JPH0519025A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JPH0519025A
JPH0519025A JP3152684A JP15268491A JPH0519025A JP H0519025 A JPH0519025 A JP H0519025A JP 3152684 A JP3152684 A JP 3152684A JP 15268491 A JP15268491 A JP 15268491A JP H0519025 A JPH0519025 A JP H0519025A
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    • H01L27/0214Particular design considerations for integrated circuits for internal polarisation, e.g. I2L
    • H01L27/0218Particular design considerations for integrated circuits for internal polarisation, e.g. I2L of field effect structures
    • GPHYSICS
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Abstract

(57)【要約】 【目的】半導体チップ内の内部降圧された電圧を、半導
体チップをパッケージ内に封入した後でも測定できるよ
うにする。 【構成】所定のタイミングで活性化し、外部からの比較
基準信号CVRの電圧と内部降圧された内部基準信号V
refの電圧とを比較し比較結果信号CRを出力する比
較回路1を設ける。比較結果信号CRを所定のタイミン
グでラッチするデータラッチ回路2を設ける。データラ
ッチ回路2の出力データを所定のタイミングで外部へ出
力するように既存の回路を変更したデータ出力回路3を
設ける。比較基準信号CVRの電圧を順次変えて比較結
果信号CRのレベルの変化する点を出力データDTで検
知し、このときの比較基準信号CVRの電圧から内部基
準信号Vrefの電圧を求める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体集積回路に関し、
特に外部からの電源電圧を内部降圧して使用する半導体
メモリ等の半導体集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体メモリ等の半導体集積回路におい
ては、消費電力の低減や高密度集積化のために、外部か
ら供給された電源電圧を降圧して使用する場合が多い。
【0003】従来のこの種の半導体集積回路は、一例と
して図5に示すように、外部から供給される電源電圧V
ccの電源から、この電源電圧Vccを降圧して内部基
準信号Vrefを発生する内部基準信号発生回路10
と、内部基準信号Vrefの電圧を基準として外部から
供給される電源から、電源電圧Vccを降圧して内部電
源電圧Vpiを発生し、所定の内部回路へ供給する構成
となっている。
【0004】内部基準信号発生回路10の出力端には、
内部基準信号Vrefの電圧を測定するために半導体チ
ップ上にパッドTPが設けられており、プローブテスト
等において、このパッドTPに探針を当て内部基準信号
Vrefの電圧を測定していた。そしてこの測定結果が
目標値とずれている場合には、内部基準信号発生回路1
0内に予め用意されている内部基準信号電圧微調整用の
ヒューズをレーザ等により切断し、内部基準信号Vre
fの電圧を目標値に調整していた。
【0005】内部基準信号Vrefの電圧調整後、半導
体チップはパッケージ内に封入される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】この従来の半導体集積
回路は、内部基準信号Vrefの電圧を半導体チップ上
のパッドTPで測定してこの電圧を調整した後、この半
導体チップをパッケージ内に封入する構成となっている
ので、パッケージ内に封入後、内部基準信号Vrefの
電圧を測定する必要が生じた場合、この電圧が測定でき
ないという問題点があった。
【0007】本発明の目的は、半導体チップをパッケー
ジ内に封入した後でも内部基準電圧等の電圧を測定する
ことができる半導体集積回路を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体集積回路
は、内部制御信号に従って活性化し内部で発生した電圧
が外部からの比較基準信号の電圧より低いか高いかで第
1のレベル,第2のレベルとなる比較結果信号を出力す
る比較回路と、前記比較結果信号を前記内部制御信号に
従って所定のタイミングでラッチし出力するデータラッ
チ回路と、このデータラッチ回路の出力データを前記内
部制御信号に従って所定のタイミングで外部へ出力する
データ出力回路と、外部からの複数の制御信号を基にし
て前記内部制御信号を発生する制御回路とを有してい
る。
【0009】また、制御回路を、外部からの複数の制御
信号が通常動作時とは異なるレベル関係にあり、かつこ
れら複数の制御信号のレベル関係を変えることにより、
テストモードエントリサイクル,比較測定サイクル,及
びデータラッチ・読出しサイクルとなるレベル関係をも
つ内部制御信号を発生する回路として構成される。
【0010】また、データ出力回路が、既存の通常の回
路からのデータ及び既存のテスト回路からのデータを切
換えて出力する既存のデータ出力回路に、データラッチ
回路の出力データを出力する機能を付加した回路で構成
される。
【0011】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
【0012】図1は本発明の一実施例を示す回路図であ
る。
【0013】この実施例は、外部から供給される電源電
圧Vccの電源から、この電源電圧Vccを降圧して内
部基準信号Vrefを発生する内部基準信号発生回路1
0と、ゲートに内部基準信号Vrefを入力する駆動用
のトランジスタQ1、ゲートに外部からの比較基準信号
CVRを入力する駆動用のトランジスタQ2、ゲートに
内部制御信号ACT3を入力する電流源回路のトランジ
スタQ3、及びカレントミラー型の負荷回路を形成する
トランジスタQ4,Q5を備え内部制御信号ACT3に
従って活性化し、内部基準信号Vrefの電圧が比較基
準信号CVRの電圧より低いか高いかにより低レベル,
高レベルとなる比較結果信号CRを出力する比較回路1
と、ゲートに内部制御信号ACT3を入力する入力プル
アップ用のトランジスタQ6、比較結果信号CRを入力
し増幅,波形整形を行うインバータIV2,IV3、内
部制御信号ACT1,ACT3及びインバータIV3の
出力信号を入力するRSフリップフロップを形成するN
ANDゲートG2,G3、及びこのRS−フリップフロ
ップの出力データのレベルを反転し出力データOUTを
出力するインバータIV4を備え、比較結果信号CRを
内部制御信号ACT1,ACT3に従って所定のタイミ
ングでラッチし出力するデータラッチ回路2と、このデ
ータラッチ回路2の出力データOUTを内部制御信号A
CT1,ACT3に従って所定のタイミングで外部へ出
力するデータ出力回路3と、外部からの制御信号RA
S,CAS及びアドレス信号A6〜A8を入力し内部制
御信号ACT1,ACT2を発生する内部制御信号発生
回路41、及び内部制御信号ACT1,ACT2から内
部制御信号ACT3を発生するNANDゲートG1,イ
ンバータIV1を備え、これら制御信号RAS,CAS
及びアドレス信号A6〜A8が通常動作時とは異なるレ
ベル関係にあり、かつこれら信号のレベル関係を変える
ことにより、内部制御信号ACT1〜ACT3を、テス
トモードエントリサイクル,比較測定サイクル,及びデ
ータラッチ・読出しサイクルとなるレベル関係にして出
