JPH05184827A - 流体をろ過及び分与するための一体化システム及び方法 - Google Patents
流体をろ過及び分与するための一体化システム及び方法Info
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- JPH05184827A JPH05184827A JP4147955A JP14795592A JPH05184827A JP H05184827 A JPH05184827 A JP H05184827A JP 4147955 A JP4147955 A JP 4147955A JP 14795592 A JP14795592 A JP 14795592A JP H05184827 A JPH05184827 A JP H05184827A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D35/00—Filtering devices having features not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00, or for applications not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
- B01D35/26—Filters with built-in pumps filters provided with a pump mounted in or on the casing
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光硬化性樹脂流体のろ過及び分与のための新
規なシステム及び方法を提供すること。 【構成】 一体化システム１０には流体源１４からの
流体を受けるための送給ポンプ予備アセンブリー１２が
含まれる。送給ポンプ予備アセンブリー１２には送給ダ
イヤフラム１６が含まれる。送給ダイヤフラム１６は端
部キャップ１８及び送給プレート２０間でボルト２２、
２４によって支持される。ガスケット２６が端部キャッ
プ１８の環状凹部２８内部に配設され、送給ダイヤフラ
ム１６と衝接される。端部キャップ１８には後退部分３
０が含まれ、該後退部分３０は球状セクションとして形
状付けされる。送給ダイヤフラム１６及び後退部分３０
は送給排斥チャンバー３２を画定する。端部キャップ１
８によってチャンバー入り口３４が画定される。
規なシステム及び方法を提供すること。 【構成】 一体化システム１０には流体源１４からの
流体を受けるための送給ポンプ予備アセンブリー１２が
含まれる。送給ポンプ予備アセンブリー１２には送給ダ
イヤフラム１６が含まれる。送給ダイヤフラム１６は端
部キャップ１８及び送給プレート２０間でボルト２２、
２４によって支持される。ガスケット２６が端部キャッ
プ１８の環状凹部２８内部に配設され、送給ダイヤフラ
ム１６と衝接される。端部キャップ１８には後退部分３
０が含まれ、該後退部分３０は球状セクションとして形
状付けされる。送給ダイヤフラム１６及び後退部分３０
は送給排斥チャンバー３２を画定する。端部キャップ１
８によってチャンバー入り口３４が画定される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は流体をろ過し且つ所望量
の流体を分配するための新規な一体化システムに関す
る。
の流体を分配するための新規な一体化システムに関す
る。
【０００２】
【従来技術】製造プロセスに於ては流体を正確な量で反
復分配させる必要性がしばしば生じる。例えば、集積型
電気回路の製造には、例えば金属コーティングしたシリ
コンウエハーの如き光硬化性樹脂流体を好適な基材面上
にポンピングし、次で写真平版によって保護マスクを選
択的に堆積させることが含まれ得る。シリコンウエハー
の、この保護マスクによって保護されない部分は次で、
例えば化学的エッチングによってエッチングされそれに
より集積型電気回路が創出される。然しながら、より新
しいプロセスに於てはしばしば、基材面に堆積される光
硬化性樹脂流体の量及び速度は一般に正確でなければな
らない。例えばウエハー面における不均一なコーティン
グは、形成される保護マスクの欠陥並びに完成された集
積回路のそうした欠陥に基く短絡の原因となり得る。ガ
ス気泡及びゲル粒子、ダストそして光硬化性樹脂流体中
の結晶の如き粒状物もまた保護マスクに欠陥を生じさせ
る原因となり得るものである。光硬化性樹脂流体を分与
するためのポンピング作動が、その流体内にガス気泡を
生じさせるに十分な大きさに於て光硬化性樹脂流体の圧
力を減少させ得る。こうしたガス気泡は次で、基材面上
に堆積しそれにより、光硬化性樹脂流体から順次形成さ
れる保護マスクに欠陥を生じせしめる。
復分配させる必要性がしばしば生じる。例えば、集積型
電気回路の製造には、例えば金属コーティングしたシリ
コンウエハーの如き光硬化性樹脂流体を好適な基材面上
にポンピングし、次で写真平版によって保護マスクを選
択的に堆積させることが含まれ得る。シリコンウエハー
の、この保護マスクによって保護されない部分は次で、
例えば化学的エッチングによってエッチングされそれに
より集積型電気回路が創出される。然しながら、より新
しいプロセスに於てはしばしば、基材面に堆積される光
硬化性樹脂流体の量及び速度は一般に正確でなければな
らない。例えばウエハー面における不均一なコーティン
グは、形成される保護マスクの欠陥並びに完成された集
積回路のそうした欠陥に基く短絡の原因となり得る。ガ
ス気泡及びゲル粒子、ダストそして光硬化性樹脂流体中
の結晶の如き粒状物もまた保護マスクに欠陥を生じさせ
る原因となり得るものである。光硬化性樹脂流体を分与
するためのポンピング作動が、その流体内にガス気泡を
生じさせるに十分な大きさに於て光硬化性樹脂流体の圧
力を減少させ得る。こうしたガス気泡は次で、基材面上
に堆積しそれにより、光硬化性樹脂流体から順次形成さ
れる保護マスクに欠陥を生じせしめる。
【０００３】光硬化性樹脂流体を基材上に分与する１方
法には、光硬化性樹脂流体をフィルターを通して基材上
に差し向けるための容積型ダイヤフラムポンプの使用が
含まれる。然しながら、この方法ではしばしばガス気泡
が蓄積しそれがポンプ及びフィルター内に補足される。
そうしたガス気泡は、光硬化性樹脂流体がポンプから基
材上に分与される間に圧縮されることによって、基材上
に形成される保護マスクの品質を著しく劣化させ得る。
例えば、ポンプ或いはフィルター内でのガス気泡が圧縮
することによって、光硬化性樹脂流体の基材上への分与
に際しての流量が著しく減少しそれが、ポンプによる基
材上への分与量の精度を著しく低下させ得る。ポンプ及
びフィルターからの流量が減少することが結局、基材上
に形成される光硬化性樹脂の保護マスクに欠陥を生じる
原因を招き得る。
法には、光硬化性樹脂流体をフィルターを通して基材上
に差し向けるための容積型ダイヤフラムポンプの使用が
含まれる。然しながら、この方法ではしばしばガス気泡
が蓄積しそれがポンプ及びフィルター内に補足される。
そうしたガス気泡は、光硬化性樹脂流体がポンプから基
材上に分与される間に圧縮されることによって、基材上
に形成される保護マスクの品質を著しく劣化させ得る。
例えば、ポンプ或いはフィルター内でのガス気泡が圧縮
することによって、光硬化性樹脂流体の基材上への分与
に際しての流量が著しく減少しそれが、ポンプによる基
材上への分与量の精度を著しく低下させ得る。ポンプ及
びフィルターからの流量が減少することが結局、基材上
に形成される光硬化性樹脂の保護マスクに欠陥を生じる
原因を招き得る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従って、解決しようと
する課題は、前記従来技術における欠点を解消した或い
は最小化した、光硬化性樹脂流体のろ過及び分与のため
の新規なシステム及び方法を提供することである。
する課題は、前記従来技術における欠点を解消した或い
は最小化した、光硬化性樹脂流体のろ過及び分与のため
の新規なシステム及び方法を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に従えば、フィル
ターを収納するためのろ過予備アセンブリーと、送給ポ
ンプからの光硬化性樹脂流体を受けるための入り口及び
出口を具備するろ過予備アセンブリーとを含んでなる、
流体をろ過及び分配するための一体化システムが提供さ
れる。分与ポンプ予備アセンブリーがろ過予備アセンブ
リーと一体的に連結されそれにより、ろ過予備アセンブ
リーからのろ過済流体を受けるためのろ過流体チャンバ
ーが画定される。この分与ポンプ予備アセンブリーに
は、流体入り口、流体出口、流体入り口及び流体出口の
上方に配設されたパージ出口そして分与手段が含まれ
る。この分与手段は前記ろ過流体チャンバー内のガス気
泡の一部分をパージ出口を通してパージするために、充
填位置からパージ位置に可動であり、また流体出口を通
してこの一体化システム外に所望量の光硬化性樹脂流体
を分与するために前記パージ位置から分与位置に可動で
ある。
ターを収納するためのろ過予備アセンブリーと、送給ポ
ンプからの光硬化性樹脂流体を受けるための入り口及び
出口を具備するろ過予備アセンブリーとを含んでなる、
流体をろ過及び分配するための一体化システムが提供さ
れる。分与ポンプ予備アセンブリーがろ過予備アセンブ
リーと一体的に連結されそれにより、ろ過予備アセンブ
リーからのろ過済流体を受けるためのろ過流体チャンバ
ーが画定される。この分与ポンプ予備アセンブリーに
は、流体入り口、流体出口、流体入り口及び流体出口の
上方に配設されたパージ出口そして分与手段が含まれ
る。この分与手段は前記ろ過流体チャンバー内のガス気
泡の一部分をパージ出口を通してパージするために、充
填位置からパージ位置に可動であり、また流体出口を通
してこの一体化システム外に所望量の光硬化性樹脂流体
を分与するために前記パージ位置から分与位置に可動で
ある。
【０００６】本発明はまた流体源からの流体を、ろ過予
備アセンブリー内に配設されたフィルターを通して、ろ
過予備アセンブリーと一体的に連結された分与ポンプ予
備アセンブリーに差し向けそれにより、分与ポンプ予備
アセンブリーが分与位置から充填位置に移動される段階
を含んで成る、流体をろ過及び分配するための方法が提
供される。前記分与ポンプ予備アセンブリーは、そこに
収集されたガス気泡の実質部分を、その流体入り口及び
流体出口の上方に配設したパージ出口を通してパージす
るために充填位置からパージ位置に差し向けられる。ま
た分与ポンプ予備アセンブリーはパージ位置から分与位
置に差し向けられそこで、所望量の光硬化性樹脂流体が
分与ポンプ予備アセンブリーから分与される。
備アセンブリー内に配設されたフィルターを通して、ろ
過予備アセンブリーと一体的に連結された分与ポンプ予
備アセンブリーに差し向けそれにより、分与ポンプ予備
アセンブリーが分与位置から充填位置に移動される段階
を含んで成る、流体をろ過及び分配するための方法が提
供される。前記分与ポンプ予備アセンブリーは、そこに
収集されたガス気泡の実質部分を、その流体入り口及び
流体出口の上方に配設したパージ出口を通してパージす
るために充填位置からパージ位置に差し向けられる。ま
た分与ポンプ予備アセンブリーはパージ位置から分与位
置に差し向けられそこで、所望量の光硬化性樹脂流体が
分与ポンプ予備アセンブリーから分与される。
【０００７】本発明は多くの利点を有する。光硬化性樹
脂流体の如き流体が、先ずろ過予備アセンブリーでろ過
され、別の段階に於て分与ポンプ予備アセンブリーが所
望量のろ過済流体を一体化システムから分与する。ろ過
及び分与段階は別々に実施される。従って、流体のろ過
時間を、ろ過済流体を分与するために要する時間よりも
長い時間に延長することが出来る。ガス気泡がフィルタ
ーを通り抜ける可能性は大幅に減少される。また、分与
手段によって、分与ポンプ予備アセンブリー内に蓄積し
たガス気泡の一部分を流体の分与以前にパージすること
もまた可能となる。ガス気泡はろ過流体チャンバーの流
体入り口及び流体出口の上方に配設されたパージ出口を
通してパージされる。ろ過流体チャンバーは次いで、流
体入り口及びパージ出口に設けた閉鎖弁によるなどして
隔絶されそれにより、ろ過予備アセンブリー内に補足さ
れたガス気泡及びパージされたガス気泡からシールされ
る。流体を分与する以前にろ過流体チャンバーからパー
ジされるガス気泡の量は従って大幅に増大され、ガス気
泡が流体と共に基材上に分与される恐れは著しく減少さ
れる。更には、ろ過及び分与が別々に実施されることか
ら、一体化システムを通して流動する間の流体圧力の変
動は著しく減少されそれにより、流体内にガス気泡が形
成される可能性は大幅に減少される。ろ過済流体と共に
分与されるガス気泡量が減少される結果、流体のろ過並
びに基材上への流体の分与サイクル反復中のコーティン
グ欠陥部の形成は著しく低下される。
脂流体の如き流体が、先ずろ過予備アセンブリーでろ過
され、別の段階に於て分与ポンプ予備アセンブリーが所
望量のろ過済流体を一体化システムから分与する。ろ過
及び分与段階は別々に実施される。従って、流体のろ過
時間を、ろ過済流体を分与するために要する時間よりも
長い時間に延長することが出来る。ガス気泡がフィルタ
ーを通り抜ける可能性は大幅に減少される。また、分与
手段によって、分与ポンプ予備アセンブリー内に蓄積し
たガス気泡の一部分を流体の分与以前にパージすること
もまた可能となる。ガス気泡はろ過流体チャンバーの流
体入り口及び流体出口の上方に配設されたパージ出口を
通してパージされる。ろ過流体チャンバーは次いで、流
体入り口及びパージ出口に設けた閉鎖弁によるなどして
隔絶されそれにより、ろ過予備アセンブリー内に補足さ
れたガス気泡及びパージされたガス気泡からシールされ
る。流体を分与する以前にろ過流体チャンバーからパー
ジされるガス気泡の量は従って大幅に増大され、ガス気
泡が流体と共に基材上に分与される恐れは著しく減少さ
れる。更には、ろ過及び分与が別々に実施されることか
ら、一体化システムを通して流動する間の流体圧力の変
動は著しく減少されそれにより、流体内にガス気泡が形
成される可能性は大幅に減少される。ろ過済流体と共に
分与されるガス気泡量が減少される結果、流体のろ過並
びに基材上への流体の分与サイクル反復中のコーティン
グ欠陥部の形成は著しく低下される。
【０００８】好ましい具体例に於ては分与手段は、排斥
流体中に沈めたベローズを伸縮させて前記排斥流体を押
し出すことにより作動される。この排斥流体がダイヤフ
ラムを移動させそれが結局、流体をして一体化システム
から分与せしめる。ベローズを使用したことで、排斥流
体の漏れ、例えば排斥流体をダイヤフラムに押し当てて
差し向けるために使用されるピストン位置に設けたシー
ルを横断しての漏れが大幅に減少される。また、ベロー
ズとこのベローズを伸縮させるために使用されるねじと
