KR100904472B1 - 반도체 제조장비의 튜브적재장치 - Google Patents

반도체 제조장비의 튜브적재장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 트림/폼/싱귤레이션 공정이 끝난 패키지를 튜브에 삽입하여 튜브 오프-로더에 적재하는 장치에 관한 것이다.
본 발명은 빈 튜브의 공급갯수와 패키지가 삽입된 튜브의 적재갯수를 동일하게 구성하여 어느 한쪽 라인부터 튜브가 먼저 적재되고 이후 그 다음 라인에 순차적으로 튜브가 적재되도록 하는 새로운 형태의 튜브적재방식을 구현함으로써, 장비의 멈춤없이 튜브 적재작업을 연속적으로 수행할 수 있는 등 공정의 효율성을 향상시킨 반도체 제조장비의 튜브적재장치를 제공한다.
패키지, 적재, 튜브, 워킹 블록, 업다운 블록, 튜브 가이드

Description

반도체 제조장비의 튜브적재장치{Tube off-loader for semiconductor production}
본 발명은 반도체 제조장비의 튜브적재장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 트림/폼/싱귤레이션 공정이 끝난 패키지를 튜브에 삽입하여 튜브 오프-로더에 적재하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 패키지는 실리콘으로 된 반도체 기판 상에 트랜지스터 및 커패시터 등과 같은 고집적 회로가 형성된 반도체 칩(chip)을 내장하고, 상기 반도체 칩과 통전되도록 리드프레임과 반도체 칩을 와이어 등으로 연결한 후, 반도체 기판의 상면에 에폭시 수지로 몰딩함으로써 제조된다.
이렇게 제조된 반도체 패키지는 트림, 폼 등의 공정을 거친 후, 리드프레임에 의해 서로 연결된 패키지를 칩단위로 절단하여 개별체로 분리하는 싱귤레이션 공정을 거치게 되며, 싱귤레이션 공정 후 낱개로 절단된 단품 패키지는 미리 설정된 품질 기준에 따라 튜브에 적재되어 다음 공정을 위해 이동된다.
즉, 리드프레임으로부터 싱귤레이션된 반도체 패키지는 반도체의 종류 또는 주문 업체의 요구에 의해 튜브에 적재되며, 이런 이유로 반도체 리드프레임을 싱귤레이션하는 공정의 후속에는 패키지를 튜브에 적재하는 튜브 타입 오프 로더(off-loader) 등이 제공되어 있다.
종래 튜브 적재시 빈 튜브의 온 로딩 갯수와 패키지가 삽입된 튜브의 오프 로딩 갯수가 달라 장비가 도중에 스톱되는 단점이 있다.
예를 들면, 기존 튜브적재장치의 경우 빈 튜브가 공급되는 라인(온 로더)이 보통 2열로 되어 있고, 패키지가 채워진 튜브가 적재되는 라인(오프 로더)이 1열로 되어 있어서 오프 로더에 튜브 적재가 완료되면, 장비의 가동을 멈추고 오프 로더상의 튜브(패키지가 들어있는 튜브)를 일부 또는 전부를 제거한 후, 장비를 재가동하는 형태의 공정이 이루어짐으로써, 장비 가동률 저하 등 공정의 효율성 측면에서 불리한 점이 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, 빈 튜브의 공급갯수와 패키지가 삽입된 튜브의 적재갯수를 동일하게 구성하여 어느 한쪽 라인부터 튜브가 먼저 적재되고 이후 그 다음 라인에 순차적으로 튜브가 적재되도록 하는 새로운 형태의 튜브적재방식을 구현함으로써, 장비의 멈춤없이 튜브 적재작업을 연속적으로 수행할 수 있는 등 공정의 효율성을 향상시킨 반도체 제조장비의 튜브적재장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 튜브적재장치는 빈 튜브의 공급을 위한 온로더측 튜브 가이드, 빈 튜브에 패키지를 삽입하기 위한 패키지 삽입부, 패키지가 삽입된 튜브의 적재를 위한 오프로더측 튜브 가이드, 튜브 상승을 위한 업다운 블록, 튜브 한스텝 전진을 위한 워킹 블록 등을 포함하는 한편, 어느 한쪽에는 튜브를 선택적으로 잡아주거나 놓아주는 튜브 스톱퍼 장치를 구비하고 이것으로 온로더측 튜브 가이드의 갯수와 오프로더측 튜브 가이드의 갯수를 동일하게 구비하여 복수의 튜브 가이드 중 어느 한쪽부터 공급 및 적재되도록 하고 이후 그 다음 것이 순차적으로 공급 및 적재하도록 한 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 튜브 스톱퍼 장치는 상단 후면 스프링의 탄력 지지를 받으면서 핀을 중심으로 회전하여 튜브를 떨어지지 않게 잡아주거나 프리한 상태로 놓아주는 래치와, 상기 래치의 하단 후면쪽에 위치되어 래치를 강제로 젖혀줄 수 있는 래치 실린더 등을 포함하는 형태로 이루어질 수 있다.
