JPH1152904A - Ｌｃｄパネルの検査方法 - Google Patents
Ｌｃｄパネルの検査方法Info
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- JPH1152904A JPH1152904A JP9205873A JP20587397A JPH1152904A JP H1152904 A JPH1152904 A JP H1152904A JP 9205873 A JP9205873 A JP 9205873A JP 20587397 A JP20587397 A JP 20587397A JP H1152904 A JPH1152904 A JP H1152904A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 この発明は、従来に比べて欠陥を抽出するの
に適した平滑−差分画像が得られるＬＣＤパネルの検査
方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 ＬＣＤパネルの元画像から平滑化フィル
タを用いて平滑化画像を生成し、元画像と平滑化画像と
の差分画像を生成し、得られた差分画像に基づいてＬＣ
Ｄパネルの欠陥を抽出するＬＣＤパネルの検査方法にお
いて、平滑化フィルタとして、Ｋを奇数としてＫ列×Ｋ
行の荷重マトリクスからなり、中央位置の重みが０で、
その他の位置の重みがすべて１のフィルタを用いた。
に適した平滑−差分画像が得られるＬＣＤパネルの検査
方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 ＬＣＤパネルの元画像から平滑化フィル
タを用いて平滑化画像を生成し、元画像と平滑化画像と
の差分画像を生成し、得られた差分画像に基づいてＬＣ
Ｄパネルの欠陥を抽出するＬＣＤパネルの検査方法にお
いて、平滑化フィルタとして、Ｋを奇数としてＫ列×Ｋ
行の荷重マトリクスからなり、中央位置の重みが０で、
その他の位置の重みがすべて１のフィルタを用いた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＬＣＤパネルの検査
方法に関する。
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＬＣＤ（liquid crystal display) パネ
ルの検査は、人間の目視による検査が主流である。しか
し、近年、検査基準の定量化、生産性の向上のために自
動検査が試みられている。
ルの検査は、人間の目視による検査が主流である。しか
し、近年、検査基準の定量化、生産性の向上のために自
動検査が試みられている。
【０００３】ＬＣＤパネルの自動検査では、ＣＣＤ（ch
arge coupled device)カメラ等の撮像装置によってＬＣ
Ｄパネルが撮像され、その撮像画像の２値化画像に基づ
いて、ＬＣＤパネルの欠陥の検査が行なわれる。ＬＣＤ
パネルの欠陥には、点欠陥、線欠陥、面欠陥等がある。
arge coupled device)カメラ等の撮像装置によってＬＣ
Ｄパネルが撮像され、その撮像画像の２値化画像に基づ
いて、ＬＣＤパネルの欠陥の検査が行なわれる。ＬＣＤ
パネルの欠陥には、点欠陥、線欠陥、面欠陥等がある。
【０００４】ところで、ＬＣＤパネルの撮像画像では、
照明の不均一性、モアレの発生等により、撮像画像の各
位置によって輝度が変化してしまう。そこで、点欠陥お
よび線欠陥を抽出する際には、ＬＣＤパネルの撮像画像
から平滑化画像を生成し、元画像と平滑化画像との差分
画像を生成し、この差分画像に対して所定のしきい値を
用いて２値化が行なわれることがある。
照明の不均一性、モアレの発生等により、撮像画像の各
位置によって輝度が変化してしまう。そこで、点欠陥お
よび線欠陥を抽出する際には、ＬＣＤパネルの撮像画像
から平滑化画像を生成し、元画像と平滑化画像との差分
画像を生成し、この差分画像に対して所定のしきい値を
用いて２値化が行なわれることがある。
【０００５】従来において、平滑化処理は、図９に示す
ような平滑化フィルタを用いて行なわれている。この平
滑化フィルタは、３列×３行の荷重マトリクスからな
り、各位置の重みがすべて１のフィルタである。図６に
示すように、注目画素Ｅを中心とする３×３画素の領域
内の各画素およびその輝度値をＡ〜Ｉとすると、注目画
素Ｅの輝度値は、平滑化フィルタ処理により次の数式１
で示すように変換される。
ような平滑化フィルタを用いて行なわれている。この平
滑化フィルタは、３列×３行の荷重マトリクスからな
り、各位置の重みがすべて１のフィルタである。図６に
示すように、注目画素Ｅを中心とする３×３画素の領域
内の各画素およびその輝度値をＡ〜Ｉとすると、注目画
素Ｅの輝度値は、平滑化フィルタ処理により次の数式１
で示すように変換される。
【０００６】
【数１】
【０００７】たとえば、図１０（ａ）および図１１
（ａ）に示すように周囲平均輝度がｎで欠陥の輝度差が
ａである元画像に対して、平滑化処理を行なうと、平滑
化画像は図１０（ｂ）および図１１（ｂ）に示すように
なる。そして、元画像と平滑化画像との差分画像（以
下、平滑−差分画像という）は、図１０（ｃ）および図
１１（ｃ）に示すようになる。
（ａ）に示すように周囲平均輝度がｎで欠陥の輝度差が
ａである元画像に対して、平滑化処理を行なうと、平滑
化画像は図１０（ｂ）および図１１（ｂ）に示すように
なる。そして、元画像と平滑化画像との差分画像（以
下、平滑−差分画像という）は、図１０（ｃ）および図
１１（ｃ）に示すようになる。
【０００８】元画像において輝度差ａの欠陥は、平滑−
差分画像においては輝度差（以下、欠陥輝度差という）
が８ａ／９の欠陥として現れる。また、元画像において
上記欠陥の周囲の輝度差０の画素は、平滑−差分画像に
おいては輝度差（以下、過補償という）−ａ／９を有す
るようになる。つまり、欠陥およびその周辺部の小領域
に注目すると、平滑−差分画像においては欠陥の輝度差
が減少するとともに、欠陥の周囲に偽の輝度差が生じて
しまうという欠点がある。
差分画像においては輝度差（以下、欠陥輝度差という）
が８ａ／９の欠陥として現れる。また、元画像において
上記欠陥の周囲の輝度差０の画素は、平滑−差分画像に
おいては輝度差（以下、過補償という）−ａ／９を有す
るようになる。つまり、欠陥およびその周辺部の小領域
に注目すると、平滑−差分画像においては欠陥の輝度差
が減少するとともに、欠陥の周囲に偽の輝度差が生じて
しまうという欠点がある。
【０００９】このような平滑−差分画像からしきい値を
用いて欠陥を抽出することを考慮すると、欠陥輝度差が
大きく過補償の絶対値が小さいほどよい。そこで、欠陥
輝度差と過補償との和を評価値とすると、評価値は８ａ
／９＋（−ａ／９）＝７ａ／９となる。ａ＝２５６とす
ると、評価値は、２２７−２８＝１９９となる。
用いて欠陥を抽出することを考慮すると、欠陥輝度差が
大きく過補償の絶対値が小さいほどよい。そこで、欠陥
輝度差と過補償との和を評価値とすると、評価値は８ａ
／９＋（−ａ／９）＝７ａ／９となる。ａ＝２５６とす
ると、評価値は、２２７−２８＝１９９となる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、従来に比
べて欠陥を抽出するのに適した平滑−差分画像が得られ
るＬＣＤパネルの検査方法を提供することを目的とす
る。
べて欠陥を抽出するのに適した平滑−差分画像が得られ
るＬＣＤパネルの検査方法を提供することを目的とす
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明によるＬＣＤパ
ネルの検査方法は、ＬＣＤパネルの元画像から平滑化フ
ィルタを用いて平滑化画像を生成し、元画像と平滑化画
像との差分画像を生成し、得られた差分画像に基づいて
ＬＣＤパネルの欠陥を抽出するＬＣＤパネルの検査方法
において、平滑化フィルタとして、Ｋを奇数としてＫ列
×Ｋ行の荷重マトリクスからなり、中央位置の重みが０
で、その他の位置の重みがすべて１のフィルタを用いた
ことを特徴とする。
ネルの検査方法は、ＬＣＤパネルの元画像から平滑化フ
ィルタを用いて平滑化画像を生成し、元画像と平滑化画