の間には摩擦が生じない。更には、前記ねじを緊張状態
或いは圧縮状態に維持させるための偏倚ばねをベローズ
位置に配設することが出来る。前記ねじが緊張下或いは
圧縮状態下に維持されることにより、ねじとこのねじに
係合させるねじ溝付き駆動ユニットとの間の損耗によっ
て生じる排斥量の変動が著しく減少される。この一体化
システムの弁には、弁カップと弁を弁座上の閉鎖位置に
向けて偏倚させる偏倚手段とが含まれる。従って弁作動
により排斥される流体量の制度は著しく向上する。追加
的には、弁を作動させるための動力がなくなった場合に
は一体化システムの全ての弁が閉じそれにより、一体化
システムからの流体の有意の漏れ出しが防止される利益
がある。
流体中に沈めたベローズを伸縮させて前記排斥流体を押
し出すことにより作動される。この排斥流体がダイヤフ
ラムを移動させそれが結局、流体をして一体化システム
から分与せしめる。ベローズを使用したことで、排斥流
体の漏れ、例えば排斥流体をダイヤフラムに押し当てて
差し向けるために使用されるピストン位置に設けたシー
ルを横断しての漏れが大幅に減少される。また、ベロー
ズとこのベローズを伸縮させるために使用されるねじと
の間には摩擦が生じない。更には、前記ねじを緊張状態
或いは圧縮状態に維持させるための偏倚ばねをベローズ
位置に配設することが出来る。前記ねじが緊張下或いは
圧縮状態下に維持されることにより、ねじとこのねじに
係合させるねじ溝付き駆動ユニットとの間の損耗によっ
て生じる排斥量の変動が著しく減少される。この一体化
システムの弁には、弁カップと弁を弁座上の閉鎖位置に
向けて偏倚させる偏倚手段とが含まれる。従って弁作動
により排斥される流体量の制度は著しく向上する。追加
的には、弁を作動させるための動力がなくなった場合に
は一体化システムの全ての弁が閉じそれにより、一体化
システムからの流体の有意の漏れ出しが防止される利益
がある。
【０００９】保護マスクを形成するために使用される流
体量もまた、本発明によって著しく低減される。例え
ば、好適な保護マスクを形成させるための十分な量の流
体が分与されることを保証することによって代表的には
生じる無駄な流体が、各分与周期中に分与される流体量
の変動が減少することによって低減される。また、パー
ジガスを伴う流体をフィルターを通して戻すためにパー
ジ出口からろ過予備アセンブリーの流体入り口に導管を
伸延させ得、そうしたガス気泡をフィルターの周期的な
通気によって流体から分離させ得る。ろ過済流体からの
パージガスのガス気泡によって失われる流体量は斯くし
て、ガス気泡と共にパージされる流体を再循環させるこ
とによって著しく減少される。
体量もまた、本発明によって著しく低減される。例え
ば、好適な保護マスクを形成させるための十分な量の流
体が分与されることを保証することによって代表的には
生じる無駄な流体が、各分与周期中に分与される流体量
の変動が減少することによって低減される。また、パー
ジガスを伴う流体をフィルターを通して戻すためにパー
ジ出口からろ過予備アセンブリーの流体入り口に導管を
伸延させ得、そうしたガス気泡をフィルターの周期的な
通気によって流体から分離させ得る。ろ過済流体からの
パージガスのガス気泡によって失われる流体量は斯くし
て、ガス気泡と共にパージされる流体を再循環させるこ
とによって著しく減少される。
【００１０】
【実施例】本発明の装置及び方法の特徴その他を添付図
面を参照して以下に詳細に説明し且つ請求の範囲に於て
請求する。図面中同じ参照番号は同じ要素を表わす。本
発明の特定の具体例は例示目的のものであって本発明を
限定するものではない。本発明の主たる特徴は本発明の
範囲を離れることなく種々の具体例に於て使用し得る。
一体化システム１０には、流体源１４からの流体を受け
るための送給ポンプ予備アセンブリー１２が含まれる。
一体化システム１０に於て使用するための代表的な流体
例は、Ｓｈｉｐｌｅｙ社から位置販入手可能なＳｈｉｐ
ｌｅｙ Ｍｅｇａｐｏｓｉｔ ＳＰＲ２ １．３タイプ
のポジ光硬化性樹脂流体である。
面を参照して以下に詳細に説明し且つ請求の範囲に於て
請求する。図面中同じ参照番号は同じ要素を表わす。本
発明の特定の具体例は例示目的のものであって本発明を
限定するものではない。本発明の主たる特徴は本発明の
範囲を離れることなく種々の具体例に於て使用し得る。
一体化システム１０には、流体源１４からの流体を受け
るための送給ポンプ予備アセンブリー１２が含まれる。
一体化システム１０に於て使用するための代表的な流体
例は、Ｓｈｉｐｌｅｙ社から位置販入手可能なＳｈｉｐ
ｌｅｙ Ｍｅｇａｐｏｓｉｔ ＳＰＲ２ １．３タイプ
のポジ光硬化性樹脂流体である。
【００１１】送給ポンプ予備アセンブリー１２には送給
ダイヤフラム１６が含まれる。好ましくはこの送給ダイ
ヤフラム１６は肉厚が約０．２から約０．４ミリの間の
範囲であるテフロンポリテトラフルオロエチレンから形
成される。送給ダイヤフラム１６は端部キャップ１８及
び送給プレート２０間でボルト２２、２４によって支持
される。ガスケット２６が端部キャップ１８の環状凹部
２８内部に配設され、送給ダイヤフラム１６と衝接され
る。端部キャップ１８には後退部分３０が含まれ、該後
退部分３０は球状セクションとして形状付けされる。送
給ダイヤフラム１６及び後退部分３０は送給排斥チャン
バー３２を画定する。端部キャップ１８によってチャン
バー入り口３４が画定される。このチャンバー入り口３
４は導管３８によってソレノイド３６とカップリングさ
れる。ソレノイド３６は第１の位置及び第２の位置間を
可動とされる。第１の位置では、導管３８及びチャンバ
ー入り口３４を通してのソレノイド４０及び送給排斥チ
ャンバー３２間が流体連通される。第２の位置では、第
１の空気圧源４２及び送給排斥チャンバー３２間が流体
連通される。第１の空気圧源４２位置のガスは送給排斥
チャンバー３２を加圧するために好適なガスである。そ
うしたガスの例には窒素、空気等が含まれる。第１の空
気圧源４２でのガスは送給ダイヤフラム１６を図１に示
される送給位置から図示されない負荷位置に移動させる
に十分なものである。好ましくは、第１の空気圧源４２
での圧力は約２ｐｓｉｇから約８ｐｓｉｇ（約０．１４
ｋｇ／ｃｍ2 から／ｃｍ2 から約０．５６ｋｇ／ｃｍ
2 ）の間の範囲である。特定の好ましい具体例では第１
の空気圧源４２での圧力は約４ｐｓｉｇ（約０．１４ｋ
ｇ／ｃｍ2 ）である。
ダイヤフラム１６が含まれる。好ましくはこの送給ダイ
ヤフラム１６は肉厚が約０．２から約０．４ミリの間の
範囲であるテフロンポリテトラフルオロエチレンから形
成される。送給ダイヤフラム１６は端部キャップ１８及
び送給プレート２０間でボルト２２、２４によって支持
される。ガスケット２６が端部キャップ１８の環状凹部
２８内部に配設され、送給ダイヤフラム１６と衝接され
る。端部キャップ１８には後退部分３０が含まれ、該後
退部分３０は球状セクションとして形状付けされる。送
給ダイヤフラム１６及び後退部分３０は送給排斥チャン
バー３２を画定する。端部キャップ１８によってチャン
バー入り口３４が画定される。このチャンバー入り口３
４は導管３８によってソレノイド３６とカップリングさ
れる。ソレノイド３６は第１の位置及び第２の位置間を
可動とされる。第１の位置では、導管３８及びチャンバ
ー入り口３４を通してのソレノイド４０及び送給排斥チ
ャンバー３２間が流体連通される。第２の位置では、第
１の空気圧源４２及び送給排斥チャンバー３２間が流体
連通される。第１の空気圧源４２位置のガスは送給排斥
チャンバー３２を加圧するために好適なガスである。そ
うしたガスの例には窒素、空気等が含まれる。第１の空
気圧源４２でのガスは送給ダイヤフラム１６を図１に示
される送給位置から図示されない負荷位置に移動させる
に十分なものである。好ましくは、第１の空気圧源４２
での圧力は約２ｐｓｉｇから約８ｐｓｉｇ（約０．１４
ｋｇ／ｃｍ2 から／ｃｍ2 から約０．５６ｋｇ／ｃｍ
2 ）の間の範囲である。特定の好ましい具体例では第１
の空気圧源４２での圧力は約４ｐｓｉｇ（約０．１４ｋ
ｇ／ｃｍ2 ）である。
【００１２】ソレノイド４０は第１の位置及び第２の位
置間を可動である。第１の位置では真空源４４及びソレ
ノイド３６間が導管３８を介して流体連通され、第２の
位置では大気圧源４６及びソレノイド３６が流体連通さ
れる。導管３８に位置付けられたニードル弁４８が、ソ
レイド４０の前記第１及び第２の位置間での切換中にお
ける送給排斥チャンバー３２内部の圧力変化の割合を緩
和させる。好適なニードル弁の例は、Ｃｌｉｐｐａｒｄ
Ｍｉｎｉｍａｔｉｃ社から市販入手し得るＭＮＶ−２
型ニードル弁である。流体源１４から流体入り口５２に
流体を搬送させるための流体導管５０が流体源１４及び
流体入り口５２間を伸延する。流体入り口５２は送給プ
レート２０によって画定され且つカプラー５４によって
流体導管５０とカップリングされる。好適なカプラーの
例は、Ｆｕｒｏｎ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎから市販入
手可能なＩＭＰ４２ＵＡＭ ＰＦＡモデルカプラーであ
る。流体入り口５２は流体導管５０から、送給ポンプ予
備アセンブリー１２の入り口弁５６に伸延する。
置間を可動である。第１の位置では真空源４４及びソレ
ノイド３６間が導管３８を介して流体連通され、第２の
位置では大気圧源４６及びソレノイド３６が流体連通さ
れる。導管３８に位置付けられたニードル弁４８が、ソ
レイド４０の前記第１及び第２の位置間での切換中にお
ける送給排斥チャンバー３２内部の圧力変化の割合を緩
和させる。好適なニードル弁の例は、Ｃｌｉｐｐａｒｄ
Ｍｉｎｉｍａｔｉｃ社から市販入手し得るＭＮＶ−２
型ニードル弁である。流体源１４から流体入り口５２に
流体を搬送させるための流体導管５０が流体源１４及び
流体入り口５２間を伸延する。流体入り口５２は送給プ
レート２０によって画定され且つカプラー５４によって
流体導管５０とカップリングされる。好適なカプラーの
例は、Ｆｕｒｏｎ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎから市販入
手可能なＩＭＰ４２ＵＡＭ ＰＦＡモデルカプラーであ
る。流体入り口５２は流体導管５０から、送給ポンプ予
備アセンブリー１２の入り口弁５６に伸延する。
【００１３】送給プレート２０には後退部分５８が含ま
れ、この後退部分５８は球状セクションとして形状付け
され且つ端部キャップ１８の後退部分３０とは反対側に
配設される。送給ダイヤフラム１６及び後退部分５８は
送給チャンバー６０を画定する。送給チャンバー入り口
６２が送給プレート２０によって画定され、この送給チ
ャンバー入り口６２は入り口弁５６及び送給チャンバー
６０間を伸延する。送給チャンバー出口６４が送給プレ
ート２０によって画定され、この送給チャンバー出口６
４は送給チャンバー６０及び送給ポンプ予備アセンブリ
ー１２の隔絶弁６６間を伸延する。送給チャンネル６８
が送給プレート２０によって画定される。第１の弁ダイ
ヤフラム７０が送給プレート２０及び弁プレート７２間
に配設される。送給プレート２０、第１の弁ダイヤフラ
ム７０そして弁プレート７２はボルト２２、２４によっ
て相互に締着される。１具体例では、第１の弁ダイヤフ
ラム７０はポリテトラフルオロエチレンから形成され
る。好ましくは、第１の弁ダイヤフラム７０の肉厚は約
０．２ミリから約０．４ミリの間の範囲である。
れ、この後退部分５８は球状セクションとして形状付け
され且つ端部キャップ１８の後退部分３０とは反対側に
配設される。送給ダイヤフラム１６及び後退部分５８は
送給チャンバー６０を画定する。送給チャンバー入り口
６２が送給プレート２０によって画定され、この送給チ
ャンバー入り口６２は入り口弁５６及び送給チャンバー
６０間を伸延する。送給チャンバー出口６４が送給プレ
ート２０によって画定され、この送給チャンバー出口６
４は送給チャンバー６０及び送給ポンプ予備アセンブリ
ー１２の隔絶弁６６間を伸延する。送給チャンネル６８
が送給プレート２０によって画定される。第１の弁ダイ
ヤフラム７０が送給プレート２０及び弁プレート７２間
に配設される。送給プレート２０、第１の弁ダイヤフラ
ム７０そして弁プレート７２はボルト２２、２４によっ
て相互に締着される。１具体例では、第１の弁ダイヤフ
ラム７０はポリテトラフルオロエチレンから形成され
る。好ましくは、第１の弁ダイヤフラム７０の肉厚は約
０．２ミリから約０．４ミリの間の範囲である。
【００１４】一体化システム１０の各弁には、弁ダイヤ
フラム、弁キャップそして例えばコイルばねの如き偏倚
手段が含まれる。例えば、図２に示されるように、入り
口弁５６には第１の弁ダイヤフラム７０、弁キャップ７
４そしてコイルばね７６が含まれる。弁キャップ７４は
コイルばね７６によって偏倚され、第１の弁ダイヤフラ
ム７０に押し当てられる。ガスケット７９が、弁プレー
ト７２の入り口弁５６の位置で環状後退部分８０内に配
設されそれにより後退部分７８を周囲環境からシールす
る。ガスケット７９はまた、環状後退部分８１内部の流
体を第１の弁ダイヤフラム７０及び送給プレート２０間
から漏れ出さないようシールする。送給プレート２０の
環状後退部分８１から送給チャンバー入り口６２が伸延
される。入り口弁５２が閉じているとき、第１の弁ダイ
ヤフラム７０は環状後退部分８１から流体入り口５２
を、流体入り口５２及び環状後退部分８２間に配設され
た弁座８３位置でシールする。後退部分７８がガスによ
って十分に加圧されると、流体入り口５２が閉じそれに
より、弁ダイヤフラム７０及び弁キャップ７４が、環状
後退部分８１及び送給チャンバー入り口６２から流体入
り口５２をシールするに十分な力でもって弁座８３に押
し付けられる。流体入り口５２を閉じた位置に維持する
ための、後退部分７８における十分なガス圧力は約１５
ｐｓｉｇから約４５ｐｓｉｇ（約１．０５ｋｇ／ｃｍ2
から３．１６ｋｇ／ｃｍ2 ）の間の範囲のものである。
特に好ましい具体例ではそうした圧力は約２０ｐｓｉｇ
（約１．４１ｋｇ／ｃｍ2 ）である。好適なガスの例に
は空気、窒素などが含まれる。
フラム、弁キャップそして例えばコイルばねの如き偏倚
手段が含まれる。例えば、図２に示されるように、入り
口弁５６には第１の弁ダイヤフラム７０、弁キャップ７
４そしてコイルばね７６が含まれる。弁キャップ７４は
コイルばね７６によって偏倚され、第１の弁ダイヤフラ
ム７０に押し当てられる。ガスケット７９が、弁プレー
ト７２の入り口弁５６の位置で環状後退部分８０内に配
設されそれにより後退部分７８を周囲環境からシールす
る。ガスケット７９はまた、環状後退部分８１内部の流
体を第１の弁ダイヤフラム７０及び送給プレート２０間
から漏れ出さないようシールする。送給プレート２０の
環状後退部分８１から送給チャンバー入り口６２が伸延
される。入り口弁５２が閉じているとき、第１の弁ダイ
ヤフラム７０は環状後退部分８１から流体入り口５２
を、流体入り口５２及び環状後退部分８２間に配設され
た弁座８３位置でシールする。後退部分７８がガスによ
って十分に加圧されると、流体入り口５２が閉じそれに
より、弁ダイヤフラム７０及び弁キャップ７４が、環状
後退部分８１及び送給チャンバー入り口６２から流体入
り口５２をシールするに十分な力でもって弁座８３に押
し付けられる。流体入り口５２を閉じた位置に維持する
ための、後退部分７８における十分なガス圧力は約１５
ｐｓｉｇから約４５ｐｓｉｇ（約１．０５ｋｇ／ｃｍ2
から３．１６ｋｇ／ｃｍ2 ）の間の範囲のものである。
特に好ましい具体例ではそうした圧力は約２０ｐｓｉｇ
（約１．４１ｋｇ／ｃｍ2 ）である。好適なガスの例に
は空気、窒素などが含まれる。
【００１５】図１を再度参照するに、後退部分７８内部
のガス圧力は第２の空気圧源８２によって提供される。
流体入り口５２が閉じると、この第２の空気圧源８２及
び後退部分７８間が好適な空気圧制御体を介して流体連
通される。好適な空気圧制御体の例はソレノイドであ
る。好ましくはこのソレノイドはＬＤＩ Ｐｎｅｕｔｒ
ｏｎｉｃｓ 社によって製造されるシリーズＩＩＩモデ
ルソレノイドである。加圧状態に於てソレノイド８４
は、第２の空気圧源８２から伸延される導管８６と、ソ
レノイド８４から入口弁チャンネル９０に伸延する導管
８８間を流体連通させる。入り口弁チャンネル９０が弁
プレート７２によって画定される。真空位置に於てはソ
レノイド８４は、真空源４４から伸延する導管９２と入
り口弁チャンネル９０間を流体連通させる。ソレノイド
８４は加圧位置及び真空位置間を交互させるべく作動さ
れる。ソレノイド８４を加圧位置から真空位置に移動さ
せることにより、入り口弁５６が図１に示される閉じた
位置から図示されない開放位置に移動せしめられる。入
り口弁５６はその開放位置では流体入り口５２及び送給
チャンバー入り口６２間を流体連通する。
のガス圧力は第２の空気圧源８２によって提供される。
流体入り口５２が閉じると、この第２の空気圧源８２及
び後退部分７８間が好適な空気圧制御体を介して流体連
通される。好適な空気圧制御体の例はソレノイドであ
る。好ましくはこのソレノイドはＬＤＩ Ｐｎｅｕｔｒ
ｏｎｉｃｓ 社によって製造されるシリーズＩＩＩモデ
ルソレノイドである。加圧状態に於てソレノイド８４
は、第２の空気圧源８２から伸延される導管８６と、ソ
レノイド８４から入口弁チャンネル９０に伸延する導管
８８間を流体連通させる。入り口弁チャンネル９０が弁
プレート７２によって画定される。真空位置に於てはソ
レノイド８４は、真空源４４から伸延する導管９２と入
り口弁チャンネル９０間を流体連通させる。ソレノイド
８４は加圧位置及び真空位置間を交互させるべく作動さ
れる。ソレノイド８４を加圧位置から真空位置に移動さ
せることにより、入り口弁５６が図１に示される閉じた
位置から図示されない開放位置に移動せしめられる。入
り口弁５６はその開放位置では流体入り口５２及び送給
チャンバー入り口６２間を流体連通する。
【００１６】隔絶弁６６が送給チャンバー出口６４及び
送給チャンネル６８間に配設される。隔絶弁６６はその
閉じた位置に於て、やはり送給プレート２０によって画
定される送給チャンネル６８から送給チャンバー出口６
４をシールする。隔絶弁６６は図１に示される閉じた位
置から図示されない開放位置に、ソレノイド９４を作動
させることによって可動である。ソレノイド９４を交互
に作動させることによって、第２の空気圧源８２或いは
真空源４４と弁プレート７２によって画定される隔絶弁
チャンネル９６との間の流体連通が提供される。送給導
管９８が送給チャンネル６８位置に於て送給プレート２
０と連結されそして送給プレート２０から分与プレート
１００に伸延される。分与プレート１００は弁プレート
７２に隣り合って配設される。第２の弁ダイヤフラム１
０２が弁プレート７２及び分与プレート１００間に配設
される。送給導管９８は分与プレート１００に、ろ過チ
ャンバー入り口チャンネル１０４の位置で連結される。
ろ過チャンバー入り口チャンネル１０４は分与プレート
１００、ろ過予備アセンブリー１０６そしてフィッティ
ング１０７によって画定される。
送給チャンネル６８間に配設される。隔絶弁６６はその
閉じた位置に於て、やはり送給プレート２０によって画
定される送給チャンネル６８から送給チャンバー出口６
４をシールする。隔絶弁６６は図１に示される閉じた位
置から図示されない開放位置に、ソレノイド９４を作動
させることによって可動である。ソレノイド９４を交互
に作動させることによって、第２の空気圧源８２或いは
真空源４４と弁プレート７２によって画定される隔絶弁
チャンネル９６との間の流体連通が提供される。送給導
管９８が送給チャンネル６８位置に於て送給プレート２
０と連結されそして送給プレート２０から分与プレート
１００に伸延される。分与プレート１００は弁プレート
７２に隣り合って配設される。第２の弁ダイヤフラム１
０２が弁プレート７２及び分与プレート１００間に配設
される。送給導管９８は分与プレート１００に、ろ過チ
ャンバー入り口チャンネル１０４の位置で連結される。
ろ過チャンバー入り口チャンネル１０４は分与プレート
１００、ろ過予備アセンブリー１０６そしてフィッティ
ング１０７によって画定される。
【００１７】ろ過予備アセンブリー１０６にはポンプキ
ャップ１０８が含まれる。このポンプキャップ１０８は
ろ過チャンバー入り口チャンネル１０４を部分的に画定
する。ポンプキャップ１０８にはリップ１１０及びろ過
カートリッジを受けるための凹所１１２が含まれる。ろ
過予備アセンブリー１０６のポンプキャップ１０８及び
スリーブ１１４がろ過チャンバー１１６を画定する。ろ
過予備アセンブリー１０６の移行プレート１１８にはポ
ンプキャップ１０８をリップ１１０の位置で支持する凹
所部分１２０が含まれる。移行プレート１１８にはフラ
ンジ１２２もまた含まれる。このフランジ１２２はフラ
ンジ１２６の位置でろ過予備アセンブリー１０６のハウ
ジング１２４と衝接する。移行プレート１１８及びハウ
ジング１２４は、移行プレート１１８のフランジ１２２
及びハウジング１２４のフランジ１２６と衝接状態に配
設されたキャップ１２８によって連接されそれにより、
ポンプキャップ１０８とスリーブ１１４との間に配設さ
れて成るガスケット１３０位置におけるシールを形成す
る。ろ過予備アセンブリー１０６には、図示されない
が、ハウジング１２４周囲の媒体を搬送しそれによって
ろ過チャンバー１１６内部の温度を制御するための、ハ
ウジング１２４の周囲に配設されて成るジャケットを含
み得る。ろ過予備アセンブリー１０６はボルト１３４、
１３６によってこのジャケット１３２に連接される。ブ
ラケット１３２は一体化システム１０を図示されない壁
の如き好適な支持体位置で吊下させるために好適であ
る。
ャップ１０８が含まれる。このポンプキャップ１０８は
ろ過チャンバー入り口チャンネル１０４を部分的に画定
する。ポンプキャップ１０８にはリップ１１０及びろ過
カートリッジを受けるための凹所１１２が含まれる。ろ
過予備アセンブリー１０６のポンプキャップ１０８及び
スリーブ１１４がろ過チャンバー１１６を画定する。ろ
過予備アセンブリー１０６の移行プレート１１８にはポ
ンプキャップ１０８をリップ１１０の位置で支持する凹
所部分１２０が含まれる。移行プレート１１８にはフラ
ンジ１２２もまた含まれる。このフランジ１２２はフラ
ンジ１２６の位置でろ過予備アセンブリー１０６のハウ
ジング１２４と衝接する。移行プレート１１８及びハウ
ジング１２４は、移行プレート１１８のフランジ１２２
及びハウジング１２４のフランジ１２６と衝接状態に配
設されたキャップ１２８によって連接されそれにより、
ポンプキャップ１０８とスリーブ１１４との間に配設さ
れて成るガスケット１３０位置におけるシールを形成す
る。ろ過予備アセンブリー１０６には、図示されない
が、ハウジング１２４周囲の媒体を搬送しそれによって
ろ過チャンバー１１６内部の温度を制御するための、ハ
ウジング１２４の周囲に配設されて成るジャケットを含
み得る。ろ過予備アセンブリー１０６はボルト１３４、
１３６によってこのジャケット１３２に連接される。ブ
ラケット１３２は一体化システム１０を図示されない壁
の如き好適な支持体位置で吊下させるために好適であ
る。
【００１８】フィルターカートリッジ１６６がフィルタ
ーチャンバー１１６の内部に配設される。フィルターカ
ートリッジ１６６には好適なろ過媒体１７０を支持する
プレート１６８が含まれる。フィルター導管１７２がフ
ィルターカートリッジ１６６によって画定される。好適
なフィルターカートリッジ１６６の例はミリポア社から
市販入手可能なＷＧＦＧ１６Ｈ Ｐ２モデルフィルター
である。カートリッジアダプター１７４がフィルター導
管１７２の位置でフィルターカートリッジ１６６に嵌合
され、また凹所１１２の位置でポンプキャップ１８０に
もまた嵌合される。ろ過済流体チャンネル１７６が、ポ
ンプキャップ１０８と、分与プレート１００とそしてフ
ィッティング１７８とによって画定される。このろ過済
流体チャンネル１７６は、凹所１１２に配設されそれに
より、フィルター導管１７２及びバリヤー弁１８２間を
流体連通させる。ポンプキャップ１０８位置に於て、ろ
過済流体チャンネル１７６はカートリッジアダプター１
７４によってフィルターチャンバー１１６からシールさ
れる。別様には、フィルターカートリッジ１６６及びス
リーブ１４４を一体ユニットとしこれを新しいフィルタ
ーカートリッジが必要な場合に廃棄及び交換することが
出来る。例えば、フィルターカートリッジ１６６及びス
リーブ１４４を好適に相互に締着して一体ユニットを形
成させ得る。フィルターチャンバー通気口１８４がフィ
ルターチャンバー１１６及び通気弁１９４間を伸延す
る。このフィルターチャンバー通気口１８４はポンプキ
ャップ１０８と、分与プレート１００とそしてフィッテ
ィング１８６とによって画定される。ガスケット１９０
がポンプキャップ１０８の環状凹所１９２内部に配設さ
れ、フィッティング１０５、１７８及び１８６の周囲を
伸延する。通気チャンネル１９６が分与プレート１００
によって画定され、通気弁１９４から導管１９７に伸延
される。この導管１９７は通気チャンネル１９６及び廃
棄物容器１９９間を流体連通させる。別様には、図示さ
れない戻りラインが通気チャンネル１９６及び流体源１
４間を、任意のガス気泡と共に通気された流体を流体源
１４に戻すために伸延される。通気弁１９４は、フィル
ターチャンバー１１６が廃棄物容器１９９からシールさ
れる、図１に示される閉じた位置閉じた位置とフィルタ
ーチャンバー１１６が廃棄物容器１９９に流体連通され
る開放位置との間で可動とされる。通気弁チャンネル１
９８が弁プレート７２によって画定され、通気弁１９４
からソレノイド２００に伸延される。ソレノイド２００
は圧力位置及び真空位置間で作動されそれにより、第２
の空気圧源８２或いは真空源４４及び通気弁チャンネル
１９８間に交互に流体連通される。
ーチャンバー１１６の内部に配設される。フィルターカ
ートリッジ１６６には好適なろ過媒体１７０を支持する
プレート１６８が含まれる。フィルター導管１７２がフ
ィルターカートリッジ１６６によって画定される。好適
なフィルターカートリッジ１６６の例はミリポア社から
市販入手可能なＷＧＦＧ１６Ｈ Ｐ２モデルフィルター
である。カートリッジアダプター１７４がフィルター導
管１７２の位置でフィルターカートリッジ１６６に嵌合
され、また凹所１１２の位置でポンプキャップ１８０に
もまた嵌合される。ろ過済流体チャンネル１７６が、ポ
ンプキャップ１０８と、分与プレート１００とそしてフ
ィッティング１７８とによって画定される。このろ過済
流体チャンネル１７６は、凹所１１２に配設されそれに
より、フィルター導管１７２及びバリヤー弁１８２間を
流体連通させる。ポンプキャップ１０８位置に於て、ろ
過済流体チャンネル１７６はカートリッジアダプター１
７４によってフィルターチャンバー１１６からシールさ
れる。別様には、フィルターカートリッジ１６６及びス
リーブ１４４を一体ユニットとしこれを新しいフィルタ
ーカートリッジが必要な場合に廃棄及び交換することが
出来る。例えば、フィルターカートリッジ１６６及びス
リーブ１４４を好適に相互に締着して一体ユニットを形
成させ得る。フィルターチャンバー通気口１８４がフィ
ルターチャンバー１１６及び通気弁１９４間を伸延す
る。このフィルターチャンバー通気口１８４はポンプキ
ャップ１０８と、分与プレート１００とそしてフィッテ
ィング１８６とによって画定される。ガスケット１９０
がポンプキャップ１０８の環状凹所１９２内部に配設さ
れ、フィッティング１０５、１７８及び１８６の周囲を
伸延する。通気チャンネル１９６が分与プレート１００
によって画定され、通気弁１９４から導管１９７に伸延
される。この導管１９７は通気チャンネル１９６及び廃
棄物容器１９９間を流体連通させる。別様には、図示さ
れない戻りラインが通気チャンネル１９６及び流体源１
４間を、任意のガス気泡と共に通気された流体を流体源
１４に戻すために伸延される。通気弁１９４は、フィル
ターチャンバー１１６が廃棄物容器１９９からシールさ
れる、図１に示される閉じた位置閉じた位置とフィルタ
ーチャンバー１１６が廃棄物容器１９９に流体連通され
る開放位置との間で可動とされる。通気弁チャンネル１
９８が弁プレート７２によって画定され、通気弁１９４
からソレノイド２００に伸延される。ソレノイド２００
は圧力位置及び真空位置間で作動されそれにより、第２
の空気圧源８２或いは真空源４４及び通気弁チャンネル
１９８間に交互に流体連通される。
【００１９】バリヤー弁１８２が、フィルターカートリ
ッジ１６６と対向するろ過済流体チャンネル１７６の端
部に配設される。バリヤー弁チャンネル２０２が弁プレ
ート７２によって画定されバリヤー弁１８２からソレノ
イド２０４に伸延される。ソレノイド２０４は第２の空
気圧源８２及び真空源４４と流体連通される。バリヤー
弁１８２は、ソレノイド２０４を加圧位置及び真空位置
間で作動させることによって、夫々閉じた位置及び開放
位置間で可動とされる。分与ポンプ予備アセンブリー２
０６が分与手段を構成する。分与ポンプ予備アセンブリ
ー２０６には、分与チャンバー２１０への流体入り口と
しての分与チャンバー入り口チャンネル２０８が含まれ
る。分与チャンバー入り口チャンネル２０８は分与プレ
ート１００によって画定されバリヤー弁１８２から分与
チャンバー２１０に伸延される。分与チャンバー２１０
は分与プレート１００の凹所２１２及び分与ダイヤフラ
ム２１４によって画定される。分与プレート１００の凹
所２１２は球状セクションとして形状付けされる。分与
チャンバー２１０は、分与プレート１００の環状凹所２
１８内部に配設されたガスケット２１６によってシール
される。分与ダイヤフラム２１４は、分与プレート１０
０及びポンプ駆動体鋳物２２０間で実質的に縦方向に支
持される。ポンプ駆動体鋳物２２０を分与プレート１０
