JPH051832Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH051832Y2 JPH051832Y2 JP1985170041U JP17004185U JPH051832Y2 JP H051832 Y2 JPH051832 Y2 JP H051832Y2 JP 1985170041 U JP1985170041 U JP 1985170041U JP 17004185 U JP17004185 U JP 17004185U JP H051832 Y2 JPH051832 Y2 JP H051832Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- classification
- tester
- handler
- abnormality
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 18
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 16
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この考案は、半導体素子を検査する装置に関す
るものである。
るものである。
従来のこの種の装置としてテスタ・ハンドラ間
の制御信号を用いた半導体素子用検査装置を第５
図〜第７図について説明する。
の制御信号を用いた半導体素子用検査装置を第５
図〜第７図について説明する。
第５図は従来の半導体素子用検査装置の構成を
示すブロツク図であり、第６図はテスタ・ハンド
ラ間の正常時の制御信号のタイミングチヤート、
第７図は同じく異常時の制御信号のタイミングチ
ヤートである。
示すブロツク図であり、第６図はテスタ・ハンド
ラ間の正常時の制御信号のタイミングチヤート、
第７図は同じく異常時の制御信号のタイミングチ
ヤートである。
第５図において、１は半導体素子（図示せず）
を検査するテスタ、２はハンドラで、両者間には
第６図、第７図に示す信号波形の各信号が送受さ
れる。ａは分類１信号、ｂは分類２信号、ｃはテ
スト要求信号、ｄはテスト終了信号である。
を検査するテスタ、２はハンドラで、両者間には
第６図、第７図に示す信号波形の各信号が送受さ
れる。ａは分類１信号、ｂは分類２信号、ｃはテ
スト要求信号、ｄはテスト終了信号である。
次に動作について説明する（信号は全てアクテ
イブ・ハイで表す。またハイレベルをＨ、ローレ
ベルをＬで表す。）。ハンドラ２の出力信号である
テスト要求信号ｃによつて、テスタ１が半導体素
子の検査を開始する。検査終了時にテスタ１から
テスト終了信号ｄ、分類１信号ａおよび分類２信
号ｂをハンドラ２へ送る。テスト終了信号ｄが送
られてきたときに、”Ｈ”レベルになつている分
類１信号ａまた分類２信号ｂに従つてハンドラ２
は測定素子を分類する。正常時は第６図に示すよ
うに、最初のテスト終了信号ｄにおいては分類１
信号ａへ、また次のテスト終了信号ｄは分類２信
号へ分類することになる。
イブ・ハイで表す。またハイレベルをＨ、ローレ
ベルをＬで表す。）。ハンドラ２の出力信号である
テスト要求信号ｃによつて、テスタ１が半導体素
子の検査を開始する。検査終了時にテスタ１から
テスト終了信号ｄ、分類１信号ａおよび分類２信
号ｂをハンドラ２へ送る。テスト終了信号ｄが送
られてきたときに、”Ｈ”レベルになつている分
類１信号ａまた分類２信号ｂに従つてハンドラ２
は測定素子を分類する。正常時は第６図に示すよ
うに、最初のテスト終了信号ｄにおいては分類１
信号ａへ、また次のテスト終了信号ｄは分類２信
号へ分類することになる。
従来の半導体素子用検査装置は以上のように構
成されているので、第７図に示すように分類１信
号ａおよび分類２信号ｂの回路が故障して、分類
１信号ａが常時、”Ｈ”レベル、分類２信号ｂが
常時”Ｌ”レベルとなつた場合に、ハンドラ２は
測定した半導体素子を全て分類１信号ａに振り分
けてしまうという誤分類の問題点があつた。
成されているので、第７図に示すように分類１信
号ａおよび分類２信号ｂの回路が故障して、分類
１信号ａが常時、”Ｈ”レベル、分類２信号ｂが
常時”Ｌ”レベルとなつた場合に、ハンドラ２は
測定した半導体素子を全て分類１信号ａに振り分
けてしまうという誤分類の問題点があつた。
この考案は、上記のような問題点を解決するた
めになされたもので、分類信号が正常に出力され
ているかどうか判定できる半導体素子用検査装置
を提供することを目的とする。
めになされたもので、分類信号が正常に出力され
ているかどうか判定できる半導体素子用検査装置
を提供することを目的とする。
この考案に係る半導体素子用検査装置は、半導
