式で演算される。
１０Ｂにそれぞれ記憶されたビーム位置データを駆動制
御手段１３による補助偏向器３のミラー３ｂの変位状態
に応じて補正し、補正ビーム位置データを形成する。そ
れは、補助偏向器３のミラー３ｂが既に変位している場
合には、記憶手段１０Ａ，１０Ｂの中に記憶されている
各ビーム位置データが偏向面４ｂの面倒れ量そのもので
はなく、この面倒れ量からミラー３ｂの変位による走査
位置補正量を差引いたものとなっていることに起因して
いる。すなわち、真の面倒れ量を把握するには、記憶手
段１０Ａ，１０Ｂの中の各ビーム位置データのほかに、
既にミラー３ｂの変位によって補償された偏位量をも考
慮し、これらを加算しておかねばならないわけである。
具体的には、このデータ補正手段２０は、記憶手段１０
Ａ，１０Ｂにそれぞれ記憶された各ビーム位置データ
に、後述する予測総偏位量演算手段２４で演算される、
それぞれのビーム位置データに応じた予測総偏位量を加
算する。記憶手段１０Ａまたは１０Ｂに記憶されたビー
ム位置データをｄ ｋ、このビーム位置データｄ ｋに対応
する予測総偏位量をＰ ｋとすると、補正ビーム位置デー
タｒ ｋは数１の式で演算される。
【００３９】
【数１】
【００４０】後述の説明から明らかとなるが、ミラー３
ｂを変位させていない場合に検出されたビーム位置デー
タｄ ｋに対応する予測総偏位量Ｐ ｋは０であり、この場
合ビーム位置データｄ ｋはそのままの値で補正ビーム位
置データｒ ｋとしてこのデータ補正手段２０から出力さ
れる。
ｂを変位させていない場合に検出されたビーム位置デー
タｄ ｋに対応する予測総偏位量Ｐ ｋは０であり、この場
合ビーム位置データｄ ｋはそのままの値で補正ビーム位
置データｒ ｋとしてこのデータ補正手段２０から出力さ
れる。
【００４１】定常偏位量演算手段２１は、複数の補正ビ
ーム位置データを平均化することで、前記主偏向器４の
各偏向面４ｂにより偏向された光ビームの走査開始点お
よび走査終了点における所定の目標走査位置からの定常
偏位量を求める。例えば、第１〜第６の偏向面４ｂを有
する主偏向器４が５回転する間に検出されるビーム位置
データの数は、各データが各偏向面４ｂの走査開始点と
走査終了点でそれぞれ検出されることにより計６０個と
なる。これらのビーム位置データｄ1 〜ｄ60に基づいて
得られる補正ビーム位置データｒ1 〜ｒ60を用いて第１
の偏向面４ｂによる走査開始点の定常偏位量Ｓ1 を求め
る式は、補正ビーム位置データｒ1 、ｒ13、ｒ25、
ｒ37、ｒ49を平均化する数２の式となる。
ーム位置データを平均化することで、前記主偏向器４の
各偏向面４ｂにより偏向された光ビームの走査開始点お
よび走査終了点における所定の目標走査位置からの定常
偏位量を求める。例えば、第１〜第６の偏向面４ｂを有
する主偏向器４が５回転する間に検出されるビーム位置
データの数は、各データが各偏向面４ｂの走査開始点と
走査終了点でそれぞれ検出されることにより計６０個と
なる。これらのビーム位置データｄ1 〜ｄ60に基づいて
得られる補正ビーム位置データｒ1 〜ｒ60を用いて第１
の偏向面４ｂによる走査開始点の定常偏位量Ｓ1 を求め
る式は、補正ビーム位置データｒ1 、ｒ13、ｒ25、
ｒ37、ｒ49を平均化する数２の式となる。
【００４２】
【数２】
【００４３】また、第１の偏向面４ｂの走査終了点の定
常偏位量Ｓ2 を求める式は、補正ビーム位置データ
ｒ2 、ｒ14、ｒ26、ｒ38、ｒ50を平均化する数３の式と
なる。
常偏位量Ｓ2 を求める式は、補正ビーム位置データ
ｒ2 、ｒ14、ｒ26、ｒ38、ｒ50を平均化する数３の式と
なる。
【００４４】
【数３】
【００４５】このように平均化により定常偏位量を演算
するのは次のような理由による。すなわち、個々の補正
ビーム位置データには、前記定常偏位分と非定常偏位分
とが含まれている。このうち、非定常偏位は主偏向器４
の回転に伴って周期的に変化する。すなわち、非定常偏
位は通常主偏向器４の回転軸回りに秒（角度）オーダで
正弦波状に変化し、これに伴って走査開始点および走査
終了点の変化にも規則性が生じる。したがって、各走査
開始点もしくは走査終了点における多数の補正ビーム位
置データを平均化した値は非定常偏位をキャンセルした
値、すなわち定常偏位量に近似する。なお、上記数１お
よび数２では簡便のために５個の補正ビーム位置データ
を用いて定常偏位量を求めているに過ぎないが、もちろ
ん、平均化に用いる補正ビーム位置データの数が多いほ
ど平均化により得た定常偏位量の精度は高まる。実用的
には、数千個オーダの補正ビーム位置データを用いるこ
とによってほぼ正確な定常偏位量を得ることができる。
ここで得た定常偏位量は、少なくともその演算に用いた
補正ビーム位置データの元となるビーム位置データを検
出した期間において一定と見なされる。
するのは次のような理由による。すなわち、個々の補正
ビーム位置データには、前記定常偏位分と非定常偏位分
とが含まれている。このうち、非定常偏位は主偏向器４
の回転に伴って周期的に変化する。すなわち、非定常偏
位は通常主偏向器４の回転軸回りに秒（角度）オーダで
正弦波状に変化し、これに伴って走査開始点および走査
終了点の変化にも規則性が生じる。したがって、各走査
開始点もしくは走査終了点における多数の補正ビーム位
置データを平均化した値は非定常偏位をキャンセルした
値、すなわち定常偏位量に近似する。なお、上記数１お
よび数２では簡便のために５個の補正ビーム位置データ
を用いて定常偏位量を求めているに過ぎないが、もちろ
ん、平均化に用いる補正ビーム位置データの数が多いほ
ど平均化により得た定常偏位量の精度は高まる。実用的
には、数千個オーダの補正ビーム位置データを用いるこ
とによってほぼ正確な定常偏位量を得ることができる。
ここで得た定常偏位量は、少なくともその演算に用いた
補正ビーム位置データの元となるビーム位置データを検
出した期間において一定と見なされる。
【００４６】非定常偏位量演算手段２２は、定常偏位量
演算手段２１において用いた補正ビーム位置データか
ら、この定常偏位量演算手段２１で演算された定常偏位
量を減算することで、主偏向器４の各偏向面４ｂにより
偏向された光ビームの走査開始点および走査終了点にお
ける各走査毎の非定常偏位量を求める。例えば、定常偏
位量Ｓ1 を求めるために用いた補正ビーム位置データｒ
1 、ｒ13、ｒ25、ｒ37、ｒ49からそれぞれ定常偏位量Ｓ
1 を減算することにより、第１の偏向面４ｂによる走査
開始点の非定常偏位量ａ1 、ａ13、ａ25、ａ37、ａ49を
演算する（例えば、ａ1 ＝ｒ1 −Ｓ1 ）。また、定常偏
位量Ｓ2 を求めるために用いた補正ビーム位置データｒ
2 、ｒ14、ｒ26、ｒ38、ｒ50からそれぞれ定常偏位量Ｓ
2を減算することにより、第１の偏向面４ｂの走査終了
点の非定常偏位量ａ2 、ａ14、ａ26、ａ38、ａ50を演算
する（例えば、ａ2 ＝ｒ2 −Ｓ2 ）。同様にして、第２
〜第６の偏向面４ｂの走査開始点および走査終了点にお
ける各補正ビーム位置データに対応する非定常偏位量を
演算する。すなわち、全ての補正ビーム位置データｒ1
〜ｒ60に対応する非定常偏位量ａ1 〜ａ60を演算する。
演算手段２１において用いた補正ビーム位置データか
ら、この定常偏位量演算手段２１で演算された定常偏位
量を減算することで、主偏向器４の各偏向面４ｂにより
偏向された光ビームの走査開始点および走査終了点にお
ける各走査毎の非定常偏位量を求める。例えば、定常偏
位量Ｓ1 を求めるために用いた補正ビーム位置データｒ
1 、ｒ13、ｒ25、ｒ37、ｒ49からそれぞれ定常偏位量Ｓ
1 を減算することにより、第１の偏向面４ｂによる走査
開始点の非定常偏位量ａ1 、ａ13、ａ25、ａ37、ａ49を
演算する（例えば、ａ1 ＝ｒ1 −Ｓ1 ）。また、定常偏
位量Ｓ2 を求めるために用いた補正ビーム位置データｒ
2 、ｒ14、ｒ26、ｒ38、ｒ50からそれぞれ定常偏位量Ｓ
2を減算することにより、第１の偏向面４ｂの走査終了
点の非定常偏位量ａ2 、ａ14、ａ26、ａ38、ａ50を演算
する（例えば、ａ2 ＝ｒ2 −Ｓ2 ）。同様にして、第２
〜第６の偏向面４ｂの走査開始点および走査終了点にお
ける各補正ビーム位置データに対応する非定常偏位量を
演算する。すなわち、全ての補正ビーム位置データｒ1
〜ｒ60に対応する非定常偏位量ａ1 〜ａ60を演算する。
【００４７】予測非定常偏位量演算手段２３は、同一偏
向面の次の走査における走査開始点および走査終了点の
予測非定常偏位量を演算する。すなわち、非定常偏位演
