JPH05198622A - インナリードボンダ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、マガジンケースの交換作業の回数
を削減し、量産効率の上昇を期待することのできるイン
ナリードボンダ装置を提供することを目的とする。 【構成】 本願第１の発明のインナリードボンダ装置
は、スライドキャリアＳＣをローダ部３からボンディン
グ部７に順次供給してＩＣチップ７３をボンディングし
た後にアンローダ部５に該スライドキャリアＳＣを収納
するインナリードボンダ装置において、前記ローダ部３
とアンローダ部５の少なくともいずれか一方は、スライ
ドキャリアＳＣを複数収納するマガジンケース１を複数
基搭載し得るものである。本願第２の発明のインナリー
ドボンダ装置は、スライドキャリアＳＣをローダ部３の
マガジンケース１からボンディング部７に順次供給して
ＩＣチップ７３をボンディングした後にアンローダ部５
のマガジンケース１に該スライドキャリアＳＣを収納す
るインナリードボンダ装置において、前記ローダ部３と
アンローダ部５の少なくともいずれか一方のマガジンケ
ース１はボンディング部に対して移動可能に構成され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インナリードボンダ装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、提供されるインナリードボンダ装
置は、フィルムキャリアテープにＩＣチップをボンディ
ングする際に、該フィルムキャリアテープを枠状のスラ
イドキャリア内に収納し、さらにこのスライドキャリア
をマガジンケースに収納した状態で使用するようにして
いる。このスライドキャリアは３０乃至５０台づつマガ
ジンケースに収納されており、このマガジンケースをス
ライドキャリアの供給側のローダ部に１基のみ装着し、
このマガジンケースからスライドキャリアを１台づつ取
りだし搬送することにより、ボンディング部に自動的に
供給することができる。

【０００３】さらにボンディング部においてフィルムキ
ャリアテープにＩＣチップがボンディングされたのち、
スライドキャリアはアンローダ部に搬送され該アンロー
ダ部に装着されるマガジンケース内に収納される。

【０００４】このような従来のインナリードボンダ装置
では、マガジンケースをスライドキャリアの供給側のロ
ーダと収納側のアンローダにそれぞれ１基のみ装着が可
能であるように構成されていた。すなわち、ローダ部に
おいては１基のマガジンケース内に収納されるスライド
キャリアが無くなるごとに、空のマガジンケースを外
し、新たにスライドキャリアが収納されたマガジンケー
スを装着すると共に、アンローダ部側においてはＩＣの
ボンディングの終了したスライドキャリアが所定の数量
だけ収納され満配になったマガジンケースを外し、新た
に空のマガジンケースを装着するようにしていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たようにマガジンケースに収納し得るスライドキャリア
の台数は限界があり、そのため該ＩＣの量産化を自動運
転で行うには、マガジンケースの交換作業を頻繁に行わ
なければならず、量産コスト、量産速度等の量産効率の
上昇を妨げる要因となっていた。

【０００６】本発明は、マガジンケースを頻繁に交換し
なければならないという従来の課題に鑑みてなされたも
ので、交換作業の回数を削減し、量産効率の上昇を期待
することのできるインナリードボンダ装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本願第１の発明は、被ボンディング体をローダ部からボ
ンディング部に順次供給して集積回路体をボンディング
した後にアンローダ部に該被ボンディング体を収納する
インナリードボンダ装置において、前記ローダ部とアン
ローダ部の少なくともいずれか一方は、被ボンディング
体を複数収納する収納体を複数基搭載し得ることを要旨
とする。

【０００８】また、本願第２の発明は、被ボンディング
体をローダ部の収納体からボンディング部に順次供給し
て集積回路体をボンディングした後にアンローダ部の収
納体に該被ボンディング体を収納するインナリードボン
ダ装置において、前記ローダ部とアンローダ部の少なく
ともいずれか一方の収納体はボンディング部に対して移
動可能に構成されることを要旨とする。

【０００９】

【作用】本願第１の発明のインナリードボンダ装置は、
ローダ部とアンローダ部の少なくともいずれか一方は、
被ボンディング体を複数収納する収納体を複数基搭載す
ることから、複数の収納体に多数の被ボンディング体を
収納し得るものである。

【００１０】本願第２の発明のインナリードボンダ装置
は、ローダ部とアンローダ部の少なくともいずれか一方
の収納体はボンディング部に対して移動可能であること
から、当該収納体のボンディング部に対する交換を容易
にするものである。

