JPH0517887Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0517887Y2 JPH0517887Y2 JP1986038399U JP3839986U JPH0517887Y2 JP H0517887 Y2 JPH0517887 Y2 JP H0517887Y2 JP 1986038399 U JP1986038399 U JP 1986038399U JP 3839986 U JP3839986 U JP 3839986U JP H0517887 Y2 JPH0517887 Y2 JP H0517887Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic wafer
- snap
- ceramic
- grooves
- snap grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 26
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この考案は、特にセラミツクウエフアにおける
スナツプ溝の改良に関する。
スナツプ溝の改良に関する。
(従来の技術)
従来、ICチツプのセラミツク基板は、1枚の
セラミツクウエフアを事前に設けたスナツプ溝に
沿つて分割することによつて基板を同時に複数個
作成するものであるが、このスナツプ溝の構成方
法として、以下の2つの方法がある。
セラミツクウエフアを事前に設けたスナツプ溝に
沿つて分割することによつて基板を同時に複数個
作成するものであるが、このスナツプ溝の構成方
法として、以下の2つの方法がある。
すなわち、セラミツクウエフアの両面に、セラ
ミツク基板分割線に沿つてスナツプ溝を設ける方
法と、片面にのみ、上記スナツプ溝を設ける方法
である。
ミツク基板分割線に沿つてスナツプ溝を設ける方
法と、片面にのみ、上記スナツプ溝を設ける方法
である。
(考案が解決しようとする問題点)
しかしながら、両面にスナツプ溝を設ける方式
では強度不足となり、セラミツクウエフアの厚さ
が0.38〜0.635mmとなると、搬送移動の際の諸衝
撃により破損し易く、40%程度の破損率となる。
又、一方、片面にのみスナツプ溝を設ける方法で
は、セラミツクウエフアを分割する際、スナツプ
溝に沿う整然とした分割が困難となり、分割後の
セラミツク基板の各頂点より0.5〜2.0mmの付近に
おいて分割部分に沿い不整形の凹凸が発生し易
い。そこで、この考案は、上記従来のものの欠点
を改良するものであり、セラミツクウエフアの強
度を維持するとともに、分割に際しての不整形の
発生を防止しようとするものである。
では強度不足となり、セラミツクウエフアの厚さ
が0.38〜0.635mmとなると、搬送移動の際の諸衝
撃により破損し易く、40%程度の破損率となる。
又、一方、片面にのみスナツプ溝を設ける方法で
は、セラミツクウエフアを分割する際、スナツプ
溝に沿う整然とした分割が困難となり、分割後の
セラミツク基板の各頂点より0.5〜2.0mmの付近に
おいて分割部分に沿い不整形の凹凸が発生し易
い。そこで、この考案は、上記従来のものの欠点
を改良するものであり、セラミツクウエフアの強
度を維持するとともに、分割に際しての不整形の
発生を防止しようとするものである。
(問題点を解決するための手段)
セラミツクウエフアの一面には交叉する連続し
たスナツプ溝を設け、このスナツプ溝の交叉部に
貫通穴を有し、他面には上記貫通孔を中心として
交叉方向に0.5〜2.0mmの長さのスナツプ溝を設け
たものである。
たスナツプ溝を設け、このスナツプ溝の交叉部に
貫通穴を有し、他面には上記貫通孔を中心として
交叉方向に0.5〜2.0mmの長さのスナツプ溝を設け
たものである。
(作用)
上記の構成を持つので、搬送移動に際して上記
ウエフアの表裏の同位置に設けるスナツプ溝の大
部分が一致することがなく、その不一致部分にお
いて負荷を支承するからその諸衝撃に耐えうる強
度を維持しうるとともに、分割に際しては、上記
表裏のスナツプ溝によつて分割部分に不整形の凹
凸が生じ易い貫通穴より交叉方向0.5〜2.0mmの長
さ部分の分割に当り、その凹凸の発生をも防止す
ることができる。
ウエフアの表裏の同位置に設けるスナツプ溝の大
部分が一致することがなく、その不一致部分にお
いて負荷を支承するからその諸衝撃に耐えうる強
度を維持しうるとともに、分割に際しては、上記
表裏のスナツプ溝によつて分割部分に不整形の凹
凸が生じ易い貫通穴より交叉方向0.5〜2.0mmの長
さ部分の分割に当り、その凹凸の発生をも防止す
ることができる。
(実施例)
図に示す実施例によりこの考案を更に説明す
る。1はセラミツクウエフアであり、2は分割後
の各セラミツク基板6の各頂点の部位に当る角穴
であつて、セラミツクウエフア1を上下を貫通し
ており、3は同じくセラミツクウエフア1を貫通
する丸穴であり、4は表面スナツプ溝であつて、
セラミツクウエフア1の表面に交叉する分割線に
沿つて各角穴2及び丸穴3を縦横に結んでおり、
5は表面スナツプ溝であつて、セラミツクウエフ
ア1の裏面において貫通穴である各角穴2及び丸
穴3の中心に、交叉方向に分割線4に沿つて0.5
〜2.0mmの長さにわたつて設けられている。この
ようにしてなるので、各セラミツク基板6の各1
辺を構成する分割線の中心部分には表面スナツプ
溝4しか設けられていないので、セラミツクウエ
フア1の耐衝撃強度が維持され、搬送移動に際し
ての諸衝撃によつても容易には破損分断されな
い。又、一方、セラミツクウエフア1の分割に際
しては、セラミツク基板6の各頂点となるべき各
角穴2及び丸穴3より0.5〜2.0mmの位置に不整形
の凹凸が発生し易いが、その位置には表面スナツ
プ溝4と伴に裏面スナツプ溝5をも設けられてい
るので、不整形の凹凸を生ずることなく、セラミ