０に固着させるために、また分与プレート１００を弁プ
レート７２に固着させるために、ボルト２２２、２２４
がポンプ駆動体鋳物２２０及び分与プレート１００を貫
いて弁プレート７２内に伸延される。
ッジ１６６と対向するろ過済流体チャンネル１７６の端
部に配設される。バリヤー弁チャンネル２０２が弁プレ
ート７２によって画定されバリヤー弁１８２からソレノ
イド２０４に伸延される。ソレノイド２０４は第２の空
気圧源８２及び真空源４４と流体連通される。バリヤー
弁１８２は、ソレノイド２０４を加圧位置及び真空位置
間で作動させることによって、夫々閉じた位置及び開放
位置間で可動とされる。分与ポンプ予備アセンブリー２
０６が分与手段を構成する。分与ポンプ予備アセンブリ
ー２０６には、分与チャンバー２１０への流体入り口と
しての分与チャンバー入り口チャンネル２０８が含まれ
る。分与チャンバー入り口チャンネル２０８は分与プレ
ート１００によって画定されバリヤー弁１８２から分与
チャンバー２１０に伸延される。分与チャンバー２１０
は分与プレート１００の凹所２１２及び分与ダイヤフラ
ム２１４によって画定される。分与プレート１００の凹
所２１２は球状セクションとして形状付けされる。分与
チャンバー２１０は、分与プレート１００の環状凹所２
１８内部に配設されたガスケット２１６によってシール
される。分与ダイヤフラム２１４は、分与プレート１０
０及びポンプ駆動体鋳物２２０間で実質的に縦方向に支
持される。ポンプ駆動体鋳物２２０を分与プレート１０
０に固着させるために、また分与プレート１００を弁プ
レート７２に固着させるために、ボルト２２２、２２４
がポンプ駆動体鋳物２２０及び分与プレート１００を貫
いて弁プレート７２内に伸延される。
【００２０】パージチャンネル２２６がガス気泡及び関
連する流体のためのパージ出口を構成する。このパージ
チャンネルは分与チャンバー入り口チャンネル２０８の
上方に配設される。パージチャンネル２２６は分与プレ
ート１００によって画定され分与チャンバー２１０の最
上部及びパージ弁２２８間を伸延される。パージ弁チャ
ンネル２３０がパージ弁２２８からソレノイド２３２に
伸延し弁プレート７２によって画定される。パージ弁２
２８は、ソレノイド２３２を作動することによって図１
に示される閉じた位置と開放位置との間で可動とされ
る。ソレノイド２３２は、第２の空気圧源８２或いは真
空源４４とパージ弁２２８との間を交互に流体連通させ
ることによりパージ弁２２８を作動させる。パージ弁２
２８が閉じた位置にある時、パージチャンネル２２６は
分与プレート１００によって画定される結合チャンネル
２３４からシールされる。結合チャンネル２３４はパー
ジ弁２２８とろ過予備アセンブリー１９６に導通する流
体流路の周囲位置との間を伸延する。１具体例では、結
合チャンネル２３４は、図１に示されるようにパージ弁
２２８からろ過チャンバー入り口チャンネル１０４に伸
延される。パージ弁２２８が開放位置にある時、パージ
チャンネル２２６及び結合チャンネル２３４を通して
の、分与チャンバー２１０及びろ過チャンバー入り口チ
ャンネル１０４間の連通が提供される。
連する流体のためのパージ出口を構成する。このパージ
チャンネルは分与チャンバー入り口チャンネル２０８の
上方に配設される。パージチャンネル２２６は分与プレ
ート１００によって画定され分与チャンバー２１０の最
上部及びパージ弁２２８間を伸延される。パージ弁チャ
ンネル２３０がパージ弁２２８からソレノイド２３２に
伸延し弁プレート７２によって画定される。パージ弁２
２８は、ソレノイド２３２を作動することによって図１
に示される閉じた位置と開放位置との間で可動とされ
る。ソレノイド２３２は、第２の空気圧源８２或いは真
空源４４とパージ弁２２８との間を交互に流体連通させ
ることによりパージ弁２２８を作動させる。パージ弁２
２８が閉じた位置にある時、パージチャンネル２２６は
分与プレート１００によって画定される結合チャンネル
２３４からシールされる。結合チャンネル２３４はパー
ジ弁２２８とろ過予備アセンブリー１９６に導通する流
体流路の周囲位置との間を伸延する。１具体例では、結
合チャンネル２３４は、図１に示されるようにパージ弁
２２８からろ過チャンバー入り口チャンネル１０４に伸
延される。パージ弁２２８が開放位置にある時、パージ
チャンネル２２６及び結合チャンネル２３４を通して
の、分与チャンバー２１０及びろ過チャンバー入り口チ
ャンネル１０４間の連通が提供される。
【００２１】分与チャンバー出口チャンネル２３６が流
体出口を構成する。この分与チャンバー出口チャンネル
２３６は分与プレート１００によって画定され、分与チ
ャンバー２１０の下方部分から出口弁２３８に伸延す
る。この出口弁２３８は図１に示される閉じた位置と図
示されない開放位置との間で可動である。出口弁チャン
ネル２４０が出口弁２３８からソレノイド２４２へと伸
延し、弁プレート７２によって画定される。出口弁２３
８は、ソレノイド２４２を作動させることにより、閉じ
た位置及び開放位置間で可動である。出口弁２３８が開
放位置の時、分与チャンバー出口チャンネル２３６と分
与プレート１００によって画定される分与チャンネル２
４４との間が流体連通される。この分与チャンネル２４
４は流体出口導管２４６と連結される。この流体出口導
管２４６には基材２５０に配設された端部２４８が含ま
れる。好ましくは流体出口導管２４６は実質的に剛性の
チューブであり、ペルフルオロアルコキシテトラフルオ
ロエチレン（今後単に”ＰＦＡ”と称する）から形成さ
れ、約３×１／２ミリ及び約４ミリの間の範囲の内径を
有している。ジャケット１３８が流体出口導管２４６の
周囲に配設される。ジャケット１３８及び流体導管出口
２４６がジャケットチャンバー１４０を画定する。ジャ
ケット１３８はジャケットチャンバー入り口１４２及び
ジャケットチャンバー出口１４４を画定する。ジャケッ
トチャンバー１４０は、流体出口導管２４６の周囲に媒
体を導通しそれにより流体出口導管２４６内部の流体温
度を制御するために好適である。
体出口を構成する。この分与チャンバー出口チャンネル
２３６は分与プレート１００によって画定され、分与チ
ャンバー２１０の下方部分から出口弁２３８に伸延す
る。この出口弁２３８は図１に示される閉じた位置と図
示されない開放位置との間で可動である。出口弁チャン
ネル２４０が出口弁２３８からソレノイド２４２へと伸
延し、弁プレート７２によって画定される。出口弁２３
８は、ソレノイド２４２を作動させることにより、閉じ
た位置及び開放位置間で可動である。出口弁２３８が開
放位置の時、分与チャンバー出口チャンネル２３６と分
与プレート１００によって画定される分与チャンネル２
４４との間が流体連通される。この分与チャンネル２４
４は流体出口導管２４６と連結される。この流体出口導
管２４６には基材２５０に配設された端部２４８が含ま
れる。好ましくは流体出口導管２４６は実質的に剛性の
チューブであり、ペルフルオロアルコキシテトラフルオ
ロエチレン（今後単に”ＰＦＡ”と称する）から形成さ
れ、約３×１／２ミリ及び約４ミリの間の範囲の内径を
有している。ジャケット１３８が流体出口導管２４６の
周囲に配設される。ジャケット１３８及び流体導管出口
２４６がジャケットチャンバー１４０を画定する。ジャ
ケット１３８はジャケットチャンバー入り口１４２及び
ジャケットチャンバー出口１４４を画定する。ジャケッ
トチャンバー１４０は、流体出口導管２４６の周囲に媒
体を導通しそれにより流体出口導管２４６内部の流体温
度を制御するために好適である。
【００２２】ジャケット１３８は再循環温度制御システ
ム１５６と連接される。この再循環温度制御システム１
５６には、媒体リザーバー１５８とこの媒体リザーバー
１５８からジャケットチャンバー入り口１４２へと伸延
する送達導管１６０とが含まれる。媒体リザーバー１５
８からジャケットチャンバー１４０に好適な媒体を差し
向けるために送達導管１６０位置にポンプ１６２が配設
される。戻り導管１６４がジャケットチャンバー出口１
４４から媒体リザーバー１５８に伸延される。水の如き
好適な媒体１６５が媒体リザーバー１５８の内部に配設
される。この媒体の温度は、媒体リザーバー１５８位置
に配設した好適な温度制御ユニット１６７の如き手段に
よって、媒体リザーバー１５８の位置で制御される。ポ
ンプ１６２が作動すると媒体リザーバー１５８内部の媒
体は送達導管１６０を通してジャケットチャンバー１４
０に差し向けられ、戻し導管１６４を経て媒体リザーバ
ー１５８に戻される。流体出口導管２４６内部の流体の
温度は、ジャケット１４０を通して差し向けられる媒体
の温度を制御することにより制御される。
ム１５６と連接される。この再循環温度制御システム１
５６には、媒体リザーバー１５８とこの媒体リザーバー
１５８からジャケットチャンバー入り口１４２へと伸延
する送達導管１６０とが含まれる。媒体リザーバー１５
８からジャケットチャンバー１４０に好適な媒体を差し
向けるために送達導管１６０位置にポンプ１６２が配設
される。戻り導管１６４がジャケットチャンバー出口１
４４から媒体リザーバー１５８に伸延される。水の如き
好適な媒体１６５が媒体リザーバー１５８の内部に配設
される。この媒体の温度は、媒体リザーバー１５８位置
に配設した好適な温度制御ユニット１６７の如き手段に
よって、媒体リザーバー１５８の位置で制御される。ポ
ンプ１６２が作動すると媒体リザーバー１５８内部の媒
体は送達導管１６０を通してジャケットチャンバー１４
０に差し向けられ、戻し導管１６４を経て媒体リザーバ
ー１５８に戻される。流体出口導管２４６内部の流体の
温度は、ジャケット１４０を通して差し向けられる媒体
の温度を制御することにより制御される。
【００２３】ポンプ駆動体鋳物２２０及び分与ダイヤフ
ラム２１４が分与排斥チャンバー２５２を画定する。排
斥流体２５４が分与排斥チャンバー２５２内部に配設さ
れる。一体化システム１０の組立中、排斥流体２５４を
使用しての分与排斥チャンバー２５２の充填に引き続く
任意の残留ガスを除去するために、プラグ２５６だけが
一般に使用される。ガスケット２６２がポンプ駆動体鋳
物２２０の環状凹所２６４の内部に配設され、これが分
与排斥チャンバー２５２内部を排斥流体２５４に対して
シールする。圧力センサー２６５が分与排斥チャンバー
２５２位置に配設される。図示されない好適なジャケッ
トを、ポンプ駆動体鋳物２２０の周囲に流体を再循環さ
せるためにポンプ駆動体鋳物２２０の周囲に配設するこ
とが出来、分与排斥チャンバー２５２内の排斥流体２５
４の温度がそれによって制御可能となる。ベローズ２６
６を含む排斥手段が排斥流体２５４中に沈められる。ベ
ローズプラグ２６８がベローズ２６６の一端に固着され
る。ベローズ２６６はベローズ２６６の他端のモーター
マウント２７０に固着される。特に好ましい具体例に於
てはベローズ２６６はＲｏｂｅｒｔｓｈｏｗ Ｃｏｎｔ
ｒｏｌｓ社から市販入手可能な部品番号２７６５９０Ｒ
ベローズである。モーターマウント２７０がポンプ駆動
体鋳物２２０上に配設される。ポンプ駆動体鋳物２２０
及びモーターマウント２７０間のシールを提供するため
のガスケットがポンプ駆動体鋳物２２０の凹所部分２７
４の内部に配設される。モーターマウント２７０は、そ
の中央に配設されて成る開口２７６を画定する。ベロー
ズ２６６、ベローズプラグ２６８そしてモーターマウン
ト２７０がベローズチャンバー２７８を画定する。この
ベローズチャンバー２７８は分与排斥チャンバー２５２
内部の分与流体からシールされる。ステップモーター２
８０がモーターマウント２７０上に配設され、ねじ溝付
き駆動体２８２を含んでいる。ステップモーター２８０
はボルト２８４、２８６によってモーターマウント２７
０に固着される。好ましくは、ステップモーター２８０
はＥａｓｔｅｒｎ Ａｉｒ Ｄｅｖｉｃｅｓ 社から市
販入手し得るＬＡ２３ＧＣＫ−２１３モデルステップモ
ーターである。
ラム２１４が分与排斥チャンバー２５２を画定する。排
斥流体２５４が分与排斥チャンバー２５２内部に配設さ
れる。一体化システム１０の組立中、排斥流体２５４を
使用しての分与排斥チャンバー２５２の充填に引き続く
任意の残留ガスを除去するために、プラグ２５６だけが
一般に使用される。ガスケット２６２がポンプ駆動体鋳
物２２０の環状凹所２６４の内部に配設され、これが分
与排斥チャンバー２５２内部を排斥流体２５４に対して
シールする。圧力センサー２６５が分与排斥チャンバー
２５２位置に配設される。図示されない好適なジャケッ
トを、ポンプ駆動体鋳物２２０の周囲に流体を再循環さ
せるためにポンプ駆動体鋳物２２０の周囲に配設するこ
とが出来、分与排斥チャンバー２５２内の排斥流体２５
４の温度がそれによって制御可能となる。ベローズ２６
６を含む排斥手段が排斥流体２５４中に沈められる。ベ
ローズプラグ２６８がベローズ２６６の一端に固着され
る。ベローズ２６６はベローズ２６６の他端のモーター
マウント２７０に固着される。特に好ましい具体例に於
てはベローズ２６６はＲｏｂｅｒｔｓｈｏｗ Ｃｏｎｔ
ｒｏｌｓ社から市販入手可能な部品番号２７６５９０Ｒ
ベローズである。モーターマウント２７０がポンプ駆動
体鋳物２２０上に配設される。ポンプ駆動体鋳物２２０
及びモーターマウント２７０間のシールを提供するため
のガスケットがポンプ駆動体鋳物２２０の凹所部分２７
４の内部に配設される。モーターマウント２７０は、そ
の中央に配設されて成る開口２７６を画定する。ベロー
ズ２６６、ベローズプラグ２６８そしてモーターマウン
ト２７０がベローズチャンバー２７８を画定する。この
ベローズチャンバー２７８は分与排斥チャンバー２５２
内部の分与流体からシールされる。ステップモーター２
８０がモーターマウント２７０上に配設され、ねじ溝付
き駆動体２８２を含んでいる。ステップモーター２８０
はボルト２８４、２８６によってモーターマウント２７
０に固着される。好ましくは、ステップモーター２８０
はＥａｓｔｅｒｎ Ａｉｒ Ｄｅｖｉｃｅｓ 社から市
販入手し得るＬＡ２３ＧＣＫ−２１３モデルステップモ
ーターである。
【００２４】ねじ２８８がベローズプラグ２６８に固着
され開口２７６及びステップモーター２８０を貫いて伸
延される。ねじ２８８の上端２９０はステップモーター
２８０の上方に配設される。ねじ２８８のねじ溝２９２
がねじ溝付き駆動体２８２とねじ係合する。ねじ２８８
は、ステップモーター２８０を作動させることによって
縦方向軸に沿って可動である。好ましくはねじ２８８
は、ベローズ２６６によって、ベローズプラグ２６８及
びねじ溝付き駆動体２８２間で緊張状態下或は圧縮状態
下に維持される。これによりねじ２８８は、ねじ溝付き
駆動体２８２の位置でねじ溝の一方側だけと係合する。
ねじ２８８がねじ溝付き駆動体２８２の位置でねじ溝の
一方側だけと係合することによって、ねじの損耗及びそ
れによるねじ溝付き駆動体２８２及びねじ２８８のねじ
溝位置での移動に基づくねじ溝付き駆動体２８２とねじ
２８８とによる排斥量の任意の誤差が実質的に減少され
