JPS6010221A - 光走査装置 - Google Patents

光走査装置

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JPS6010221A
JPS6010221A JP58119239A JP11923983A JPS6010221A JP S6010221 A JPS6010221 A JP S6010221A JP 58119239 A JP58119239 A JP 58119239A JP 11923983 A JP11923983 A JP 11923983A JP S6010221 A JPS6010221 A JP S6010221A
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JP
Japan
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value
scanning
scanning line
periodic component
output
Prior art date
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Application number
JP58119239A
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English (en)
Inventor
Tomohisa Mikami
三上 知久
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Publication of JPS6010221A publication Critical patent/JPS6010221A/ja
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/127Adaptive control of the scanning light beam, e.g. using the feedback from one or more detectors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0025Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
    • G02B27/0031Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
(、) 発明の技術分野 この発明は光走査装置に係り、特に光走査手段として回
転多面鏡をもちいた光走査装置の改良に関する。 (b) 技術の背景 回転多面鏡を用いた光走査装置6を利用したものとして
レーザ光による?に子写真式ラインプリンタがよく知ら
れている。その概要は第1図に示すようにレーザ発振器
11から出たレーザ発振器・はコリメータレンズ12に
よって必要なビーム径にされた後 超音波光変調器(以
下A OMとする)13により記録情報に応じてその強
度が変円される。AUM13の出力光は回転多面繞14
よりなる光ビーム走査手段により走査され結像光学系1
6により光導電体ドラム17の走査面上に集光され、一
定のスポット径でドラム17の回転方向と直角方向に走
査される。回転多面鏡14はモータ15によって矢印方
向に高速に回転される。このようにして記録パターンを
ドラム17上に露光させることにより、周知の電子写真
プロセスにより普通紙にドツトによるパターンをn8録
することができる2、 (C)従来技術と問題点 さて、このJ:うにぶて得られる印刷結果が高品位で蔦
るための1つの条f/lは走査面における光ビームのヌ
ボット位置が走査方向およびこれと垂直な方向にも等間
h°14でかつ直線上に並んでいることが必要である。 ところが、回転多面鏡の各鏡面は、工作誤差のため回転
軸に幻して完全に平行ではない。このずれ角を、倒れ角
という。倒れ誤差のため、光ヒームの走査線位置は走査
方、向と垂直の方向にずれでしまい、印字品位が低下す
る。倒れ誤差とその影響の説明を、第2,3図に示す、 今、回転多面鏡14の各面に倒れ誤差がないとすると、
鏡面に対する入射光と、その反射光とは平行であるが(
実線)、倒れ誤差がθとすると、その反射光は入射光に
対して2θの角度をもって出力するため、第3図に示す
ように(a)の倒れ誤差がない場合に比して、(b)の
ように走査線と垂直方向におけるドツトの間隔にバラツ
キを生じ、結果として印字品質の低下を来たす。 この誤差は、′第4図に示すように、回転多1M鏡14
に入射する光ヒームの角度を、倒れ角に応じて制御して
やることにより、補正可能である。すなわち、倒れ角を
・θとすると、入射光と反射光は角2θをなすので、あ
