JPH0518903A - 配線パターン検査装置 - Google Patents
配線パターン検査装置Info
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- JPH0518903A JPH0518903A JP22262891A JP22262891A JPH0518903A JP H0518903 A JPH0518903 A JP H0518903A JP 22262891 A JP22262891 A JP 22262891A JP 22262891 A JP22262891 A JP 22262891A JP H0518903 A JPH0518903 A JP H0518903A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 プリント基板における配線パターンの不良を
検査するための配線パターン検査装置に関するもので、
配線パターンの２値画像を膨張、収縮、細線化などの反
復処理を施すことなく、簡易なマスク走査処理により配
線パターンの形状特徴を抽出し、断線、ショート、線幅
不足を分類などの欠陥を検出できる優れた配線パターン
検査装置を実現することを目的とする。 【構成】 プリント配線パターンの２値画像をＭ×Ｎ窓
走査手段１０５で１画素ずつ走査し、同窓内の同心状の
領域において水平方向の各行及び垂直方向の各列におい
て論理演算手段１０６で論理積及び論理和演算を行い、
水平及び垂直方向に投影された形状特徴を抽出し、さら
に前記論理積の結果の論理和演算を行い配線パターンの
中心位置を示す特徴量を抽出し、前記各特徴量の組合せ
でパターンの形状と位置を判定するため、１回のマスク
走査で配線パターン中心線上において多様な欠陥を検出
できる。
検査するための配線パターン検査装置に関するもので、
配線パターンの２値画像を膨張、収縮、細線化などの反
復処理を施すことなく、簡易なマスク走査処理により配
線パターンの形状特徴を抽出し、断線、ショート、線幅
不足を分類などの欠陥を検出できる優れた配線パターン
検査装置を実現することを目的とする。 【構成】 プリント配線パターンの２値画像をＭ×Ｎ窓
走査手段１０５で１画素ずつ走査し、同窓内の同心状の
領域において水平方向の各行及び垂直方向の各列におい
て論理演算手段１０６で論理積及び論理和演算を行い、
水平及び垂直方向に投影された形状特徴を抽出し、さら
に前記論理積の結果の論理和演算を行い配線パターンの
中心位置を示す特徴量を抽出し、前記各特徴量の組合せ
でパターンの形状と位置を判定するため、１回のマスク
走査で配線パターン中心線上において多様な欠陥を検出
できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプリント基板やホトマス
ク等における配線パターンの不良を検査するためのプリ
ント基板パターンの欠陥検査方法に関するものである。
ク等における配線パターンの不良を検査するためのプリ
ント基板パターンの欠陥検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】プリント基板への電子部品実装の高密度
化に伴い、配線パターンの細密化が進んでいる。従来、
プリント基板等の不良検査は人間による目視検査が行わ
れてきたが、配線パターンの細密化により検査精度を維
持しつつ長時間検査作業を続けることが困難になってき
ており、検査の自動化が要望されている。配線パターン
の欠陥検査方式としては、ジェー・エル・シー・サンツ
やエー・ケー・ジェイン（J.L.C.Sanz and A.K.Jain,"M
achine vision techniques for inspection of printed
wiring boards and thick-film circuits",J.Opt.Soc.
Amer.,vol.3,no.9,pp.1465-1482,Sept.1986）らにより
多くの方式が紹介されており、特にデザインルール法あ
るいは比較法に分類される方式が数多く提案されてい
る。これらの方式は長短があるが、中でも将来有望な興
味深い方式として、ジェー・アール・マンデヴィル（J.
R.Mandeville,"Novel Method for analysis of printed
circuit images",IBM J.Res.Develop.,vol.29,no.1,p
p.73-86,Jan.1985）があり、２値画像データを収縮ある
いは膨張させた後細線化し、配線パターンの欠陥を検出
する方式で、以下に従来例として説明する。図７に欠陥
検出処理手順を示す。図７（ａ）〜（ｄ）は欠落性欠陥
の検出手順、（ｃ）〜（ｈ）は突出性欠陥の検出手順を
示している。
化に伴い、配線パターンの細密化が進んでいる。従来、
プリント基板等の不良検査は人間による目視検査が行わ
れてきたが、配線パターンの細密化により検査精度を維
持しつつ長時間検査作業を続けることが困難になってき
ており、検査の自動化が要望されている。配線パターン
の欠陥検査方式としては、ジェー・エル・シー・サンツ
やエー・ケー・ジェイン（J.L.C.Sanz and A.K.Jain,"M
achine vision techniques for inspection of printed
wiring boards and thick-film circuits",J.Opt.Soc.
Amer.,vol.3,no.9,pp.1465-1482,Sept.1986）らにより
多くの方式が紹介されており、特にデザインルール法あ
るいは比較法に分類される方式が数多く提案されてい
る。これらの方式は長短があるが、中でも将来有望な興
味深い方式として、ジェー・アール・マンデヴィル（J.