像との差分画像を生成し、得られた差分画像に基づいて
ＬＣＤパネルの欠陥を抽出するＬＣＤパネルの検査方法
において、平滑化フィルタとして、Ｋを奇数としてＫ列
×Ｋ行の荷重マトリクスからなり、中央位置の重みが０
で、その他の位置の重みがすべて１のフィルタを用いた
ことを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて説明する。
いて説明する。
【００１３】以下、図１〜図８を参照して、この発明の
実施の形態について説明する。
実施の形態について説明する。
【００１４】ＬＣＤパネルの撮像画像では、照明の不均
一性、モアレの発生等により、欠陥がない場合でも、撮
像画像内部の各位置によって輝度が変化してしまう。た
とえば、ある水平ラインに対する輝度分布は、図１の元
画像のようになる。図１において、ピーク部分Ｐ１は明
側の点欠陥または線欠陥であり、ピーク部分Ｐ２は暗側
の点欠陥または線欠陥である。ピーク部分以外の定常部
分は、同じ輝度値ではなく緩やかに変化していることが
分かる。
一性、モアレの発生等により、欠陥がない場合でも、撮
像画像内部の各位置によって輝度が変化してしまう。た
とえば、ある水平ラインに対する輝度分布は、図１の元
画像のようになる。図１において、ピーク部分Ｐ１は明
側の点欠陥または線欠陥であり、ピーク部分Ｐ２は暗側
の点欠陥または線欠陥である。ピーク部分以外の定常部
分は、同じ輝度値ではなく緩やかに変化していることが
分かる。
【００１５】このような撮像画像が得られた場合に、暗
側の点欠陥または線欠陥を抽出するために、ピーク部分
Ｐ２を抽出できるしきい値を用いて撮像画像を２値化す
ると、定常部分の一部もしきい値以下となって欠陥とし
て抽出されてしまうおそれがある。
側の点欠陥または線欠陥を抽出するために、ピーク部分
Ｐ２を抽出できるしきい値を用いて撮像画像を２値化す
ると、定常部分の一部もしきい値以下となって欠陥とし
て抽出されてしまうおそれがある。
【００１６】このような誤抽出を防止するために、図１
に示すように、元画像からその平滑化画像を減算した
後、所定の輝度値、この例では”１２８”を加算するこ
とによって、定常部分が一定の輝度値となる画像（以
下、平滑−差分画像という）を生成し、平滑−差分画像
に対してしきい値η１またはη２を用いて２値化を行な
うことが考えられる。
に示すように、元画像からその平滑化画像を減算した
後、所定の輝度値、この例では”１２８”を加算するこ
とによって、定常部分が一定の輝度値となる画像（以
下、平滑−差分画像という）を生成し、平滑−差分画像
に対してしきい値η１またはη２を用いて２値化を行な
うことが考えられる。
【００１７】このような考え方は、欠陥部分がピーク部
分として現れる線欠陥および点欠陥を抽出する場合には
好適であるが、欠陥部分がピーク部分として現れない面
欠陥を抽出することは困難である。
分として現れる線欠陥および点欠陥を抽出する場合には
好適であるが、欠陥部分がピーク部分として現れない面
欠陥を抽出することは困難である。
【００１８】例えば、図２に示すように、面欠陥部分Ｑ
と、線欠陥または点欠陥部分Ｐ１、Ｐ２とを含む元画像
からその平滑化画像を減算した後、所定の輝度値を加算
することによって平滑−差分画像を生成した場合には、
得られた平滑−差分画像には、面欠陥部分Ｑは現れなく
なる。したがって、線欠陥および点欠陥は平滑−差分画
像の２値化画像に基づいて抽出し、面欠陥は元画像の２
値化画像に基づいて抽出することが好ましい。
と、線欠陥または点欠陥部分Ｐ１、Ｐ２とを含む元画像
からその平滑化画像を減算した後、所定の輝度値を加算
することによって平滑−差分画像を生成した場合には、
得られた平滑−差分画像には、面欠陥部分Ｑは現れなく
なる。したがって、線欠陥および点欠陥は平滑−差分画
像の２値化画像に基づいて抽出し、面欠陥は元画像の２
値化画像に基づいて抽出することが好ましい。
【００１９】しかしながら、線欠陥および点欠陥を平滑
−差分画像の２値化画像に基づいて抽出する場合には、
次のような問題がある。
−差分画像の２値化画像に基づいて抽出する場合には、
次のような問題がある。