【００１１】

【実施例】以下、図面を参照して本発明に係る一実施例
を説明する。図１は本発明に係るインナリードボンダ装
置の構成を示した斜視図である。

【００１２】まず、全体の概略の構成を説明する。本実
施例のインナリードボンダ装置は、概ね、予めフィルム
キャリアテープが格納される被ボンディング体としての
スライドキャリアＳＣを収納体としてのマガジンケース
１から１台づつ取りだし供給する側のローダ部３と、こ
のローダ部３から供給されるスライドキャリアＳＣに、
集積回路体としてのＩＣチップをボンディングするボン
ディング部７と、このボンディング部７でＩＣチップの
ボンディングの終了したスライドキャリアＳＣをマガジ
ンケース１に収納するアンローダ部５と、これらローダ
部３とアンローダ部５との間に配設されスライドキャリ
アＳＣをローダ部３からボンディング部７に、さらにボ
ンディング部７からアンローダ部５へ搬送する搬送部９
によって構成される。

【００１３】次に、ローダ部３の構成について、図２乃
至図４を参照して詳細に説明する。ローダ部３は、ロー
ダスライド部３１が一軸ローダテーブル３３上に後述す
る搬送レール９１に直交する一軸方向、すなわち図１中
で左手前側と右奥側とを結ぶ軸方向（以下、単に前後方
向という。なお同様に左奥側と右手前側とを結ぶ軸方向
を左右方向という。）に移動可能に構成されており、こ
のローダスライド部３１上に複数のマガジンケース１が
装着可能に構成されている。本実施例では４基のマガジ
ンケース１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄがローダスライド部３
１に設けられた第１のローダ溝３１Ａ、第２のローダ溝
３１Ｂ、第３のローダ溝３１Ｃ及び第４のローダ溝３１
Ｄにそれぞれ装着可能である。

【００１４】このローダ溝３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３
１Ｄには、それぞれマガジンケース１の装着及びマガジ
ンケース１内のスライドキャリアＳＣの有無を検出する
ための光センサが設けられており、これにより各ローダ
溝３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄ毎にマガジンケース
１の装着の有無と、各マガジンケース１内のスライドキ
ャリアＳＣの数量及び有無を検出することができる。こ
の光センサには、赤外光、レーザ光等を用いた反射型、
透過型等を用いることができ、さらには磁気によるもの
や接触式のものを用いることもできる。

【００１５】さらに、この光センサの検出信号により、
ローダスライド部３１が前後方向にスライドキャリアＳ
Ｃが収納されているマガジンケース１のローダ溝位置ま
で、自動的に移動する。

【００１６】また、マガジンケース１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，
１Ｄには、それぞれボンディングの終了していないフィ
ルムキャリアテープを格納したスライドキャリアＳＣが
積層して収納される。また、このマガジンケース１に
は、底部が形成されてなく、内部に積層されて収納され
るスライドキャリアＳＣを該底部から順次取り出し或い
は収納することが可能な、いわゆる達磨落とし方式が可
能な構造となっている。ローダ部３からのスライドキャ
リアＳＣの取り出し位置は、後述する搬送レール９１の
延長上の位置で固定となっており、したがって該取り出
し位置に各々のマガジンケース１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ
を移動させてスライドキャリアＳＣの取り出しを行う。

【００１７】次に、図２乃至図４を参照して、スライド
キャリアＳＣの取り出し、搬送レール９１への受け渡し
機構の詳細に付いて第２のローダ溝３１Ｂを例に説明す
る。

【００１８】マガジンケース１をローダスライド部３１
の第２のローダ溝３１Ｂにセットすると、このローダス
ライド部３１の第２のローダ溝３１Ｂに設けられた溝部
内にマガジンケース１内で積層されているスライドキャ
リアＳＣのうち、最下端に位置するスライドキャリアＳ
Ｃa が落下する。

【００１９】このスライドキャリアＳＣa は、図３に実
線で示す位置で上昇した状態にあるローダ送り爪３５に
掛合される。このローダ送り爪３５は、上下方向および
左右方向に移動可能であるように構成される。このロー
ダ送り爪３５をスライドキャリアＳＣa を掛合した状態
で前進させ、搬送レール９１上の図３及び図４中で一点
鎖線で示す位置に搬送する。このローダ送り爪３５は、
搬送が終了すると下降しスライドキャリアＳＣa との掛
合を解き、さらに元の位置に後退する。この動作を繰り
返して、第１のローダ溝３１Ａに搭載されるマガジンケ
ース１Ａが空になると、ローダスライド部３１を移動し
て、第２のローダ溝３１Ｂを搬送レール９１の前に位置
させる。この第２のローダ溝３１Ｂに搭載されるマガジ
ンケース１Ｂが空になると、ローダスライド部３１を移
動して、第３のローダ溝３１Ｃを搬送レール９１の前に
位置させる。以下、同様にマガジンケース１Ｄが空にな
るまで繰返していく。