力する制御回路4とを有する構成となっている。
【0014】次にこの実施例の動作について説明する。
図2及び図3はこの実施例の動作を説明するための各部
信号のタイミング波形図である。
【0015】内部制御信号ACT1〜ACT3は内部基
準信号Vrefの電圧を測定するテスト回路を活性化,
制御する信号である。
【0016】低レベルがアクティブの外部からの制御信
号RASが高レベルから低レベルへと変化した時、低レ
ベルがアクティブの外部からの制御信号CASと外部か
らの比較基準信号CVRがともに低レベルであったら、
これは「WCBRサイクル」と呼ばれるテストモードエ
ントリサイクルであり、このWCBRサイクルと、特定
のアドレス信号A6〜A8のレベルを設定することによ
り、内部制御信号ACT1は高レベルとなる。内部制御
信号ACT2は制御信号RASと同期する信号で、制御
信号RASが高レベルの時は、内部制御信号ACT2も
高レベル、低レベルの時は低レベルとなる。
【0017】図2に示すT1の期間がテストモードエン
トリの為の第1サイクルで、WCBRサイクルと、アド
レス信号A6が高レベル、アドレス信号A7が低レベ
ル、アドレス信号A8が低レベル等の特定のアドレス条
件を満たす必要がある。この第1サイクルにより内部基
準信号Vref測定のテストモードにエントリし、AC
T1が高レベルとなる。
【0018】T2の期間の第2サイクルが、内部基準信
号Vrefの電圧の測定サイクルで、制御信号RASを
高レベルに固定する。制御信号RASが高レベルである
ので内部制御信号ACT2も高レベルであり、比較回路
1が活性化し、内部基準信号発生回路10により発生し
た内部基準信号Vrefと、外部から入力された比較基
準信号CVRの電圧を比較する。内部制御信号ACT
1,ACT2がともに高レベルとなる以前では、比較結
果信号CR,出力データOUTはトランジスタQ6によ
り高レベルとなっている。
【0019】比較の結果、内部基準信号Vrefの電圧
が比較基準信号CVRの電圧より低ければ比較結果信号
CRは高レベルのままであり、高ければ低レベルに変化
する。
【0020】T3の期間の第3サイクルはデータラッチ
及び読出しの為のサイクルである。まず制御信号RAS
が低レベルとなり内部制御信号ACT2が低レベルにな
ると、比較結果信号CRがRSフリップフロップにラッ
チされ、出力データOUTとして出力される。
【0021】図3に示すように、第2サイクル(T2)
と第3サイクル(T3)とを交互に繰り返して行い、か
つ第2サイクルで比較基準信号CVRの電圧を順次高く
して行き、第3サイクルで出力データOUTが低レベル
に変化するときの比較基準信号CVRの電圧を求めるこ
とにより内部基準信号Vrefの電圧を測定することが
できる。
【0022】この実施例では、制御信号RASが高レベ
ルの期間中に比較を行い、制御信号RASが低レベルに
なる時にこれをラッチし読出すという方式をとった。一
般に、制御信号RASが高レベルの期間中のほうが、低
レベルの期間中よりノイズが少なく、ノイズによる誤ま
った測定を防ぐ為に大きな効果がある。制御信号RAS
が高レベルの期間中は読出しが不可能な為、低レベルに
なってから読出すが、制御信号RASが低レベルになる
と内部制御信号ACT2も低レベルになって比較回路4
が非活性化するため、比較結果信号CRをラッチする回
路が不可欠となる。
【0023】次に出力データOUTをデータ出力端子ま
で伝達するデータ出力回路3に関して、図4を参照して
説明する。
【0024】既存の16ビットパラレルテスト回路ブロ
ック20では、16ビットのデータを並列に測定し、1
6ビットともにデータが高レベルまたは低レベルで一致
していれば、出力データP16を高レベルに、一致して
いなければ出力データP16を低レベルにするテスト回
路ブロックである。一般に、ベーシックテストモードと
も呼ばれるテストである。
【0025】既存のロールコールテスト回路ブロック3
0は、冗長用メモリセルを使用しているか、いないかの
判定をするテスト回路ブロックで、冗長用メモリセルを
使用していれば、出力データROLLを高レベル、使用
していなければ低レベルとする。尚、これらの16ビッ
トパラレルテスト回路ブロック20とロールコールテス
ト回路ブロック30とは、WCBRサイクルをともなう
特定のテストモードエントリサイクルを実行することに
より活性化され、内部基準信号Vrefを測定するテス
ト回路を含めたこれら3つのテスト回路は同時に活性化
されることはない。そして、活性化されていなければ、
これらの出力データP16,ROLL,OUTは高レベ
ルを保つようになっている。
【0026】データ出力回路3は既存のデータ出力回路
のNANDゲートを3入力のNANDゲートG4とし、
スイッチ回路SWの制御を内部制御信号ACT1,AC
T2により行うようにしたものである。
【0027】今、内部基準信号Vrefを測定するテス
ト回路が活性化したとすると、出力データP16,RO
LLは高レベルであり、NANDG4の出力データTE
STは、出力データOUTのレベルによってのみ決ま
る。出力データTESTは、スイッチ回路へと伝達さ
れ、内部制御信号ACT1,ACT2によりテストモー
ドであれば出力データTESTが、そうでなければ通常
の回路からのデータNDTがデータ出力端子から外部へ
出力される。通常の回路からのデータNDTは、通常の
読出しサイクルによって読出されたメモリセル等の情報
である。
【0028】以上説明したように、出力データOUTの
出力は、16ビットパラレルテスト回路ブロック20及
びロールコールテスト回路ブロック30等の出力データ
を外部へ出力する既存のデータ出力回路を利用している
ので、面積の増加を最小限におさえることができる。
【0029】この実施例においては、内部基準信号発生
回路10で発生した内部基準信号Vrefの電圧を測定
する場合について述べたが、電圧を測定する対象となる
信号等は、内部基準信号Vrefに限らず、例えばこの
内部基準信号Vrefを基にして内部電源回路で作られ
た降圧された電源電圧や、その他の内部降圧された信
号,電圧等であってもよい。
【0030】また、内部基準信号Vrefとこれを基に
して作られた電源電圧とを、例えばアドレス信号A6〜
A8の内容により切替えて測定することも可能であり、
これら2つの電圧を測定することにより、これらの誤差
や内部電源回路の特性等を知ることができる。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、外部から
の比較基準信号の電圧を内部降圧された信号の電圧と比
較し、この比較結果を外部へ出力する構成とすることに
より、比較結果の内容が変化したときの比較基準信号の
電圧から内部降圧された信号の電圧を知ることができる
ので、半導体チップをパッケージ内に封入した後でも内
部降圧された信号の電圧を測定することができる効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す回路図である。
【図2】図1に示された実施例の動作を説明するための
各部信号のタイミング波形図である。
【図3】図1に示された実施例の動作を説明するための
各部信号のタイミング波形図である。
【図4】図1に示された実施例のデータ出力回路部分の
具体例を示す回路図である。
【図5】従来の半導体集積回路の一例を示すブロック図
である。
【符号の説明】
1 比較回路 2 データラッチ回路 3 データ出力回路 4 制御回路 10 内部基準信号発生回路 20 16ビットパラレルテスト回路ブロック 30 ロールコールテスト回路ブロック 40 内部電源回路 41 内部制御信号発生回路 G1〜G4 NANDゲート IV1〜IV4 インバータ Q1〜Q6 トランジスタ SW スイッチ回路 TP パッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G11C 11/419 29/00 303 A 9288−5L