R.Mandeville,"Novel Method for analysis of printed
circuit images",IBM J.Res.Develop.,vol.29,no.1,p
p.73-86,Jan.1985）があり、２値画像データを収縮ある
いは膨張させた後細線化し、配線パターンの欠陥を検出
する方式で、以下に従来例として説明する。図７に欠陥
検出処理手順を示す。図７（ａ）〜（ｄ）は欠落性欠陥
の検出手順、（ｃ）〜（ｈ）は突出性欠陥の検出手順を
示している。
【０００３】まず欠落性欠陥の検出方法について図を参
照しながら説明する。（ａ）は欠陥画像を示しており、
ｂ点及びｃ点は線幅不足及び断線で致命的欠陥として検
出し、ａ点は欠陥として検出しないものとする。第１の
手順として（ｂ）では、画像を所定サイズ収縮（侵食）
することによりｂ点の連結を遮断する。第２の手順とし
て（ｃ）では１画素幅までパターンを細線化する。第３
の手順として（ｄ）では３×３局所領域（図中□で示さ
れる位置）において細線化画像の連結性を判定し、ｂ点
及びｃ点を断線として検出する。なお前記３×３局所領
域の連結判定により端子部と配線パターンの結合部（図
中○で示される位置）も特徴点として検出できることを
示している。
照しながら説明する。（ａ）は欠陥画像を示しており、
ｂ点及びｃ点は線幅不足及び断線で致命的欠陥として検
出し、ａ点は欠陥として検出しないものとする。第１の
手順として（ｂ）では、画像を所定サイズ収縮（侵食）
することによりｂ点の連結を遮断する。第２の手順とし
て（ｃ）では１画素幅までパターンを細線化する。第３
の手順として（ｄ）では３×３局所領域（図中□で示さ
れる位置）において細線化画像の連結性を判定し、ｂ点
及びｃ点を断線として検出する。なお前記３×３局所領
域の連結判定により端子部と配線パターンの結合部（図
中○で示される位置）も特徴点として検出できることを
示している。
【０００４】次に突出性欠陥の検出方法について図を参
照しながら説明する。（ｅ）は欠陥画像を示しており、
ｂ点及びｃ点を線幅異常及びショートで致命的欠陥とし
て検出し、ａ点は欠陥として検出しないものとする。第
１の手順として（ｆ）では、画像を所定サイズ膨張する
ことによりｂ点に新たな連結を発生させる。第２の手順
として（ｇ）では１画素幅までパターンを細線化する。
第３の手順として（ｈ）では３×３局所領域（図中□で
示される位置）において細線化画像の連結性を判定し、
ｂ点及びｃ点を分岐点すなわちショートとして検出す
る。異常の手順によって線幅太り、断線及びショートが
検出される。
照しながら説明する。（ｅ）は欠陥画像を示しており、
ｂ点及びｃ点を線幅異常及びショートで致命的欠陥とし
て検出し、ａ点は欠陥として検出しないものとする。第
１の手順として（ｆ）では、画像を所定サイズ膨張する
ことによりｂ点に新たな連結を発生させる。第２の手順
として（ｇ）では１画素幅までパターンを細線化する。
第３の手順として（ｈ）では３×３局所領域（図中□で
示される位置）において細線化画像の連結性を判定し、
ｂ点及びｃ点を分岐点すなわちショートとして検出す
る。異常の手順によって線幅太り、断線及びショートが
検出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】２値画像を膨張及び収
縮し、欠陥の特徴を助長した後細線化し、３×３局所領
域における判定で欠陥検出する方式について説明した。
この方式は配線パターンの設計ルールを巧妙に利用し欠
陥を検出するもので、有望な方式といえよう。
縮し、欠陥の特徴を助長した後細線化し、３×３局所領
域における判定で欠陥検出する方式について説明した。
この方式は配線パターンの設計ルールを巧妙に利用し欠
陥を検出するもので、有望な方式といえよう。
【０００６】しかし、収縮や膨張処理で欠陥の特徴を助
長するために、線幅不足と断線あるいは線幅太りとショ
ートの分類ができない。また複数の設計線幅に対し線幅
検査を行う場合、画像の収縮・膨張・細線化のプロセス
が複数必要となり、装置化する際のハードウェアやソフ
トウェアの負担が大きくなるなどの課題がある。
長するために、線幅不足と断線あるいは線幅太りとショ
ートの分類ができない。また複数の設計線幅に対し線幅
検査を行う場合、画像の収縮・膨張・細線化のプロセス
が複数必要となり、装置化する際のハードウェアやソフ
トウェアの負担が大きくなるなどの課題がある。
【０００７】本発明は上記課題に鑑み、画像の収縮・膨
張・細線化などの反復処理を施すことなく簡易なマスク
処理で、断線・ショート。線幅不足などの多様な欠陥を
検査することができる配線パターン検査装置を提供する
ことを目的とする。