る。コイルばね２９６が分与排斥チャンバー２５２の内
部で、ベローズプラグ２６８及びモーターマウント２７
０間に配設され、ねじ２８８を緊張状態下或は圧縮状態
下に維持する。別様には、ねじ２８８をねじ溝付き駆動
体２８２によって移動させそれによりベローズ２６６を
コイルばね２９６無しで伸長及び圧縮させ得る。
され開口２７６及びステップモーター２８０を貫いて伸
延される。ねじ２８８の上端２９０はステップモーター
２８０の上方に配設される。ねじ２８８のねじ溝２９２
がねじ溝付き駆動体２８２とねじ係合する。ねじ２８８
は、ステップモーター２８０を作動させることによって
縦方向軸に沿って可動である。好ましくはねじ２８８
は、ベローズ２６６によって、ベローズプラグ２６８及
びねじ溝付き駆動体２８２間で緊張状態下或は圧縮状態
下に維持される。これによりねじ２８８は、ねじ溝付き
駆動体２８２の位置でねじ溝の一方側だけと係合する。
ねじ２８８がねじ溝付き駆動体２８２の位置でねじ溝の
一方側だけと係合することによって、ねじの損耗及びそ
れによるねじ溝付き駆動体２８２及びねじ２８８のねじ
溝位置での移動に基づくねじ溝付き駆動体２８２とねじ
２８８とによる排斥量の任意の誤差が実質的に減少され
る。コイルばね２９６が分与排斥チャンバー２５２の内
部で、ベローズプラグ２６８及びモーターマウント２７
０間に配設され、ねじ２８８を緊張状態下或は圧縮状態
下に維持する。別様には、ねじ２８８をねじ溝付き駆動
体２８２によって移動させそれによりベローズ２６６を
コイルばね２９６無しで伸長及び圧縮させ得る。
【００２５】ねじ２８８が縦方向軸に沿って移動される
ことから、ベローズ２６６が圧縮或は伸長されそれがベ
ローズチャンバー２７８を伸縮させる。このベローズチ
ャンバー２７８の伸縮によって、排斥チャンバー２５２
内部の排斥流体２５４が排斥せしめられる。これにより
排斥流体２５４は、分与ダイヤフラム２１４を図１に示
される分与位置と図示されない充填及びパージ位置との
間で移動させる。排斥流体２５４をベローズ２６６へと
交互に排斥するために好適なその他手段を使用し得る。
例えば、図示されないピストンを排斥チャンバー２５２
内に配設可能である。センサー２９４がステップモータ
ー２８０の上部に配設される。このセンサー２９４はね
じ２８８の最高位置を検出するため好適なものである。
好適なセンサーの例は光電型センサーアセンブリーであ
る。好ましくは、センサー２９４はオムロン社より市販
入手可能なＥＥ−ＳＸ４５０−ＰＩ型光電センサーであ
る。
ことから、ベローズ２６６が圧縮或は伸長されそれがベ
ローズチャンバー２７８を伸縮させる。このベローズチ
ャンバー２７８の伸縮によって、排斥チャンバー２５２
内部の排斥流体２５４が排斥せしめられる。これにより
排斥流体２５４は、分与ダイヤフラム２１４を図１に示
される分与位置と図示されない充填及びパージ位置との
間で移動させる。排斥流体２５４をベローズ２６６へと
交互に排斥するために好適なその他手段を使用し得る。
例えば、図示されないピストンを排斥チャンバー２５２
内に配設可能である。センサー２９４がステップモータ
ー２８０の上部に配設される。このセンサー２９４はね
じ２８８の最高位置を検出するため好適なものである。
好適なセンサーの例は光電型センサーアセンブリーであ
る。好ましくは、センサー２９４はオムロン社より市販
入手可能なＥＥ−ＳＸ４５０−ＰＩ型光電センサーであ
る。
【００２６】好ましい具体例では端部キャップ１８、弁
プレート７２、ポンプ駆動体鋳物２２０そして移行プレ
ート１１８はアルミニューム合金から形成される。好適
なアルミニューム合金の例は６０６１−Ｔ６アルミニュ
ーム合金である。好ましい具体例ではまた、送給プレー
ト２０、分与プレート１００、ポンプキャップ１０８、
スリーブ１１４そしてカートリッジアダプター１７４は
ポリテトラフルオロエチレン（今後単に”ＰＴＦＥ”と
称する）から形成される。ベローズプラグ２６８及びモ
ーターマウント２７０は好ましくは真鍮から形成され
る。クランプ１２８は好適な材料、例えばステンレス鋼
から形成される。端部キャップ１８、送給プレート２
０、弁プレート７２そして分与プレート１００は、例え
ば機械加工によって形成され得る。ポンプ駆動体鋳物２
２０は代表的には注型によって形成される。送給プレー
ト２０、弁プレート７２、分与プレート１００そしてろ
過予備アセンブリー１０６によって画定されるチャンネ
ルは、約２ミリ及び約５ミリの間の範囲の内径を有して
いる。１具体例では、端部キャップ１８、送給プレート
２０、弁プレート７２、分与プレート１００そしてポン
プ駆動体鋳物２２０内部のチャンネルは穿孔によって形
成される。
プレート７２、ポンプ駆動体鋳物２２０そして移行プレ
ート１１８はアルミニューム合金から形成される。好適
なアルミニューム合金の例は６０６１−Ｔ６アルミニュ
ーム合金である。好ましい具体例ではまた、送給プレー
ト２０、分与プレート１００、ポンプキャップ１０８、
スリーブ１１４そしてカートリッジアダプター１７４は
ポリテトラフルオロエチレン（今後単に”ＰＴＦＥ”と
称する）から形成される。ベローズプラグ２６８及びモ
ーターマウント２７０は好ましくは真鍮から形成され
る。クランプ１２８は好適な材料、例えばステンレス鋼
から形成される。端部キャップ１８、送給プレート２
０、弁プレート７２そして分与プレート１００は、例え
ば機械加工によって形成され得る。ポンプ駆動体鋳物２
２０は代表的には注型によって形成される。送給プレー
ト２０、弁プレート７２、分与プレート１００そしてろ
過予備アセンブリー１０６によって画定されるチャンネ
ルは、約２ミリ及び約５ミリの間の範囲の内径を有して
いる。１具体例では、端部キャップ１８、送給プレート
２０、弁プレート７２、分与プレート１００そしてポン
プ駆動体鋳物２２０内部のチャンネルは穿孔によって形
成される。
【００２７】全てのガスケットは好適な材料、例えば従
来から既知の材料から形成される。そうした好適な材料
には、Ｋａｌｒｅｚペリフルオロエナストマー、Ｖｉｔ
ｏｎフルオロエラストマー、エチレンプロピレンラバー
（今後単に”ＥＰＲ”と称する）等が含まれる。一体化
システム２０における弁の弁キャップは好適な材料、例
えばアルミニューム合金、ステンレス鋼、真鍮等から形
成される。好ましくは、弁キャップはアルミニューム合
金から形成される。弁内部のコイルばねもまた好適な材
料、例えば３０４ステンレス鋼から形成される。チャン
ネルから伸延する或はチャンネルに向かう全ての導管は
好適なフルオロポリマー材料、例えばフルオリネートエ
チレンプロピレン（今後単に”ＦＥＰ”と称する）、Ｐ
ＦＡ等から形成される。好ましくはこれら導管は約０．
１２５インチ及び約０．１８７インチ（約３．１７ミリ
及び約４．７５ミリ）の間の範囲の内径を有している。
一体化システム１０は、流体が分与されるようにこれを
作動させることによって充填される。これにより流体
は、流体源１４から一体化システム１０内部に差し向け
られ、そしてこの一体化システム１０内部をそれが基材
２５０の流体出口導管２４６の端部２４８に到達するま
で流動し続ける。一体化システム１０内のガス気泡及び
関連する流体が、通気チャンネル１９６を通して廃棄物
容器１９９へと排出されまた流体出口導管２４６へと排
出される。一体化システム１０内に差し向けられる流体
量は、送給ダイヤフラム１６が送給位置に有りまた分与
ダイヤフラム２１４が図１に示される分与位置にある間
に一体化システム１０を流体でもって充満するに十分な
量である。
来から既知の材料から形成される。そうした好適な材料
には、Ｋａｌｒｅｚペリフルオロエナストマー、Ｖｉｔ
ｏｎフルオロエラストマー、エチレンプロピレンラバー
（今後単に”ＥＰＲ”と称する）等が含まれる。一体化
システム２０における弁の弁キャップは好適な材料、例
えばアルミニューム合金、ステンレス鋼、真鍮等から形
成される。好ましくは、弁キャップはアルミニューム合
金から形成される。弁内部のコイルばねもまた好適な材
料、例えば３０４ステンレス鋼から形成される。チャン
ネルから伸延する或はチャンネルに向かう全ての導管は
好適なフルオロポリマー材料、例えばフルオリネートエ
チレンプロピレン（今後単に”ＦＥＰ”と称する）、Ｐ
ＦＡ等から形成される。好ましくはこれら導管は約０．
１２５インチ及び約０．１８７インチ（約３．１７ミリ
及び約４．７５ミリ）の間の範囲の内径を有している。
一体化システム１０は、流体が分与されるようにこれを
作動させることによって充填される。これにより流体
は、流体源１４から一体化システム１０内部に差し向け
られ、そしてこの一体化システム１０内部をそれが基材
２５０の流体出口導管２４６の端部２４８に到達するま
で流動し続ける。一体化システム１０内のガス気泡及び
関連する流体が、通気チャンネル１９６を通して廃棄物
容器１９９へと排出されまた流体出口導管２４６へと排
出される。一体化システム１０内に差し向けられる流体
量は、送給ダイヤフラム１６が送給位置に有りまた分与
ダイヤフラム２１４が図１に示される分与位置にある間
に一体化システム１０を流体でもって充満するに十分な
量である。
【００２８】一体化システム１０の作動の開始時点には
ソレノイド３６は基材２５０上に流体を分与するための
第１の位置にある。ソレノイド４０は一体化システム１
０の作動の開始時点には第２の位置にある。これによ
り、周囲環境及び送給排斥チャンバー３２間の流体連通
が提供される。一体化システム１０はソレノイド４０を
先ず第２の位置から第１の位置へと移動させそれによ
り、真空源４４及び送給排斥チャンバー３２間に流体連
通が提供されることによって作動される。ソレノイド４
０が第１の位置へと移動するに際しての送給排斥チャン
バー３２内部のガス圧力の減少はニードル弁４８によっ
て緩和される。
ソレノイド３６は基材２５０上に流体を分与するための
第１の位置にある。ソレノイド４０は一体化システム１
０の作動の開始時点には第２の位置にある。これによ
り、周囲環境及び送給排斥チャンバー３２間の流体連通
が提供される。一体化システム１０はソレノイド４０を
先ず第２の位置から第１の位置へと移動させそれによ
り、真空源４４及び送給排斥チャンバー３２間に流体連
通が提供されることによって作動される。ソレノイド４
０が第１の位置へと移動するに際しての送給排斥チャン
バー３２内部のガス圧力の減少はニードル弁４８によっ
て緩和される。
【００２９】ソレノイド４０が第２の位置から第１の位
置へと移動すると同時に入口弁５６が開放される。入口
弁５６の如き弁の閉じた位置から開放位置への移動が図
２から図５に例示される。例えば、入口弁５６は図２で
は閉じた位置で示される。弁キャップ７４が好適な偏倚
手段、例えばコイルばね７６の如き偏倚手段によって第
１の弁ダイヤフラム７０に抗して偏倚される。前記コイ
ルばね７６は、弁プレート７２及び第２の空気圧源８２
の凹所７８の内部で弁キャップ７４及び弁プレート７２
間に配設される。凹所７８内のガス圧力を第１の弁ダイ
ヤフラム７０を弁座８３に抗して差し向けるに十分な水
準に維持することにより入口弁５６が閉じた位置に維持
されそれにより、流体入口５２が送給チャンバー入口６
２に対してシールされる。
置へと移動すると同時に入口弁５６が開放される。入口
弁５６の如き弁の閉じた位置から開放位置への移動が図
２から図５に例示される。例えば、入口弁５６は図２で
は閉じた位置で示される。弁キャップ７４が好適な偏倚
手段、例えばコイルばね７６の如き偏倚手段によって第
１の弁ダイヤフラム７０に抗して偏倚される。前記コイ
ルばね７６は、弁プレート７２及び第２の空気圧源８２
の凹所７８の内部で弁キャップ７４及び弁プレート７２
間に配設される。凹所７８内のガス圧力を第１の弁ダイ
ヤフラム７０を弁座８３に抗して差し向けるに十分な水
準に維持することにより入口弁５６が閉じた位置に維持
されそれにより、流体入口５２が送給チャンバー入口６
２に対してシールされる。
【００３０】凹所７８内部の圧力は、ソレノイド８４
（図１参照）を圧力位置に維持することによって、隔絶
弁６６を閉じた位置に保持するに十分な水準に維持され
それにより、弁チャンネル９０を通して第２の空気圧源
８２及び凹所７８間に流体連通が提供される。入口弁５
６が弁プレート７２の位置で第１の弁ダイヤフラム７０
と衝接する状態が図３に示される。凹所７８及び弁キャ
ップ７４は円形である。コイルばね７６が弁キャップ７
４の背後に凹所７８と同心状態に配設される。同様に、
入口弁チャンネル９０が凹所７８と同心状態に配設され
る。別様には、入口弁チャンネル９０を凹所７８から偏
心状態に設け得る。ガスケット７９がその内部に配設さ
れて成る環状凹所８０が凹所７８の周囲に配設される。
入口弁５６の、送給プレート２０の位置で第１の弁ダイ
ヤフラム７０に対面する部分が図４に示される。送給プ
レート２０の環状後退部分８１は流体入口５２と同心で
ある。送給チャンバー入口６２はこの環状後退部分８１
から伸延される。
（図１参照）を圧力位置に維持することによって、隔絶
弁６６を閉じた位置に保持するに十分な水準に維持され
それにより、弁チャンネル９０を通して第２の空気圧源
８２及び凹所７８間に流体連通が提供される。入口弁５
６が弁プレート７２の位置で第１の弁ダイヤフラム７０
と衝接する状態が図３に示される。凹所７８及び弁キャ
ップ７４は円形である。コイルばね７６が弁キャップ７
４の背後に凹所７８と同心状態に配設される。同様に、
入口弁チャンネル９０が凹所７８と同心状態に配設され
る。別様には、入口弁チャンネル９０を凹所７８から偏
心状態に設け得る。ガスケット７９がその内部に配設さ
れて成る環状凹所８０が凹所７８の周囲に配設される。
入口弁５６の、送給プレート２０の位置で第１の弁ダイ
ヤフラム７０に対面する部分が図４に示される。送給プ
レート２０の環状後退部分８１は流体入口５２と同心で
ある。送給チャンバー入口６２はこの環状後退部分８１
から伸延される。
【００３１】入口弁５６はその開放位置が図５に示され
る。入口弁５６はソレノイド８４を圧力位置から真空位
置に作動させることにより、その閉じた位置から開放位
置へと移動される。これにより、真空源４４及び凹所７
８間に、導管８８及び入口弁チャンネル９０を介しての
流体連通が提供される。凹所７８内部の圧力（図５参
照）は従って、流体入口５２内部の流体の圧力をして第
１の弁ダイヤフラム７０を弁座８３から離座せしめるに
十分な量に於て減少される。第１の弁ダイヤフラム７０
が弁座８３から離座することにより弁キャップ７４がコ
イルばね７６を圧縮する。弁キャップ７４は、弁キャッ
プが凹所７８内部の弁プレート７２と衝接するまでコイ
ルばね７６を押圧する。また第１の弁ダイヤフラム７０
が弁座８３から離座することで流体入口５２及び送給チ
ャンバー入口６２間に流体連通が提供される。これによ
り流体入口５２内部の流体は流体入口５２から環状後退
部分８１の内部へと差し向けられ、この環状後退部分８
１から矢印３００によって示される方向で送給チャンバ