본 발명에서 제공하는 튜브적재장치는 빈 튜브의 공급갯수와 패키지가 삽입된 튜브의 적재갯수를 동일하게 구성하고, 어느 한쪽부터 순차적으로 튜브가 적재되도록 함으로써, 튜브 공급 및 적재 진행의 균형을 맞출 수 있고, 따라서 장비의 가동을 멈추는 일없이 튜브 적재작업을 연속해서 수행할 수 있는 등 전체적인 공정의 효율성을 높일 수 있으며, 결국 작업성 및 생산성 향상을 기대할 수 있는 효과가 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 튜브적재장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 튜브적재장치를 나타내는 정면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 튜브적재장치를 나타내는 평면도이다.
도 1과 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 튜브적재장치는 빈 튜브를 공급하는 부분, 패키지가 들어있는 튜브를 적재하는 부분, 튜브 속에 패키지를 삽입하는 부분, 튜브를 상승 및 이동시키는 부분, 그 밖에 여러 액추에이터 수단들로 구성되어 있다.
이러한 튜브적재장치에서 빈 튜브를 공급하는 부분과 패키지가 들어 있는 튜브를 적재하는 부분은 복수 개로 이루어져 있고, 또 공급측 갯수과 적재측 갯수가 동일한 갯수로 되어 있으며, 복수 개 중에서 한개씩 순차적으로 튜브를 공급하거나 적재할 수 있도록 되어 있다.
즉, 공급하는 측면에서 볼 때, 여러 개의 튜브 가이드 중에서 한 곳의 튜브 가이드에서 튜브가 다 빠져나가면 그 다음의 튜브 가이드에서 계속해서 튜브를 공급할 수 있고, 마찬가지로 적재하는 측면에서 볼 때, 여러 개의 튜브 가이드 중에서 한 곳의 튜브 가이드에서 튜브가 다 채워지면 그 다음 차례의 튜브 가이드에 튜브가 적재될 수 있도록 되어 있다.
물론, 튜브 적재시 한 곳에 튜브가 다 채워지지 않는 상태에서도 다른 곳에 튜브가 채워질 수도 있으며, 이러한 공정 관계는 작업여건에 따라 필요시 선택해서 사용할 수 있다.
상기 튜브적재장치에서 빈 튜브를 공급하는 부분, 즉 온로더측 튜브 가이드 공급 부분과 패키지가 들어있는 튜브를 적재하는 부분, 즉 오프로더측 튜브 가이드는 적어도 2열 이상, 예를 들면 3열, 4열, 5열 등으로 구성될 수 있으며, 본 발명의 일 실시예에서는 온로더측 튜브 가이드와 오프로더측 튜브 가이드가 2열씩 구비되어 있는 튜브적재장치를 예로 들어 설명한다.
