JPS6279186U - - Google Patents

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JPS6279186U
JPS6279186U JP17004185U JP17004185U JPS6279186U JP S6279186 U JPS6279186 U JP S6279186U JP 17004185 U JP17004185 U JP 17004185U JP 17004185 U JP17004185 U JP 17004185U JP S6279186 U JPS6279186 U JP S6279186U
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JP
Japan
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semiconductor device
tester
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testing
handler
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JP17004185U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例の半導体素子用検
査装置の構成を示すブロツク図、第２図はこの考
案による正常時の制御信号のタイミングチヤート
、第３図はこの考案による異常時の制御信号のタ
イミングチヤート、第４図はこの考案による分類
信号異常検出器の動作真理値表図、第５図は従来
の半導体素子用検査装置の構成を示すブロツク図
、第６図は正常時の制御信号のタイミングチヤー
ト、第７図は異常時の制御信号のタイミングチヤ
ートである。 図中、１はテスタ、２はハンドラ、３は分類信
号異常検出器、ａは分類１信号、ｂは分類２信号
、ｃはテスト要求信号、ｄはテスト終了信号、ｅ
は出力信号である。なお、各図中の同一符号は同
一または相当部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体素子を検査するテスタと、このテスタか
    らの所要数の分類信号により前記半導体素子を所
    要種類に分類するハンドラとを備えた半導体素子
    用検査装置において、前記テスタからハンドラに
    供給する分類信号に異常が生じた場合これを検出
    し、前記半導体素子用検査装置を停止さすせる分
    類信号異常検出器を具備したことを特徴とする半
    導体素子用検査装置。
JP1985170041U 1985-11-05 1985-11-05 Expired - Lifetime JPH051832Y2 (ja)

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JP1985170041U JPH051832Y2 (ja) 1985-11-05 1985-11-05

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JP1985170041U JPH051832Y2 (ja) 1985-11-05 1985-11-05

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JPS6279186U true JPS6279186U (ja) 1987-05-20
JPH051832Y2 JPH051832Y2 (ja) 1993-01-18

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ID=31104407

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JP (1) JPH051832Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4727641B2 (ja) * 2007-10-01 2011-07-20 日本エンジニアリング株式会社 テスター装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5468172A (en) * 1977-11-11 1979-06-01 Hitachi Ltd Diode selector
JPS5828546A (ja) * 1981-07-28 1983-02-19 Toyota Motor Corp 内燃機関の燃料噴射量制御装置
JPS6034030A (ja) * 1983-08-05 1985-02-21 Toshiba Corp Ｉｃオ−トハンドラ装置及びｉｃオ−トハンドラ方法

Patent Citations (3)

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JP4727641B2 (ja) * 2007-10-01 2011-07-20 日本エンジニアリング株式会社 テスター装置

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Publication number Publication date
JPH051832Y2 (ja) 1993-01-18

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