【００２０】次に、搬送レール９１上に搬送されたスラ
イドキャリアＳＣa は、所定の間隔で送り爪９５が複数
設けられた送り竿９３によりボンディング部７中央部の
ボンディング位置まで搬送される。この送り竿９３は、
上下方向及び左右方向に移動可能に構成されている。

【００２１】ここボンディング位置で、ダイステージ７
１上に別に供給されるＩＣチップ７３とスライドキャリ
アＳＣa 内のフィルムキャリアテープをボンディングツ
ールにより、一括接続する。

【００２２】ボンディング作業の終了したスライドキャ
リアＳＣb は、前記送り竿９３により搬送レール９１の
前端位置（図７中に一点鎖線で示す）まで搬送される。

【００２３】次に、上下方向及び左右方向に移動可能に
構成されるアンローダ部５のアンローダ送り爪５５が図
６の一点鎖線で示す位置に移動し、この位置でスライド
キャリアＳＣb と掛合する。アンローダ送り爪５５が右
方向に移動して、マガジンケース１ａの下部にスライド
キャリアＳＣb が移動する。

【００２４】次に、アンローダ送り爪５５を上昇させる
と、マガジンケース１ａ内のスライドキャリアＳＣの落
下防止用シャッタ５９に連動する図示しない一対のＬ字
状の腕の一端を押し上げることにより、落下防止用シャ
ッタ５９が開く。これにより、アンローダ送り爪５５を
上昇させることにより、図５乃至図７に示すスライドキ
ャリアＳＣb はマガジンケース１ａ内に下部より収納さ
れる。この収納後、前記腕からの駆動力をキャンセル機
構により無効とすることで落下防止用シャッタ５９を閉
じ、さらにアンローダ送り爪５５を下降させ、アンロー
ダ送り爪５５を元の位置に戻す。この動作を繰返すこと
により、スライドキャリアＳＣをマガジンケース１内に
下部より順次、収納することが可能となる。

【００２５】さらに、アンローダ部５にもローダ部３と
同様な光センサが設けられていることから、上述した動
作を繰り返して、第１のアンローダ溝５１ａに搭載され
るマガジンケース１ａ内に収納されるスライドキャリア
ＳＣが所定量に達し、例えば満配に至ると、自動的にロ
ーダスライド部５１を移動して、第２のアンローダ溝５
１ｂを搬送レール９１の前に位置させる。この第２のア
ンローダ溝５１ｂに搭載されるマガジンケース１ｂ内に
スライドキャリアＳＣが所定量に達すると、アンローダ
スライド部５１を移動して、第３のアンローダ溝５１ｃ
を搬送レール９１の前に位置させる。以下、同様にマガ
ジンケース１ｄ内にスライドキャリアＳＣが所定量に達
するまで繰返していく。

【００２６】上述したように、本実施例によれば、マガ
ジンケース１をローダ部３とアンローダ部５にそれぞれ
複数基搭載し、光センサでそれぞれのマガジンケース１
内のスライドキャリアＳＣの数量を検出し管理するよう
にしたので、一回の装填で多数のスライドキャリアＳＣ
のボンディングを自動的に行うことができ、作業効率を
大幅に改善することが出来るようになる。

【００２７】次に、図８乃至図１０を参照して、本発明
に係る他の実施例について説明する。

【００２８】前記実施例においては、ローダ部３とアン
ローダ部５とを同期させて、順次移動していくものとし
て説明を行ったが、図８に示すインナリードボンダ装置
は、例えばローダ部３の複数のマガジンケース１のそれ
ぞれには異なる種類のスライドキャリアＳＣが収納さ
れ、或いはボンディング部７で異なる種類のＩＣチップ
７３がボンディングされるような場合に、アンローダ部
５Ａのマガジンケース１をこれら種類に応じて任意に移
動するようにしたものである。

【００２９】また、前記実施例においては、ボンディン
グ部７及び搬送部９を固定とし、ローダ部３とアンロー
ダ部５とを順次移動していくものとしたが、図８に示す
インナリードボンダ装置は、ローダ部３とアンローダ部
５とを固定とし、ボンディング部７及び搬送部９とを順
次移動していくようにしたものである。この場合、ボン
ディング部７及び搬送部９はローダ部３とアンローダ部
５との間を移動するだけであるので、インナリードボン
ダ装置の設置に必要とされる面積を小さくすることが出
来る。