張・細線化などの反復処理を施すことなく簡易なマスク
処理で、断線・ショート。線幅不足などの多様な欠陥を
検査することができる配線パターン検査装置を提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、プリント基板上に形成された配線パターン
を光電変換する画像入力手段と、画像入力手段からの濃
淡画像を２値画像に変換する２値化手段と、前記２値画
像を記憶する画像記憶手段と、前記画像記憶手段に記憶
された２値画像を窓走査するＭ×Ｎ窓走査手段と、前記
Ｍ×Ｎ走査窓内の複数の同心状領域において各行及び各
列ごとに論理積及び論理和を演算する論理演算手段と、
前記各行及び各列の論理演算の結果の総和を演算する中
心位置検出手段と、前記論理演算手段及び中心位置検出
手段からの演算結果を参照し、断線、ショート、線幅不
足などの欠陥を検出する欠陥判定手段とから構成したも
のである。
に本発明は、プリント基板上に形成された配線パターン
を光電変換する画像入力手段と、画像入力手段からの濃
淡画像を２値画像に変換する２値化手段と、前記２値画
像を記憶する画像記憶手段と、前記画像記憶手段に記憶
された２値画像を窓走査するＭ×Ｎ窓走査手段と、前記
Ｍ×Ｎ走査窓内の複数の同心状領域において各行及び各
列ごとに論理積及び論理和を演算する論理演算手段と、
前記各行及び各列の論理演算の結果の総和を演算する中
心位置検出手段と、前記論理演算手段及び中心位置検出
手段からの演算結果を参照し、断線、ショート、線幅不
足などの欠陥を検出する欠陥判定手段とから構成したも
のである。
【０００９】
【作用】本発明は上記構成によって、プリント基板上に
形成された配線パターンを光電変換して得られる濃淡画
像を２値化し、２値画像をＭ×Ｎ走査窓で１画素ずつ走
査し、窓内の同心状の領域において水平方向の各行及び
垂直方向の各列において論理演算を行い、前記水平及び
垂直方向に投影された論理演算の結果パターンの形状と
位置を判定するため、１回のマスク走査による簡易な処
理で配線パターン中心線上において多様な欠陥の検査を
行うことができる。
形成された配線パターンを光電変換して得られる濃淡画
像を２値化し、２値画像をＭ×Ｎ走査窓で１画素ずつ走
査し、窓内の同心状の領域において水平方向の各行及び
垂直方向の各列において論理演算を行い、前記水平及び
垂直方向に投影された論理演算の結果パターンの形状と
位置を判定するため、１回のマスク走査による簡易な処
理で配線パターン中心線上において多様な欠陥の検査を
行うことができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【００１１】図１は本発明の一実施例における配線パタ
ーン検査装置の構成図である。図１において、１０１は
プリント基板、１０２はＣＣＤカメラなどの撮像装置を
備えた画像入力手段、１０３は濃淡画像を２値画像に変
換する２値化手段、１０４は２値画像を記憶する画像記
憶手段、１０５は前記画像記憶手段に記憶された２値画
像をＭ×Ｎ走査窓で切り出し走査するＭ×Ｎ窓走査手
段、１０６は前記Ｍ×Ｎ走査窓の画素データの論理和あ
るいは論理積演算を行う論理演算手段、１０７は前記論
理演算の結果から配線パターンの中心位置を検出する中
心位置検出手段、１０８は、前記論理演算の結果から欠
陥の判定を行う欠陥判定手段である。
ーン検査装置の構成図である。図１において、１０１は
プリント基板、１０２はＣＣＤカメラなどの撮像装置を
備えた画像入力手段、１０３は濃淡画像を２値画像に変
換する２値化手段、１０４は２値画像を記憶する画像記
憶手段、１０５は前記画像記憶手段に記憶された２値画
像をＭ×Ｎ走査窓で切り出し走査するＭ×Ｎ窓走査手
段、１０６は前記Ｍ×Ｎ走査窓の画素データの論理和あ
るいは論理積演算を行う論理演算手段、１０７は前記論
理演算の結果から配線パターンの中心位置を検出する中
心位置検出手段、１０８は、前記論理演算の結果から欠
陥の判定を行う欠陥判定手段である。
【００１２】以上のように構成された配線パターン検査
装置について、その動作を説明する。まずプリント基板
１０１に形成された配線パターンを、ＣＣＤカメラなど
の画像入力手段１０２で光学的に検知し光電変換を行い
濃淡画像に変換する。２値化手段１０３では前記画像入
力手段１０２からの濃淡画像を所定の閾値と比較し、配
線パターンを１、基材部を０とする２値画像に変換す
る。前記２値画像はフレームメモリなどの画像記憶手段
１０４に記憶され、以降前記画像記憶手段１０４に記憶
された画像に対し、Ｍ×Ｎ窓走査手段１０５によりＭ×
Ｎ画素の局所領域を切り出し、画像の先頭から１画素ず
つ走査する。ここでＭ及びＮは、配線パターンの標準幅
の１．５倍程度とする。論理演算手段１０６は、前記Ｍ
×Ｎ窓走査手段１０５にからの画像データに対し、主走
査方向の各行毎、副走査方向の各列毎に論理和及び論理
積演算を行い、各演算結果のビットパターンを図示しな
いレジスタに一時的に記憶する。中心位置検出手段１０
７は前記論理積演算の結果の論理和を演算し、配線パタ
ーンの中心位置を検出するためのビットパターンを生成
し、図示しないレジスタに一時的に記憶する。欠陥判定
手段１０８は前記論理演算手段１０６及び中心位置検出
手段１０７における演算結果が格納されたレジスタを参
照し、そのビットパターンの組合せから欠陥パターンの
判定を行うものである。
装置について、その動作を説明する。まずプリント基板
１０１に形成された配線パターンを、ＣＣＤカメラなど
の画像入力手段１０２で光学的に検知し光電変換を行い
濃淡画像に変換する。２値化手段１０３では前記画像入
力手段１０２からの濃淡画像を所定の閾値と比較し、配
線パターンを１、基材部を０とする２値画像に変換す
る。前記２値画像はフレームメモリなどの画像記憶手段
１０４に記憶され、以降前記画像記憶手段１０４に記憶
された画像に対し、Ｍ×Ｎ窓走査手段１０５によりＭ×
Ｎ画素の局所領域を切り出し、画像の先頭から１画素ず
つ走査する。ここでＭ及びＮは、配線パターンの標準幅
の１．５倍程度とする。論理演算手段１０６は、前記Ｍ
×Ｎ窓走査手段１０５にからの画像データに対し、主走
査方向の各行毎、副走査方向の各列毎に論理和及び論理
積演算を行い、各演算結果のビットパターンを図示しな
いレジスタに一時的に記憶する。中心位置検出手段１０
７は前記論理積演算の結果の論理和を演算し、配線パタ
ーンの中心位置を検出するためのビットパターンを生成
し、図示しないレジスタに一時的に記憶する。欠陥判定
手段１０８は前記論理演算手段１０６及び中心位置検出
手段１０７における演算結果が格納されたレジスタを参
照し、そのビットパターンの組合せから欠陥パターンの
判定を行うものである。
【００１３】以上のように構成された配線パターン検査
装置について、図面を参照しながらその動作をさらに詳
しく説明する。以下、本実施例では配線パターンの設計
線幅を８画素とし、前記Ｍ×Ｎ走査窓を１２×１２画素
の走査窓として動作を説明する。図２は論理演算手段１
０５の具体例を示す図である。図２において、２０１は
６×６走査窓、２０２は８×８局所領域、２０３は１０
×１０局所領域、２０４は１２×１２走査窓、２１１、
２１２、２１３及び２１４は主走査方向の論理積レジス
タ、２１５は主走査方向の論理和レジスタ、２２１、２
２２、２２３及び２２４は副走査方向の論理積レジス
タ、２２５は副走査方向の論理和レジスタである。以下
各レジスタに出力する演算内容について説明する。レジ
スタ２１１、２１２、２１３、及び２１４は、走査窓に
おける２０１、２０２、２０３及び２０４の各領域にお
いて水平方向の画素の論理積演算を行い、各行の演算結
果を各レジスタの対応するビット位置に出力する。例え
ば、ｒ11はｄ40からｄ45の６個データの論理積、ｒ21は
ｄ27からｄ34の８個のデータの論理積、ｒ31はｄ14から
ｄ23の１０個のデータの論理積、ｒ41はｄ1からｄ12の
１２個のデータの論理積の結果を格納する。レジスタ２
２１、２２２、２２３、及び２２４も同様に、走査窓に
おける２０１、２０２、２０３及び２０４の各領域にお
いて垂直方向の画素の論理積演算を行い、各列の演算結
果を各レジスタの対応するビット位置に出力する。また
主走査方向の論理和レジスタ２１５には、領域２０４の
水平方向の論理和演算の結果を対応するビット位置に出
力する。例えばｐ1はｄ1からｄ12の１２個のデータの論
理積の結果が格納される。副走査方向の論理和レジスタ
２２５も同様に、領域２０４の垂直方向の論理和演算の
結果を対応するビット位置に出力する。以上の演算によ
り、走査窓２０４における同心上の複数の方形領域の水
平及び垂直方向の論理射影が形成され、欠陥判定の特徴
量として欠陥判定手段１０８に出力される。
装置について、図面を参照しながらその動作をさらに詳
しく説明する。以下、本実施例では配線パターンの設計
線幅を８画素とし、前記Ｍ×Ｎ走査窓を１２×１２画素
の走査窓として動作を説明する。図２は論理演算手段１
０５の具体例を示す図である。図２において、２０１は
６×６走査窓、２０２は８×８局所領域、２０３は１０
×１０局所領域、２０４は１２×１２走査窓、２１１、
２１２、２１３及び２１４は主走査方向の論理積レジス
タ、２１５は主走査方向の論理和レジスタ、２２１、２
２２、２２３及び２２４は副走査方向の論理積レジス
タ、２２５は副走査方向の論理和レジスタである。以下
各レジスタに出力する演算内容について説明する。レジ
スタ２１１、２１２、２１３、及び２１４は、走査窓に
おける２０１、２０２、２０３及び２０４の各領域にお
いて水平方向の画素の論理積演算を行い、各行の演算結
果を各レジスタの対応するビット位置に出力する。例え
ば、ｒ11はｄ40からｄ45の６個データの論理積、ｒ21は
ｄ27からｄ34の８個のデータの論理積、ｒ31はｄ14から
ｄ23の１０個のデータの論理積、ｒ41はｄ1からｄ12の
１２個のデータの論理積の結果を格納する。レジスタ２
２１、２２２、２２３、及び２２４も同様に、走査窓に
おける２０１、２０２、２０３及び２０４の各領域にお
いて垂直方向の画素の論理積演算を行い、各列の演算結
果を各レジスタの対応するビット位置に出力する。また
主走査方向の論理和レジスタ２１５には、領域２０４の
水平方向の論理和演算の結果を対応するビット位置に出
力する。例えばｐ1はｄ1からｄ12の１２個のデータの論
理積の結果が格納される。副走査方向の論理和レジスタ
２２５も同様に、領域２０４の垂直方向の論理和演算の
結果を対応するビット位置に出力する。以上の演算によ
り、走査窓２０４における同心上の複数の方形領域の水
平及び垂直方向の論理射影が形成され、欠陥判定の特徴
量として欠陥判定手段１０８に出力される。
【００１４】次に中心位置検出手段１０７における具体
的処理について、図３を参照しながら説明する。図３
は、主走査方向の中心位置検出レジスタの演算内容を示
す図である。図３においてにおいて、ｒ11からｒ4cは、
図２における主走査方向の論理積レジスタ２１１、２１
２、２１３及び２１４に格納されたデータ、３０１は中
心位置検出レジスタを示す。中心位置検出レジスタ３０
１は、走査窓２０４における各領域の論理積演算の結果
の総和を示すデータを格納するもので、本実施例ではレ
ジスタ２１１、２１２、２１３及び２１４の水平方向の
要素ごとの論理和をとる例について示す。すなわち中心
位置検出レジスタ３０１における１２ビットのパターン
が、１を挟んで両側に対称に０が配置される構成をとる
とき、走査窓２０４は主走査方向の配線パターンの中心
線上を走査している事を意味する。なお説明は省略する
が、副走査方向の論理積レジスタ２２１、２２２、２２
３及び２２４に格納されたデータに対しても、水平方向
の要素ごとの論理和をとり、図示しない副走査方向の中
心位置検出レジスタに格納する。欠陥判定手段１０８
は、前記論理演算手段１０６と中心位置検出手段１０７
より提示される各特徴のビットパターンを判定し欠陥の
判定を行う。
的処理について、図３を参照しながら説明する。図３
は、主走査方向の中心位置検出レジスタの演算内容を示
す図である。図３においてにおいて、ｒ11からｒ4cは、
図２における主走査方向の論理積レジスタ２１１、２１
２、２１３及び２１４に格納されたデータ、３０１は中
心位置検出レジスタを示す。中心位置検出レジスタ３０
１は、走査窓２０４における各領域の論理積演算の結果
の総和を示すデータを格納するもので、本実施例ではレ
ジスタ２１１、２１２、２１３及び２１４の水平方向の
要素ごとの論理和をとる例について示す。すなわち中心
位置検出レジスタ３０１における１２ビットのパターン
が、１を挟んで両側に対称に０が配置される構成をとる
とき、走査窓２０４は主走査方向の配線パターンの中心
線上を走査している事を意味する。なお説明は省略する
が、副走査方向の論理積レジスタ２２１、２２２、２２
３及び２２４に格納されたデータに対しても、水平方向
の要素ごとの論理和をとり、図示しない副走査方向の中
心位置検出レジスタに格納する。欠陥判定手段１０８
は、前記論理演算手段１０６と中心位置検出手段１０７
より提示される各特徴のビットパターンを判定し欠陥の
判定を行う。
【００１５】以下に欠陥判定手段１０８における欠陥の
判定手順について図４、図５及び図６を参照しながら説
明する。まず図４を用いて線幅不足の検出手順について
説明する。図４において４０１は配線パターン、４０２
及び４０３は図２における２１４及び２２４に対応する
論理積レジスタ、４０４及び４０５は図２における２１
５及び２２５に対応する論理和レジスタ、４０６及び４
０７は図３における３０１に対応する中心位置検出レジ
スタ、４１０は走査窓を示す。まず中心位置検出レジス
タ４０６及び４０７を参照し、走査窓４１０が配線パタ
ーンの中心位置にあるかどうかを判定する。具体的には
レジスタ４０６と４０７のいずれかのビットパターンに
おいて１を挟んで両側に対称に０が配置しているかどう
かを判定する。前記判定により走査窓が配線パターンの
中心位置にあるとき、その方向の論理積レジスタを参照
し、値１の画素数をカウントし、最小設計線幅との比較
を行い線幅不足を検出する。図４に示す例では、中心位