ツクウエフア1を分割できる。
る。1はセラミツクウエフアであり、2は分割後
の各セラミツク基板6の各頂点の部位に当る角穴
であつて、セラミツクウエフア1を上下を貫通し
ており、3は同じくセラミツクウエフア1を貫通
する丸穴であり、4は表面スナツプ溝であつて、
セラミツクウエフア1の表面に交叉する分割線に
沿つて各角穴2及び丸穴3を縦横に結んでおり、
5は表面スナツプ溝であつて、セラミツクウエフ
ア1の裏面において貫通穴である各角穴2及び丸
穴3の中心に、交叉方向に分割線4に沿つて0.5
〜2.0mmの長さにわたつて設けられている。この
ようにしてなるので、各セラミツク基板6の各1
辺を構成する分割線の中心部分には表面スナツプ
溝4しか設けられていないので、セラミツクウエ
フア1の耐衝撃強度が維持され、搬送移動に際し
ての諸衝撃によつても容易には破損分断されな
い。又、一方、セラミツクウエフア1の分割に際
しては、セラミツク基板6の各頂点となるべき各
角穴2及び丸穴3より0.5〜2.0mmの位置に不整形
の凹凸が発生し易いが、その位置には表面スナツ
プ溝4と伴に裏面スナツプ溝5をも設けられてい
るので、不整形の凹凸を生ずることなく、セラミ
ツクウエフア1を分割できる。
(考案の効果)
以上のとおり、この考案は構成されるので、搬
送移動に際して破損しやすい0.7mm以下の厚みを
もつセラミツクウエフアの耐衝撃強度を維持する
ことができ、搬送移動工程中の破損率を5%にな
しうるとともに、セラミツクウエフアの分割に際
しての不整形の凹凸の発生を抑制できるものであ
る。
送移動に際して破損しやすい0.7mm以下の厚みを
もつセラミツクウエフアの耐衝撃強度を維持する
ことができ、搬送移動工程中の破損率を5%にな
しうるとともに、セラミツクウエフアの分割に際
しての不整形の凹凸の発生を抑制できるものであ
る。
第1図はこの考案の実施例のセラミツクウエフ
アにおける表面を示し、第2図は同じく裏面の平
面図を示し、第3図は同じく縦断面図である。 1……セラミツクウエフア、2……角穴、3…
…丸穴、4……表面スナツプ溝、5……裏面スナ
ツプ溝、6……セラミツク基板。
アにおける表面を示し、第2図は同じく裏面の平
面図を示し、第3図は同じく縦断面図である。 1……セラミツクウエフア、2……角穴、3…
…丸穴、4……表面スナツプ溝、5……裏面スナ
ツプ溝、6……セラミツク基板。
Claims (1)
- 一面には交叉する連続したスナツプ溝を設け、
このスナツプ溝の交叉部に貫通穴を有し、他面同
位置には上記貫通穴を中心として交叉方向に0.5
〜2.0mmにわたる長さのスナツプ溝を設けてなる
厚さ0.7mm以下のセラミツクウエフア。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986038399U JPH0517887Y2 (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986038399U JPH0517887Y2 (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62151749U JPS62151749U (ja) | 1987-09-26 |
JPH0517887Y2 true JPH0517887Y2 (ja) | 1993-05-13 |
Family
ID=30850605
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986038399U Expired - Lifetime JPH0517887Y2 (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0517887Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2654677B2 (ja) * | 1988-10-28 | 1997-09-17 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP3856573B2 (ja) * | 1998-08-24 | 2006-12-13 | 日本特殊陶業株式会社 | リードレスパッケージの製造方法 |
US7332414B2 (en) * | 2005-06-22 | 2008-02-19 | Freescale Semiconductor, Inc. | Chemical die singulation technique |
JP6144136B2 (ja) * | 2013-07-17 | 2017-06-07 | Koa株式会社 | チップ抵抗器の製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60183747A (ja) * | 1984-03-01 | 1985-09-19 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 面取り付き電解チツプキヤリアの製造法 |
-
1986
- 1986-03-18 JP JP1986038399U patent/JPH0517887Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60183747A (ja) * | 1984-03-01 | 1985-09-19 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 面取り付き電解チツプキヤリアの製造法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS62151749U (ja) | 1987-09-26 |
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