【００３０】また、前記実施例においてはローダ部３と
アンローダ部５とが直線的に移動するようにしたもので
あるが、図１０に示すインナリードボンダ装置は、ロー
ダ部３とアンローダ部５の両方若しくは一方を円形に配
置し、マガジンケースを順次回転させていくようにした
ものである。この場合、空の或いは満配のマガジンケー
スは所定位置に回転したときに、交換されるように構成
することが出来る。

【００３１】また、さらには図示しないものの、ローダ
部３とアンローダ部５及びボンディング部７を固定と
し、搬送部９のみを移動するようにしても良い。

【００３２】尚、上記の実施例では搬送部におけるスラ
イドキャリアＳＣの搬送に送り竿と送り爪とを用いた場
合を例にとって説明したが、本発明はこれに限定される
こと無く、例えばベルトコンベア等の適宜の搬送方式を
採用したインナリードボンダ装置に適用することができ
る。また、さらに本実施例では、マガジンケースの下部
からスライドキャリアＳＣを取り出し、収納するように
したが、本発明はこれに限定されること無く、例えばス
ライドキャリアＳＣをマガジンケースに設けられる棚に
収納していくタイプのものであっても良く、この場合に
は個々のマガジンケース全体を上下方向に移動させて、
スライドキャリアＳＣの取り出し、収納を行うようにし
ても良い。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、ローダ部
とアンローダ部の少なくともいずれか一方は、被ボンデ
ィング体を複数収納する収納体を複数基搭載したので多
数の被ボンディング体を収納し得るようになり、交換作
業の回数を削減するものである。

【００３４】また、ローダ部とアンローダ部の少なくと
もいずれか一方の収納体はボンディング部に対して移動
可能に構成したので、当該収納体の交換か容易となり、
量産効率の上昇を期待することのできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の全体の構成を示す斜視図で
ある。

【図２】図１に示したインナリードボンダ装置のローダ
部の構成を一部切り欠いて示した右側面図である。

【図３】図１に示したインナリードボンダ装置のローダ
部の構成を一部切り欠いて示した正面図である。

【図４】図１に示したインナリードボンダ装置のローダ
部の構成を一部切り欠いて示した平面図である。

【図５】図１に示したインナリードボンダ装置のアンロ
ーダ部の構成を一部切り欠いて示した左側面図である。

【図６】図１に示したインナリードボンダ装置のアンロ
ーダ部の構成を一部切り欠いて示した正面図である。

【図７】図１に示したインナリードボンダ装置のアンロ
ーダ部の構成を一部切り欠いて示した平面図である。

【図８】本発明に係る他の実施例のインナリードボンダ
装置の構成を示す平面図である。

【図９】本発明に係る他の実施例のインナリードボンダ
装置の構成を示す平面図である。

【図１０】本発明に係る他の実施例のインナリードボン
ダ装置の構成を示す平面図である。

【符号の説明】

１ マガジンケース ３ ローダ部 ５ アンローダ部 ７ ボンディング部 ９ 搬送部 ３１ ローダスライド部 ３３ 一軸ローダテーブル ３５ ローダ送り爪 ３７ マガジンケース位置決め爪 ５１ アンローダスライド部 ５３ 一軸アンローダテーブル ５５ アンローダ送り爪 ５７ マガジンケース位置決め爪 ５９ シャッタ ７１ ダイステージ ７３ ＩＣチップ ７５ ボンディングツール ９１ 搬送レール ９３ 送り竿 ９５ 送り爪 ＳＣ スライドキャリア

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被ボンディング体をローダ部からボンデ
   ィング部に順次供給して集積回路体をボンディングした
   後にアンローダ部に該被ボンディング体を収納するイン
   ナリードボンダ装置において、 前記ローダ部とアンローダ部の少なくともいずれか一方
   は、被ボンディング体を複数収納する収納体を複数基搭
   載し得ることを特徴とするインナリードボンダ装置。
2. 【請求項２】 被ボンディング体をローダ部の収納体か
   らボンディング部に順次供給して集積回路体をボンディ
   ングした後にアンローダ部の収納体に該被ボンディング
   体を収納するインナリードボンダ装置において、 前記ローダ部とアンローダ部の少なくともいずれか一方
   の収納体はボンディング部に対して移動可能に構成され
   ることを特徴とするインナリードボンダ装置。