らかじめ入射光の入射角を一2θだけ変化させてやれば
、反射光の角度は倒れ角が0の場合fこ一致する(すな
わち、倒れ誤差は補正される)。 従来、このための補正技術としてはドラム十、の走査線
の走査開始位置前段にフ第1・ダイオードアレイを設け
て光ビームの走査方向と垂直方向における位置を検出し
、その出力によってA OMの(俟送波周波数を制御す
ることが知られている。AUMは周知のように搬送波の
振幅によ1.て光強度を要請することができるが、−−
−−−−−一−−−−−−−−=このとき入射光と出射
光は、搬送波周波数に比例した角をなす。したがって、
AOMの搬送波周波数を制御することにより、倒れ誤差
を安価に補正できる1、 以上述べたように、従来は位置検出手段からの情報を、
そのままAOMの搬送波制flI情報に対応させていた
。しかし、走査線位置ずれを精密に測定して解析してみ
ると、その原因は各鏡面の倒れ誤差だけではないことが
わか−)l、:。ずなわち、走査線位置ずれの原因は、 (1) 鏡面の倒れ誤差に起因するもの0各鏡面につい
て、走査開始から終了まで一定値をとる。 ()回転多面鏡の一回転を一周明、として周期的に変化
する (2)回転多面鏡の軸、R’i1. ’ (iix差運
動)等に起因するもの 0非周期的に変化する1、。 という種類に分類できる。以下、(1)を走査線位置ず
れの周期的成分、(2)を非周期的成分と呼ぶ1、しカ
ルながら、従来の補正技術では前記周期的成分を補正す
ることはできても、非周期的成分を補正することはでき
なかった。何故ならば、補正するだめの基準点は各走査
線の前段において、標準の位置よりもどれだけ位置がず
れているかによ−て回転多面鏡に入射する光ビームの入
射角を制御するものであるから、走査中における位1〆
ずずれすなわち回転多面鏡の軸ぶれによる肖差は全く補
正されないこととなる。 □ 回転多面鏡の回転速度は、敬白ないl、/ t:に万1
111転/′分と範囲が広い。中〜高速のものでは、非
周期的成分は比較的小さτ)が、低速領1或では11゛
周期的成分が大きい場合が多〈従来の方式では捕市精度
が不十分である。中〜高速のものでも、将来高精度・高
解像化のか向に向かうのは必至であり、従来の方式では
補正精度が不十分となろう。 (d) 発明の目的 この発明は回転多面鏡の倒れ誤差に伴なう印字品質の低
下だけでなく、回転多面鏡の軸ぶれに伴なう印字品質の
低下を簡晰な回路の付加により防iL シた光走査装置
を提供することを目的としたものである。 (e) 発明の構成 この目的のために、本発明は光源と、該光源から出射さ
れた光ビー ムの強度をりぜ円する強度変調手段と、該
強度変調手段を通過した1)II記)′C:ビームをf
liA向走査する回転多面鏡と、該多面鏡により走査さ
れた[)ii記)1/、ビームの走査1allこむける
走査線と交差する、方向の位置を検出する走査線位置検
出手段、])1■記光ビームの走査面一1−における走
査線と交差する方向の位Fjを制御する角度制御手段と
を備えた光走査装置において、前記走査線位置検出手段
の出力1直を13iJ記回転多面鏡の周期に関17て周
期的な成分値と゛非周期的な成分値とに分離する手段と
、+’jJ記走在而上の面査線方向の任、ffNの点に
おける前記非周期的成分値を補間近似する手段と、該補
間近似された非周期的な成分]I/(と+’+iJ記周
期的な(f) 発明の実施例 以下に、回向に沿って本発明による光走査装置の実施例
を詳細に説明する。 vH5図は本発明の詳細な説明するためのブロック図、
第6図は第5図における動作を示すフロータ チ却−トである、 本発明の実施例のプロ・り1゛:1を、第5図に示す。 レー41゛ブリンクでは、通常毎回の11′:’i’i
三開始後の各1i1ii素位置に1パルスが対応するり
11.7りが用いられる。第5図では、走査光制御クロ
ック発生器51が、これ3こ対応する7、カウンタ52
のnl欣値Cは各画素位置を示す4、 走傑線位置検用器53の出力Pは、計数イ・ff、Cl
−ともに′フイクロフ「iセッサ114に入力され、後
述する処理の」])h果シンセザイザ55の制j311
 flfc sが出力される。シンセリ−イザ55はS
に対応するA OM搬送波を発生し1、AOM+’ライ
バ5(3を経て−A OF、1が+g+動される1、 マイク■7ブ11セッサ5・1では、21〜6図に示す
ように、のべ回転数をr(rは自然り0、回転多面鏡の
鏡面数をn(nは11−≧:(なる可、′)数)、1・
、χ面拓′υ“をm(inは0 <m≦n−1なる4層
% i’)k )、 鏡面n1に対応する走査線位置検
出値をPr、mとして、過去ro回転における各鏡面の
走査線位IN、検出値Pi 、 m(iはr−rO←1
≦i駕r flる整数)から鏡面mの走査線位6′貫検
出値の平均値を算出する。roが十分大きな値であれば
非周期的!成分は打消し合って()となり、周期的成分