ー入口６２内部に差し向けられる。入口弁５２が開放さ
れるとこの入口弁５２及び送給チャンバー入口６２間が
流体連通される。ソレノイド４０を第２の位置から第１
の位置へと移動させることにより送給排斥チャンバー３
２内部の圧力（図１参照）も同時に減少されそれによっ
て流体が、流体源１４から流体導管５０、流体入口５
２、入口弁５６を横断しそして送給チャンバー入口６２
を貫いて送給チャンバー６０内部へと差し向けられる。
これにより送給ダイヤフラム１６が送給位置から図６に
示される負荷位置に移動される。
る。入口弁５６はソレノイド８４を圧力位置から真空位
置に作動させることにより、その閉じた位置から開放位
置へと移動される。これにより、真空源４４及び凹所７
８間に、導管８８及び入口弁チャンネル９０を介しての
流体連通が提供される。凹所７８内部の圧力（図５参
照）は従って、流体入口５２内部の流体の圧力をして第
１の弁ダイヤフラム７０を弁座８３から離座せしめるに
十分な量に於て減少される。第１の弁ダイヤフラム７０
が弁座８３から離座することにより弁キャップ７４がコ
イルばね７６を圧縮する。弁キャップ７４は、弁キャッ
プが凹所７８内部の弁プレート７２と衝接するまでコイ
ルばね７６を押圧する。また第１の弁ダイヤフラム７０
が弁座８３から離座することで流体入口５２及び送給チ
ャンバー入口６２間に流体連通が提供される。これによ
り流体入口５２内部の流体は流体入口５２から環状後退
部分８１の内部へと差し向けられ、この環状後退部分８
１から矢印３００によって示される方向で送給チャンバ
ー入口６２内部に差し向けられる。入口弁５２が開放さ
れるとこの入口弁５２及び送給チャンバー入口６２間が
流体連通される。ソレノイド４０を第２の位置から第１
の位置へと移動させることにより送給排斥チャンバー３
２内部の圧力（図１参照）も同時に減少されそれによっ
て流体が、流体源１４から流体導管５０、流体入口５
２、入口弁５６を横断しそして送給チャンバー入口６２
を貫いて送給チャンバー６０内部へと差し向けられる。
これにより送給ダイヤフラム１６が送給位置から図６に
示される負荷位置に移動される。
【００３２】送給ダイヤフラム１６を送給位置から負荷
位置に偏倚させるために送給チャンバー６０に入る流体
量は、偏倚ダイヤフラム２１４を引き続き分与位置から
充填位置に偏倚させるに十分なものである。好ましく
は、送給ダイヤフラム１６が送給位置から負荷位置に移
動される時間は約３．５秒である。次いで入口弁５６
が、ソレノイド８４を真空位置から加圧位置に作動させ
ることによって閉鎖される。送給チャンバー６０はそれ
により、図７に示されるように流体入口５２に対してシ
ールされる。入口弁５６が閉じると同時に、ソレノイド
３６が第１の位置から第２の位置に移動しそれにより、
ソレノイド４０が送給排斥チャンバー３２からシールさ
れ、また第１の空気圧源４２１及び送給排斥チャンバー
３２間に流体連通が提供される。隔絶弁６６及びバリヤ
ー弁１８２がその各々の閉じた位置から開放位置に、夫
々ソレノイド９４及び２０４を作動させることによって
移動される。
位置に偏倚させるために送給チャンバー６０に入る流体
量は、偏倚ダイヤフラム２１４を引き続き分与位置から
充填位置に偏倚させるに十分なものである。好ましく
は、送給ダイヤフラム１６が送給位置から負荷位置に移
動される時間は約３．５秒である。次いで入口弁５６
が、ソレノイド８４を真空位置から加圧位置に作動させ
ることによって閉鎖される。送給チャンバー６０はそれ
により、図７に示されるように流体入口５２に対してシ
ールされる。入口弁５６が閉じると同時に、ソレノイド
３６が第１の位置から第２の位置に移動しそれにより、
ソレノイド４０が送給排斥チャンバー３２からシールさ
れ、また第１の空気圧源４２１及び送給排斥チャンバー
３２間に流体連通が提供される。隔絶弁６６及びバリヤ
ー弁１８２がその各々の閉じた位置から開放位置に、夫
々ソレノイド９４及び２０４を作動させることによって
移動される。
【００３３】隔絶弁６６が閉じた位置から開放位置に移
動することによって、送給チャンバー出口１６４、隔絶
弁６６、送給チャンネル６８、送給導管９８そしてろ過
チャンバー入口チャンネル１０４を介しての送給チャン
バー６０及びろ過チャンバー１１６間の流体連通が提供
される。バリヤー弁１８２がその閉じた位置から開放位
置に移動されることによって、ろ過済流体チャンネル１
７６及び分与チャンバー入口チャンネル２０８を介して
の、ろ過チャンバー１１６及び分与チャンバー２１０間
の流体連通が提供される。ねじ溝付き駆動体２８２をし
て、ステップモーター２８０の上方から見て時計方向の
回転を生じせしめるべくステップモーター２８０が作動
される。ステップモーター２８０が作動させることによ
り、ねじ２８８が図１に示される分与位置から図６に示
される充填位置に移動せしめられる。ねじ２８８が分与
位置から充填位置に移動される間、ねじ２８８の端部２
９０はセンサー２９４位置の信号伝送体との干渉関係に
移動する。ベローズ２６６がねじ２８８の移動によって
圧縮されそれによりベローズチャンバー２７８の分与排
斥チャンバー２５２の容量が減少される。
動することによって、送給チャンバー出口１６４、隔絶
弁６６、送給チャンネル６８、送給導管９８そしてろ過
チャンバー入口チャンネル１０４を介しての送給チャン
バー６０及びろ過チャンバー１１６間の流体連通が提供
される。バリヤー弁１８２がその閉じた位置から開放位
置に移動されることによって、ろ過済流体チャンネル１
７６及び分与チャンバー入口チャンネル２０８を介して
の、ろ過チャンバー１１６及び分与チャンバー２１０間
の流体連通が提供される。ねじ溝付き駆動体２８２をし
て、ステップモーター２８０の上方から見て時計方向の
回転を生じせしめるべくステップモーター２８０が作動
される。ステップモーター２８０が作動させることによ
り、ねじ２８８が図１に示される分与位置から図６に示
される充填位置に移動せしめられる。ねじ２８８が分与
位置から充填位置に移動される間、ねじ２８８の端部２
９０はセンサー２９４位置の信号伝送体との干渉関係に
移動する。ベローズ２６６がねじ２８８の移動によって
圧縮されそれによりベローズチャンバー２７８の分与排
斥チャンバー２５２の容量が減少される。
【００３４】ソレノイド３６の第２の位置への作動及び
ステップモーター２８０の作動が、送給ダイヤフラム１
６をして負荷位置から送給位置に移動させそれにより、
分与ダイヤフラム２１４が図６に示される分与位置から
図７に示される充填位置に移動せしめられる。送給ダイ
ヤフラム１６の負荷位置から送給位置への移動並びに分
与ダイヤフラム２１４の分与位置から充填位置への移動
が組み合わさることによって、一体化システム１０内部
の流体が排斥せしめられる。送給チャンバー６０内の流
体の一部分が、送給チャンバー出口６４を通りそして隔
絶弁６６を横断して送給チャンバー６０から排斥され
る。流体は送給チャンネル６８、送給導管９８そしてろ
過チャンバー入口チャンネル１０４からろ過チャンバー
１０６に差し向けられる。ろ過チャンバー１１６内の流
体はろ過カートリッジ１６６を貫いて差し向けられそし
てそれによってろ過される。
ステップモーター２８０の作動が、送給ダイヤフラム１
６をして負荷位置から送給位置に移動させそれにより、
分与ダイヤフラム２１４が図６に示される分与位置から
図７に示される充填位置に移動せしめられる。送給ダイ
ヤフラム１６の負荷位置から送給位置への移動並びに分
与ダイヤフラム２１４の分与位置から充填位置への移動
が組み合わさることによって、一体化システム１０内部
の流体が排斥せしめられる。送給チャンバー６０内の流
体の一部分が、送給チャンバー出口６４を通りそして隔
絶弁６６を横断して送給チャンバー６０から排斥され
る。流体は送給チャンネル６８、送給導管９８そしてろ
過チャンバー入口チャンネル１０４からろ過チャンバー
１０６に差し向けられる。ろ過チャンバー１１６内の流
体はろ過カートリッジ１６６を貫いて差し向けられそし
てそれによってろ過される。
【００３５】ろ過チャンバー１１６内に蓄積したガス気
泡３０６の少なくとも一部分、例えば送給チャンバー６
０からの流体の排斥中に流体源１４から捕捉されたガス
気泡及び、ろ過カートリッジ１６６がろ過チャンバー１
１６内の流体中に沈められた場合に形成されるガス気泡
がろ過チャンバー１１６の上部に収集される。ガス気泡
はまた、流体内に於て例えば、一体化システム１０の作
働中の圧力減少或は一体化システム１０内部の流体の昇
温によってもまた流体内に形成され得る。ろ過導管１７
２内のろ過済流体はろ過済流体チャンネル１７６を貫
き、開放バリヤー弁１８２を横断しそして分与チャンバ
ー入口チャンネル２０８を貫いて分与チャンバー２１０
内部に差し向けられる。分与チャンバー２１０内に差し
向けられる流体量は、基材２５０上に分与されるべき単
一分与量のために十分なものである。好ましくは、送給
ダイヤフラム１６がその負荷位置から送給位置に移動さ
れる時間、またダイヤフラム２１４がその分与位置から
充填位置に移動される時間は約１５秒である。分与チャ
ンバー２１０内に蓄積されたガス気泡３０８の少なくと
も一部分、例えばフィルターカートリッジ１６６を貫い
てガス気泡及びろ過予備アセンブリー１０６から分与チ
ャンバー２１０への流体の排斥中に形成されるガス気泡
が分与チャンバー２１０の最上部に収集される。
泡３０６の少なくとも一部分、例えば送給チャンバー６
０からの流体の排斥中に流体源１４から捕捉されたガス
気泡及び、ろ過カートリッジ１６６がろ過チャンバー１
１６内の流体中に沈められた場合に形成されるガス気泡
がろ過チャンバー１１６の上部に収集される。ガス気泡
はまた、流体内に於て例えば、一体化システム１０の作
働中の圧力減少或は一体化システム１０内部の流体の昇
温によってもまた流体内に形成され得る。ろ過導管１７
２内のろ過済流体はろ過済流体チャンネル１７６を貫
き、開放バリヤー弁１８２を横断しそして分与チャンバ
ー入口チャンネル２０８を貫いて分与チャンバー２１０
内部に差し向けられる。分与チャンバー２１０内に差し
向けられる流体量は、基材２５０上に分与されるべき単
一分与量のために十分なものである。好ましくは、送給
ダイヤフラム１６がその負荷位置から送給位置に移動さ
れる時間、またダイヤフラム２１４がその分与位置から
充填位置に移動される時間は約１５秒である。分与チャ
ンバー２１０内に蓄積されたガス気泡３０８の少なくと
も一部分、例えばフィルターカートリッジ１６６を貫い
てガス気泡及びろ過予備アセンブリー１０６から分与チ
ャンバー２１０への流体の排斥中に形成されるガス気泡
が分与チャンバー２１０の最上部に収集される。
【００３６】ねじ２８８が充填位置に到達した後、ステ
ップモーター２８０は停止される。好ましくは、ねじ２
８８は送給ダイヤフラム１６が送給位置に達する約０．
２秒前に充填位置に到達する。ステップモーター２０８
が停止されると、ソレノイド２００を加圧位置から真空
位置に作動されそれによって通気弁１９４がその図７に
示される閉じた位置から図８に示される開放位置に移動
される。ろ過チャンバー１１６内に蓄積されたガス気泡
３０６の少なくとも一部分がろ過チャンバー１１６内部
の圧力によって排斥される。ガス気泡及びこのガス気泡
と関連する流体が、通気チャンネル１９６及び導管１９
７を貫いてろ過チャンバー１１６から廃棄物容器１９９
に排斥される。廃棄物容器１９９に収集された流体は排
気されるか或は流体源１４に戻される。次いで通詭弁１
９４及びバリヤー弁１８２が図９に示されるように閉じ
られる。バリヤー弁１８２が閉じると同時に、ソレノイ
ド３６が第２の位置から第１の位置に作動される。ま
た、ソレノイド４０が、真空源４４及びソレノイド３６
間が流体連通されるその第１の位置から、大気圧力源４
６及びソレノイド３６間が流体連通される第２の位置に
作動される。それにより、送給排斥チャンバー３２内部
の圧力は約４ｐｓｉｇ（約０．２８ｋｇｗ／ｃｍ2 ）か
らほぼ大気圧力に減少される。
ップモーター２８０は停止される。好ましくは、ねじ２
８８は送給ダイヤフラム１６が送給位置に達する約０．
２秒前に充填位置に到達する。ステップモーター２０８
が停止されると、ソレノイド２００を加圧位置から真空
位置に作動されそれによって通気弁１９４がその図７に
示される閉じた位置から図８に示される開放位置に移動
される。ろ過チャンバー１１６内に蓄積されたガス気泡
３０６の少なくとも一部分がろ過チャンバー１１６内部
の圧力によって排斥される。ガス気泡及びこのガス気泡
と関連する流体が、通気チャンネル１９６及び導管１９
７を貫いてろ過チャンバー１１６から廃棄物容器１９９
に排斥される。廃棄物容器１９９に収集された流体は排
気されるか或は流体源１４に戻される。次いで通詭弁１
９４及びバリヤー弁１８２が図９に示されるように閉じ
られる。バリヤー弁１８２が閉じると同時に、ソレノイ
ド３６が第２の位置から第１の位置に作動される。ま
た、ソレノイド４０が、真空源４４及びソレノイド３６
間が流体連通されるその第１の位置から、大気圧力源４
６及びソレノイド３６間が流体連通される第２の位置に
作動される。それにより、送給排斥チャンバー３２内部
の圧力は約４ｐｓｉｇ（約０．２８ｋｇｗ／ｃｍ2 ）か
らほぼ大気圧力に減少される。
【００３７】バリヤー弁１８２が閉じた約０．２秒後、
ステップモーター２８０が作動されそれにより、ねじ溝
付き駆動体２８２が時計方向に回転せしめられ、ねじ２
８８がそれによって図８に示される充填位置から図９に
示されるパージ位置に移動される。これによりベローズ
２６６が伸長され、ベローズチャンバー２７８が膨張し
て分与排斥チャンバー２５２のより大きな部分を占有す
る。分与排斥チャンバー２５２内部の排斥流体２５４
が、伸長したベローズ２６６によって排斥される。これ
により分与ダイヤフラム２１４が図８に示される充填位
置から図９に示されるパージ位置に移動される。
ステップモーター２８０が作動されそれにより、ねじ溝
付き駆動体２８２が時計方向に回転せしめられ、ねじ２
８８がそれによって図８に示される充填位置から図９に
示されるパージ位置に移動される。これによりベローズ
２６６が伸長され、ベローズチャンバー２７８が膨張し
て分与排斥チャンバー２５２のより大きな部分を占有す
る。分与排斥チャンバー２５２内部の排斥流体２５４
が、伸長したベローズ２６６によって排斥される。これ
により分与ダイヤフラム２１４が図８に示される充填位
置から図９に示されるパージ位置に移動される。
【００３８】ステップモーター２８０が、ねじ溝付き駆
動体２８２を時計方向に回転させるために作動されると
同時に、ソレノイド２３２を圧力位置から真空位置に作
動させることによって、パージ弁２２８が図８に示され
る閉じた位置から図９に示される開放位置に移動され
る。分与チャンバー２１０の最上部に収集されたガス気
泡３０８及びこのガス気泡３０８に関連する流体とが、
分与ダイヤフラム２１４をパージ位置に移動させること