算手段２２により演算した複数の非定常偏位量から２以
上の非定常偏位量を選択し、この選択した非定常偏位量
を用いた予測演算式により予測非定常偏位量を演算す
る。選択する非定常偏位量は、時間的に等間隔で検出し
たビーム位置データに対応するものである。また、予測
非定常偏位量が発生する予定時刻と選択した非定常偏位
量のうち最新の非定常偏位量に対応するビーム位置デー
タの検出時刻との間の時間的間隔も、他の選択した非定
常偏位量に対応するビーム位置データの検出時刻間と等
間隔である。予測演算は直線補間もしくは関数補間によ
る外挿法で行う。数４は、過去の３つの非定常偏位量β
１、β ２、β ３から予測非定常偏位量ａ ｎを予測演算す
る場合の演算式の一例である。
向面の次の走査における走査開始点および走査終了点の
予測非定常偏位量を演算する。すなわち、非定常偏位演
算手段２２により演算した複数の非定常偏位量から２以
上の非定常偏位量を選択し、この選択した非定常偏位量
を用いた予測演算式により予測非定常偏位量を演算す
る。選択する非定常偏位量は、時間的に等間隔で検出し
たビーム位置データに対応するものである。また、予測
非定常偏位量が発生する予定時刻と選択した非定常偏位
量のうち最新の非定常偏位量に対応するビーム位置デー
タの検出時刻との間の時間的間隔も、他の選択した非定
常偏位量に対応するビーム位置データの検出時刻間と等
間隔である。予測演算は直線補間もしくは関数補間によ
る外挿法で行う。数４は、過去の３つの非定常偏位量β
１、β ２、β ３から予測非定常偏位量ａ ｎを予測演算す
る場合の演算式の一例である。
【００４８】
【数４】
【００４９】この数４は前記のようにして選択された非
定常偏位量β １、β ２、β ３を離散形式の二次関数で補
間することにより予測非定常偏位量ａ ｎを求めるもので
ある。例えば、過去に６０個のビーム位置データｄ1 〜
ｄ60を検出した後で、第１の偏向面４ｂによる次の走査
線の走査開始点における予測非定常偏位量ａ61を求める
場合、第１の偏向面４ｂの走査開始点による過去の３つ
の非定常偏位量ａ25、ａ 37、ａ49を選択して数４の式を
適用すれば、
定常偏位量β １、β ２、β ３を離散形式の二次関数で補
間することにより予測非定常偏位量ａ ｎを求めるもので
ある。例えば、過去に６０個のビーム位置データｄ1 〜
ｄ60を検出した後で、第１の偏向面４ｂによる次の走査
線の走査開始点における予測非定常偏位量ａ61を求める
場合、第１の偏向面４ｂの走査開始点による過去の３つ
の非定常偏位量ａ25、ａ 37、ａ49を選択して数４の式を
適用すれば、
【００５０】
【数５】
【００５１】となる。また、第１の偏向面４ｂによる次
の走査線の走査終了点における予測非定常偏位量ａ62を
求める場合、第１の偏向面４ｂの走査終了点による過去
の３つの非定常偏位量ａ26、ａ38、ａ50を選択して数４
の式を適用すれば、
の走査線の走査終了点における予測非定常偏位量ａ62を
求める場合、第１の偏向面４ｂの走査終了点による過去
の３つの非定常偏位量ａ26、ａ38、ａ50を選択して数４
の式を適用すれば、
【００５２】
【数６】
【００５３】となる。
【００５４】前述したように、数４において予測非定常
偏位量ａ ｎおよびこの予測非定常偏位量ａ ｎを求めるた
めに用いる過去の非定常偏位量は、順次時間的に等間隔
で配列されるものである。但し、例えば第１の偏向面４
ｂによる次の走査線の走査開始点における予測非定常偏
位量ａ61を求める数５に用いる過去の非定常偏位量が、
必ずしも第１の偏向面４ｂによる走査開始点の非定常偏
位量である必要はない。すなわち、各偏向面による走査
開始点の非定常偏位量は等間隔で検出したビーム位置デ
ータに対応するものであるから、これら過去の全ての各
偏向面による走査開始点の非定常偏位量が数５に用いる
過去の非定常偏位量として採用されうる。これらの過去
の非定常偏位量からどの非定常偏位量を選択するかは、
これらの非定常偏位量の変位状態を示す周波数特性によ
って異なる。すなわち、図８（ａ）に示すように非定常
偏位量の変位状態を示す周波数特性が比較的低周波であ
る場合に選択する非定常偏位量β １、β ２、β ３の間隔
に比べ、図８（ｂ）に示すように非定常偏位量の変位状
態を示す周波数特性が比較的高周波である場合に選択す
る非定常偏位量β １、β ２、β ３の間隔は小さくする。
このような非定常偏位量の周波数特性はあらかじめ実験
的に測定しておくことによって知ることが可能である。
好ましくは、数４の式に用いる非定常偏位量β １、β
２、β ３は、図８（ａ），（ｂ）に示す非定常偏位量β
１、β ２、β ３のように、直前の１／２周期に含まれる
非定常偏位量の中から選択するのがよい。
偏位量ａ ｎおよびこの予測非定常偏位量ａ ｎを求めるた
めに用いる過去の非定常偏位量は、順次時間的に等間隔
で配列されるものである。但し、例えば第１の偏向面４
ｂによる次の走査線の走査開始点における予測非定常偏
位量ａ61を求める数５に用いる過去の非定常偏位量が、
必ずしも第１の偏向面４ｂによる走査開始点の非定常偏
位量である必要はない。すなわち、各偏向面による走査
開始点の非定常偏位量は等間隔で検出したビーム位置デ
ータに対応するものであるから、これら過去の全ての各
偏向面による走査開始点の非定常偏位量が数５に用いる
過去の非定常偏位量として採用されうる。これらの過去
の非定常偏位量からどの非定常偏位量を選択するかは、
これらの非定常偏位量の変位状態を示す周波数特性によ
って異なる。すなわち、図８（ａ）に示すように非定常
偏位量の変位状態を示す周波数特性が比較的低周波であ
る場合に選択する非定常偏位量β １、β ２、β ３の間隔
に比べ、図８（ｂ）に示すように非定常偏位量の変位状
態を示す周波数特性が比較的高周波である場合に選択す
る非定常偏位量β １、β ２、β ３の間隔は小さくする。
このような非定常偏位量の周波数特性はあらかじめ実験
的に測定しておくことによって知ることが可能である。
好ましくは、数４の式に用いる非定常偏位量β １、β
２、β ３は、図８（ａ），（ｂ）に示す非定常偏位量β
１、β ２、β ３のように、直前の１／２周期に含まれる
非定常偏位量の中から選択するのがよい。
【００５５】なお、上記の説明では、数４の式に用いる
非定常偏位量β １、β ２、β ３を例えば数５の式の非定
常偏位量ａ25、ａ37、ａ49のように個々の走査開始点も
しくは走査終了点の非定常偏位量としている。しかし、
検出ノイズを排除するために、こうした個々の非定常偏
位量、例えば非定常偏位量ａ25、ａ37、ａ49とそれぞれ
の前後の非定常偏位量により加重平均を演算し、この加
重平均値を数４に用いる非定常偏位量β １、β ２、β ３
としてもよい。下記の数７〜９は上記のような加重平均
値としての非定常偏位量β １、β ２、β ３を求める演算
式の一例である。
非定常偏位量β １、β ２、β ３を例えば数５の式の非定
常偏位量ａ25、ａ37、ａ49のように個々の走査開始点も
しくは走査終了点の非定常偏位量としている。しかし、
検出ノイズを排除するために、こうした個々の非定常偏
位量、例えば非定常偏位量ａ25、ａ37、ａ49とそれぞれ
の前後の非定常偏位量により加重平均を演算し、この加
重平均値を数４に用いる非定常偏位量β １、β ２、β ３
としてもよい。下記の数７〜９は上記のような加重平均
値としての非定常偏位量β １、β ２、β ３を求める演算
式の一例である。
【００５６】
【数７】
【００５７】
【数８】
【００５８】
【数９】
【００５９】また、上記数４は、図９（ａ）に示すよう
に過去の３つの非定常偏位量β １、β ２、β ３を２次曲
線で補間することにより、次の走査における予測非定常
偏位量を求めるものであったが、この予測非定常偏位量
演算手段２３では、過去の非定常偏位量を１次曲線（直
線）で補間することにより予測非定常偏位量を求めても
良いし、３次以上の曲線で補間することにより予測非定
常偏位量を求めても良い。下記の数１０は、図９（ｂ）
に示すように過去の非定常偏位量α １、α ２を直線で補
間することにより予測非定常偏位量ａ ｎを求める演算
式、また数１１は図９（ｃ）に示すように過去の非定常
偏位量γ １、γ ２、γ ３、γ ４を３次曲線で補間するこ
とにより予測非定常偏位量ａ ｎを求める演算式である。
に過去の３つの非定常偏位量β １、β ２、β ３を２次曲
線で補間することにより、次の走査における予測非定常
偏位量を求めるものであったが、この予測非定常偏位量