【００２０】つまり、図３に示すように、輝度差の大き
な欠陥、この例では暗側の面欠陥が存在する場合、その
平滑−差分画像には、元画像の面欠陥の境界部分の内側
に暗側のピーク部分Ｐ１が、元画像の面欠陥の境界部分
の外側に明側のピーク部分Ｐ２が発生するため、これら
を点欠陥として誤抽出するおそれがある。
な欠陥、この例では暗側の面欠陥が存在する場合、その
平滑−差分画像には、元画像の面欠陥の境界部分の内側
に暗側のピーク部分Ｐ１が、元画像の面欠陥の境界部分
の外側に明側のピーク部分Ｐ２が発生するため、これら
を点欠陥として誤抽出するおそれがある。
【００２１】このような誤抽出を防止するためには、ピ
ーク部分Ｐ１およびＰ２を含む様な大きさの面欠陥マス
クを用いて、平滑−差分画像からピーク部分Ｐ１および
Ｐ２を除去した後、線欠陥または点欠陥の抽出を行なえ
ばよい。
ーク部分Ｐ１およびＰ２を含む様な大きさの面欠陥マス
クを用いて、平滑−差分画像からピーク部分Ｐ１および
Ｐ２を除去した後、線欠陥または点欠陥の抽出を行なえ
ばよい。
【００２２】図４は、以上のような考え方を採用したＬ
ＣＤパネルの検査方法を示している。
ＣＤパネルの検査方法を示している。
【００２３】面欠陥、線欠陥および点欠陥の検査におい
ては、明側の面欠陥、線欠陥および点欠陥の検査（以
下、明側欠陥検査という）と、暗側の面欠陥、線欠陥お
よび点欠陥の検査（以下、暗側欠陥検査という）とが行
なわれるが、ここでは、明側欠陥検査についてのみ説明
する。また、撮像画像は、白が”２５５”、黒が”０”
の２５６階調の濃淡画像であるものとする。
ては、明側の面欠陥、線欠陥および点欠陥の検査（以
下、明側欠陥検査という）と、暗側の面欠陥、線欠陥お
よび点欠陥の検査（以下、暗側欠陥検査という）とが行
なわれるが、ここでは、明側欠陥検査についてのみ説明
する。また、撮像画像は、白が”２５５”、黒が”０”
の２５６階調の濃淡画像であるものとする。
【００２４】また、ＬＣＤパネルは、ＣＣＤカメラで撮
像されるものとし、ＣＣＤカメラの画素数に応じた解像
度の画像をＣＣＤ画像といい、ＬＣＤパネルの画素数に
応じた解像度の画像をＬＣＤ画像ということにする。
像されるものとし、ＣＣＤカメラの画素数に応じた解像
度の画像をＣＣＤ画像といい、ＬＣＤパネルの画素数に
応じた解像度の画像をＬＣＤ画像ということにする。
【００２５】まず、ＣＣＤカメラの画素とＬＣＤパネル
の画素との対応関係が記憶されたインデックステーブル
に基づいてＣＣＤ画像がＬＣＤ画像に変換される。これ
により、ＬＣＤ画像Ａが得られる。
の画素との対応関係が記憶されたインデックステーブル
に基づいてＣＣＤ画像がＬＣＤ画像に変換される。これ
により、ＬＣＤ画像Ａが得られる。
【００２６】得られたＬＣＤ画像Ａに対して、平滑化処
理が行なわれることにより、平滑化ＬＣＤ画像Ｂが得ら
れる。
理が行なわれることにより、平滑化ＬＣＤ画像Ｂが得ら
れる。
【００２７】この実施の形態では、平滑化処理は、図５
に示すような平滑化フィルタを用いて行なわれる。この
平滑化フィルタは、３列×３行の荷重マトリクスからな
り、中央位置の重みが０で、その他の位置の重みがすべ
て１のフィルタである。図６に示すように、注目画素Ｅ
を中心とする３×３画素の領域内の各画素およびその輝
度値をＡ〜Ｉとすると、注目画素Ｅの輝度値は、平滑化
処理により次の数式２で示すように変換される。
に示すような平滑化フィルタを用いて行なわれる。この
平滑化フィルタは、３列×３行の荷重マトリクスからな
り、中央位置の重みが０で、その他の位置の重みがすべ
て１のフィルタである。図６に示すように、注目画素Ｅ
を中心とする３×３画素の領域内の各画素およびその輝
度値をＡ〜Ｉとすると、注目画素Ｅの輝度値は、平滑化
処理により次の数式２で示すように変換される。
【００２８】
【数２】
【００２９】たとえば、図７（ａ）および図８（ａ）に
示すように周囲平均輝度がｎで欠陥の輝度差がａである
元画像に対して、平滑化フィルタ処理を行なうと、平滑
化画像は図７（ｂ）および図８（ｂ）に示すようにな
る。そして、元画像と平滑化画像との差分画像（以下、