싱귤레이션 공정을 마친 패키지를 튜브 내에 삽입하는 작업영역인 패키지 삽입부(11)를 사이에 두고 양편에는 각각 2열씩의 온로더측 튜브 가이드(10)와 오프로더측 튜브 가이드(12)가 나란하게 설치되고, 아래쪽으로는 튜브 안착홈(26)에 튜 브를 싣고 앞쪽으로 한스텝 이동시켜주는 워킹 블록(14) 및 이것을 구동하는 워킹 실린더(24)와, 튜브의 양단을 걸어서 위로 상승시켜주는 업다운 블록(13) 및 이것을 구동시켜주는 업다운 실린더(25)가 설치된다.
여기서, 상기 워킹 블록(14)은 수평궤적을 따라 전진 및 복귀 동작하는 운동메카니즘으로 이루어져 있고, 상기 업다운 블록(13)은 수직궤적을 따라 상승 및 하강 동작하는 운동 메카니즘을 통해 튜브 가이드측에서 튜브를 받아다가 워킹 블록상에 내려 놓거나, 워킹 블록상의 튜브를 위로 올려주는 일을 한다.
이때, 상기 워킹 블록(14)은 내측으로 위치되고, 상기 업다운 블록(13)은 그 양편의 외측에 위치되므로, 워킹 블록(14)과 업다운 블록(13)은 동작시 서로 간섭을 일으키지 않게 된다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 튜브적재장치에서 온로더측 튜브 가이드 영역을 나타내는 측면도이다.
도 3에 도시한 바와 같이, 상기 온로더측 튜브 가이드(10)에는 푸셔(22)를 갖는 푸셔 실린더(23)가 한쌍씩 배속되어 있으며, 푸셔(22)가 튜브를 걸고 있다가 푸셔 실린더(23)가 작동하면 튜브는 튜브 가이드(10)에서 1개씩 배출될 수 있고, 또 튜브 가이드(12)에 1개씩 적재될 수 있다.
이러한 온로더측 튜브 가이드(10)의 경우 한쪽에 있는 것부터 튜브를 공급하고 이곳에서의 튜브 공급이 끝나면 그 다음 것에서 순차적으로 튜브를 공급하는 방식으로 되어 있다.
예를 들면, 2열의 튜브 가이드 중 어느 한쪽의 튜브가 다 소진된 후 나머지 한쪽에서 순차적으로 튜브가 공급된다.
이것은 별도의 장치에 의한 것이 아니라 한쪽에서 먼저 공급된 튜브가 다른 한쪽에서 공급되려는 튜브를 자연스럽게 저지하게 되는 작용에 의해 가능하게 된다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 튜브적재장치에서 오프로더측 튜브 가이드 영역의 한쪽 튜브 가이드 영역을 나타내는 측면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 튜브적재장치에서 오프로더측 튜브 가이드 영역의 다른 한쪽 튜브 가이드 영역을 나타내는 측면도이다.
도 4와 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 오프로더측 튜브 가이드(12)는 2열이 구비되는데, 그 중에서 어느 1열, 예를 들면 앞쪽으로 배치되는 열에는 적재되는 튜브를 잡아주기 위한 푸셔(22') 및 푸셔 실린더(23')가 설치되고, 나머지 1열에는 푸셔 및 푸셔 실린더가 설치되지 않는다(이것은 후술하는 래치가 적재되는 튜브를 떨어지지 않도록 그 역할을 대신할 수 있기 때문이다).
이러한 2열의 오프로더측 튜브 가이드(12) 중 앞쪽의 것에는 한쌍의 튜브 스톱퍼 장치(15)가 설치되어 있어서 이것의 선택적인 작동에 의해 이때의 튜브 가이드에 튜브가 적재될 수도 있고, 아니면 적재되지 않을 수도 있다.
또한, 뒷쪽의 것에는 한쌍의 래치(18)만 설치되어 있으며, 이 래치(18)가 푸셔 및 푸셔 실린더의 역할을 대신하여 튜브 가이드에 적재되는 튜브를 잡아줄 수 있다.