演算手段２３では、過去の非定常偏位量を１次曲線（直
線）で補間することにより予測非定常偏位量を求めても
良いし、３次以上の曲線で補間することにより予測非定
常偏位量を求めても良い。下記の数１０は、図９（ｂ）
に示すように過去の非定常偏位量α １、α ２を直線で補
間することにより予測非定常偏位量ａ ｎを求める演算
式、また数１１は図９（ｃ）に示すように過去の非定常
偏位量γ １、γ ２、γ ３、γ ４を３次曲線で補間するこ
とにより予測非定常偏位量ａ ｎを求める演算式である。
【００６０】
【数１０】
【００６１】
【数１１】
【００６２】但し、数１０および数１１のいずれの場合
も数３の場合と同様、予測非定常偏位量ａ ｎを求めるた
めに用いる過去の非定常偏位量α １、α ２およびγ １、
γ ２、γ ３、γ ４は、予測非定常偏位量ａ ｎも含め、順
次時間的に等間隔で配列されるものを選択することを条
件としている。
も数３の場合と同様、予測非定常偏位量ａ ｎを求めるた
めに用いる過去の非定常偏位量α １、α ２およびγ １、
γ ２、γ ３、γ ４は、予測非定常偏位量ａ ｎも含め、順
次時間的に等間隔で配列されるものを選択することを条
件としている。
【００６３】以上のように、この予測非定常偏位量演算
手段２３は、上記数４、数１０あるいは数１１から選択
される数式の演算を実行することにより、次の走査にお
ける予測非定常偏位量を求める。過去の非定常偏位量は
全て走査開始点もしくは走査終了点において検出したビ
ーム位置データに対応するものであるから、上記数４、
数１０あるいは数１１のいずれの数式を用いて演算され
る予測非定常偏位量も、次の走査の走査開始点もしくは
走査終了点の予測非定常偏位量となる。
手段２３は、上記数４、数１０あるいは数１１から選択
される数式の演算を実行することにより、次の走査にお
ける予測非定常偏位量を求める。過去の非定常偏位量は
全て走査開始点もしくは走査終了点において検出したビ
ーム位置データに対応するものであるから、上記数４、
数１０あるいは数１１のいずれの数式を用いて演算され
る予測非定常偏位量も、次の走査の走査開始点もしくは
走査終了点の予測非定常偏位量となる。
【００６４】予測総偏位量演算手段２４は、次の走査の
走査開始点および走査終了点における予測総偏位量を演
算する。走査途中の任意点における走査線の総偏位量は
非定常偏位量と定常偏位量の和である。すなわち、この
予測総偏位量演算手段２４は、次の走査の予測総偏位量
を、予測非定常偏位量演算手段２３により求めた予測非
定常偏位量と定常偏位量演算手段２１により求めた定常
偏位量の和として求める。例えば、前述の補正ビーム位
置データｒ1 〜ｒ60を得た走査の後の最初走査の走査開
始点および走査終了点における予測総偏位量Ｐ61、Ｐ62
は、予測非定常偏位量演算手段２３が演算した予測非定
常偏位量ａ61、ａ62（数５および数６）と定常偏位量演
算手段２１が演算した定常偏位量Ｓ １、Ｓ2 （数１およ
び数２）を用いることにより、数１２または数１３の式
で求める。
走査開始点および走査終了点における予測総偏位量を演
算する。走査途中の任意点における走査線の総偏位量は
非定常偏位量と定常偏位量の和である。すなわち、この
予測総偏位量演算手段２４は、次の走査の予測総偏位量
を、予測非定常偏位量演算手段２３により求めた予測非
定常偏位量と定常偏位量演算手段２１により求めた定常
偏位量の和として求める。例えば、前述の補正ビーム位
置データｒ1 〜ｒ60を得た走査の後の最初走査の走査開
始点および走査終了点における予測総偏位量Ｐ61、Ｐ62
は、予測非定常偏位量演算手段２３が演算した予測非定
常偏位量ａ61、ａ62（数５および数６）と定常偏位量演
算手段２１が演算した定常偏位量Ｓ １、Ｓ2 （数１およ
び数２）を用いることにより、数１２または数１３の式
で求める。
【００６５】
【数１２】
【００６６】
【数１３】
【００６７】駆動データ演算手段２５は、次の走査時に
おいて補助偏向器３のミラー３ｂを変位させるための駆
動データを演算し、この駆動データをＤ／Ａ変換器１２
に送出する。この駆動データ演算装置２５が演算する駆
動データは、つぎの走査における走査開始点と走査終了
点の各駆動データと、走査開始点と走査終了点の間の走
査途中における複数点の駆動データである。
おいて補助偏向器３のミラー３ｂを変位させるための駆
動データを演算し、この駆動データをＤ／Ａ変換器１２
に送出する。この駆動データ演算装置２５が演算する駆
動データは、つぎの走査における走査開始点と走査終了
点の各駆動データと、走査開始点と走査終了点の間の走
査途中における複数点の駆動データである。
【００６８】駆動データ演算手段２５が演算する走査開
始点と走査終了点の各駆動データは、予測総偏位量演算
手段２４で演算された走査開始点および走査終了点の予
測総偏位量を零にするように補助偏向器３のミラー３ｂ
を回転変位させるデータである。すなわち、この駆動デ
ータを入力した駆動制御手段１３は、予測総偏位量演算
手段２４で演算された走査開始点における走査線の予測
総偏位量が＋ｙであった場合、被記録体６上の光ビーム
が−ｙだけ副走査方向に偏向するように補助偏向器３の
ピエゾ素子３ｃを駆動する。
始点と走査終了点の各駆動データは、予測総偏位量演算
手段２４で演算された走査開始点および走査終了点の予
測総偏位量を零にするように補助偏向器３のミラー３ｂ
を回転変位させるデータである。すなわち、この駆動デ
ータを入力した駆動制御手段１３は、予測総偏位量演算
手段２４で演算された走査開始点における走査線の予測
総偏位量が＋ｙであった場合、被記録体６上の光ビーム
が−ｙだけ副走査方向に偏向するように補助偏向器３の
ピエゾ素子３ｃを駆動する。
【００６９】また、駆動データ演算手段２５は、走査開
始点と走査終了点の間すなわち走査途中の複数点の駆動
データを、走査開始点における駆動データと走査終了点
における駆動データに基づいて補間法により演算する。
この場合、例えば主偏向器４がこの実施例のようにポリ
ゴンミラーであると、このポリゴンミラーの偏光面４ｂ
の偏位により発生する走査線の副走査方向の偏位は面偏
位量に関する３角関数で表される偏位となる。このた
め、走査開始点と走査終了点の駆動データの補間は関数
補間とすることが好ましい。但し、主偏向器の種類が異
なる場合や誤差が許容範囲である場合には直線補間によ
り走査途中の駆動データを演算するようにしていてもよ
い。
始点と走査終了点の間すなわち走査途中の複数点の駆動
データを、走査開始点における駆動データと走査終了点
における駆動データに基づいて補間法により演算する。
この場合、例えば主偏向器４がこの実施例のようにポリ
ゴンミラーであると、このポリゴンミラーの偏光面４ｂ
の偏位により発生する走査線の副走査方向の偏位は面偏
位量に関する３角関数で表される偏位となる。このた
め、走査開始点と走査終了点の駆動データの補間は関数
補間とすることが好ましい。但し、主偏向器の種類が異
なる場合や誤差が許容範囲である場合には直線補間によ
り走査途中の駆動データを演算するようにしていてもよ
い。
【００７０】以上のように、プロセッサ１１は、データ
補正手段２０、定常偏位量演算手段２１、非定常偏位量
演算手段２２、予測非定常偏位量演算手段２３、予測総
偏位量演算手段２４および駆動データ演算手段２５によ
り、補助偏向器３を変位させるための駆動データを形成
する。
補正手段２０、定常偏位量演算手段２１、非定常偏位量
演算手段２２、予測非定常偏位量演算手段２３、予測総
偏位量演算手段２４および駆動データ演算手段２５によ
り、補助偏向器３を変位させるための駆動データを形成
する。
【００７１】次に、以上のようにしてなる光ビーム走査
装置により行う光ビーム走査線の定常偏位量および非定
常偏位量を検出する工程、予測非定常偏位量、予測総偏
位量および駆動データを演算する工程を説明する。
装置により行う光ビーム走査線の定常偏位量および非定
常偏位量を検出する工程、予測非定常偏位量、予測総偏
位量および駆動データを演算する工程を説明する。
【００７２】まず、この光ビーム走査装置を起動するま
での状態においては、記憶手段１０Ａ，１０Ｂはリセッ
ト状態にある。すなわち、光ビームの走査偏位量を検出
するためのいかなるデータも蓄積されていない。
での状態においては、記憶手段１０Ａ，１０Ｂはリセッ
ト状態にある。すなわち、光ビームの走査偏位量を検出
するためのいかなるデータも蓄積されていない。
【００７３】この状態で光ビーム走査装置を起動させる
と、主偏向器４の単位時間当りの回転数が一定回転数に