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内部制御信号に従って活性化し内部で発
    生した電圧が外部からの比較基準信号の電圧より低いか
    高いかで第1のレベル,第2のレベルとなる比較結果信
    号を出力する比較回路と、前記比較結果信号を前記内部
    制御信号に従って所定のタイミングでラッチし出力する
    データラッチ回路と、このデータラッチ回路の出力デー
    タを前記内部制御信号に従って所定のタイミングで外部
    へ出力するデータ出力回路と、外部からの複数の制御信
    号を基にして前記内部制御信号を発生する制御回路とを
    有することを特徴とする半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 制御回路を、外部からの複数の制御信号
    が通常動作時とは異なるレベル関係にあり、かつこれら
    複数の制御信号のレベル関係を変えることにより、テス
    トモードエントリサイクル,比較測定サイクル,及びデ
    ータラッチ・読出しサイクルとなるレベル関係をもつ内
    部制御信号を発生する回路とした請求項1記載の半導体
    集積回路。
  3. 【請求項3】 データ出力回路が、既存の通常の回路か
    らのデータ及び既存のテスト回路からのデータを切換え
    て出力する既存のデータ出力回路に、データラッチ回路
    の出力データを出力する機能を付加した回路である請求
    項1記載の半導体集積回路。
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EP92110514A EP0520356B1 (en) 1991-06-25 1992-06-22 Semiconductor integrated circuit equipped with diagnostic circuit
US07/901,689 US5287012A (en) 1991-06-25 1992-06-22 Semiconductor integrated circuit equipped with diagnostic circuit for checking reference voltage signal supplied to internal step-down circuit
KR1019920010878A KR950008438B1 (ko) 1991-06-25 1992-06-23 반도체 집적 회로