平滑−差分画像という）は、図８（ｃ）および図８
（ｃ）に示すようになる。
示すように周囲平均輝度がｎで欠陥の輝度差がａである
元画像に対して、平滑化フィルタ処理を行なうと、平滑
化画像は図７（ｂ）および図８（ｂ）に示すようにな
る。そして、元画像と平滑化画像との差分画像（以下、
平滑−差分画像という）は、図８（ｃ）および図８
（ｃ）に示すようになる。
【００３０】元画像において輝度差ａの欠陥は、平滑−
差分画像においても輝度差（以下、欠陥輝度差という）
がａの欠陥として現れる。また、元画像において上記欠
陥の周囲の輝度差０の画素は、平滑−差分画像において
は輝度差（以下、過補償という）−ａ／８を有するよう
になる。
差分画像においても輝度差（以下、欠陥輝度差という）
がａの欠陥として現れる。また、元画像において上記欠
陥の周囲の輝度差０の画素は、平滑−差分画像において
は輝度差（以下、過補償という）−ａ／８を有するよう
になる。
【００３１】従来技術の説明において述べたように、欠
陥輝度差と過補償との和を評価値とすると、評価値はａ
＋（−ａ／８）＝７ａ／８となる。ａ＝２５６とする
と、評価値は、２５６−３２＝２２４となり、従来の評
価値１９９より高くなる。つまり、欠陥を抽出するのに
より適した平滑−差分画像が得られる。また、平滑化処
理を行なう際には、数式２から明らかなように８で割る
演算が行なわれるが、この演算処理はビットシフトによ
って行なえるので、処理速度が速いという利点がある。
陥輝度差と過補償との和を評価値とすると、評価値はａ
＋（−ａ／８）＝７ａ／８となる。ａ＝２５６とする
と、評価値は、２５６−３２＝２２４となり、従来の評
価値１９９より高くなる。つまり、欠陥を抽出するのに
より適した平滑−差分画像が得られる。また、平滑化処
理を行なう際には、数式２から明らかなように８で割る
演算が行なわれるが、この演算処理はビットシフトによ
って行なえるので、処理速度が速いという利点がある。
【００３２】平滑化フィルタとしては、Ｋを奇数とし
て、Ｋ列×Ｋ行の荷重マトリクスからなり、中央位置の
重みが０で、その他の位置の重みがすべて１のフィルタ
であれば、３列×３行以外のフィルタを用いてもよい。
て、Ｋ列×Ｋ行の荷重マトリクスからなり、中央位置の
重みが０で、その他の位置の重みがすべて１のフィルタ
であれば、３列×３行以外のフィルタを用いてもよい。
【００３３】平滑化ＬＣＤ画像Ｂが得られると、線およ
び点欠陥抽出用画像の生成処理が行なわれるとともに面
欠陥マスク生成処理が行なわれる。
び点欠陥抽出用画像の生成処理が行なわれるとともに面
欠陥マスク生成処理が行なわれる。
【００３４】線および点欠陥抽出用画像の生成処理にお
いては、ＬＣＤ画像Ａと、平滑化ＬＣＤ画像Ｂとの差分
が取られることにより、平滑−差分画像が生成される。
そして、平滑−差分画像が２値化されることにより、平
滑−差分画像の２値化画像Ｃが得られる。
いては、ＬＣＤ画像Ａと、平滑化ＬＣＤ画像Ｂとの差分
が取られることにより、平滑−差分画像が生成される。
そして、平滑−差分画像が２値化されることにより、平
滑−差分画像の２値化画像Ｃが得られる。
【００３５】この平滑−差分画像の２値化画像Ｃにおい
て、白の縦線は、線欠陥を示し、右下の３つの白点は点
欠陥を示し、左上の５つの白点は図３で説明した理由に
よって面欠陥の境界部に発生した偽点欠陥を示してい
る。
て、白の縦線は、線欠陥を示し、右下の３つの白点は点
欠陥を示し、左上の５つの白点は図３で説明した理由に
よって面欠陥の境界部に発生した偽点欠陥を示してい
る。
【００３６】面欠陥マスク生成処理では、まず、平滑化
ＬＣＤ画像Ｂに対して２値化処理が施されることによ
り、平滑化ＬＣＤ画像の２値化画像Ｄが得られる。この
平滑化ＬＣＤ画像の２値化画像Ｄでは、面欠陥、線欠陥
および点欠陥が現れている。この平滑化ＬＣＤ画像の２
値化画像Ｄには、図示されていないが、実際には、面欠
陥の周囲、線欠陥の延長上等に偽点欠陥が発生してい
る。
ＬＣＤ画像Ｂに対して２値化処理が施されることによ
り、平滑化ＬＣＤ画像の２値化画像Ｄが得られる。この
平滑化ＬＣＤ画像の２値化画像Ｄでは、面欠陥、線欠陥