によってパージされる。ガス気泡３０８は、パージチャ
ンネル２２６、パージ弁２２８、そしてコネクターチャ
ンネル２３４を通して、分与チャンバー２１０からろ過
チャンバー入口チャンネル１０４に移動される。任意の
ガス気泡３０８及び関連する分与チャンバー２１０内部
の流体はかくして分与チャンバー２１０からパージされ
る。好ましくはガス気泡３０８及び関連する流体が分与
チャンバー２１０からパージされる時間は約２秒であ
る。
動体２８２を時計方向に回転させるために作動されると
同時に、ソレノイド２３２を圧力位置から真空位置に作
動させることによって、パージ弁２２８が図８に示され
る閉じた位置から図９に示される開放位置に移動され
る。分与チャンバー２１０の最上部に収集されたガス気
泡３０８及びこのガス気泡３０８に関連する流体とが、
分与ダイヤフラム２１４をパージ位置に移動させること
によってパージされる。ガス気泡３０８は、パージチャ
ンネル２２６、パージ弁２２８、そしてコネクターチャ
ンネル２３４を通して、分与チャンバー２１０からろ過
チャンバー入口チャンネル１０４に移動される。任意の
ガス気泡３０８及び関連する分与チャンバー２１０内部
の流体はかくして分与チャンバー２１０からパージされ
る。好ましくはガス気泡３０８及び関連する流体が分与
チャンバー２１０からパージされる時間は約２秒であ
る。
【００３９】次いでステップモーター２８０が停止さ
れ、同時にバリヤー弁１８２が開放される。パージ弁２
２８は、ステップモーター２８０が停止された後約１秒
間閉じられる。バリヤー弁１８２を開放すると分与チャ
ンバー２１０、ろ過チャンバー１１６そして送給チャン
バー１６０間が流体連通される。一体化システム１０は
長時間にわたりこの位置に維持され得る。送給排斥チャ
ンバー３２内のガスが、分与チャンバー２１０から分与
されるべき流体量の温度に依存して変化することによっ
て排斥されそれが、分与チャンバー２１０内の流体の圧
力を変化せしめるのでは無く、ろ過チャンバー１１６及
び送給チャンバーから分与チャンバー２１０内へと流体
を移動せしめる。送給排斥チャンバー３２内のガスは、
送給排斥チャンバー３２及び周囲環境間がソレノイド３
６及び４０を通して流体連通されることによって大気圧
力となる。従って、分与チャンバー２１０内の流体はこ
の期間中ほぼ大気圧に維持される。
れ、同時にバリヤー弁１８２が開放される。パージ弁２
２８は、ステップモーター２８０が停止された後約１秒
間閉じられる。バリヤー弁１８２を開放すると分与チャ
ンバー２１０、ろ過チャンバー１１６そして送給チャン
バー１６０間が流体連通される。一体化システム１０は
長時間にわたりこの位置に維持され得る。送給排斥チャ
ンバー３２内のガスが、分与チャンバー２１０から分与
されるべき流体量の温度に依存して変化することによっ
て排斥されそれが、分与チャンバー２１０内の流体の圧
力を変化せしめるのでは無く、ろ過チャンバー１１６及
び送給チャンバーから分与チャンバー２１０内へと流体
を移動せしめる。送給排斥チャンバー３２内のガスは、
送給排斥チャンバー３２及び周囲環境間がソレノイド３
６及び４０を通して流体連通されることによって大気圧
力となる。従って、分与チャンバー２１０内の流体はこ
の期間中ほぼ大気圧に維持される。
【００４０】分与チャンバー内のガス気泡がなくなるこ
とを確認するための随意的な試験をこの期間中に実施し
得る。分与チャンバー２１０への全ての通路をシールす
るためにバリヤー弁１８２が閉じられる。排斥チャンバ
ー１５２内の圧力がセンサー２６５を使用して計測され
る。次いでステップモーター２８０がねじ溝付き駆動体
２８２を時計方向に回転させるために段階を追って作動
され、その間、センサー２６５内の圧力変動が監視され
る。所定圧力に達するに要する段階数が分与チャンバー
２１０及び分与排斥チャンバー２５２内のガス容積を算
出するために使用される。次いでステップモーター２８
０がパージ位置に戻され、バリヤー弁１８２が再度開放
される。その後、ソレノイド２４２を作動してバリヤー
弁１８２を閉じ且つ出口弁２３８を図９に示される閉じ
た位置から図１０に示される開放位置に移動させること
により分与ステップが開始される。次いでステップモー
ター２８０が作動されそれにより、ねじ溝付き駆動体２
８２が時計方向に回転せしめられそれにより、ねじ２８
８が図９に示されるパージ位置から図１０に示される分
与位置に差し向けられる。好ましくはステップモーター
２８０は出口弁２３８が開放された後約０．１秒間作動
される。
とを確認するための随意的な試験をこの期間中に実施し
得る。分与チャンバー２１０への全ての通路をシールす
るためにバリヤー弁１８２が閉じられる。排斥チャンバ
ー１５２内の圧力がセンサー２６５を使用して計測され
る。次いでステップモーター２８０がねじ溝付き駆動体
２８２を時計方向に回転させるために段階を追って作動
され、その間、センサー２６５内の圧力変動が監視され
る。所定圧力に達するに要する段階数が分与チャンバー
２１０及び分与排斥チャンバー２５２内のガス容積を算
出するために使用される。次いでステップモーター２８
０がパージ位置に戻され、バリヤー弁１８２が再度開放
される。その後、ソレノイド２４２を作動してバリヤー
弁１８２を閉じ且つ出口弁２３８を図９に示される閉じ
た位置から図１０に示される開放位置に移動させること
により分与ステップが開始される。次いでステップモー
ター２８０が作動されそれにより、ねじ溝付き駆動体２
８２が時計方向に回転せしめられそれにより、ねじ２８
８が図９に示されるパージ位置から図１０に示される分
与位置に差し向けられる。好ましくはステップモーター
２８０は出口弁２３８が開放された後約０．１秒間作動
される。
【００４１】ベローズ２６６は、ねじ２８８の移動によ
って伸長されそれにより、分与排斥チャンバー２５２内
部のベローズチャンバー２７８の排斥量が増大される。
それによって排斥流体２５４が分与チャンバー２１４に
差し向けられこれが、分与ダイヤフラム２１４をして図
９に示されるパージ位置から図１０に示される分与位置
に移動せしめる。分与チャンバー２１０内の流体は分与
ダイヤフラム２１４がパージ位置から分与位置に移動す
ることによって、分与チャンバー出口チャンネル２３
６、出口弁２３５、分与チャンネル２４４、流体出口導
管２４６そして端部２４６を貫いて基材２５０上に排斥
される。流体の単一の分与ユニット３１０がこれによっ
て流体出口導管２４６から基材２５０上に分与される。
分与ユニット３１０の容積は、分与排斥チャンバー２５
２に排斥された排斥流体２５４の容積及びその結果分与
チャンバー２１０から排斥された流体の容積によって制
御される。分与ユニット３１０の好適な容積の例は約
０．５ミリリットル及び約５ミリリットルの間の範囲の
ものである。好適な分与流量の例は毎秒約１乃至約３ミ
リリットルの間の範囲である。流体出口導管２４６を通
して差し向けられる流体の温度は、ポンプ１６２を作動
し、再循環温度制御システム１５６のジャケット１３８
を通して媒体１６５をポンプ送給させることによって制
御可能である。
って伸長されそれにより、分与排斥チャンバー２５２内
部のベローズチャンバー２７８の排斥量が増大される。
それによって排斥流体２５４が分与チャンバー２１４に
差し向けられこれが、分与ダイヤフラム２１４をして図
９に示されるパージ位置から図１０に示される分与位置
に移動せしめる。分与チャンバー２１０内の流体は分与
ダイヤフラム２１４がパージ位置から分与位置に移動す
ることによって、分与チャンバー出口チャンネル２３
６、出口弁２３５、分与チャンネル２４４、流体出口導
管２４６そして端部２４６を貫いて基材２５０上に排斥
される。流体の単一の分与ユニット３１０がこれによっ
て流体出口導管２４６から基材２５０上に分与される。
分与ユニット３１０の容積は、分与排斥チャンバー２５
２に排斥された排斥流体２５４の容積及びその結果分与
チャンバー２１０から排斥された流体の容積によって制
御される。分与ユニット３１０の好適な容積の例は約
０．５ミリリットル及び約５ミリリットルの間の範囲の
ものである。好適な分与流量の例は毎秒約１乃至約３ミ
リリットルの間の範囲である。流体出口導管２４６を通
して差し向けられる流体の温度は、ポンプ１６２を作動
し、再循環温度制御システム１５６のジャケット１３８
を通して媒体１６５をポンプ送給させることによって制
御可能である。
【００４２】分与ダイヤフラム２１４が分与位置に達す
ると、ステップモーター２８０がそれを介して移動され
るところのステップ数によって決定される如くステップ
モーター２８０が停止されそれにより、分与ダイヤフラ
ム２１４の移動とそうした移動に基く分与チャンバー２
１０からの流体の排斥が停止される。好ましくは基材２
５０上への流体の分与時間は約１秒である。ステップモ
ーター２８０が停止されてから約０．１秒未満の長さに
於てステップモーター２８０が作動されそれにより、ね
じ溝付き駆動体２８２が約０．１秒間時計方向に回転せ
しめられる。これにより分与ダイヤフラム２１４は僅か
に引き込まれ、流体出口導管２４６、分与チャンネル２
４４そして分与チャンバー出口チャンネル２３６内部の
流体を分与チャンバー２１０に向けて戻す。分与チャン
バー２１０に向けての流体の戻りが、出口弁２３８が閉
じている場合における基材２５０上への流体の過剰な分
与を実質的に防止する。
ると、ステップモーター２８０がそれを介して移動され
るところのステップ数によって決定される如くステップ
モーター２８０が停止されそれにより、分与ダイヤフラ
ム２１４の移動とそうした移動に基く分与チャンバー２
１０からの流体の排斥が停止される。好ましくは基材２
５０上への流体の分与時間は約１秒である。ステップモ
ーター２８０が停止されてから約０．１秒未満の長さに
於てステップモーター２８０が作動されそれにより、ね
じ溝付き駆動体２８２が約０．１秒間時計方向に回転せ
しめられる。これにより分与ダイヤフラム２１４は僅か
に引き込まれ、流体出口導管２４６、分与チャンネル２
４４そして分与チャンバー出口チャンネル２３６内部の
流体を分与チャンバー２１０に向けて戻す。分与チャン
バー２１０に向けての流体の戻りが、出口弁２３８が閉
じている場合における基材２５０上への流体の過剰な分
与を実質的に防止する。
【００４３】次いで出口弁２３８が図１０に示される開
放位置から図１に示される閉じた位置に移動される、好
ましくは出口弁２３８は、ねじ溝付き駆動体２８２の時
計方向への回転が停止された後、約０．１秒或はそれよ
り少ない時間閉じられる。次いでソレノイド４０が第２
の位置から第１の位置に作動される。ソレノイドのこの
作動による圧力の低下はニードル弁４８によって緩和さ
れる。隔絶弁６６もまた、ソレノイド９４の作動によっ
て図１０に示されるその開放位置から図１に示される閉
じた位置に移動される。好ましくは、ソレノイド４０が
第１の位置に作動され出口弁２３８が閉じた後、隔絶弁
６６は約０．５秒間閉じられる。次いで流体のろ過及び
基材２５０上への分与のサイクルが反復され得る。
放位置から図１に示される閉じた位置に移動される、好
ましくは出口弁２３８は、ねじ溝付き駆動体２８２の時
計方向への回転が停止された後、約０．１秒或はそれよ
り少ない時間閉じられる。次いでソレノイド４０が第２
の位置から第１の位置に作動される。ソレノイドのこの
作動による圧力の低下はニードル弁４８によって緩和さ
れる。隔絶弁６６もまた、ソレノイド９４の作動によっ
て図１０に示されるその開放位置から図１に示される閉
じた位置に移動される。好ましくは、ソレノイド４０が
第１の位置に作動され出口弁２３８が閉じた後、隔絶弁
６６は約０．５秒間閉じられる。次いで流体のろ過及び
基材２５０上への分与のサイクルが反復され得る。
【００４４】フィルターカートリッジ１６６がろ過粒状
物によって閉塞されると、ろ過中の排斥流体２５４の圧
力が減少する。ろ過中の排斥流体２５４の圧力が好適な
域値圧力に達すると圧力センサー２６５が警報信号を発
する。この警報信号はフィルターカートリッジを新品と
交換するべきことを警告するものである。圧力センサー
２６５をしてそうした警報信号を発生せしめるための排
斥流体２５４の好適な域値圧力の例は、約０．５ｐｓｉ
ｇ（約０．３５ｋｇ／ｃｍ2 ）未満の範囲内の圧力であ
る。次いでフィルターカートリッジ１６６は、先ずクラ
ンプ１２８を除去し、ハウジング１２４を移行プレート
１１８から分離させ、同時にスリーブ１４４をポンプキ
ャップ１０８から分離させそれによりフィルターカート
リッジ１６６を露出させ、そしてフィルターカートリッ
ジ１６６をポンプキャップ１０８から分離し新品と交換
することによって交換される。フィルターカートリッジ
１１６は次いで、一体化システム１０を流体が分与され
るように作動させることによって再充填される。流体出
口導管２４６が充填されると一体化システム１０は好ま
しくは、ろ過済流体チャンネル１７６及び分与チャンバ
ー２１０内の空気をパージ弁２２８を通して戻しそして
通気チャンネル１９６から外部にパージさせることによ
って充填される。空気は、分与ダイヤフラム２１４をパ
ージ位置に差し向ける一方、パージ弁２２８及び通気弁
１９４を開放位置に保持することによって、フィルター
チャンバー１１６からパージされる。
物によって閉塞されると、ろ過中の排斥流体２５４の圧
力が減少する。ろ過中の排斥流体２５４の圧力が好適な
域値圧力に達すると圧力センサー２６５が警報信号を発
する。この警報信号はフィルターカートリッジを新品と
交換するべきことを警告するものである。圧力センサー
２６５をしてそうした警報信号を発生せしめるための排
斥流体２５４の好適な域値圧力の例は、約０．５ｐｓｉ
ｇ（約０．３５ｋｇ／ｃｍ2 ）未満の範囲内の圧力であ
る。次いでフィルターカートリッジ１６６は、先ずクラ
ンプ１２８を除去し、ハウジング１２４を移行プレート
１１８から分離させ、同時にスリーブ１４４をポンプキ
ャップ１０８から分離させそれによりフィルターカート
リッジ１６６を露出させ、そしてフィルターカートリッ
ジ１６６をポンプキャップ１０８から分離し新品と交換
することによって交換される。フィルターカートリッジ
１１６は次いで、一体化システム１０を流体が分与され
るように作動させることによって再充填される。流体出
口導管２４６が充填されると一体化システム１０は好ま
しくは、ろ過済流体チャンネル１７６及び分与チャンバ
ー２１０内の空気をパージ弁２２８を通して戻しそして
通気チャンネル１９６から外部にパージさせることによ
って充填される。空気は、分与ダイヤフラム２１４をパ
ージ位置に差し向ける一方、パージ弁２２８及び通気弁
１９４を開放位置に保持することによって、フィルター
チャンバー１１６からパージされる。
【００４５】別態様に於ては送給ポンプ予備アセンブリ
ー１２がろ過予備アセンブリー１０６及びポンプ予備ア
センブリー２０６から図１１に示されるように遠方に配
設される。送給ポンプ予備アセンブリー１２が、送給プ
レート２０を送給ポンプ予備アセンブリープレート３１