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DE (1) DE69217733T2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07140208A (ja) * 1993-11-17 1995-06-02 Nec Corp 半導体集積回路
JP2003217282A (ja) * 2001-11-02 2003-07-31 Hynix Semiconductor Inc モニターリング回路を有する半導体メモリ装置
US10759384B2 (en) 2017-11-10 2020-09-01 Nxp B.V. Pattern detection for automotive access

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2838344B2 (ja) * 1992-10-28 1998-12-16 三菱電機株式会社 半導体装置
KR20090036395A (ko) 2007-10-09 2009-04-14 주식회사 하이닉스반도체 반도체 메모리 장치의 기준 전압 인식회로

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60144667A (ja) * 1984-01-06 1985-07-31 Nec Corp 電圧低下検出回路

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6455857A (en) * 1987-08-26 1989-03-02 Nec Corp Semiconductor integrated device
JPH0359899A (ja) * 1989-07-27 1991-03-14 Nec Corp 半導体メモリ
US5184031A (en) * 1990-02-08 1993-02-02 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor integrated circuit
JP2888898B2 (ja) * 1990-02-23 1999-05-10 株式会社日立製作所 半導体集積回路

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60144667A (ja) * 1984-01-06 1985-07-31 Nec Corp 電圧低下検出回路

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07140208A (ja) * 1993-11-17 1995-06-02 Nec Corp 半導体集積回路
JP2003217282A (ja) * 2001-11-02 2003-07-31 Hynix Semiconductor Inc モニターリング回路を有する半導体メモリ装置
JP4486777B2 (ja) * 2001-11-02 2010-06-23 株式会社ハイニックスセミコンダクター モニターリング回路を有する半導体メモリ装置
US10759384B2 (en) 2017-11-10 2020-09-01 Nxp B.V. Pattern detection for automotive access

Also Published As

Publication number Publication date
US5287012A (en) 1994-02-15
DE69217733T2 (de) 1997-07-17
KR950008438B1 (ko) 1995-07-31
EP0520356A1 (en) 1992-12-30
EP0520356B1 (en) 1997-03-05
DE69217733D1 (de) 1997-04-10
JP2946838B2 (ja) 1999-09-06

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