体素子の検査後の分類を行う分類信号の回路に異
常があつた場合、これを検出して装置を停止させ
誤分類を防止する分類信号異常検出器を設けたも
のである。
体素子の検査後の分類を行う分類信号の回路に異
常があつた場合、これを検出して装置を停止させ
誤分類を防止する分類信号異常検出器を設けたも
のである。
この考案においては、分類信号の異常状態を検
出した装置を停止させるので、誤分類が防止され
る。
出した装置を停止させるので、誤分類が防止され
る。
この考案の一実施例を第１図〜第４図によつて
説明する。第１図はテスタ・ハンドラ間の制御信
号を示すブロツク図である。この図で、１はテス
タ、２はハンドラ、３は分類信号異常検出器で、
出力信号ｅを出力する。第２図は正常時の制御信
号のタイミングチヤート、第３図は異常時の制御
信号のタイミングチヤートである。第４図は分類
信号異常検出器３の動作に係る真理値表である。
説明する。第１図はテスタ・ハンドラ間の制御信
号を示すブロツク図である。この図で、１はテス
タ、２はハンドラ、３は分類信号異常検出器で、
出力信号ｅを出力する。第２図は正常時の制御信
号のタイミングチヤート、第３図は異常時の制御
信号のタイミングチヤートである。第４図は分類
信号異常検出器３の動作に係る真理値表である。
分類信号異常検出器３の出力信号ｅは、分類１
信号ａ、分類２信号ｂおよびテスト要求信号ｃの
３者の組み合せで、第４図に示す出力信号ｅを出
す。分類１信号ａおよび分類２信号ｂの異常状態
は、テスト要求信号ｃが”Ｈ”のときに分類１信
号ａ、分類２信号ｂの双方とも”Ｌ”レベルでな
い場合である。すなわち、第４図における組合せ
で云えば、組合せ４の「Ｌ，Ｈ，Ｈ」組合せ６の
「Ｈ，Ｋ，Ｈ〕，組合せ８の「HHH」の場合が、
分類１信号ａと分類２信号ｂの異常状態である。
この場合、第３図に示すように、分類異常検出器
３の出力信号ｅは”Ｈ”レベルとなる。この出力
信号ｅを利用して装置を停止させる。したがつ
て、分類１信号ａおよび分類２信号ｂの回路が故
障した場合には、これを分類信号異常検出器３が
検出してその出力信号ｅが”Ｈ”レベルとなり、
装置が停止するため、測定した半導体素子が誤分
類されることを防止できる。
信号ａ、分類２信号ｂおよびテスト要求信号ｃの
３者の組み合せで、第４図に示す出力信号ｅを出
す。分類１信号ａおよび分類２信号ｂの異常状態
は、テスト要求信号ｃが”Ｈ”のときに分類１信
号ａ、分類２信号ｂの双方とも”Ｌ”レベルでな
い場合である。すなわち、第４図における組合せ
で云えば、組合せ４の「Ｌ，Ｈ，Ｈ」組合せ６の
「Ｈ，Ｋ，Ｈ〕，組合せ８の「HHH」の場合が、
分類１信号ａと分類２信号ｂの異常状態である。
この場合、第３図に示すように、分類異常検出器
３の出力信号ｅは”Ｈ”レベルとなる。この出力
信号ｅを利用して装置を停止させる。したがつ
て、分類１信号ａおよび分類２信号ｂの回路が故
障した場合には、これを分類信号異常検出器３が
検出してその出力信号ｅが”Ｈ”レベルとなり、
装置が停止するため、測定した半導体素子が誤分
類されることを防止できる。
なお、上記実施例では、分類信号が２つの場合
について説明したが、分類信号が３つ以上の場合
であつても同様な効果を奏する。
について説明したが、分類信号が３つ以上の場合
であつても同様な効果を奏する。
この考案は以上説明したとおり、テスタ・ハン
ドラ間の制御信号である分類信号の異常を検出で
きるような構成としたので、分類信号の制御回路
に異常が発生しても、装置側に検出機能があるた
め誤分類を防止できる。そして異常の判断は従来
からハンドラとテスタ間で用いられているテスト
要求信号と所要数の分類信号との組合せで行なつ
ているので、特別の信号を用意する必要がなく、
最小限の構成で異常の判断が行なえる実用的効果
の大きいものである。
ドラ間の制御信号である分類信号の異常を検出で
きるような構成としたので、分類信号の制御回路
に異常が発生しても、装置側に検出機能があるた
め誤分類を防止できる。そして異常の判断は従来
からハンドラとテスタ間で用いられているテスト
要求信号と所要数の分類信号との組合せで行なつ
ているので、特別の信号を用意する必要がなく、
最小限の構成で異常の判断が行なえる実用的効果
の大きいものである。
第１図はこの考案の一実施例の半導体素子用検
査装置の構成を示すブロツク図、第２図はこの考
案による正常時の制御信号のタイミングチヤー
ト、第３図はこの考案による異常時の制御信号の
タイミングチヤート、第４図はこの考案による分
類信号異常検出器の動作真理値表図、第５図は従
来の半導体素子用検査装置の構成を示すブロツク
図、第６図は正常時の制御信号のタイミングチヤ
ート、第７図は異常時の制御信号のタイミングチ