達した後に記憶手段１０Ａ，１０Ｂのリセットが解除さ
れ、ビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂの検出信号に基づ
いて演算された各走査毎の走査開始点と走査終了点のビ
ーム位置データが順次これら記憶手段１０Ａ，１０Ｂに
記憶されて行く。これらの記憶手段１０Ａ，１０Ｂに順
次記憶されるビーム位置データが所定数に達するまでは
プロセッサ１１は演算を開始しない。プロセッサ１１が
演算を開始するまでに記憶手段１０Ａ，１０Ｂが蓄積す
るビーム位置データの数をいくらにするか、すなわち主
偏向器４を何回転させるかは任意である。但し、前述し
たように、定常偏位量演算手段２１で演算する定常偏位
量の精度を実用上望ましいレベルとするためには、各走
査開始点および走査終了点毎に数千個オーダのビーム位
置データを蓄積することが好ましい。記憶手段１０Ａ，
１０Ｂに所定数のビーム位置データを蓄積するまでの助
走期間中は、プロッサ１１はＤ／Ａ変換器１２に一定の
駆動データを出力する。したがって、この助走期間中
は、駆動制御手段１３は補助偏向器３のピエゾ素子３ｂ
を活性化する駆動電圧を印加せず、補助偏向器３のミラ
ー３ｂの角度は固定されている。すなわち、ビーム位置
検出センサ７Ａ，７Ｂはミラー３ｂの角度が固定された
状態で光ビームの走査開始点と走査終了点の位置変位に
応じた検出信号を出力する。なお、補助偏向器３のミラ
ー３ｂは、主偏向器４の偏向面４ｂが定常的にも非定常
的にも偏位しないとした場合に、走査開始点および走査
終了点で光ビームが目標位置を通過するように固定され
ている。
と、主偏向器４の単位時間当りの回転数が一定回転数に
達した後に記憶手段１０Ａ，１０Ｂのリセットが解除さ
れ、ビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂの検出信号に基づ
いて演算された各走査毎の走査開始点と走査終了点のビ
ーム位置データが順次これら記憶手段１０Ａ，１０Ｂに
記憶されて行く。これらの記憶手段１０Ａ，１０Ｂに順
次記憶されるビーム位置データが所定数に達するまでは
プロセッサ１１は演算を開始しない。プロセッサ１１が
演算を開始するまでに記憶手段１０Ａ，１０Ｂが蓄積す
るビーム位置データの数をいくらにするか、すなわち主
偏向器４を何回転させるかは任意である。但し、前述し
たように、定常偏位量演算手段２１で演算する定常偏位
量の精度を実用上望ましいレベルとするためには、各走
査開始点および走査終了点毎に数千個オーダのビーム位
置データを蓄積することが好ましい。記憶手段１０Ａ，
１０Ｂに所定数のビーム位置データを蓄積するまでの助
走期間中は、プロッサ１１はＤ／Ａ変換器１２に一定の
駆動データを出力する。したがって、この助走期間中
は、駆動制御手段１３は補助偏向器３のピエゾ素子３ｂ
を活性化する駆動電圧を印加せず、補助偏向器３のミラ
ー３ｂの角度は固定されている。すなわち、ビーム位置
検出センサ７Ａ，７Ｂはミラー３ｂの角度が固定された
状態で光ビームの走査開始点と走査終了点の位置変位に
応じた検出信号を出力する。なお、補助偏向器３のミラ
ー３ｂは、主偏向器４の偏向面４ｂが定常的にも非定常
的にも偏位しないとした場合に、走査開始点および走査
終了点で光ビームが目標位置を通過するように固定され
ている。
【００７４】記憶手段１０Ａ，１０ｂに所定数のビーム
位置データが蓄積された時点で、プロセッサ１１は以下
の演算を行い、主偏向器４によって偏向する光ビームが
被記録体６上の目標位置を通過するために必要な駆動デ
ータを形成する。
位置データが蓄積された時点で、プロセッサ１１は以下
の演算を行い、主偏向器４によって偏向する光ビームが
被記録体６上の目標位置を通過するために必要な駆動デ
ータを形成する。
【００７５】まず、データ補正手段２０によりビーム位
置データを補正ビーム位置データに変換する。但し、前
記助走期間に記憶装置に蓄積されたビーム位置データは
補助偏向器３のミラー３ｂが変位していない状態で検出
されたものであり、したがって、所定数のビーム位置デ
ータが蓄積された後でこのデータ補正手段２０が行う最
初の演算において得られる補正ビーム位置データは元の
ビーム位置データと同じである。
置データを補正ビーム位置データに変換する。但し、前
記助走期間に記憶装置に蓄積されたビーム位置データは
補助偏向器３のミラー３ｂが変位していない状態で検出
されたものであり、したがって、所定数のビーム位置デ
ータが蓄積された後でこのデータ補正手段２０が行う最
初の演算において得られる補正ビーム位置データは元の
ビーム位置データと同じである。
【００７６】次に、定常偏位量演算手段２１により、主
偏向器４の偏向面４ｂ毎の走査開始点および走査終了点
の定常偏位量を演算する。なお、このようにして演算し
た定常偏位量は、この主偏向器４固有の定常偏位量、す
なわち各偏向面４ｂを形成する際の切削誤差等による走
査線の偏位量として記録し且つ記憶させておくことがで
きる。
偏向器４の偏向面４ｂ毎の走査開始点および走査終了点
の定常偏位量を演算する。なお、このようにして演算し
た定常偏位量は、この主偏向器４固有の定常偏位量、す
なわち各偏向面４ｂを形成する際の切削誤差等による走
査線の偏位量として記録し且つ記憶させておくことがで
きる。
【００７７】次に、非定常偏位量演算手段２２により、
記憶手段１０Ａ，１０Ｂに蓄積した所定数のビーム位置
データに対応する非定常偏位量、すなわち主偏向器４の
軸ぶれによる偏位量を演算する。このようにして演算し
た非定常偏位量を記録することにより、各走査開始点お
よび走査終了点における過去の非定常偏位量のデータを
得ることができる。
記憶手段１０Ａ，１０Ｂに蓄積した所定数のビーム位置
データに対応する非定常偏位量、すなわち主偏向器４の
軸ぶれによる偏位量を演算する。このようにして演算し
た非定常偏位量を記録することにより、各走査開始点お
よび走査終了点における過去の非定常偏位量のデータを
得ることができる。
【００７８】図１および図２の光ビーム走査装置は以上
のようにして過去の走査における定常偏位量と非定常偏
位量を検出する。
のようにして過去の走査における定常偏位量と非定常偏
位量を検出する。
【００７９】この光ビーム走査装置は次に、予測非定常
偏位量演算手段２３により次の走査における走査開始点
と走査終了点における非定常偏位量の予測値を演算す
る。
偏位量演算手段２３により次の走査における走査開始点
と走査終了点における非定常偏位量の予測値を演算す
る。
【００８０】次に、予測総偏位量演算手段２４により、
次の走査における走査開始点と走査終了点における予測
総偏位量、すなわち予測非定常偏位量演算手段２３にお
いて演算した予測非定常偏位量と定常偏位量演算手段２
１において演算した定常偏位量の和を求める。
次の走査における走査開始点と走査終了点における予測
総偏位量、すなわち予測非定常偏位量演算手段２３にお
いて演算した予測非定常偏位量と定常偏位量演算手段２
１において演算した定常偏位量の和を求める。
【００８１】次に、駆動データ演算手段２５により、次
の走査の走査開始点と走査終了点において光ビームが目
標位置を通過するのに必要な駆動データを演算する。ま
た、駆動データ演算手段２５により、先に演算した走査
開始点と走査終了点における駆動データを補間すること
で、走査開始点と走査終了点の間の複数箇所、すなわち
走査途中の複数箇所の駆動データを演算する。
の走査の走査開始点と走査終了点において光ビームが目
標位置を通過するのに必要な駆動データを演算する。ま
た、駆動データ演算手段２５により、先に演算した走査
開始点と走査終了点における駆動データを補間すること
で、走査開始点と走査終了点の間の複数箇所、すなわち
走査途中の複数箇所の駆動データを演算する。
【００８２】次に、駆動データ演算手段２５は駆動デー
タを光ビームの主走査に同期して出力し、駆動制御手段
１３により補助偏向器３のピエゾ素子３ｂに印加する。
このようにして光ビームを走査させながら走査開始点か
ら走査終了点に至る複数位置で駆動データに基づいてピ
エゾ素子３ｂを活性化することで、各位置において光ビ
ームの走査線が目標位置を通過するように補助偏向器３
のミラー３ｂの角度が回転変位される。
タを光ビームの主走査に同期して出力し、駆動制御手段
１３により補助偏向器３のピエゾ素子３ｂに印加する。
このようにして光ビームを走査させながら走査開始点か
ら走査終了点に至る複数位置で駆動データに基づいてピ
エゾ素子３ｂを活性化することで、各位置において光ビ
