JPH0520333B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0520333B2 JPH0520333B2 JP61226258A JP22625886A JPH0520333B2 JP H0520333 B2 JPH0520333 B2 JP H0520333B2 JP 61226258 A JP61226258 A JP 61226258A JP 22625886 A JP22625886 A JP 22625886A JP H0520333 B2 JPH0520333 B2 JP H0520333B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- carrier
- take
- wafer
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Controlling Sheets Or Webs (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61226258A JPS6382248A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 薄板状物品の搬出または搬入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61226258A JPS6382248A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 薄板状物品の搬出または搬入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6382248A JPS6382248A (ja) | 1988-04-13 |
| JPH0520333B2 true JPH0520333B2 (en:Method) | 1993-03-19 |
Family
ID=16842378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61226258A Granted JPS6382248A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 薄板状物品の搬出または搬入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6382248A (en:Method) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01297836A (ja) * | 1988-05-25 | 1989-11-30 | Nec Kyushu Ltd | ウェーハ受け渡し装置 |
| JP3075561B2 (ja) * | 1989-01-27 | 2000-08-14 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | カセット内のウェハ取出し制御方式 |
| JP2564708Y2 (ja) * | 1991-09-20 | 1998-03-09 | 東京応化工業株式会社 | ウェハーの移載装置 |
| JPH06169003A (ja) * | 1992-11-27 | 1994-06-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置 |
| DE4310149C2 (de) * | 1993-03-29 | 1996-05-02 | Jenoptik Jena Gmbh | Einrichtung zur Handhabung von scheibenförmigen Objekten in einer Handhabungsebene eines lokalen Reinraumes |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6083245U (ja) * | 1983-11-15 | 1985-06-08 | 大日本スクリーン製造株式会社 | カセツト式薄片搬出入用薄片検知装置 |
| JPS60180206U (ja) * | 1984-05-11 | 1985-11-29 | 株式会社日立製作所 | ウエハ搬送装置 |
-
1986
- 1986-09-26 JP JP61226258A patent/JPS6382248A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6382248A (ja) | 1988-04-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS61105853A (ja) | オ−トロ−ダ− | |
| WO1999020552A1 (fr) | Dispositif de transport de plaquettes | |
| JP5522477B2 (ja) | 搬送設備 | |
| JPS6052412A (ja) | 送り込みコンベア | |
| JPH0520333B2 (en:Method) | ||
| JP2003273190A (ja) | 真空処理装置、ゲ−トバルブ、および欠落被搬送体の検出方法 | |
| JP3017186B1 (ja) | ウエハ搬送装置および半導体製造装置 | |
| JPH06345261A (ja) | 自動搬送装置の搬送用ハンド | |
| JPH06236910A (ja) | 検査装置 | |
| JP3109973B2 (ja) | セラミック基板の１列搬送装置 | |
| JPH09272095A (ja) | 板状物搬送用ロボット | |
| JP2000114350A (ja) | ウェーハの検出装置及び検出方法 | |
| JP3065843B2 (ja) | 被処理体の検出装置 | |
| KR100519646B1 (ko) | 웨이퍼 카세트 이송장치 | |
| JPH0764409B2 (ja) | コンベヤ装置 | |
| JPH0128683Y2 (en:Method) | ||
| TWI889414B (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
| JPH0311648A (ja) | 半導体ウェハー搬送装置 | |
| JP3125435B2 (ja) | ウエハ搬送装置およびウエハ搬送方法 | |
| JP2627266B2 (ja) | 搬送アーム | |
| JP3170892B2 (ja) | 板状物のハンドリング方法 | |
| JP2004140147A (ja) | 被搬送体の検出装置及び処理システム | |
| JPH04154144A (ja) | 基板入出機構 | |
| JP2675072B2 (ja) | ウエーハ搬送装置 | |
| JP2581085B2 (ja) | ウエ−ハアライメント装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |