JPH09288037A - Lcdパネルの検査方法 - Google Patents

Lcdパネルの検査方法

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JPH09288037A
JPH09288037A JP9895996A JP9895996A JPH09288037A JP H09288037 A JPH09288037 A JP H09288037A JP 9895996 A JP9895996 A JP 9895996A JP 9895996 A JP9895996 A JP 9895996A JP H09288037 A JPH09288037 A JP H09288037A
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image
defect
defects
binarized
point
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Application number
JP9895996A
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English (en)
Inventor
Hideto Fujita
日出人 藤田
Kazuo Ibata
一男 井畑
Masakazu Asano
昌和 浅野
Kiyotaka Minamiura
清隆 南浦
Kiyomasa Imai
清正 今井
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Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は、偽の点欠陥を点欠陥として誤検
出するといったことが防止できるLCDパネルの検査方
法を提供することを目的とする。 【解決手段】 LCDパネルの濃淡画像に対して、第1
しきい値を用いて2値化処理を行い、得られた第1の2
値化画像から点欠陥、線欠陥および面欠陥のうち、面欠
陥のみが得られるような第1画像を生成する第1ステッ
プ、LCDパネルの濃淡画像に対して、第1しきい値に
比べて欠陥が抽出されにくい第2しきい値を用いて2値
化処理を行い、得られた第2の2値化画像と上記第1画
像とに基づいて、線欠陥のみが得られるような第2画像
を生成する第2ステップ、LCDパネルの濃淡画像に対
して、第2しきい値に比べて欠陥が抽出されにくい第3
しきい値を用いて2値化処理を行い、得られた第3の2
値化画像と上記第1画像と上記第2画像とに基づいて、
点欠陥のみが得られるような第3画像を生成する第3ス
テップを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、LCDパネルの検査
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】LCD(liquid crystal display) パネ
ルの検査は、人間の目視による検査が主流である。しか
し、近年、検査基準の定量化、生産性の向上のために自
動検査が試みられている。
【0003】LCDパネルの自動検査では、CCD(ch
arge coupled device)カメラ等の撮像装置によってLC
Dパネルが撮像され、その撮像画像の2値化画像に基づ
いて、LCDパネルの欠陥の検査が行なわれる。LCD
パネルの欠陥には、点欠陥、線欠陥、面欠陥等がある。
【0004】図1は、LCDパネルの撮像画像の2値化
画像の一例を示している。
【0005】図1において、11は面欠陥を、12、1
3は線欠陥を、14、15は真の点欠陥を示している。
LCDパネルの撮像画像の2値化画像では、図1に示す
ように、面欠陥11の周囲に偽の点欠陥が現れることが
ある。また、図1に示すように、線欠陥の延長状に偽の
点欠陥が現れることがある。
【0006】2値化画像において面欠陥11の周囲に現
れる偽点欠陥は、本来は面欠陥に属するものであるが、
撮像画像を2値化したために生じたものである。同様
に、2値化画像において線欠陥12、13の延長状に現
れる偽点欠陥は、本来は線欠陥に属するものであるが、
撮像画像を2値化したために生じたものである。
【0007】このような2値化画像に基づいて、点欠陥
を検出した場合には、真の点欠陥14、15の他、面欠
陥11の周囲に現れる偽点欠陥および線欠陥12、13
の延長状に現れる偽点欠陥も、点欠陥として検出されて
しまう。
【0008】ところで、検出された欠陥の種類に基づい
て、欠陥発生原因、欠陥発生工程等を、解明したり、絞
り込んだりすることが可能であるが、上記のように、本
来面欠陥に属する偽点欠陥、本来線欠陥に属する偽点欠
陥を、点欠陥として誤検出した場合には、欠陥発生原
因、欠陥発生工程等の解明、絞り込みが正確にできなく
なる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、偽の点欠
陥を点欠陥として誤検出するといったことが防止できる
LCDパネルの検査方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明による第1のL
CDパネルの検査方法は、LCDパネルの濃淡画像に対
して、第1しきい値を用いて2値化処理を行い、得られ
た第1の2値化画像から点欠陥、線欠陥および面欠陥の
うち、面欠陥のみが得られるような第1画像を生成する
第1ステップ、LCDパネルの濃淡画像に対して、第1
しきい値に比べて欠陥が抽出されにくい第2しきい値を
用いて2値化処理を行い、得られた第2の2値化画像と
上記第1画像とに基づいて、線欠陥のみが得られるよう
な第2画像を生成する第2ステップ、LCDパネルの濃
淡画像に対して、第2しきい値に比べて欠陥が抽出され
にくい第3しきい値を用いて2値化処理を行い、得られ
た第3の2値化画像と上記第1画像と上記第2画像とに
基づいて、点欠陥のみが得られるような第3画像を生成
する第3ステップ、ならびに第3画像に基づいて、点欠
陥を抽出する第4ステップを備えていることを特徴とす
る。
【0011】第1ステップとしては、たとえば、第1し
きい値を用いて濃淡画像を2値化するステップ、得られ
た2値化画像に対して、点欠陥および線欠陥を除去する
ために収縮処理を所定回行なうステップ、および収縮処
理が行なわれた画像に対して、残った面欠陥を元の大き
さに戻すために膨張処理を所定回行なうステップを備え
ているものが用いられる。
【0012】第2ステップとしては、たとえば、第2し
きい値を用いて濃淡画像を2値化するステップ、得られ
た2値化画像に対して、点欠陥を除去するために収縮処
理を所定回行なうステップ、および収縮処理が行なわれ
た画像と第1ステップで得られた第1画像とに基づい
て、収縮処理が行なわれた画像から面欠陥を除去するス
テップを備えているものが用いられる。
【0013】この発明による第1のLCDパネルの検査
方法において、第1の2値化画像は、最も欠陥が抽出さ
れやすい画像である。第2の2値化画像は、その次に欠
陥が抽出されやすい画像である。第3の2値化画像は、
最も欠陥が抽出されにくい画像である。第1の2値化画
像に基づいて、面欠陥のみが得られるような第1画像が
生成され、第2の2値化画像に基づいて、線欠陥のみが
得られるような第2画像が生成され、第3の2値化画像
から、第1画像の面欠陥および第2画像の線欠陥が除去
されるので、偽点欠陥のない真の点欠陥のみの第3画像
が得られる。この第3画像に基づいて、点欠陥が抽出さ
れるので、偽点欠陥が点欠陥として抽出されるといった
ことが回避される。
【0014】この発明による第2のLCDパネルの検査
方法は、LCDパネルの濃淡画像とその平滑化画像との
差分画像に対して2値化処理を行なうことにより、第1
画像を生成する第1ステップ、上記平滑化画像を2値化
処理し、得られた2値化画像に基づいて、点欠陥および
線欠陥が除去されかつ面欠陥の拡大画像のみが得られる
ような第2画像を生成する第2ステップ、ならびに第1
画像と第2画像とが合成された第3画像を生成し、得ら
れた第3画像に基づいて、点欠陥、線欠陥および面欠陥
を抽出することを特徴とする。
【0015】第2ステップとしては、たとえば、平滑化
画像を2値化処理するステップ、得られた2値化画像に
対して、点欠陥および線欠陥を除去するために収縮処理
を所定回数行なうステップ、および収縮処理が行なわれ
た画像に対して、残った面欠陥を拡大させるために膨張
処理を収縮処理回数よりも多い所定の回数行なうステッ
プを備えているものが用いられる。
【0016】この発明による第2のLCDパネルの検査
方法では、LCDパネルの濃淡画像とその平滑化画像と
の差分画像に対して2値化処理が行なわれることによ
り、第1画像が生成されている。したがって、この第1
画像は、点欠陥および線欠陥を抽出するのに適した画像
となる。この第1画像には、面欠陥は現れないが、面欠
陥の境界部に偽点欠陥が発生することがある。
【0017】一方、上記平滑化画像が2値化処理され、
得られた2値化画像に基づいて、点欠陥および線欠陥が
除去されかつ面欠陥の拡大画像のみが得られるような第
2画像が生成されている。そして、第1画像と第2画像
とが合成された第3画像が生成されている。したがっ
て、第3画像には、第1画像における点欠陥および面欠
陥と、第3画像における面欠陥とが現れる。しかも、第
3画像では、第1画像において面欠陥の境界部に発生し
た偽点欠陥が第3画像における面欠陥によって覆われる
ので、偽点欠陥が現れなくなる。そして、この第3画像
に基づいて、点欠陥が抽出されるので、偽点欠陥が点欠
陥として抽出されるといったことが回避される。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて説明する。
【0019】〔1〕第1の実施の形態についての説明
【0020】LCDパネルの撮像画像を単純に2値化処
理することにより得られた画像が図1である場合を例に
とって、第1の実施の形態であるLCDパネルの検査方
法について説明する。
【0021】第1の実施の形態であるLCDパネルの検
査方法において行なわれる処理は、図2に示す面欠陥抽
出処理、図3に示す縦線欠陥抽出処理、図4に示す横線
欠陥抽出処理および図5に示す点欠陥抽出処理からな
る。
【0022】面欠陥、線欠陥および点欠陥の検査におい
ては、明側の面欠陥、線欠陥および点欠陥の検査(以
下、明側欠陥検査という)と、暗側の面欠陥、線欠陥お
よび点欠陥の検査(以下、暗側欠陥検査という)とが行
なわれるが、ここでは、暗側欠陥検査についてのみ説明
する。また、撮像画像は、白が”255”、黒が”0”
の256階調の濃淡画像であるものとする。
【0023】また、面欠陥抽出処理、線欠陥抽出処理お
よび点欠陥抽出処理は、いずれも撮像画像(以下、元画
像という)の2値化画像に基づいて行なわれるが、その
しきい値は異なっている。面欠陥抽出処理に用いられる
しきい値をα、線欠陥抽出処理に用いられるしきい値を
β、点欠陥抽出処理に用いられるしきい値γとすると、
これらのしきい値の関係は、暗側欠陥検査においては、
図6に示すように、α>β>γとなる。
【0024】したがって、面欠陥抽出処理に用いられる
しきい値αは厳しく(欠陥が2値の”0”(黒)として
現れやすいしきい値であることを意味する)、点欠陥抽
出処理に用いられるしきい値γは甘く(欠陥が2値の”
0”(黒)として現れにくいしきい値であることを意味
する)、線欠陥抽出処理に用いられるしきい値βは両者
の中間である。
【0025】〔1−1〕面欠陥抽出処理についての説明 図2および図7に基づいて、面欠陥抽出処理について説
明する。
【0026】まず、元画像が、しきい値αを用いて2値
化される(ステップ1)。得られた2値化画像を、図7
(a)に示す。
【0027】次に、点欠陥、偽点欠陥および線欠陥を除
去するために、得られた2値化画像に対して、収縮処理
が所定のn回、この例では2回行なわれる(ステップ
2)。収縮処理としては、たとえば、注目画素を中心と
する3×3画素のうち、注目画素の周囲の8画素に白画
素”1”が1つでもあれば、注目画素の画素値を”1”
とする処理が用いられる。このようにして得られた画像
を、図7(b)に示す。図7(b)の画像では、図7
(a)の2値化画像から点欠陥、偽点欠陥および線欠陥
が除去され、面欠陥のみが残っている。
【0028】次に、ステップ2で得られた画像中に残っ
ている面欠陥の大きさを元の大きさに戻すために、得ら
れた画像に対して、膨張処理が所定のn回、この例では
2回行なわれる(ステップ3)。膨張処理としては、た
とえば、注目画素を中心とする3×3画素のうち、注目
画素の周囲の8画素に黒画素”0”が1つでもあれば、
注目画素の画素値を”0”とする処理が用いられる。こ
のようにして得られた画像を、図7(c)に示す。図7
(c)の画像では、図7(b)の画像中に残っていた面
欠陥が元の大きさに戻されている。
【0029】次に、ステップ3で得られた画像に対して
ラベリングが行なわれることにより、面欠陥が抽出され
る(ステップ4)。
【0030】次に、ステップ3で得られた画像に対し
て、反転処理が行なわれることにより、面欠陥をマスク
するための第1のマスク画像が生成される(ステップ
5)。第1のマスク画像を図7(d)に示す。
【0031】〔1−2〕縦線欠陥抽出処理についての説
明 図3および図8に基づいて、縦線欠陥抽出処理について
説明する。
【0032】まず、元画像が、しきい値βを用いて2値
化される(ステップ11)。得られた2値化画像を、図
8(a)に示す。
【0033】次に、縦線欠陥をできるだけ連結させるた
めに、得られた2値化画像に対して、縦方向の膨張処理
が所定のm回、この例では1回行なわれる(ステップ1
2)。この膨張処理としては、たとえば、注目画素の上
下2画素のうち、黒画素”0”が1つでもあれば、注目
画素の画素値を”0”とする処理が用いられる。このよ
うにして得られた画像を、図8(b)に示す。図8
(b)の画像では、図8(a)の2値化画像の上側の縦
線欠陥の下端が若干下方にのび、2値化画像の下側の縦
線欠陥の上端が若干上方にのびている。
【0034】次に、点欠陥(真の点欠陥および偽点欠陥
の両方を含む)および横線欠陥を除去するために、ステ
ップ12で得られた画像に対して、縦方向の収縮処理が
所定のk回、この例では2回行なわれる(ステップ1
3)。収縮処理としては、たとえば、注目画素の上下2
画素のうち、白画素”1”が1つでもあれば、注目画素
の画素値を”1”とする処理が用いられる。このように
して得られた画像を、図8(c)に示す。図8(c)の
画像では、図8(b)の画像から、点欠陥および横線欠
陥が除去されている。
【0035】次に、ステップ13で得られた画像中に含
まれている面欠陥が、第1のマスク画像(図7(d)参
照)によってマスクされる(ステップ14)。つまり、
ステップ13で得られた画像と第1のマスク画像との論
理和(OR)が演算される。この演算結果により得られ
た画像を、図8(d)に示す。図8(d)の画像では、
図8(c)の画像から、面欠陥が除去され、縦線欠陥の
みが残っている。次に、ステップ14で得られた画像に
対してラベリングが行なわれることにより、縦線欠陥が
抽出される(ステップ15)。
【0036】次に、ステップ14で得られた画像に対し
て、反転処理が行なわれる(ステップ16)。得られた
画像を図8(e)に示す。
【0037】次に、ステップ16で得られた反転画像
と、第1のマスク画像(図7(d)参照)との論理和
(OR)が演算されることにより、第2のマスク画像が
得られる(ステップ17)。第2のマスク画像を、図8
(f)に示す。
【0038】〔1−3〕横線欠陥抽出処理についての説
明 図4および図9に基づいて、横線欠陥抽出処理について
説明する。
【0039】まず、元画像が、しきい値βを用いて2値
化される(ステップ21)。得られた2値化画像を、図
9の(a)に示す。
【0040】次に、横線欠陥をできるだけ連結させるた
めに、得られた2値化画像に対して、横方向の膨張処理
が所定のm回、この例では1回行なわれる(ステップ2
2)。この膨張処理としては、たとえば、注目画素の左
右2画素のうち、黒画素”0”が1つでもあれば、注目
画素の画素値を”0”とする処理が用いられる。このよ
うにして得られた画像を、図9(b)に示す。図9
(b)の画像では、図9(a)の2値化画像の横線欠陥
の右端が若干右方向にのびている。
【0041】次に、点欠陥(真の点欠陥および偽点欠陥
の両方を含む)および縦線欠陥を除去するために、ステ
ップ22で得られた画像に対して、横方向の収縮処理が
所定のk回、この例では2回行なわれる(ステップ2
3)。収縮処理としては、たとえば、注目画素の左右2
画素のうち、白画素”1”が1つでもあれば、注目画素
の画素値を”1”とする処理が用いられる。このように
して得られた画像を、図9(c)に示す。図9(c)の
画像では、図9(b)の画像から、点欠陥および縦線欠
陥が除去されている。
【0042】次に、ステップ23で得られた画像中に含
まれている面欠陥が、第1のマスク画像(図7(d)参
照)によってマスクされる(ステップ24)。つまり、
ステップ23で得られた画像と第1のマスク画像との論
理和(OR)が演算される。この演算結果により得られ
た画像を、図9(d)に示す。図9(d)の画像では、
図9(c)の画像から、面欠陥が除去され、横線欠陥の
みが残っている。
【0043】次に、ステップ24で得られた画像に対し
てラベリングが行なわれることにより、横線欠陥が抽出
される(ステップ25)。
【0044】次に、ステップ24で得られた画像に対し
て、反転処理が行なわれる(ステップ26)。得られた
画像を図9(e)に示す。
【0045】次に、ステップ26で得られた反転画像
と、第2のマスク画像(図8(f)参照)との論理和
(OR)が演算されることにより、第3のマスク画像が
得られる(ステップ27)。第3のマスク画像を、図9
(f)に示す。
【0046】〔1−4〕点欠陥抽出処理についての説明 図5および図10に基づいて、点欠陥抽出処理について
説明する。
【0047】まず、元画像が、しきい値γを用いて2値
化される(ステップ31)。得られた2値化画像を、図
10(a)に示す。図10(a)の2値化画像では、し
きい値が甘いため、面欠陥は、図7(a)に比べて小さ
く現れる。また、図10(a)の2値化画像では、しき
い値が甘いため、線欠陥の延長線上の偽点欠点が現れな
くなる。
【0048】次に、ステップ31で得られた2値化画像
が、第3のマスク画像(図9(f)参照)によってマス
クされる(ステップ32)。つまり、ステップ31で得
られた画像と第3のマスク画像との論理和(OR)が演
算される。この演算結果により得られた画像を、図10
(b)に示す。図10(b)の画像では、図10(a)
の画像から、面欠陥、線欠陥および偽点欠陥が除去さ
れ、真の点欠陥のみが残っている。
【0049】次に、ステップ32で得られた画像に対し
てラベリングが行なわれることにより、点欠陥が抽出さ
れる(ステップ33)。
【0050】〔2〕第2の実施の形態の説明 以下、図11〜図14を参照して、この発明の第2の実
施の形態について説明する。
【0051】LCDパネルの撮像画像では、照明の不均
一性、モアレの発生等により、欠陥がない場合でも、撮
像画像内部の各位置によって輝度が変化してしまう。た
とえば、ある水平ラインに対する輝度分布は、図11の
元画像のようになる。図11において、ピーク部分P1
は明側の点欠陥または線欠陥であり、ピーク部分P2は
暗側の点欠陥または線欠陥である。ピーク部分以外の定
常部分は、同じ輝度値ではなく緩やかに変化しているこ
とが分かる。
【0052】このような撮像画像が得られた場合に、暗
側の点欠陥または線欠陥を抽出するために、ピーク部分
P2を抽出できるしきい値を用いて撮像画像を2値化す
ると、定常部分の一部もしきい値以下となって欠陥とし
て抽出されてしまうおそれがある。
【0053】このような誤抽出を防止するために、図1
1に示すように、元画像からその平滑化画像を減算した
後、所定の輝度値、この例では”128”を加算するこ
とによって、定常部分が一定の輝度値となる画像(以
下、平滑−差分画像という)を生成し、平滑−差分画像
に対してしきい値η1またはη2を用いて2値化を行な
うことが考えられる。
【0054】このような考え方は、欠陥部分がピーク部
分として現れる線欠陥および点欠陥を抽出する場合には
好適であるが、欠陥部分がピーク部分として現れない面
欠陥を抽出することは困難である。
【0055】例えば、図12に示すように、面欠陥部分
Qと、線欠陥または点欠陥部分P1、P2とを含む元画
像からその平滑化画像を減算した後、所定の輝度値を加
算することによって平滑−差分画像を生成した場合に
は、得られた平滑−差分画像には、面欠陥部分Qは現れ
なくなる。したがって、線欠陥および点欠陥は平滑−差
分画像の2値化画像に基づいて抽出し、面欠陥は元画像
の2値化画像に基づいて抽出することが好ましい。
【0056】しかしながら、線欠陥および点欠陥を平滑
−差分画像の2値化画像に基づいて抽出する場合には、
次のような問題がある。
【0057】つまり、図13に示すように、輝度差の大
きな欠陥、この例では暗側の面欠陥が存在する場合、そ
の平滑−差分画像には、元画像の面欠陥の境界部分の内
側に暗側のピーク部分P1が、元画像の面欠陥の境界部
分の外側に明側のピーク部分P2が発生するため、これ
らを点欠陥として誤抽出するおそれがある。
【0058】このような誤抽出を防止するためには、ピ
ーク部分P1およびP2を含む様な大きさの面欠陥マス
クを用いて、平滑−差分画像からピーク部分P1および
P2を除去した後、線欠陥または点欠陥の抽出を行なえ
ばよい。
【0059】図14は、以上のような考え方を採用した
LCDパネルの検査方法を示している。
【0060】面欠陥、線欠陥および点欠陥の検査におい
ては、明側の面欠陥、線欠陥および点欠陥の検査(以
下、明側欠陥検査という)と、暗側の面欠陥、線欠陥お
よび点欠陥の検査(以下、暗側欠陥検査という)とが行
なわれるが、ここでは、明側欠陥検査についてのみ説明
する。また、撮像画像は、白が”255”、黒が”0”
の256階調の濃淡画像であるものとする。
【0061】また、LCDパネルは、CCDカメラで撮
像されるものとし、CCDカメラの画素数に応じた解像
度の画像をCCD画像といい、LCDパネルの画素数に
応じた解像度の画像をLCD画像ということにする。
【0062】まず、CCD画像に対して、CCDカメラ
の各画素の感度のばらつき、バックライトの光量の位置
的なばらつき等の補正を行なうためにシェーディング補
正が行なわれる。次に、平滑化処理が行なわれる。
【0063】この後、CCDカメラの画素とLCDパネ
ルの画素との対応関係が記憶されたインデックステーブ
ルに基づいてCCD画像がLCD画像に変換される。こ
れにより、LCD画像Aが得られる。
【0064】得られたLCD画像Aに対して、平滑化処
理が行なわれることにより、平滑化LCD画像Bが得ら
れる。
【0065】平滑化LCD画像Bが得られると、線およ
び点欠陥抽出用画像の生成処理が行なわれるとともに面
欠陥マスク生成処理が行なわれる。
【0066】線および点欠陥抽出用画像の生成処理にお
いては、LCD画像Aと、平滑化LCD画像Bとの差分
が取られることにより、平滑−差分画像が生成される。
そして、平滑−差分画像が2値化されることにより、平
滑−差分画像の2値化画像Cが得られる。
【0067】この平滑−差分画像の2値化画像Cにおい
て、白の縦線は、線欠陥を示し、右下の3つの白点は点
欠陥を示し、左上の5つの白点は図13で説明した理由
によって面欠陥の境界部に発生した偽点欠陥を示してい
る。
【0068】面欠陥マスク生成処理では、まず、平滑化
LCD画像Bに対して2値化処理が施されることによ
り、平滑化LCD画像の2値化画像Dが得られる。この
平滑化LCD画像の2値化画像Dでは、面欠陥、線欠陥
および点欠陥が現れている。この平滑化LCD画像の2
値化画像Dには、図示されていないが、実際には、従来
例で説明したような偽点欠陥が発生している。
【0069】得られた平滑化LCD画像の2値化画像D
に対して、線欠陥、点欠陥および偽点欠陥を除去するた
めに収縮処理が2回施される。この後、収縮処理後の画
像に残った面欠陥を元の大きさより大きくするために、
収縮処理によって得られた画像に対して膨張処理が4回
施される。これにより、面欠陥マスク画像Eが得られ
る。
【0070】このようにして、平滑−差分画像の2値化
画像Cが生成されるとともに、面欠陥マスク画像Eが生
成されると、平滑−差分画像の2値化画像Cにおいて面
欠陥の境界で発生した偽点欠陥を面欠陥マスク画像Eで
マスクするために、平滑−差分画像の2値化画像Cと面
欠陥マスク画像Eとの論理和(OR)が演算される。こ
れにより、画像Fが得られる。つまり、両画像において
共に黒”0”である部分以外は、白”1”となる画像が
得られる。
【0071】次に、得られた画像Fに対してラベリング
処理が行なわれる。そして、ラベル付けされた画像に対
して、面欠陥、線欠陥または点欠陥の識別処理が行なわ
れることにより、面欠陥、線欠陥および点欠陥がそれぞ
れ抽出される。
【0072】図15は、明側欠陥検査と暗側欠陥検査の
両方を効率良く行なう場合のLCDパネルの検査方法を
示している。
【0073】まず、CCDカメラから得られたCCD画
像に対して、シェーディング補正、平滑化処理が行なわ
れた後、CCD画像がLCD画像に変換される。これに
より、LCD画像Aが得られる。
【0074】得られたLCD画像Aに対して、平滑化処
理が行なわれることにより、平滑化LCD画像Bが得ら
れる。
【0075】平滑化LCD画像Bが得られると、明側の
線および点欠陥抽出用画像の生成処理が行なわれるとと
もに面欠陥マスク生成処理が行なわれる。
【0076】明側の線および点欠陥抽出用画像の生成処
理においては、LCD画像Aと、平滑化LCD画像Bと
の差分が取られることにより、平滑−差分画像が生成さ
れる。そして、平滑−差分画像が明側欠陥抽出用のしき
い値Taを用いて2値化されることにより、平滑−差分
画像の2値化画像Cが得られる。
【0077】この平滑−差分画像の2値化画像Cにおい
て、白の縦線は、明側線欠陥を示し、右下の3つの白点
は明側点欠陥を示し、左上および右上の5つの白点は図
13で説明した理由によって明側面欠陥および暗側面欠
陥の境界部に発生した偽点欠陥を示している。
【0078】面欠陥マスク生成処理では、まず、平滑化
LCD画像Bに対して明暗両側の欠陥を抽出するための
2値化処理が施される。つまり、明側欠陥抽出用のしき
い値Taと、暗側欠陥抽出用のしきい値Tb(Ta>T
b)を用い、しきい値Taより大きな輝度値およびしき
い値Tbより小さな輝度値を白”1”とし、両しきい値
Ta、Tbの間の輝度値が黒”0”とされる。このよう
にして、平滑化LCD画像Bの2値化画像Dが得られ
る。
【0079】得られた平滑化LCD画像の2値化画像D
に対して、線欠陥、点欠陥および偽点欠陥を除去するた
めに収縮処理が2回施される。この後、収縮処理後の画
像に残った面欠陥を元の大きさより大きくするために、
収縮処理によって得られた画像に対して膨張処理が4回
施される。これにより、面欠陥マスク画像Eが得られ
る。この面欠陥マスク画像Eでは、2つの面欠陥が現れ
ている。左側の面欠陥は明側の面欠陥であり、右側の面
欠陥は暗側の面欠陥である。
【0080】このようにして、平滑−差分画像の2値化
画像Cが生成されるとともに、面欠陥マスク画像Eが生
成されると、平滑−差分画像の2値化画像Cにおいて面
欠陥の境界で発生した偽点欠陥を面欠陥マスク画像Eで
マスクするために、平滑−差分画像の2値化画像Cと面
欠陥マスク画像Eとの論理和(OR)が演算される。こ
れにより、画像Fが得られる。つまり、両画像において
共に黒”0”である部分以外は、白”1”となる画像が
得られる。
【0081】次に、得られた画像Fに対してラベリング
処理が行なわれる。そして、ラベリング付けされた画像
に対して、面欠陥、線欠陥または点欠陥の識別処理が行
なわれることにより、明側および暗側両方の面欠陥、明
側線欠陥および明側点欠陥が抽出される。
【0082】次に、暗側の線および点欠陥抽出用画像の
生成処理が行なわれる。つまり、上述のようにして得ら
れたLCD画像Aに対して、平滑化処理が行なわれるこ
とにより、平滑化LCD画像Bが得られる。
【0083】平滑化LCD画像Bが得られると、LCD
画像Aと、平滑化LCD画像Bとの差分が取られること
により、平滑−差分画像が生成される。そして、平滑−
差分画像が暗側欠陥抽出用のしきい値Tbを用いて2値
化されることにより、平滑−差分画像の2値化画像Gが
得られる。
【0084】この平滑−差分画像の2値化画像Gにおい
て、白の横線は、暗側線欠陥を示し、下半分に存在する
3つの白点は暗側点欠陥を示し、左上および右上の5つ
の白点は図13で説明した理由によって明側面欠陥およ
び暗側面欠陥の境界部に発生した偽点欠陥を示してい
る。
【0085】次に、平滑−差分画像の2値化画像Gにお
いて面欠陥の境界で発生した偽点欠陥を除去するため
に、上述した面欠陥マスク生成処理で生成された面欠陥
マスク画像Eの反転画像Hと、平滑−差分画像の2値化
画像Gとの論理積(AND)が演算される。つまり、両
画像において共に白”1”である部分以外は、黒”0”
となる画像が得られる。これにより、平滑−差分画像の
2値化画像Gから面欠陥の境界で発生した偽点欠陥が除
去された画像Iが得られる。
【0086】次に、得られた画像Iに対してラベリング
処理が行なわれる。そして、ラベリング付けされた画像
に対して、線欠陥または点欠陥の識別処理が行なわれる
ことにより、暗側線欠陥および暗側点欠陥が抽出され
る。
【0087】
【発明の効果】この発明によれば、偽の点欠陥を点欠陥
として誤検出するといったことが防止される。
【図面の簡単な説明】
【図1】LCDパネルの撮像画像の2値化画像の一例を
示す模式図である。
【図2】面欠陥抽出処理を示すフローチャートである。
【図3】縦線欠陥抽出処理を示すフローチャートであ
る。
【図4】横線欠陥抽出処理を示すフローチャートであ
る。
【図5】点線欠陥抽出処理を示すフローチャートであ
る。
【図6】面欠陥抽出処理、線欠陥抽出処理および点線欠
陥抽出処理で行なわれる2値化処理に用いられるしきい
値を示す模式図である。
【図7】面欠陥抽出処理を説明するための模式図であ
る。
【図8】縦線欠陥抽出処理を説明するための模式図であ
る。
【図9】横線欠陥抽出処理を説明するための模式図であ
る。
【図10】点欠陥抽出処理を説明するための模式図であ
る。
【図11】点または線欠陥を有する元画像と、その平滑
−差分画像とを示す模式図である。
【図12】点または線欠陥および面欠陥を有する元画像
と、その平滑−差分画像とを示す模式図である。
【図13】輝度差の大きい面欠陥を有する元画像と、そ
の平滑−差分画像とを示す模式図である。
【図14】LCDパネルの検査方法を説明するための模
式図である。
【図15】明側欠陥および暗側欠陥の両方を抽出する場
合の処理方法を説明するための模式図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 南浦 清隆 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 今井 清正 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 LCDパネルの濃淡画像に対して、第1
    しきい値を用いて2値化処理を行い、得られた第1の2
    値化画像から点欠陥、線欠陥および面欠陥のうち、面欠
    陥のみが得られるような第1画像を生成する第1ステッ
    プ、 LCDパネルの濃淡画像に対して、第1しきい値に比べ
    て欠陥が抽出されにくい第2しきい値を用いて2値化処
    理を行い、得られた第2の2値化画像と上記第1画像と
    に基づいて、線欠陥のみが得られるような第2画像を生
    成する第2ステップ、 LCDパネルの濃淡画像に対して、第2しきい値に比べ
    て欠陥が抽出されにくい第3しきい値を用いて2値化処
    理を行い、得られた第3の2値化画像と上記第1画像と
    上記第2画像とに基づいて、点欠陥のみが得られるよう
    な第3画像を生成する第3ステップ、ならびに第3画像
    に基づいて、点欠陥を抽出する第4ステップ、 を備えているLCDパネルの検査方法。
  2. 【請求項2】 第1ステップは、第1しきい値を用いて
    濃淡画像を2値化するステップ、 得られた2値化画像に対して、点欠陥および線欠陥を除
    去するために収縮処理を所定回行なうステップ、および
    収縮処理が行なわれた画像に対して、残った面欠陥を元
    の大きさに戻すために膨張処理を所定回行なうステッ
    プ、 を備えている請求項1に記載のLCDパネルの検査方
    法。
  3. 【請求項3】 第2ステップは、第2しきい値を用いて
    濃淡画像を2値化するステップ、 得られた2値化画像に対して、点欠陥を除去するために
    収縮処理を所定回行なうステップ、および収縮処理が行
    なわれた画像と第1ステップで得られた第1画像とに基
    づいて、収縮処理が行なわれた画像から面欠陥を除去す
    るステップ、 を備えている請求項1および2のいずれかに記載のLC
    Dパネルの検査方法。
  4. 【請求項4】 LCDパネルの濃淡画像とその平滑化画
    像との差分画像に対して2値化処理を行なうことによ
    り、第1画像を生成する第1ステップ、 上記平滑化画像を2値化処理し、得られた2値化画像に
    基づいて、点欠陥および線欠陥が除去されかつ面欠陥の
    拡大画像のみが得られるような第2画像を生成する第2
    ステップ、ならびに第1画像と第2画像とが合成された
    第3画像を生成し、得られた第3画像に基づいて、点欠
    陥、線欠陥および面欠陥を抽出するLCDパネルの検査
    方法。
  5. 【請求項5】 第2ステップは、平滑化画像を2値化処
    理するステップ、 得られた2値化画像に対して、点欠陥および線欠陥を除
    去するために収縮処理を所定回数行なうステップ、およ
    び収縮処理が行なわれた画像に対して、残った面欠陥を
    拡大させるために膨張処理を収縮処理回数よりも多い所
    定の回数行なうステップ、 を備えている請求項4に記載のLCDパネルの検査方
    法。
JP9895996A 1996-04-19 1996-04-19 Lcdパネルの検査方法 Pending JPH09288037A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100554578B1 (ko) * 2003-11-29 2006-03-03 주식회사 쓰리비 시스템 플랫패널용 광관련판요소의 정형성 얼룩 검출방법
CN100417977C (zh) * 2005-12-17 2008-09-10 比亚迪股份有限公司 一种平板显示器的检测方法
JP2011008156A (ja) * 2009-06-29 2011-01-13 Toppan Printing Co Ltd カラーフィルタの欠陥検査方法および検査装置
CN109633948A (zh) * 2019-02-15 2019-04-16 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板检测方法及显示面板检测装置
CN112394064A (zh) * 2020-10-22 2021-02-23 惠州高视科技有限公司 一种屏幕缺陷检测的点线测量方法

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