ームの走査線が目標位置を通過するように補助偏向器３
のミラー３ｂの角度が回転変位される。
【００８３】この光ビーム走査装置では、以上のように
して補助偏向器３のミラー３ｂを変位させた状態で光ビ
ームを走査させている時にも、走査開始点と走査終了点
においてビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂによって順次
光ビームによる光スポットの位置変位を検出し、記憶手
段１０Ａ，１０Ｂにビーム位置データとして記憶してゆ
く。前述したように、これらの記憶手段１０Ａ，１０Ｂ
は新しいしビーム位置データが記憶される毎に最も古い
ビーム位置データを順次除去してゆく。そして、以降の
走査時においても、記憶手段１０Ａ，１０Ｂに記憶され
たビーム位置データに基づいて上記と同様の処理を繰り
返すことにより、光ビームの走査線が目標位置を通過す
るように補助偏向器３のミラー３ｂの角度を調整する。
但し、ミラー３ｂを変位させている状態で検出したビー
ム位置データを用いる場合、データ補正手段２０はその
ビーム位置データにそのデータに対応する予測総偏位量
を加算するため、ビーム位置データとは異なった値の補
正ビーム位置データを出力する。
して補助偏向器３のミラー３ｂを変位させた状態で光ビ
ームを走査させている時にも、走査開始点と走査終了点
においてビーム位置検出センサ７Ａ，７Ｂによって順次
光ビームによる光スポットの位置変位を検出し、記憶手
段１０Ａ，１０Ｂにビーム位置データとして記憶してゆ
く。前述したように、これらの記憶手段１０Ａ，１０Ｂ
は新しいしビーム位置データが記憶される毎に最も古い
ビーム位置データを順次除去してゆく。そして、以降の
走査時においても、記憶手段１０Ａ，１０Ｂに記憶され
たビーム位置データに基づいて上記と同様の処理を繰り
返すことにより、光ビームの走査線が目標位置を通過す
るように補助偏向器３のミラー３ｂの角度を調整する。
但し、ミラー３ｂを変位させている状態で検出したビー
ム位置データを用いる場合、データ補正手段２０はその
ビーム位置データにそのデータに対応する予測総偏位量
を加算するため、ビーム位置データとは異なった値の補
正ビーム位置データを出力する。
【００８４】以上のようにしてミラー３ｂの角度を漸次
調整し、光ビームを目標位置に沿って走査させるように
している。
調整し、光ビームを目標位置に沿って走査させるように
している。
【００８５】なお、上記実施例では、各偏向面４ｂに対
応する走査開始点と走査終了点の定常偏位量を、新たに
検出したビーム位置データに基づいて順次演算しなおす
ようにしているが、助走期間に検出したビーム位置デー
タに基づいて演算した定常偏位量を記憶しておき、全て
の走査における非定常偏位量、予測非定常偏位量、予測
総偏位量および駆動データをこの記憶した定常偏位量に
基づいて演算するようにしてもよい。
応する走査開始点と走査終了点の定常偏位量を、新たに
検出したビーム位置データに基づいて順次演算しなおす
ようにしているが、助走期間に検出したビーム位置デー
タに基づいて演算した定常偏位量を記憶しておき、全て
の走査における非定常偏位量、予測非定常偏位量、予測
総偏位量および駆動データをこの記憶した定常偏位量に
基づいて演算するようにしてもよい。
【００８６】図１０はこの発明による他の光ビーム走査
装置の要部を示している。この光ビーム走査装置は定常
偏位量を演算する定常偏位量演算手段２１を備えていな
い。代わりに、予め求めておいた定常偏位量を記憶した
記憶手段１４がプロセッサ１１′に接続されている。記
憶手段１４に記憶された定常偏位量は定常偏位量演算手
段２１を用いて行うのと同様の方法で得たものであって
もよいし他の方法で得たものであってもよい。プロセッ
サ１１′の他の構成は先の実施例の光ビーム走査装置に
おけるプロセッサ１１と全く同様である。すなわち、こ
のプロセッサ１１′もデータ補正手段２０、非定常偏位
量演算手段２２、予測非定常偏位量演算手段２３、予測
総偏位量演算手段２４および駆動データ演算手段２５を
備えている。また、図１０では省略しているが、この光
ビーム走査装置の他の構成も先の実施例の光ビーム走査
装置と同様である。したがって、この図１０の光ビーム
走査装置は、定常偏位量を自らが演算しない他は先の実
施例の光ビーム走査装置と全く同様の手順で、非定常偏
位量、予測非定常偏位量、予測総偏位量および駆動デー
タを演算する。そして、駆動データに基づいて補助偏向
器３のピエゾ素子３ｃを活性化し、光ビームが目標位置
を走査するようにミラー３ｂの角度を調整する。
装置の要部を示している。この光ビーム走査装置は定常
偏位量を演算する定常偏位量演算手段２１を備えていな
い。代わりに、予め求めておいた定常偏位量を記憶した
記憶手段１４がプロセッサ１１′に接続されている。記
憶手段１４に記憶された定常偏位量は定常偏位量演算手
段２１を用いて行うのと同様の方法で得たものであって
もよいし他の方法で得たものであってもよい。プロセッ
サ１１′の他の構成は先の実施例の光ビーム走査装置に
おけるプロセッサ１１と全く同様である。すなわち、こ
のプロセッサ１１′もデータ補正手段２０、非定常偏位
量演算手段２２、予測非定常偏位量演算手段２３、予測
総偏位量演算手段２４および駆動データ演算手段２５を
備えている。また、図１０では省略しているが、この光
ビーム走査装置の他の構成も先の実施例の光ビーム走査
装置と同様である。したがって、この図１０の光ビーム
走査装置は、定常偏位量を自らが演算しない他は先の実
施例の光ビーム走査装置と全く同様の手順で、非定常偏
位量、予測非定常偏位量、予測総偏位量および駆動デー
タを演算する。そして、駆動データに基づいて補助偏向
器３のピエゾ素子３ｃを活性化し、光ビームが目標位置
を走査するようにミラー３ｂの角度を調整する。
【００８７】上記各実施例の光ビーム走査装置では、主
偏向器４の偏向面４ｂに対応する走査線に関し、その走
査開始点と走査終了点の両方でビーム位置データを検出
している。しかし、各偏向面４ｂにおいて定常偏位量は
均一であると見做せる場合には、走査開始点もしくは走
査終了点のどちらか一方でのみビーム位置データを検出
するようにしていてもよい。すなわち、ビーム位置検出
センサ７Ａもしくはビーム位置検出センサ７Ｂの一方の
みを設けるようにしていてもよい。この場合、駆動デー
タ演算手段２５は走査開始点と走査終了点の間の走査途
中の駆動データを演算する必要はない。なお、この発明
はガルバノミラーなどの揺動型の光偏向器を主偏向器と
して用いた光ビーム走査装置にも適用可能である。さら
に、補助偏向器としてＡＯＤを利用することもできる。
偏向器４の偏向面４ｂに対応する走査線に関し、その走
査開始点と走査終了点の両方でビーム位置データを検出
している。しかし、各偏向面４ｂにおいて定常偏位量は
均一であると見做せる場合には、走査開始点もしくは走
査終了点のどちらか一方でのみビーム位置データを検出
するようにしていてもよい。すなわち、ビーム位置検出
センサ７Ａもしくはビーム位置検出センサ７Ｂの一方の
みを設けるようにしていてもよい。この場合、駆動デー
タ演算手段２５は走査開始点と走査終了点の間の走査途
中の駆動データを演算する必要はない。なお、この発明
はガルバノミラーなどの揺動型の光偏向器を主偏向器と
して用いた光ビーム走査装置にも適用可能である。さら
に、補助偏向器としてＡＯＤを利用することもできる。
【００８８】
【発明の効果】請求項１〜３によれば、走査線の定常偏
位量もしくは非定常偏位量を求めるために、光偏向器に
対し、光ビームの走査に関係ない箇所に高い加工精度で
形成された面を設けることを要求されるようなことがな
い。また、定常偏位量もしくは非定常偏位量を求めるた
めに専用の検出器を設ける必要もない。したがって、光
ビームの走査線偏位量を安価な装置で検出することがで
きるようになるという効果を奏する。
位量もしくは非定常偏位量を求めるために、光偏向器に
対し、光ビームの走査に関係ない箇所に高い加工精度で
形成された面を設けることを要求されるようなことがな
い。また、定常偏位量もしくは非定常偏位量を求めるた
めに専用の検出器を設ける必要もない。したがって、光
ビームの走査線偏位量を安価な装置で検出することがで
きるようになるという効果を奏する。
【００８９】請求項４によれば、次の走査が始まる前に
この次の走査における予測非定常偏位量を演算すること
ができ、したがって予め次の走査において光ビームを目
標位置に走査させるために必要な補助偏向器用の駆動デ
ータを得ることが可能になるという効果を奏する。