２及び一体化システムプレート３１４と代替させること
によって、一体化システム１０の残余部分から離間して
配設される。送給ポンプ予備アセンブリープレート３１
２には、入口弁５６及び隔絶弁６６が、入口弁チャンネ
ル９０及び隔絶弁チャンネル９６と共に含まれる。一体
化システムプレート３１４には、バリヤー弁１８２と、
バリヤー弁チャンネル２０２と、通気弁１９４と、通気
弁チャンネル１９８と、パージ弁２２８と、パージ弁チ
ャンネル２３０と、出口弁２３８とそして出口弁チャン
ネル２４０とが含まれる。
ー１２がろ過予備アセンブリー１０６及びポンプ予備ア
センブリー２０６から図１１に示されるように遠方に配
設される。送給ポンプ予備アセンブリー１２が、送給プ
レート２０を送給ポンプ予備アセンブリープレート３１
２及び一体化システムプレート３１４と代替させること
によって、一体化システム１０の残余部分から離間して
配設される。送給ポンプ予備アセンブリープレート３１
２には、入口弁５６及び隔絶弁６６が、入口弁チャンネ
ル９０及び隔絶弁チャンネル９６と共に含まれる。一体
化システムプレート３１４には、バリヤー弁１８２と、
バリヤー弁チャンネル２０２と、通気弁１９４と、通気
弁チャンネル１９８と、パージ弁２２８と、パージ弁チ
ャンネル２３０と、出口弁２３８とそして出口弁チャン
ネル２４０とが含まれる。
【００４６】
【発明の効果】流体のろ過時間を、ろ過済流体を分与す
るために要する時間よりも長い時間に延長することが出
来る。フィルターを通してガス気泡が通り抜ける可能性
が大幅に減少される。また、分与手段によって、分与ポ
ンプ予備アセンブリー内に蓄積したガス気泡の一部分を
流体を分与する以前にパージすることもまた可能とな
る。流体を分与する以前にろ過流体チャンバーからパー
ジされるガス気泡の量が大幅に増大され、ガス気泡が流
体と共に基材上に分与される恐れが著しく減少される。
更には、ろ過及び分与が別々に実施されることから、一
体化システムを通して流動する間の流体圧力の変動は著
しく減少されそれにより、流体内にガス気泡が形成され
る可能性が大幅に減少される。ろ過済流体と共に分与さ
れるガス気泡量が減少される結果、流体のろ過並びに基
材上への流体分与サイクルの反復中のコーティング欠陥
部の形成が著しく低下される。一体化システムの弁に弁
カップと弁を弁座上の閉鎖位置に向けて偏倚させる偏倚
手段とが含まれることから、弁作動により排斥される流
体量の制度が著しく向上する。また、弁を作動させるた
めの動力がなくなった場合には一体化システムの全ての
弁が閉じそれにより、一体化システムからの流体の有意
の漏れ出しが防止される。好適な保護マスクを形成させ
るための十分な量の流体が分与されることを保証するこ
とによって代表的には生じる無駄な流体が、各分与周期
中に分与される流体量の変動が減少することによって低
減される。また、パージガスの気泡を伴う流体をフィル
ターを通して戻すためにパージ出口からろ過予備アセン
ブリーの流体入り口に導管を伸延させ得、そうしたガス
気泡をフィルターの周期的な通気によって流体から分離
させ得る。ろ過済流体からのパージガスのガス気泡によ
って失われる流体量が、ガス気泡と共にパージされる流
体が再循環されることによって著しく減少される。
るために要する時間よりも長い時間に延長することが出
来る。フィルターを通してガス気泡が通り抜ける可能性
が大幅に減少される。また、分与手段によって、分与ポ
ンプ予備アセンブリー内に蓄積したガス気泡の一部分を
流体を分与する以前にパージすることもまた可能とな
る。流体を分与する以前にろ過流体チャンバーからパー
ジされるガス気泡の量が大幅に増大され、ガス気泡が流
体と共に基材上に分与される恐れが著しく減少される。
更には、ろ過及び分与が別々に実施されることから、一
体化システムを通して流動する間の流体圧力の変動は著
しく減少されそれにより、流体内にガス気泡が形成され
る可能性が大幅に減少される。ろ過済流体と共に分与さ
れるガス気泡量が減少される結果、流体のろ過並びに基
材上への流体分与サイクルの反復中のコーティング欠陥
部の形成が著しく低下される。一体化システムの弁に弁
カップと弁を弁座上の閉鎖位置に向けて偏倚させる偏倚
手段とが含まれることから、弁作動により排斥される流
体量の制度が著しく向上する。また、弁を作動させるた
めの動力がなくなった場合には一体化システムの全ての
弁が閉じそれにより、一体化システムからの流体の有意
の漏れ出しが防止される。好適な保護マスクを形成させ
るための十分な量の流体が分与されることを保証するこ
とによって代表的には生じる無駄な流体が、各分与周期
中に分与される流体量の変動が減少することによって低
減される。また、パージガスの気泡を伴う流体をフィル
ターを通して戻すためにパージ出口からろ過予備アセン
ブリーの流体入り口に導管を伸延させ得、そうしたガス
気泡をフィルターの周期的な通気によって流体から分離
させ得る。ろ過済流体からのパージガスのガス気泡によ
って失われる流体量が、ガス気泡と共にパージされる流
体が再循環されることによって著しく減少される。
【図１】全ての弁が閉じた状態を示す本発明の一体化シ
ステムの概略図である。
ステムの概略図である。
【図２】弁が閉じた状態にある一体化システムの弁の側
面図である。
面図である。
【図３】図２を線ＩＩＩ−ＩＩＩで切断した断面図であ
る。
る。
【図４】図２をＩＶ−ＩＶで切断した弁の断面図であ
る。
る。
【図５】図２に示される弁を開いた状態で示す断面図で
ある。
ある。
【図６】図１に示される一体化システムの、流体が流体
源から送給ポンプ予備アセンブリーに送給された状態に
おける該略図である。
源から送給ポンプ予備アセンブリーに送給された状態に
おける該略図である。
【図７】図６に示される具体例に於て、送給ポンプ予備
アセンブリー内の流体がろ過予備アセンブリー内でろ過
されそして分与ポンプ予備アセンブリーに差し向けられ
た状態を示す該略図である。
アセンブリー内の流体がろ過予備アセンブリー内でろ過
されそして分与ポンプ予備アセンブリーに差し向けられ
た状態を示す該略図である。
【図８】図７に示される具体例に於て、ろ過予備アセン
ブリーのろ過チャンバー内に蓄積されたガス気泡が通気
された状態を示す該略図である。
ブリーのろ過チャンバー内に蓄積されたガス気泡が通気
された状態を示す該略図である。
【図９】図８に示される具体例に於て、分与ポンプ予備
アセンブリーの分与チャンバー内に蓄積したガス気泡が
パージされた状態を示す該略図である。
アセンブリーの分与チャンバー内に蓄積したガス気泡が
パージされた状態を示す該略図である。
【図１０】図９に示される具体例に於て、分与チャンバ
ーから基材面上に流体が分与された状態を示す該略図で
ある。
ーから基材面上に流体が分与された状態を示す該略図で
ある。
【図１１】送給ポンプ予備アセンブリーがろ過予備アセ
ンブリー及び分与ポンプ予備アセンブリーから離間され
た別態様の該略図である。
ンブリー及び分与ポンプ予備アセンブリーから離間され
た別態様の該略図である。
１０：一体化システム １４：流体源 １２：送給ポンプ予備アセンブリー １６：送給ダイヤフラム １８：端部キャップ ２０：送給プレート ２８：環状凹部 ３２：送給排斥チャンバー ３４：チャンバー入り口 ４０：ソレノイド ４４：真空源 ４８：ニードル弁 ５０：流体導管 ６２：送給チャンバー入り口 ６０：送給チャンバー ６４：送給チャンバー出口 ６６：隔絶弁 ６８：送給チャンネル ７０：第１の弁ダイヤフラム ７２：弁プレート ７９：ガスケット ８０：環状後退部分 ８１：環状後退部分 ８２：この第２の空気圧源 ９０：入り口弁チャンネル
Claims (16)
- 【請求項１】 流体をろ過しそして所望量の流体を分与
するための一体化システムであって、 ａ）フィルターを通して流体を導通させるためのろ過予
備アセンブリーにして、前記フィルターが該ろ過予備ア
センブリーによって収納され、前記ろ過予備アセンブリ
ーが送給ポンプ及び出口からの流体を受けるための入口
を具備している前記ろ過予備アセンブリーと、 ｂ）ろ過予備アセンブリーの出口からのろ過済流体を受
けるためにろ過予備アセンブリーと一体的に連結された
分与ポンプ予備アセンブリーにして、 ｉ）流体入口と、 ｉｉ）流体出口と、 ｉｉｉ）流体入口及び流体出口の上方に配設されたパー
ジ出口と、 ｉｖ）パージ出口を通してろ過済流体チャンバー内のガ
ス気泡及びガス気泡と関連する流体の少なくとも一部分
をパージするために充填位置からパージ位置に可動の分
与手段にして、流体出口及び一体化システムのから所望
量の流体を分与するために前記パージ位置から分与位置
に可動である前記分与手段とを含む前記分与ポンプ予備
アセンブリーとによって構成される前記流体をろ過しそ
して所望量の流体を分与するための一体化システム。 - 【請求項２】 分与ポンプ予備アセンブリーの分与手段
には分与ダイヤフラムが含まれ、該分与ダイヤフラムは
実質的に縦方向に配設され且つ分与ポンプ予備アセンブ
リーを分与チャンバー及び分与排斥チャンバーに区画す
る請求項１に記載の流体をろ過しそして所望量の流体を
分与するための一体化システム。 - 【請求項３】 ろ過予備アセンブリー内に配設されたフ
ィルターを交換すべきことを表示する排斥流体の圧力を
検出するために分与排斥チャンバー内に配設された圧力
センサーを含んでいる請求項２に記載の流体をろ過しそ
して所望量の流体を分与するための一体化システム。 - 【請求項４】 ろ過予備アセンブリー内に配設されたフ
ィルターを通して流体を差し向けるためにろ過予備アセ
ンブリーに結合された送給ポンプ予備アセンブリーにし
て、流体源からの流体を受けるための入口と、送給ポン
プ予備アセンブリーによってろ過予備アセンブリーにポ
ンピングされる流体を導通させるために、ろ過予備アセ
ンブリーの入口と連結された出口とを含んでいる請求項
２に記載の流体をろ過しそして所望量の流体を分与する
ための一体化システム。 - 【請求項５】 送給ポンプ予備アセンブリーには送給ダ
イヤフラムが含まれ、該送給ダイヤフラムは送給ポンプ
予備アセンブリーを送給チャンバー及び送給排斥チャン
バーに区画し、送給ダイヤフラムは送給位置から負荷位
置に可動であり、送給ダイヤフラムの前記送給位置から
負荷位置への移動中に流体は流体源から送給チャンバー
内に受容され、前記送給ダイヤフラムの負荷位置から送
給位置への移動中には流体はろ過予備アセンブリーを通
して分与ポンプ予備アセンブリーに差し向けられる請求
項４項に記載の流体をろ過しそして所望量の流体を分与
するための一体化システム。 - 【請求項６】 送給ポンプ予備アセンブリーはろ過予備
アセンブリーと一体的に連結されている請求項５に記載
の流体をろ過しそして所望量の流体を分与するための一
体化システム。 - 【請求項７】 分与手段は、 ａ）分与排斥チャンバー内に配設された排斥流体と、 ｂ）排斥流体中に配設されたベローズと、 ｃ）ベローズに結合されたステップモーターにして、ス
テップモーターが起動されることにより移動されそれに
より分与手段を充填位置、パージ位置そして分与位置間
で移動せしめるために排斥流体を排斥する前記ベローズ
とを更に含んでいる請求項６に記載の流体をろ過しそし
て所望量の流体を分与するための一体化システム。 - 【請求項８】 ステップモーターをベローズに結合する
ためのねじを含み、該ねじはベローズが充填位置、パー
ジ位置そして分与位置間で移動される間緊張状態下とさ
れる請求項７に記載の流体をろ過しそして所望量の流体
を分与するための一体化システム。 - 【請求項９】 パージ出口とろ過予備アセンブリーに導
通する流体流れの通路の周囲位置との間に配設された結
合チャンネルにして、任意のガス気泡及び関連する流体
をして分与チャンバーからろ過予備アセンブリーに差し
向けることを可能ならしめるための前記結合チャンネル
を含んでいる請求項７に記載の流体をろ過しそして所望
量の流体を分与するための一体化システム。 - 【請求項１０】 結合チャンネルはろ過予備アセンブリ
ーのパージ出口から入口にわたり伸延される請求項９に
記載の流体をろ過しそして所望量の流体を分与するため
の一体化システム。 - 【請求項１１】 ろ過予備アセンブリーにはガス通気手
段が含まれる請求項１０に記載の流体をろ過しそして所
望量の流体を分与するための一体化システム。 - 【請求項１２】 ポンプ予備アセンブリー、ろ過予備ア
センブリ及び分与ポンプ予備アセンブリー間に配設され
た弁と、分与ポンプ予備アセンブリー及びろ過予備アセ
ンブリー間に配設された弁と、送給ポンプ予備アセンブ
リー入口位置に配設された弁と、分与ポンプ予備アセン
ブリーの流体出口位置に配設された弁とを含んでいる請
求項４に記載の流体をろ過しそして所望量の流体を分与
するための一体化システム。 - 【請求項１３】 ａ）第１の胴部にして、 ｉ）第１のチャンネルと、 ｉｉ）第１のチャンネルの周囲に配設された環状凹部
と、 ｉｉｉ）環状凹部から伸延する第２のチャンネルと、 ｉｖ）第１のチャンネル及び環状凹部間に配設された弁
座とを画定して成る前記第１の胴部と、 ｂ）凹所を画定する第２の胴部と、 ｃ）第１の胴部の環状凹部及び第２の胴部の凹所間に配
設され、第１のチャンネルを第２のチャンネルに対して
シールするための弁ダイヤフラムと、 ｄ）第２の胴部の凹所位置に設けられたスイッチ手段に
して、弁を、弁ダイヤフラムが第１のチャンネルを環状
凹部に対してシールする閉じた位置と、第１のチャンネ
ル及び環状凹部間に流体連通が提供される開放位置との
間に於て差し向けるための前記スイッチ手段とを包含す
る請求項１２に記載の流体をろ過しそして所望量の流体
を分与するための一体化システム。 - 【請求項１４】 切り替え手段は、 ａ）弁ダイヤフラムと衝接する弁キャップと、 ｂ）弁キャップを弁ダイヤフラムに押し当てた状態に於
て偏倚させるための、弁キャップ位置に配設された偏倚
手段と、 ｃ）凹所及び弁キャップと流体連通する空気圧制御体に
して、弁ダイヤフラムに弁を閉じた位置に維持するため
に十分な圧力が加えられる圧力位置と、弁ダイヤフラム
位置における圧力が弁の開放位置への移動を可能とする
に十分減少される真空位置間で可動な前記空気圧制御体
とから構成される請求項１３に記載の流体をろ過しそし
て所望量の流体を分与するための一体化システム。 - 【請求項１５】 偏倚手段にはコイルばねが含まれ、該
コイルばねは弁の第２の胴部における凹所内に配設され
た場合、第１のチャンネルと第２のチャンネルとそして
凹所が大気圧下にある時に弁を閉じるに十分な圧縮力を
受ける請求項１４に記載の流体をろ過しそして所望量の
流体を分与するための一体化システム。 - 【請求項１６】 ろ過予備アセンブリーには一体的に廃
棄し得るフィルターカートリッジ及びスリーブが含まれ
る請求項１に記載の流体をろ過しそして所望量の流体を
分与するための一体化システム。
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