이와 같은 오프로더측 튜브 가이드(12)의 경우에도 한쪽부터 튜브가 채워지 고 다 채워지면 다른 한쪽에 튜브가 채워지는 방식으로 되어 있다.
예를 들면, 2열의 튜브 가이드 중 어느 한쪽의 튜브 가이드에 튜브가 채워진 후 나머지 한쪽의 튜브 가이드에 순차적으로 튜브가 적재되는데, 이것은 튜브의 적재여부를 결정하는 튜브 스톱퍼 장치(15)의 동작에 의해 가능하게 되며, 이에 대해서는 뒤에서 상세히 설명한다.
도 6a 및 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 튜브적재장치에서 튜브 스톱퍼 장치의 동작상태를 나타내는 확대도이다.
도 6a 및 6b에 도시한 바와 같이, 상기 튜브 스톱퍼 장치(15)는 2열의 튜브 가이드 중 어느 한쪽부터 튜브가 적재되도록 하는, 다시 말해 어느 한쪽의 튜브 가이드에는 튜브가 적재되지 않고 그냥 지나가게 하는 역할을 한다.
이를 위하여, 어느 1열의 오프로더측 튜브 가이드(12)에는 튜브를 선택적으로 떨어지지 않게 잡아주거나 또는 프리한 상태(걸려지지 않는 상태)로 놓아주는 기능을 하는 래치(18)가 구비된다.
이때의 래치(18)는 핀(17)을 중심으로 회전가능하게 설치되고, 그 상단 후면이 스프링(16)에 의해 탄력 지지를 받게 되면서 외력이 없는 한 항상 똑바로 세워진 자세(튜브를 걸어줄 수 있는 자세)를 유지할 수 있게 된다.
또한, 래치(18)의 하단 후면쪽에는 래치 실린더(19)가 설치되고, 이 래치 실린더(19)가 전진 작동하면 래치(18)는 바깥쪽으로 강제 젖혀지게 된다.
이러한 래치 실린더(19)는 먼저 채워지는 쪽의 튜브 가이드에 설치되어 있는 센서(미도시)의 신호를 받아 작동한다.
예를 들면, 한쪽 튜브 가이드에 튜브가 다 채워지면 이것을 센서가 감지하여 신호를 출력하고, 이 신호에 의해 래치 실린더(19)가 후진 작동하게 되므로서, 스프링 복원력에 의해 래치(18)는 젖혀져 있던 자세에서 바로 세워진 자세로 전환될 수 있고, 결국 이곳에도 튜브가 적재될 수 있게 되는 것이다.
이와 같은 래치(18)는 전면의 곡면부(20)와 상단의 돌출부(21)를 가지는 형태로 이루어질 수 있고, 이에 따라 곡면부(20)를 이용하여 튜브와 접촉되면서 자연스럽게 바깥쪽으로 젖혀질 수 있고, 또 돌출부(21)를 이용하여 튜브가 밑으로 빠지지 않도록 받쳐줄 수 있다.
도 7a 내지 7l은 본 발명의 일 실시예에 따른 튜브적재장치에서 오프로더측 튜브 가이드 영역에 튜브가 순차적으로 채워지는 과정을 나타내는 정면도이다.
도 7a에 도시한 바와 같이, 2열의 온로더측 튜브 가이드(10)에는 빈 튜브가 가득 채워져 있으며, 이때의 튜브들은 푸셔에 의해 쌓여져 있는 상태를 유지한다.
또한, 워킹 블록(14)과 업다운 블록(13)은 각각 후진 상태 및 하강 상태를 유지한다.
도 7b에 도시한 바와 같이, 업다운 실린더(25)의 동작에 의해 업다운 블록(13)이 상승하고, 온로더측 튜브 가이드(10)에 속해 있는 푸셔 실린더의 1회 전후진 동작에 의해 튜브가 2열에서 1개씩 빠져나와 업다운 블록(25) 위에 놓여진다.
도 7c에 도시한 바와 같이, 업다운 블록(13)의 하강에 따라 이곳에 있던 튜브는 워킹 블록(14) 위로 옮겨진다.