ヤートである。 図中、１はテスタ、２はハンドラ、３は分類信
号異常検出器、ａは分類１信号、ｂは分類２信
号、ｃはテスト要求信号、ｄはテスト終了信号、
ｅは出力信号である。なお、各図中の同一符号は
同一または相当部分を示す。
査装置の構成を示すブロツク図、第２図はこの考
案による正常時の制御信号のタイミングチヤー
ト、第３図はこの考案による異常時の制御信号の
タイミングチヤート、第４図はこの考案による分
類信号異常検出器の動作真理値表図、第５図は従
来の半導体素子用検査装置の構成を示すブロツク
図、第６図は正常時の制御信号のタイミングチヤ
ート、第７図は異常時の制御信号のタイミングチ
ヤートである。 図中、１はテスタ、２はハンドラ、３は分類信
号異常検出器、ａは分類１信号、ｂは分類２信
号、ｃはテスト要求信号、ｄはテスト終了信号、
ｅは出力信号である。なお、各図中の同一符号は
同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体素子を検査するテスタと、このテスタに
テスト要求信号を出力しテストを開始させ、この
テスタから出される所要数の分類信号を受けて前
記半導体素子を所要種類に分類するハンドラとを
備えた半導体素子用検査装置において、前記テス
ト要求信号が前記ハンドラから出力されたときに
前記テスタからの所要数の分類信号のどれかが出
力されているときは前記テスタからハンドラに供
給する分類信号に異常が生じたと判断し、前記半
導体素子用検査装置を停止させる出力信号を発生
する分類信号異常検出器を具備したことを特徴と
する半導体素子用検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985170041U JPH051832Y2 (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985170041U JPH051832Y2 (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6279186U JPS6279186U (ja) | 1987-05-20 |
| JPH051832Y2 true JPH051832Y2 (ja) | 1993-01-18 |
Family
ID=31104407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985170041U Expired - Lifetime JPH051832Y2 (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH051832Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4727641B2 (ja) * | 2007-10-01 | 2011-07-20 | 日本エンジニアリング株式会社 | テスター装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5468172A (en) * | 1977-11-11 | 1979-06-01 | Hitachi Ltd | Diode selector |
| JPS5828546A (ja) * | 1981-07-28 | 1983-02-19 | Toyota Motor Corp | 内燃機関の燃料噴射量制御装置 |
| JPS6034030A (ja) * | 1983-08-05 | 1985-02-21 | Toshiba Corp | Ｉｃオ−トハンドラ装置及びｉｃオ−トハンドラ方法 |
-
1985
- 1985-11-05 JP JP1985170041U patent/JPH051832Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5468172A (en) * | 1977-11-11 | 1979-06-01 | Hitachi Ltd | Diode selector |
| JPS5828546A (ja) * | 1981-07-28 | 1983-02-19 | Toyota Motor Corp | 内燃機関の燃料噴射量制御装置 |
| JPS6034030A (ja) * | 1983-08-05 | 1985-02-21 | Toshiba Corp | Ｉｃオ−トハンドラ装置及びｉｃオ−トハンドラ方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6279186U (ja) | 1987-05-20 |
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