置検出レジスタ４０７におけるビットパターンにより走
査窓が配線パターンの中心位置であることが検出される
ので、論理積レジスタ４０３を参照し、線幅カウント値
４画素を得る。ここで配線パターンの最小設計線幅を６
画素とすると、線幅カウント値は最小設計線幅を下回
り、この位置で線幅不足が検出される。
判定手順について図４、図５及び図６を参照しながら説
明する。まず図４を用いて線幅不足の検出手順について
説明する。図４において４０１は配線パターン、４０２
及び４０３は図２における２１４及び２２４に対応する
論理積レジスタ、４０４及び４０５は図２における２１
５及び２２５に対応する論理和レジスタ、４０６及び４
０７は図３における３０１に対応する中心位置検出レジ
スタ、４１０は走査窓を示す。まず中心位置検出レジス
タ４０６及び４０７を参照し、走査窓４１０が配線パタ
ーンの中心位置にあるかどうかを判定する。具体的には
レジスタ４０６と４０７のいずれかのビットパターンに
おいて１を挟んで両側に対称に０が配置しているかどう
かを判定する。前記判定により走査窓が配線パターンの
中心位置にあるとき、その方向の論理積レジスタを参照
し、値１の画素数をカウントし、最小設計線幅との比較
を行い線幅不足を検出する。図４に示す例では、中心位
置検出レジスタ４０７におけるビットパターンにより走
査窓が配線パターンの中心位置であることが検出される
ので、論理積レジスタ４０３を参照し、線幅カウント値
４画素を得る。ここで配線パターンの最小設計線幅を６
画素とすると、線幅カウント値は最小設計線幅を下回
り、この位置で線幅不足が検出される。
【００１６】次に図５を用いて配線パターンのショート
や突起により発生する分岐の検出手順について説明す
る。図５において５０１は配線パターン、５０２及び５
０３は図２における２１４及び２２４に対応する論理積
レジスタ、５０４及び５０５は図２における２１５及び
２２５に対応する論理和レジスタ、５０６及び５０７は
図３における３０１に対応する中心位置検出レジスタ、
５１０は走査窓を示す。まず中心位置検出レジスタ５０
６及び５０７を参照し、レジスタ５０６及び５０７のビ
ットパターンがともに配線パターンの中心位置を検出し
ているかどうかを判定する。前記条件を満足する場合、
次に論理和レジスタ５０４及び５０５を参照し、レジス
タ５０４と５０６のいずれかのビットパターンが全て１
であるときに分岐であると判定する。図５に示す例は、
副走査方向のパターンに対し主走査方向の分岐の発生を
示しており、２組のパターンの中心軸を検出することに
より、パターンの交差あるいは分岐を検出される。配線
パターンの屈曲部においても同様に２組のパターンの中
心軸が検出されるが、論理和レジスタ５０４及び５０５
における判定によりパターンが走査窓を完全に通過して
いることを検出し、欠陥の誤検出を防止するものであ
る。
や突起により発生する分岐の検出手順について説明す
る。図５において５０１は配線パターン、５０２及び５
０３は図２における２１４及び２２４に対応する論理積
レジスタ、５０４及び５０５は図２における２１５及び
２２５に対応する論理和レジスタ、５０６及び５０７は
図３における３０１に対応する中心位置検出レジスタ、
５１０は走査窓を示す。まず中心位置検出レジスタ５０
６及び５０７を参照し、レジスタ５０６及び５０７のビ
ットパターンがともに配線パターンの中心位置を検出し
ているかどうかを判定する。前記条件を満足する場合、
次に論理和レジスタ５０４及び５０５を参照し、レジス
タ５０４と５０６のいずれかのビットパターンが全て１
であるときに分岐であると判定する。図５に示す例は、
副走査方向のパターンに対し主走査方向の分岐の発生を
示しており、２組のパターンの中心軸を検出することに
より、パターンの交差あるいは分岐を検出される。配線
パターンの屈曲部においても同様に２組のパターンの中
心軸が検出されるが、論理和レジスタ５０４及び５０５
における判定によりパターンが走査窓を完全に通過して
いることを検出し、欠陥の誤検出を防止するものであ
る。
【００１７】次に図６を用いて配線パターンの断線の検
出手順について説明する。図６において６０１は配線パ
ターン、６０２及び６０３は図２における２１４及び２
２４に対応する論理積レジスタ、６０４及び６０５は図
２における２１５及び２２５に対応する論理和レジス
タ、６０６及び６０７は図３における３０１に対応する
中心位置検出レジスタ、６１０は走査窓を示す。まず中
心位置検出レジスタ６０６及び６０７を参照し、レジス
タ６０６及び６０７のビットパターンのいずれかが配線
パターンの中心位置を検出しているかどうかを判定す
る。次に前記条件を満足する方向の論理和レジスタを参