도 7d에 도시한 바와 같이, 워킹 실린더(24)의 동작에 의해 워킹 블록(14)이 앞쪽으로 한스텝 전진하고, 튜브 또한 한스텝 앞쪽으로 이동한다.
도 7e에 도시한 바와 같이, 업다운 블록(13)의 상승에 따라 워킹 블록(14)에 있던 튜브는 위로 올려진다.
이때, 앞쪽(도면의 왼쪽)에 있던 튜브(100)는 패키지 삽입부의 작업영역에 위치되면서 패키지(110)를 받아들이게 되며, 패키지의 삽입은 공지의 푸셔(미도시)에 의해 이루어진다.
이와 동시에 상승 위치에 있는 업다운 블록(13)에는 새로운 빈 튜브가 공급되는데, 푸셔 실린더의 1회 전후진 동작에 의해 1열의 온로더측 튜브 가이드(10)로부터 1개의 빈 튜브가 아래로 떨어지면서 업다운 블록(13)상에 놓여진다.
이때, 다른 1열의 온로더측 튜브 가이드(10)에서 공급되려는 빈 튜브는 그 자리에 먼저 공급되었던 빈 튜브가 자리잡고 있는 관계로 새롭게 빈 튜브가 공급되지는 않는다.
이렇게 2열 중 1열에서만 계속해서 빈 튜브가 공급되고, 다른 1열의 경우에는 제자리 걸음만 하면서 빈 튜브가 빠져나가지 않게 된다.
물론, 한쪽이 다 소모되면 자리가 비기 때문에 그때부터는 빈 튜브가 빠져나갈 수 있다.
한편, 앞쪽으로 전진했던 워킹 블록(14)은 튜브가 빠져나간 후 원래의 위치로 복귀하며, 이하의 설명에서도 마찬가지이다.
도 7f에 도시한 바와 같이, 업다운 블록(13)의 하강에 따라 이곳에 있던 튜브는 워킹 블록(14) 위로 옮겨진다.
도 7g에 도시한 바와 같이, 워킹 블록(14)이 앞쪽으로 한스텝 전진하고, 튜브 또한 한스텝 앞쪽으로 이동한다.
도 7h에 도시한 바와 같이, 업다운 블록(13)의 상승에 따라 워킹 블록(14)에 있던 튜브는 위로 올려진다.
이때, 가장 앞쪽에 있는 패키지가 들어있는 튜브는 1열의 오프로더측 튜브 가이드(12)에 적재되기 위해 튜브 가이드 영역 내에 진입하고, 다른 빈 튜브에서는 패키지 삽입 작업이 이루어짐과 동시에 1열의 온로더측 튜브 가이드(10)로부터 빠져나온 빈 튜브는 업다운 블록(13)에 놓여진다.
도 7i에 도시한 바와 같이, 업다운 블록(13)의 하강에 따라 이곳에 있던 튜브는 워킹 블록(14) 위로 옮겨진다.
이때, 1열의 오프로더측 튜브 가이드(12)에 적재되기 위해 튜브 가이드 영역 내에 진입했던 패키지가 들어있는 튜브는 이곳의 튜브 스톱퍼 장치가 도 6b와 같이 바깥쪽으로 젖혀져 있었기 때문에 적재되지 못하고 그대로 내려와 재차 워킹 블록(14)상에 놓여진다.
도 7j에 도시한 바와 같이, 워킹 블록(14)이 앞쪽으로 한스텝 전진하고, 튜브 또한 한스텝 앞쪽으로 이동한다.
도 7k에 도시한 바와 같이, 업다운 블록(13)의 상승에 따라 워킹 블록(14)에 있던 튜브는 위로 올려진다.
이때, 가장 앞쪽에 있는 패키지가 들어있는 튜브와 그 다음에 있는 패키지가 들어있는 튜브는 2열의 오프로더측 튜브 가이드(12)에 적재되기 위해 튜브 가이드 영역 내에 진입하고, 다른 빈 튜브에서는 패키지 삽입 작업이 이루어짐과 동시에 1열의 온로더측 튜브 가이드(10)로부터 빠져나온 빈 튜브는 업다운 블록(13)에 놓여진다.