および点欠陥が現れている。この平滑化ＬＣＤ画像の２
値化画像Ｄには、図示されていないが、実際には、面欠
陥の周囲、線欠陥の延長上等に偽点欠陥が発生してい
る。
【００３７】得られた平滑化ＬＣＤ画像の２値化画像Ｄ
に対して、線欠陥、点欠陥および偽点欠陥を除去するた
めに収縮処理が２回施される。この後、収縮処理後の画
像に残った面欠陥を元の大きさより大きくするために、
収縮処理によって得られた画像に対して膨張処理が４回
施される。これにより、面欠陥マスク画像Ｅが得られ
る。
に対して、線欠陥、点欠陥および偽点欠陥を除去するた
めに収縮処理が２回施される。この後、収縮処理後の画
像に残った面欠陥を元の大きさより大きくするために、
収縮処理によって得られた画像に対して膨張処理が４回
施される。これにより、面欠陥マスク画像Ｅが得られ
る。
【００３８】このようにして、平滑−差分画像の２値化
画像Ｃが生成されるとともに、面欠陥マスク画像Ｅが生
成されると、平滑−差分画像の２値化画像Ｃにおいて面
欠陥の境界で発生した偽点欠陥を面欠陥マスク画像Ｅで
マスクするために、平滑−差分画像の２値化画像Ｃと面
欠陥マスク画像Ｅとの論理和（ＯＲ）が演算される。こ
れにより、画像Ｆが得られる。つまり、両画像において
共に黒”０”である部分以外は、白”１”となる画像が
得られる。
画像Ｃが生成されるとともに、面欠陥マスク画像Ｅが生
成されると、平滑−差分画像の２値化画像Ｃにおいて面
欠陥の境界で発生した偽点欠陥を面欠陥マスク画像Ｅで
マスクするために、平滑−差分画像の２値化画像Ｃと面
欠陥マスク画像Ｅとの論理和（ＯＲ）が演算される。こ
れにより、画像Ｆが得られる。つまり、両画像において
共に黒”０”である部分以外は、白”１”となる画像が
得られる。
【００３９】次に、得られた画像Ｆに対してラベリング
処理が行なわれる。そして、ラベル付けされた画像に対
して、面欠陥、線欠陥または点欠陥の識別処理が行なわ
れることにより、面欠陥、線欠陥および点欠陥がそれぞ
れ抽出される。
処理が行なわれる。そして、ラベル付けされた画像に対
して、面欠陥、線欠陥または点欠陥の識別処理が行なわ
れることにより、面欠陥、線欠陥および点欠陥がそれぞ
れ抽出される。
【００４０】
【発明の効果】この発明によれば、従来に比べて欠陥を
抽出するのに適した平滑−差分画像が得られる。
抽出するのに適した平滑−差分画像が得られる。
【図１】点または線欠陥を有する元画像と、その平滑−
差分画像とを示す模式図である。
差分画像とを示す模式図である。
【図２】点または線欠陥および面欠陥を有する元画像
と、その平滑−差分画像とを示す模式図である。
と、その平滑−差分画像とを示す模式図である。
【図３】輝度差の大きい面欠陥を有する元画像と、その
平滑−差分画像とを示す模式図である。
平滑−差分画像とを示す模式図である。
【図４】ＬＣＤパネルの検査方法を説明するための模式
図である。
図である。
【図５】平滑化フィルタを示す模式図である。
【図６】注目画素を中心とする３×３画素の領域を示す
模式図である。
模式図である。
【図７】元画像、図５の平滑化フィルタを用いて得られ
た平滑化画像および平滑−差分画像を表形式で表現した
模式図である。
た平滑化画像および平滑−差分画像を表形式で表現した
模式図である。
【図８】元画像、図５の平滑化フィルタを用いて得られ
た平滑化画像および平滑−差分画像を波形図的に表現し
た模式図である。
た平滑化画像および平滑−差分画像を波形図的に表現し
た模式図である。
【図９】従来の平滑化処理に用いられていた平滑化フィ
ルタを示す模式図である。
ルタを示す模式図である。
【図１０】元画像、図９の平滑化フィルタを用いて得ら
れた平滑化画像および平滑−差分画像を表形式で表現し
た模式図である。
れた平滑化画像および平滑−差分画像を表形式で表現し
た模式図である。
【図１１】元画像、図９の平滑化フィルタを用いて得ら
れた平滑化画像および平滑−差分画像を波形図的に表現
した模式図である。
れた平滑化画像および平滑−差分画像を波形図的に表現
した模式図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 ＬＣＤパネルの元画像から平滑化フィル