この次の走査における予測非定常偏位量を演算すること
ができ、したがって予め次の走査において光ビームを目
標位置に走査させるために必要な補助偏向器用の駆動デ
ータを得ることが可能になるという効果を奏する。
【００９０】請求項５〜８によれば、光ビームの走査と
は関係ない部分に高い加工精度で形成された面を必要と
するような光偏向器を用いることなく、光ビームを目標
位置に走査させることができる。したがって、高品質な
光ビーム走査装置を比較的安価に得ることができるとい
う効果を奏する。
は関係ない部分に高い加工精度で形成された面を必要と
するような光偏向器を用いることなく、光ビームを目標
位置に走査させることができる。したがって、高品質な
光ビーム走査装置を比較的安価に得ることができるとい
う効果を奏する。
【００９１】請求項９によれば、走査開始点から走査終
了点に至まで、より高精度に光ビームの走査位置を補正
することができるという効果を奏する。
了点に至まで、より高精度に光ビームの走査位置を補正
することができるという効果を奏する。
【図１】発明による光ビーム走査装置の概略構成図であ
る。
る。
【図２】プロセッサの構成図である。
【図３】補正用光偏向器の斜視図である。
【図４】ビーム位置検出センサの概略正面図である。
【図５】図４のビーム位置検出センサの検出信号を説明
する図である。
する図である。
【図６】他のビーム位置検出センサの概略正面図であ
る。
る。
【図７】図６のビーム位置検出センサの検出信号を説明
する図である。
する図である。
【図８】予測非定常偏位量の演算方式を説明する図であ
る。
る。
【図９】予測非定常偏位量の演算に採用する過去の非定
常偏位量の選択方法の一例を説明する図である。
常偏位量の選択方法の一例を説明する図である。
【図１０】発明による他の光ビーム走査装置のプロセッ
サの構成図である。
サの構成図である。
【図１１】従来の光ビーム走査装置の概略構成図であ
る。
る。
３ 補助偏向器（補正偏向手段）
３ｃ ピエゾ素子（駆動手段）
４ 主偏向器
６ 被記録体
７Ａ，７Ｂ ビーム位置検出センサ（ビーム位置検出手
段） １３ 駆動制御手段（駆動手段） １４ 記憶手段 ２０ データ補正手段 ２１ 定常偏位量演算手段 ２２ 非定常偏位量演算手段 ２３ 予測非定常偏位量演算手段 ２４ 予測総偏位量演算手段 ２５ 駆動データ演算手段
段） １３ 駆動制御手段（駆動手段） １４ 記憶手段 ２０ データ補正手段 ２１ 定常偏位量演算手段 ２２ 非定常偏位量演算手段 ２３ 予測非定常偏位量演算手段 ２４ 予測総偏位量演算手段 ２５ 駆動データ演算手段
Claims (9)
- 【請求項１】 被走査面の走査開始点および／または走
査終了点で、光偏向器により主走査方向に周期的に偏向
された光ビームの副走査方向のビーム位置データを複数
個検出する工程と、検出したビーム位置データを平均化
して、走査開始点および／または走査終了点における前
記光ビームの副走査方向の定常偏位量を演算する工程
と、を含むことを特徴とする光ビームの走査線偏位量検
出方法。 - 【請求項２】 請求項１の光ビームの走査線偏位量検出
方法において、複数のビーム位置データのそれぞれと各
データに対応する前記定常偏位量との差を演算して各ビ
ーム位置データ中の非定常偏位量を求める工程、をさら
に備えることを特徴とする光ビームの走査線偏位量検出
方法。 - 【請求項３】 被走査面の走査開始点および／または走
査終了点で、光偏向器により主走査方向に周期的に偏向
された光ビームの副走査方向のビーム位置データを複数
個検出する工程と、検出したビーム位置データと予め記
憶された前記光ビームの副走査方向の定常偏位量のデー
タとの差に基づいて前記光ビームの副走査方向の非定常
偏位量を演算する工程と、を備えることを特徴とする光
ビームの走査線偏位量検出方法。 - 【請求項４】 請求項２または３の光ビームの走査線偏
位量検出方法において、演算により求めた非定常偏位量
から選択した２以上の非定常偏位量に基づいて、外挿法
により次の走査周期における走査開始点および／または
走査終了点における前記光ビームの副走査方向の予測非
定常偏位量を求める工程、を備えることを特徴とする光
ビームの走査線偏位量検出方法。 - 【請求項５】 光偏向器により光ビームを主走査方向に
周期的に偏向させることにより光ビームを被走査面の走
査開始点から走査終了点に走査させる光ビーム走査装置
であって、前記光ビームの主走査方向とほぼ直交する副
走査方向への偏向量を調整する補正偏向手段と、この補
正偏向手段を駆動する駆動手段と、被走査面の走査開始
点および／または走査終了点に配設されて前記光ビーム
の副走査方向の位置を検出するビーム位置検出手段と、
このビーム位置検出手段が検出したビーム位置データを
順次記憶する記憶手段と、記憶手段から読み出した走査
開始点および／または走査終了点における複数のビーム
位置データの平均値を演算する定常偏位量演算手段と、
前記複数のビーム位置データのそれぞれと各データに対
応する走査開始点および／または走査終了点における前
記定常偏位量との差を演算する非定常偏位量演算手段
と、この非定常偏位量演算手段により演算した走査開始
点および／または走査終了点における複数の非定常偏位
量に基づいて、次の走査時における非定常偏位量を予測
演算する予測非定常偏位量演算手段と、この予測非定常
偏位量演算手段により演算された非定常偏位量に定常偏
位量を加算して予測総偏位量を求める総偏位量演算手段
と、前記予測総偏位量に基づいて、光ビームが被走査面
上の目標位置を走査するように補正偏向手段を駆動する
ための前記駆動手段用の駆動データを演算する駆動デー
タ演算手段と、を備えることを特徴とする光ビーム走査
装置。 - 【請求項６】 請求項５の光ビーム走査装置において、
ビーム位置検出手段により検出されたビーム位置データ
が、前記駆動手段により補正偏向手段が駆動されている
ときに検出されたビーム位置データである場合、このビ
ーム位置データに補正偏向手段を駆動するのに用いた対
応する予測総偏位量を加算するデータ補正手段をさらに
備え、且つ前記定常偏位量演算手段と非定常偏位量演算
手段は、前記データ補正手段が演算した補正データをビ
ーム位置データとして定常偏位量と非定常偏位量とをそ
れぞれ演算すること、を特徴とする光ビーム走査装置。 - 【請求項７】 光偏向器により光ビームを主走査方向に
周期的に偏向させることにより光ビームを被走査面の走
査開始点から走査終了点に走査させる光ビーム走査装置
であって、前記光ビームの主走査方向とほぼ直交する副
走査方向への偏向量を調整する補正偏向手段と、この補
正偏向手段を駆動する駆動手段と、前記光偏向器による
前記光ビームの副走査方向の定常偏位量を表すデータを
記憶した第１の記憶手段と、被走査面の走査開始点およ
び／または走査終了点に配設されて前記光ビームの副走
査方向の位置を検出するビーム位置検出手段と、このビ
ーム位置検出手段が検出したビーム位置データを順次記
憶する第２の記憶手段と、第２の記憶手段から呼び出し
た走査開始点および／または走査終了点における複数の
ビーム位置データのそれぞれと前記第１の記憶手段に記
憶された定常偏位量を表すデータとに基づいて、走査開
始点および／または走査終了点における前記光ビームの
副走査方向の位置を検出する非定常偏位量を演算する非
定常偏位量演算手段と、この非定常偏位量演算手段によ
り演算した走査開始点および／または走査終了点におけ
る複数の非定常偏位量に基づいて、次の走査周期におけ
る非定常偏位量を予測演算する予測非定常偏位量演算手
段と、この予測非定常偏位量演算手段により演算された
非定常偏位量に定常偏位量を加算して総偏位量を求める
総偏位量演算手段と、前記予測総偏位量に基づいて、光
ビームが被走査面上の目標位置を走査するように補正偏
向手段を駆動するための前記駆動手段用の駆動データを
演算する駆動データ演算手段と、を備えることを特徴と
する光ビーム走査装置。 - 【請求項８】 請求項７の光ビーム走査装置において、
ビーム位置検出手段により検出されたビーム位置データ
が、前記駆動手段により補正偏向手段が駆動されている
ときに検出されたビーム位置データである場合、このビ
ーム位置データに補正偏向手段を駆動するのに用いた対
応する予測総偏位量を加算するデータ補正手段を備え、
且つ前記非定常偏位量演算手段は、前記データ補正手段
が演算した補正データをビーム位置データとして非定常
偏位量を演算すること、を特徴とする光ビーム走査装
置。 - 【請求項９】 請求項５乃至請求項８の光ビーム走査装