도 7l에 도시한 바와 같이, 업다운 블록(13)의 하강에 따라 이곳에 있던 튜브는 워킹 블록(14) 위로 옮겨진다.
이때, 가장 앞쪽에 있던 패키지가 들어있는 튜브는 다른 1열(도면의 가장 왼쪽)의 오프로더측 튜브 가이드(12)의 영역 내에 진입한 후 그곳의 래치에 걸리면서 적재된 상태가 되고, 그 다음의 패키지가 들어있는 튜브는 1열의 오프로더측 튜브 가이드(12)에 적재되기 위해 튜브 가이드 영역 내에 진입하지만 위에서 설명한 바와 같이 적재되지 못하면서 재차 워킹 블록(14)상에 놓여진다.
위와 같은 과정이 반복되면서 2열의 온로더측 튜브 가이드에서는 한쪽부터 차례로 빈 튜브가 공급되는 동시에 1열이 다 소진되면 다른 1열에서 빈 튜브가 계속 공급되는 한편, 2열의 오프로더측 튜브 가이드에는 한쪽부터 차례로 패키지가 들어있는 튜브가 적재되는 동시에 1열이 다 채워지면 다른 1열에 패키지가 들어있는 튜브가 적재된다.
물론, 튜브 적재 형태의 경우 한쪽부터 채운 후 그 다음 한쪽에 채우는 방식을 기본으로 할 수 있고, 작업조건에 따라 필요시 먼저 채워지는 쪽의 튜브 가이드로부터 다 채워지기 전에 일부 빼내가는 경우 이곳에 다 채워지기 전까지는 다른 한쪽에는 그만큼 채워지는 시점이 늦춰질 수 있다.
예를 들면, 도 8a 내지 8d에 도시한 바와 같이, 오프로더측 튜브 가이드(12) 중 앞쪽으로 배치되는 1열에는 다른 1열의 오프로더측 튜브 가이드(12) 내의 튜브 존재 여부, 즉 튜브 가이드 최상단에 있는 센서가 튜브를 감지했는 지의 여부에 따라 연동하면서 튜브를 잡아주는 푸셔(22')와 푸셔 실린더(23')가 구비된다.
이에 따라, 뒷쪽으로 배치되는 다른 1열의 오프로더측 튜브 가이드(12) 내에 튜브가 완전히 적재되고, 이후 계속해서 앞쪽으로 배치되는 1열의 오프로더측 튜브 가이드(12)에 튜브가 채워지고 있는 동안에 작업자가 튜브가 완전히 꽉 채워진 곳에서 튜브를 꺼내는 경우, 센서의 감지신호가 사라지면서 튜브 스톱퍼 장치(15)가 동작하게 되고, 즉 래치 실린더(19)의 전진 동작에 의해 래치(18)가 바깥쪽으로 젖혀지게 되고, 따라서 그 동안 적재되어 있던 튜브들이 아래로 떨어질 수가 있다.
이때, 푸셔 실린더(23')의 작동에 의해 푸셔(22')가 전진하여 튜브를 잡아주게 되므로, 튜브가 아래로 떨어지는 것을 막을 수 있고, 이러한 래치의 해제상태에 따라 이곳에는 더 이상 튜브가 적재되지 않고 이때부터는 뒷쪽에 배치되는 다른 1열의 오프로더측 튜브 가이드(12)에 튜브가 적재되기 시작한다.
여기서, 푸셔 실린더(23')는 센서의 신호나 래치 실린더의 작동 등과 연계시켜 작동시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 튜브적재장치를 나타내는 정면도
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 튜브적재장치를 나타내는 평면도
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 튜브적재장치에서 온로더측 튜브 가이드 영역을 나타내는 측면도
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 튜브적재장치에서 오프로더측 튜브 가이드 영역의 한쪽 튜브 가이드 영역을 나타내는 측면도
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 튜브적재장치에서 오프로더측 튜브 가이드 영역의 다른 한쪽 튜브 가이드 영역을 나타내는 측면도
도 6a 및 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 튜브적재장치에서 튜브 스톱퍼 장치의 동작상태를 나타내는 확대도
도 7a 내지 7l은 본 발명의 일 실시예에 따른 튜브적재장치에서 오프로더측 튜브 가이드 영역에 튜브가 순차적으로 채워지는 과정을 나타내는 정면도
도 8a 내지 8d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 튜브적재장치에서 오프로더측 튜브 가이드 영역에서 튜브가 순차적으로 채워지는 과정을 나타내는 정면도 및 측면도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 온로더측 튜브 가이드 11 : 패키지 삽입부
12 : 오프로더측 튜브 가이드 13 : 업다운 블록
14 : 워킹 블록 15 : 튜브 스톱퍼 장치
16 : 스프링 17 : 핀
18 : 래치 19 : 래치 실린더
20 : 곡면부 21 : 돌출부
22,22' : 푸셔 23,23' : 푸셔 실린더
24 : 워킹 실린더 25 : 업다운 실린더
26 : 튜브 안착홈

Claims (5)

  1. 빈 튜브에 패키지를 삽입하는 패키지 삽입부(11)와, 상기 패키지 삽입부(11)를 사이에 두고 양편에 각각 배치되는, 빈 튜브의 공급을 위한 온로더측 튜브 가이드(10) 및 패키지가 삽입된 튜브의 적재를 위한 오프로더측 튜브 가이드(12)와, 상기 온로더측 튜브 가이드(10) 및 오프로더측 튜브 가이드(12)의 아래쪽에 배치되며 튜브를 싣고 앞쪽으로 한스텝 이동시켜주는 워킹 블록(14)과, 상기 온로더측 튜브 가이드(10) 및 오프로더측 튜브 가이드(12)의 아래쪽에 배치되며 튜브를 위로 상승시켜주는 업다운 블록(13)을 포함하는 반도체 제조장비의 튜브적재장치에 있어서,
    상기 온로더측 튜브 가이드(10)의 갯수와 오프로더측 튜브 가이드(12)의 갯수를 동일하게 구비하여 복수의 튜브 가이드 중 어느 한쪽부터 공급 및 적재되도록 하고 이후 그 다음의 것이 순차적으로 공급 및 적재되도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 튜브적재장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 복수의 오프로더측 튜브 가이드(12) 중 어느 한쪽에는 튜브를 선택적으로 잡아주거나 놓아주는 튜브 스톱퍼 장치(15)가 구비되어 복수의 튜브 가이드 중 한쪽부터 차례로 튜브가 적재되도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 튜브적재장치.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 튜브 스톱퍼 장치(15)는 상단 후면 스프링(16)의 탄력 지지를 받으면서 핀(17)을 중심으로 회전하여 튜브를 떨어지지 않게 잡아주거 나 프리한 상태로 놓아주는 래치(18)와, 상기 래치(18)의 하단 후면쪽에 위치되어 래치를 강제로 젖혀줄 수 있는 래치 실린더(19)로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 튜브적재장치.
  4. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서, 상기 튜브 스톱퍼 장치(15)의 래치(18)는 튜브와의 접촉에 의해 자연스럽게 바깥쪽으로 젖혀질 수 있도록 해주는 전면의 곡면부(20)와 튜브의 단부를 받쳐줄 수 있는 상단의 돌출부(21)를 포함하는 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 튜브적재장치.
  5. 청구항 1에 있어서, 상기 오프로더측 튜브 가이드(12) 중 어느 한쪽의 튜브 가이드에는 다른 한쪽의 튜브 가이드 내의 튜브 존재 여부에 따라 연동하면서 튜브를 잡아주는 푸셔(22')와 푸셔 실린더(23')가 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 튜브적재장치.
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