の値が得られる。し、だが。て周期的成分;1層−−L
Σ ppm rOt=r−ra+1 非周期的成分÷l’r 、 m−汎1が得られる1、過
去rO回転について、非周期的成分子16列(r’r−
ro+l、m+i −Pm+])+ (r’+−、m−
4層m)が得られるので、これから □−−−−−−−
−−−−−−−−−−一うクランジ、補間公式、または
チェビシュフ補間公式などを用いて画;(i: fI’
f ii・ICoにおける外周J1:1的成分の補間近
似関数Fr、m(Co)をめる。 各走査位置で力・クンタ+il数値(:に対応するFr
。 m (C)を計算し、周期的成分とのイII Fr、+
η(C,) +氏を計算する。。 これから、シンセサイザ制御値Sを計算する。 なお、回転多面鏡の反射光の角度誤差(非周期的成分を
禽む)を△θr、仁れに対応する走査線位li′7:ず
れを△P、AOMの搬送周波数の中心周波数fc 、 
A OM 4ej送波周波数変化Δfcに対応する40
M出射光の角度変化を△θCとすると、A OM J’
fft送波周波数fAoMは たtでし、p、は走査11tj位置P]!想値と与えら
れる。 他の実施例としで、非19M期的成分の変化辿度が走査
周期に比べて部分遅く、各f!I″X1rIj間のJ1
周期的成分の値を直線で結ぶtごけて−1分な精[Eの
補間近似関数がij、lられる局r1を考える1、この
1゛シ合、i′155図においても最もi復列゛な計−
(9を貿する部分がi’!’ l/く筒中−になるので
、マイクロゾr+ −ly =、すl
【シでも実現1す
”能である。 鏡面1nについて、走に6+’il jH’i ii’
1′検出イi/ロ’d 「nの非周期的成分をPr+n
+とすると、 f’dm = 亘、”、→ t’nm ・ ・ ・ (
2)P山++−1= I”m−1+Pn1n−1”・・
・(3)となる。Pn□+1を直線近似でめると第7図
に示すように Pnm41中Pn1n +(Pn+n 、−P。1Il
−5)・・・・・・・・(4)となり、走査N1期をt
q、とすれば鏡面mの走在開始からεta (0≦ε<
]) 7Qの走査線位1i’I′P。。(ε−ts)は
Pcm (e:ts) = Pdm+ε(Pnm−I 
Pn+n)−Pdm +ε(% P。−、+)−(5)
となる。 ここで、シンセサイザの周波数は一定の間隔で指定可能
なものとし、最小周波数制御ステップに対応する走査線
位1rr変化幅を△r8とし、走査周期tsに対応する
カウンタ計FJj値をCm nxとする。第8図に示す
ように、シンセサイザ周波数を一定間隔で増減するもの
とすると、一定間隔に対応するカウンタの値C8は次式
で与えられる。 Cc = Cmax/ ((’nm Pnm−4)/A
PI )−ΔPB Cmay /(+’nrn−r’n
Tn−1 )””” (”)編ビPnm−1の値のとり
得る範囲は有限であり、これをあらかじめ定めることが
できる。すべてのpnm Pnm−+に対応するceの
値を計算してROM等に格納しておけば、シンセサイザ
の制御は、カウンタが00の整数倍に達するたびに最小
ステップだけ周波数を増減(’nrn−’nm−,の符
号に応じて)するだけでよいことになる。また、走査線
位置検出値の周期成分へは各鏡面mについて一定の値で
あるから、これもROM等に格納しておけば、平均値算
出手段が不要となる。このような実施例のブロック図を
、第9図に示す。第9図の実施例の動作は、以下の通り
である。 n進カウンタ91は、走査開始信号をカウントするn進
カウンタ(n l、を回転多面鏡の鏡面a)であり、基
準となる鏡面の検出信号によりクリアされるので、鏡面
番号mに対して(m−1)を出力する。 (()≦m−1≦n−1) ROMIのアドレスo〜(
n−1)には周期的成分P、〜Pnが格納されており、
n進カウンタの出力(m−1)に応じて九を出力する。 走査線位置検出器53の出力Pdmは減算器93に入力
され、ROM】の出力部との差が出力される。 式により これはPnml つまり非周期的成分である
。ラウチ94は走査終了時に減算器93の出力を記憶す
るので、鏡面mの走査開始時にはう、チ94の出力はP
nm+lである。°減算器95は減算器93の出力Pn
mと、ラッチ94の出力Pnm−1を入力し、(Pnm
 Pnl、)とその符号S(正なら1.負なら0)を出
力する。ROM2のアドレスAに4、式(6)A=踊 
p。 m−1とおいた場合のCeの値が格納されており、減豹
、器95の出力(Pn+n Pnm−+ )に応じて、
これに対応するカウンタ計数値Ccを出力する。ROM
2の出力Ceは、N進カウンタ52に入力される。走査
光制御り[1ツク発生器5]の出力はN進カウンタ52
により計数され、C0個のパルスを計数するたびにパル
スCodが出力される。走査開始時に走査線検出値Pd
mと1/Δl)sが乗算器98で乗算され、その出力P