タを用いて平滑化画像を生成し、元画像と平滑化画像と
の差分画像を生成し、得られた差分画像に基づいてＬＣ
Ｄパネルの欠陥を抽出するＬＣＤパネルの検査方法にお
いて、 平滑化フィルタとして、Ｋを奇数としてＫ列×Ｋ行の荷
重マトリクスからなり、中央位置の重みが０で、その他
の位置の重みがすべて１のフィルタを用いたことを特徴
とするＬＣＤパネルの検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9205873A JPH1152904A (ja) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | Ｌｃｄパネルの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9205873A JPH1152904A (ja) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | Ｌｃｄパネルの検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1152904A true JPH1152904A (ja) | 1999-02-26 |
Family
ID=16514150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9205873A Pending JPH1152904A (ja) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | Ｌｃｄパネルの検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1152904A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100554578B1 (ko) * | 2003-11-29 | 2006-03-03 | 주식회사 쓰리비 시스템 | 플랫패널용 광관련판요소의 정형성 얼룩 검출방법 |
| JP2006155579A (ja) * | 2004-11-02 | 2006-06-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像処理方法および画像処理装置 |
| JP2007078540A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Tdk Corp | 外観検査方法及び外観検査装置 |
| US7561751B2 (en) | 2004-11-02 | 2009-07-14 | Panasonic Corporation | Image processing method |
-
1997
- 1997-07-31 JP JP9205873A patent/JPH1152904A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100554578B1 (ko) * | 2003-11-29 | 2006-03-03 | 주식회사 쓰리비 시스템 | 플랫패널용 광관련판요소의 정형성 얼룩 검출방법 |
| JP2006155579A (ja) * | 2004-11-02 | 2006-06-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像処理方法および画像処理装置 |
| US7561751B2 (en) | 2004-11-02 | 2009-07-14 | Panasonic Corporation | Image processing method |
| JP2007078540A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Tdk Corp | 外観検査方法及び外観検査装置 |
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