置において、ビーム位置検出手段が前記走査開始点と走
査終了点の両方に設けられており、走査開始点の駆動デ
ータと走査終了点の駆動データに基づいて走査途中の複
数箇所の駆動データを補間法により演算する走査途中部
駆動データ演算手段をさらに備えていること、を特徴と
する光ビーム走査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3180116A JPH052142A (ja) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | 光ビームの走査線偏位量検出方法および光ビーム走査装置 |
| US07/901,666 US5245181A (en) | 1991-06-24 | 1992-06-22 | Method and apparatus of detecting deviation of scanning line of light beam |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3180116A JPH052142A (ja) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | 光ビームの走査線偏位量検出方法および光ビーム走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH052142A true JPH052142A (ja) | 1993-01-08 |
Family
ID=16077701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3180116A Pending JPH052142A (ja) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | 光ビームの走査線偏位量検出方法および光ビーム走査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5245181A (ja) |
| JP (1) | JPH052142A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006110957A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Noritsu Koki Co Ltd | 画像形成装置 |
| JP2008064995A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置・光走査装置の製造方法・カラー画像形成装置 |
| US7525561B2 (en) | 2002-07-02 | 2009-04-28 | Ricoh Company, Ltd. | Optical scanner and image forming apparatus |
| US9800844B2 (en) | 2013-08-28 | 2017-10-24 | Mitsubishi Electric Corporation | Image projection apparatus |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IL105188A (en) * | 1993-03-28 | 1998-02-08 | Scitex Corp Ltd | scanner |
| DE4339908C2 (de) * | 1993-11-23 | 1997-01-23 | Ldt Gmbh & Co | Verfahren und Vorrichtung zum Pyramidalfehlerausgleich |
| JP3869475B2 (ja) * | 1993-12-20 | 2007-01-17 | ゼロックス コーポレイション | ポリゴンｒｏｓ結像装置 |
| US6057867A (en) * | 1994-06-20 | 2000-05-02 | Hewlett-Packard Company | Laser printer with piezoelectric apparatus to reduce banding by adjustment of a scanned laser beam |
| EP0689339B1 (en) * | 1994-06-20 | 2000-05-10 | Hewlett-Packard Company | Laser printer with apparatus to reduce banding created by uneven separation of succeeding scan lines |
| US5508513A (en) * | 1994-12-09 | 1996-04-16 | Xerox Corporation | Fiber optic scanning beam detector |
| US5646394A (en) * | 1995-03-16 | 1997-07-08 | Hewlett-Packard Company | Imaging device with beam steering capability |
| CN1054690C (zh) * | 1995-11-09 | 2000-07-19 | 株式会社东芝 | 多束扫描方法和多束扫描装置 |
| US5883385A (en) * | 1995-11-09 | 1999-03-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Multibeam scanning method and apparatus with positional adjustment features |
| DE19703692C2 (de) * | 1996-01-31 | 2003-08-21 | Pentax Corp | Abtastvorrichtung |
| JP3154938B2 (ja) * | 1996-03-21 | 2001-04-09 | 株式会社東芝 | ビーム光走査装置および画像形成装置 |
| JPH10181096A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-07-07 | Xerox Corp | ラスタ出力走査装置 |
| KR100243146B1 (ko) * | 1997-10-17 | 2000-03-02 | 윤종용 | 컬러인쇄기용광주사유니트의주사개시시기데이터산출장치 |
| US6141031A (en) * | 1998-12-11 | 2000-10-31 | Xerox Corporation | Aerial color registration |
| EP1162821A1 (en) * | 2000-06-06 | 2001-12-12 | Eastman Kodak Company | Method and apparatus for precisely aligning digital images on motion picture film created by a raster scan recorder |
| WO2004051344A1 (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-17 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | 画像表示装置 |
| JP4199739B2 (ja) * | 2005-02-17 | 2008-12-17 | 京セラミタ株式会社 | 画像形成装置、画像形成方法 |
| JP5009573B2 (ja) * | 2006-09-15 | 2012-08-22 | 株式会社リコー | 光走査装置および画像形成装置 |
| JP2008152205A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Canon Inc | 光走査装置 |
| DE112008003863B4 (de) * | 2008-05-16 | 2017-04-13 | Harmonic Drive Systems Inc. | Verfahren zum Erzeugen eines Antriebsmusters für ein Galvano-Scannersystem |
| WO2010049342A1 (en) * | 2008-10-31 | 2010-05-06 | Oce-Technologies B.V. | Inkjet print engine having a plurality of laser scanning units |
| PL393402A1 (pl) * | 2010-12-22 | 2012-07-02 | Wisene Spółka Z Ograniczoną Odpowiedzialnością | Sposób monitorowania składowej pionowej przemieszczenia i składowej pionowej zmiany ugięcia elementów konstrukcji obiektu budowlanego, zwłaszcza dachu, oraz system do realizacji tego sposobu |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6010221A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-19 | Fujitsu Ltd | 光走査装置 |
| JPS62183423A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光走査装置の走査線むら補正方法および光走査装置 |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6048015B2 (ja) * | 1978-06-14 | 1985-10-24 | 三菱電機株式会社 | 光ビ−ム走査装置 |
| US4310757A (en) * | 1978-07-07 | 1982-01-12 | Pitney Bowes Inc. | Apparatus for correcting scanning speed in a polygon used for laser scanning |
| JPS58154816A (ja) * | 1982-03-10 | 1983-09-14 | Fuji Xerox Co Ltd | 走査線補正装置 |
| JPS59164524A (ja) * | 1983-03-08 | 1984-09-17 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | レ−ザビ−ム走査装置 |
| JPS59202431A (ja) * | 1983-05-02 | 1984-11-16 | Seiko Instr & Electronics Ltd | レ−ザ−ビ−ム走査装置 |
| JPS6173917A (ja) * | 1984-09-20 | 1986-04-16 | Fujitsu Ltd | 光走査装置 |
| JPS61209417A (ja) * | 1985-03-14 | 1986-09-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光走査装置の軸ぶれ検出方法 |
| US4829175A (en) * | 1985-12-05 | 1989-05-09 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Light beam scanning apparatus, method of correcting unevenness in scanning lines in light beam scanning apparatus, method of detecting deflection of rotational axis of light beam deflector and rotational axis deflection detecting device |
| US4694156A (en) * | 1986-02-14 | 1987-09-15 | Xerox Corporation | Pixel placement sensing arrangement using split detecting elements |
| JPS63316820A (ja) * | 1987-06-19 | 1988-12-26 | Fujitsu Ltd | ポリゴンミラ−の面倒れ補正方式 |
| JPS6463917A (en) * | 1987-09-03 | 1989-03-09 | Nec Corp | Optical scanning device |
| JPS6488516A (en) * | 1987-09-30 | 1989-04-03 | Shaken Kk | Detector for quantity of fluctuation of optical beam of optical scanner |
| KR910009142B1 (ko) * | 1988-08-12 | 1991-10-31 | 가부시기가이샤 히다찌세이사꾸쇼 | 복수 광빔의 주사빔 주사간격을 가변으로 하는 제어수단을 구비한 광빔주사장치 |
| JPH07113705B2 (ja) * | 1988-10-24 | 1995-12-06 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 光ビーム走査装置 |
| JPH0762654B2 (ja) * | 1988-10-25 | 1995-07-05 | 松下電器産業株式会社 | 実装基板検査装置 |
| JP2747608B2 (ja) * | 1989-08-04 | 1998-05-06 | キヤノン株式会社 | 光走査装置 |
| US5018808A (en) * | 1989-12-26 | 1991-05-28 | Eastman Kodak Company | Method and apparatus for beam displacement in a light beam scanner |
-
1991
- 1991-06-24 JP JP3180116A patent/JPH052142A/ja active Pending
-
1992
- 1992-06-22 US US07/901,666 patent/US5245181A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6010221A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-19 | Fujitsu Ltd | 光走査装置 |
| JPS62183423A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光走査装置の走査線むら補正方法および光走査装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7525561B2 (en) | 2002-07-02 | 2009-04-28 | Ricoh Company, Ltd. | Optical scanner and image forming apparatus |
| US7532227B2 (en) | 2002-07-02 | 2009-05-12 | Ricoh Company, Ltd. | Optical scanner and image forming apparatus |
| JP2006110957A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Noritsu Koki Co Ltd | 画像形成装置 |
| JP2008064995A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置・光走査装置の製造方法・カラー画像形成装置 |
| US9800844B2 (en) | 2013-08-28 | 2017-10-24 | Mitsubishi Electric Corporation | Image projection apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5245181A (en) | 1993-09-14 |
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