dm/ΔPsが1ツプダウンカウンク99にロードされ
る。アップダウンカンフ≦)9の値は、減算器95の符
号°出力部に応して、N進カウンタ96がパルスCod
メ を出力するたびにインフリラン1−またはディクリメン
トされる。すなわち、P、m−11−、>++のとき、
走査光制御クロックパルスCQ個の間隔で、アップダウ
ンカウンタ出力が1増加する。Po。−Pn+n−1<
 0のとき、走査光制御クロックパルスCQ個ノlb’
lllテ、アップダウンカウンタ出力が1減少する1、
すなわち、第7図、第8図に示した制御が行われる。ア
ップダウンカウンタ99の出力Sにより、シンセサイザ
55が制御され、AOMドライバ56を・経丁h’oy
tが駆動される、。 尚、上記実施例ではいずれも、光ビームの強度を変調す
る手段゛と、光ビームの走査面上における走査線と交差
する方向の位置を制御する角度制御手段とを1つのAO
Mによって兼用したが、これはそれぞれの機能をそれぞ
れ別の手段に分割してもたせてもよいことは勿論である
。 (g) 発明の効果 本発明によれば、従来の回転多面鏡の走査線位置ずれ補
正系に、若干の回路を41加rることにより、周期的な
走査線位置ずれだけでなく、非周期的な走査線位置ずれ
も補正できるので、回転多面鏡の軸ぶれ等の許容限界を
広げることができ、安価に高精度・高層イ9な光走査装
置が実現可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図はプリンタの措戒図、tl゛彎図は回転多面鏡の
倒れ誤差の物理的意味を説ITIする図、第3図は回転
多面鏡の倒れ誤差が光走査特f°1ミに与える」:(a
響を説明する図、第4図は回転多面鏡の倒れ誤差の補正
原理を説明する図、第5図は本発明による走査線位置、
補正の実施例のプロ5・り図である。第6図は第5図に
おける動作を示すフローチ、 −+−1g1’S 7図
は他の実施例のための走査線位置近似計算法を説明する
図、第8図は実施例2のシンセサイザ制御方法を説明す
る図、第9図は実施例2のブロック図である。 図中、11はレーザ発振器、】3は超音波光変調器。 14は回転多面鏡、17は光導電体ドラ!1,5+(は
走査線位置検出器を示す3、 第1図 1乙 第21η 第3図 (0)(b) 第4図 Iθ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 光源と、該光導から出射された光ビームの強度を変tt
    lする強度変潤手段と、該強度変哨手段を通過した前記
    光ビームを偏向走査する回転多面鏡と、該多面鏡により
    走査された前記光ビームの走査面」−における走査r;
    Aと交差する方向の位置を検出する走査線位置検出手段
    、前記光ビームの走査面上における走査線と交差する方
    向の位置を制御する角度制御手段とを備えた光走査装置
    i7f、において、rJ’J記走糞線位置検出手段の出
    力値を1111記回転多而鏡の周期に関して周期的な成
    分値と非周期的な成分値とに分1’l+1する手段と、
    前記走査面上の走査線方向の任意の点における削記非周
    JjJJ的成分値を補間近似する手段と、該補間近似さ
    れた非周期的な成分値と前記周期的な成分値とを合成す
    る手段を有し、該合成された値によりO4l記角産制御
    手段を制御することを特徴とする光走査装置。
JP58119239A 1983-06-29 1983-06-29 光走査装置 Pending JPS6010221A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4924094A (en) * 1986-03-20 1990-05-08 Rank Pullin Control Limited Imaging apparatus
WO1991014888A1 (en) * 1990-03-20 1991-10-03 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Abnormality detection device for speed change system
JPH052142A (ja) * 1991-06-24 1993-01-08 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 光ビームの走査線偏位量検出方法および光ビーム走査装置
EP0704738A1 (en) * 1994-09-28 1996-04-03 Scitex Corporation Ltd. A facet inaccuracy compensation unit

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