照し、ビットパターンが中央に１を挟んで両側に対称に
０が配置しているかどうかを判定する。さらに前記条件
を満足する場合にもう片方の論理和レジスタを参照し、
ビットパターンが連続した１のビット群と連続した０の
ビット群の２組のビット群のみから構成されるとき、断
線であると判定する。図６に示す例では、中心位置検出
レジスタ６０７により中心位置を検出し、その方向の論
理和レジスタ６０５より副走査方向の配線パターンであ
ることを確定し、さらにもう一方の論理和レジスタ６０
６により、走査窓６１０の下側で配線パターンが途切れ
ていることを検出するものである。以上図４、図５及び
図６に示した３組の判定は、走査窓が１画素シフトする
ごとに各々独立して並列的に実行するため、走査窓の同
じ位置で例えば線幅不足と断線というように同時に複数
の欠陥が検出される場合もある。
出手順について説明する。図６において６０１は配線パ
ターン、６０２及び６０３は図２における２１４及び２
２４に対応する論理積レジスタ、６０４及び６０５は図
２における２１５及び２２５に対応する論理和レジス
タ、６０６及び６０７は図３における３０１に対応する
中心位置検出レジスタ、６１０は走査窓を示す。まず中
心位置検出レジスタ６０６及び６０７を参照し、レジス
タ６０６及び６０７のビットパターンのいずれかが配線
パターンの中心位置を検出しているかどうかを判定す
る。次に前記条件を満足する方向の論理和レジスタを参
照し、ビットパターンが中央に１を挟んで両側に対称に
０が配置しているかどうかを判定する。さらに前記条件
を満足する場合にもう片方の論理和レジスタを参照し、
ビットパターンが連続した１のビット群と連続した０の
ビット群の２組のビット群のみから構成されるとき、断
線であると判定する。図６に示す例では、中心位置検出
レジスタ６０７により中心位置を検出し、その方向の論
理和レジスタ６０５より副走査方向の配線パターンであ
ることを確定し、さらにもう一方の論理和レジスタ６０
６により、走査窓６１０の下側で配線パターンが途切れ
ていることを検出するものである。以上図４、図５及び
図６に示した３組の判定は、走査窓が１画素シフトする
ごとに各々独立して並列的に実行するため、走査窓の同
じ位置で例えば線幅不足と断線というように同時に複数
の欠陥が検出される場合もある。
【００１８】
【発明の効果】以上のように本発明は、プリント配線パ
ターンの２値画像をＭ×Ｎ走査窓で１画素ずつ走査し、
窓内の同心状の領域において水平方向の各行及び垂直方
向の各列において論理積及び論理和演算を行い水平及び
垂直方向に投影された形状特徴を抽出し、さらに前記論
理積の結果の論理和演算を行い配線パターンの中心位置
を示す特徴量を抽出し、前記各特徴量の組合せでパター
ンの形状と位置を判定するため、１回のマスク走査で配
線パターン中心線上において多様な欠陥の検査を行うこ
とができる優れた配線パターン検査装置を実現できるも
のである。
ターンの２値画像をＭ×Ｎ走査窓で１画素ずつ走査し、
窓内の同心状の領域において水平方向の各行及び垂直方
向の各列において論理積及び論理和演算を行い水平及び
垂直方向に投影された形状特徴を抽出し、さらに前記論
理積の結果の論理和演算を行い配線パターンの中心位置
を示す特徴量を抽出し、前記各特徴量の組合せでパター
ンの形状と位置を判定するため、１回のマスク走査で配
線パターン中心線上において多様な欠陥の検査を行うこ
とができる優れた配線パターン検査装置を実現できるも
のである。
【図１】本発明の一実施例における配線パターン検査装
置のブロック結線図
置のブロック結線図
【図２】同配線パターン検査装置における論理演算手段
の概念構成図
の概念構成図
【図３】同配線パターン検査装置における中心位置検出
手段のブロック結線図
手段のブロック結線図
【図４】同配線パターン検査装置における線幅不足の検
出手順を示す図
出手順を示す図
【図５】同配線パターン検査装置における分岐の検出手
順を示す図
順を示す図
【図６】同配線パターン検査装置における断線の検出手
順を示す図
順を示す図
【図７】従来の配線パターンの欠陥検出手順を示す図
【符号の説明】 １０１ プリント基板 １０２ 画像入力手段 １０３ ２値化手段 １０４ 画像記憶手段 １０５ Ｍ×Ｎ窓走査手段 １０６ 論理演算手段 １０７ 中心位置検出手段 １０８ 欠陥判定手段 ２０１ ６×６局所領域 ２０２ ８×８局所領域 ２０３ １０×１０局所領域 ２０４ １２×１２走査窓 ２１１ 主走査方向論理積レジスタ ２１２ 主走査方向論理積レジスタ ２１３ 主走査方向論理積レジスタ ２１４ 主走査方向論理積レジスタ ２１５ 主走査方向論理和レジスタ ２２１ 副走査方向論理積レジスタ ２２２ 副走査方向論理積レジスタ ２２３ 副走査方向論理積レジスタ ２２４ 副走査方向論理積レジスタ ２２５ 副走査方向論理和レジスタ ３０１ 中心位置検出レジスタ ４０１ 配線パターン ４０２ 主走査方向論理積レジスタ ４０３ 副走査方向論理積レジスタ ４０４ 主走査方向論理和レジスタ ４０５ 副走査方向論理和レジスタ ４０６ 主走査方向中心位置検出レジスタ ４０７ 副走査方向中心位置検出レジスタ ４１０ １２×１２走査窓 ５０１ 配線パターン ５０２ 主走査方向論理積レジスタ ５０３ 副走査方向論理積レジスタ ５０４ 主走査方向論理和レジスタ ５０５ 副走査方向論理和レジスタ ５０６ 主走査方向中心位置検出レジスタ ５０７ 副走査方向中心位置検出レジスタ ５１０ １２×１２走査窓 ６０１ 配線パターン ６０２ 主走査方向論理積レジスタ ６０３ 副走査方向論理積レジスタ ６０４ 主走査方向論理和レジスタ ６０５ 副走査方向論理和レジスタ ６０６ 主走査方向中心位置検出レジスタ ６０７ 副走査方向中心位置検出レジスタ ６１０ １２×１２走査窓
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｑ 6921−4Ｅ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】プリント基板上に形成された配線パターン
を光電変換する画像入力手段と、画像入力手段からの濃
淡画像を２値画像に変換する２値化手段と、前記２値画
像を記憶する画像記憶手段と、前記画像記憶手段に記憶
された２値画像を窓走査するＭ×Ｎ窓走査手段と、前記
Ｍ×Ｎ走査窓内の複数の同心状領域において各行及び各
列ごとに論理積及び論理和を演算する論理演算手段と、
前記各行及び各列の論理演算の結果の総和を演算する中
心位置検出手段と、前記論理演算手段及び中心位置検出
手段からの演算結果の組合せから配線パターンの欠陥を
判定する欠陥判定手段を備えた配線パターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22262891A JP2737467B2 (ja) | 1990-09-05 | 1991-09-03 | 配線パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2-236736 | 1990-09-05 | ||
| JP23673690 | 1990-09-05 | ||
| JP22262891A JP2737467B2 (ja) | 1990-09-05 | 1991-09-03 | 配線パターン検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0518903A true JPH0518903A (ja) | 1993-01-26 |
| JP2737467B2 JP2737467B2 (ja) | 1998-04-08 |
Family
ID=26524978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22262891A Expired - Fee Related JP2737467B2 (ja) | 1990-09-05 | 1991-09-03 | 配線パターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2737467B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6801823B2 (en) | 2002-04-01 | 2004-10-05 | Renesas Technology Corp. | Photomask supply system with photomask production period shortened |
-
1991
- 1991-09-03 JP JP22262891A patent/JP2737467B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6801823B2 (en) | 2002-04-01 | 2004-10-05 | Renesas Technology Corp. | Photomask supply system with photomask production period shortened |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2737467B2 (ja) | 1998-04-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |