JPH05175640A - プリント基板製造方法 - Google Patents
プリント基板製造方法Info
- Publication number
- JPH05175640A JPH05175640A JP34435891A JP34435891A JPH05175640A JP H05175640 A JPH05175640 A JP H05175640A JP 34435891 A JP34435891 A JP 34435891A JP 34435891 A JP34435891 A JP 34435891A JP H05175640 A JPH05175640 A JP H05175640A
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- JP
- Japan
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- conductor pattern
- etching
- copper
- resist
- plating
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- Pending
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- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【構成】銅張積層板に、あらかじめエッチングの触媒と
なる貴金属3を付着した後、めっきレジスト4を被覆
し、写真法により、導体パタ−ンとなる部分以外にめっ
きレジスト4を残しためっきレジスト4’を形成する。
その後、化学銅めっきにより導体パタ−ン5を形成す
る。導体パタ−ン上に電気半田めっきでエッチングレジ
スト6を形成し、有機溶剤を用い、めっきレジスト4’
を剥離除去する。その後、導体パタ−ン5以外の基材銅
部を塩化第二銅の塩酸溶液でエッチング除去する。その
後、導体パタ−ン5上のエッチングレジストの半田を硝
酸系の半田除去液で溶解除去して導体パタ−ン5’を形
成する。 【効果】セミアディティブ工法において、導体パタ−ン
形成時パタ−ンの側面および裾部の食われを防止でき
る。
なる貴金属3を付着した後、めっきレジスト4を被覆
し、写真法により、導体パタ−ンとなる部分以外にめっ
きレジスト4を残しためっきレジスト4’を形成する。
その後、化学銅めっきにより導体パタ−ン5を形成す
る。導体パタ−ン上に電気半田めっきでエッチングレジ
スト6を形成し、有機溶剤を用い、めっきレジスト4’
を剥離除去する。その後、導体パタ−ン5以外の基材銅
部を塩化第二銅の塩酸溶液でエッチング除去する。その
後、導体パタ−ン5上のエッチングレジストの半田を硝
酸系の半田除去液で溶解除去して導体パタ−ン5’を形
成する。 【効果】セミアディティブ工法において、導体パタ−ン
形成時パタ−ンの側面および裾部の食われを防止でき
る。
Description
【産業上の利用分野】本発明はプリント基板製造方法に
係り、特にアディティブ法によるプリント基板製造方法
に関する。
係り、特にアディティブ法によるプリント基板製造方法
に関する。
【従来の技術】プリント基板の導体パタ−ンを形成する
方法としては、一般的に平成3年6月30日ミマツデ−
タシステム発行、「最新の高密度プリント配線板技術第
3版」の第19章第22項アディティブ法(第582ペ
−ジ)に述べられているようにセミアディティブ法で導
体パタ−ンを、形成する工法においては、写真法、もし
くは、印刷法により導体パタ−ンを形成する部分以外に
めっきレジストを形成する。めっきレジスト形成後、電
気めっき、もしくは、化学めっきにより導体パタ−ンを
形成する。導体パタ−ン形成後、導体金属箔のエッチン
グレジストとなる金属を電気めっき、もしくは、化学め
っきにより形成したのち、めっきレジストを溶剤等で剥
離除去したのち、導体パタ−ン以外の金属箔をエッチン
グ除去し、それぞれ、電気的に独立した導体パタ−ンを
形成する。
方法としては、一般的に平成3年6月30日ミマツデ−
タシステム発行、「最新の高密度プリント配線板技術第
3版」の第19章第22項アディティブ法(第582ペ
−ジ)に述べられているようにセミアディティブ法で導
体パタ−ンを、形成する工法においては、写真法、もし
くは、印刷法により導体パタ−ンを形成する部分以外に
めっきレジストを形成する。めっきレジスト形成後、電
気めっき、もしくは、化学めっきにより導体パタ−ンを
形成する。導体パタ−ン形成後、導体金属箔のエッチン
グレジストとなる金属を電気めっき、もしくは、化学め
っきにより形成したのち、めっきレジストを溶剤等で剥
離除去したのち、導体パタ−ン以外の金属箔をエッチン
グ除去し、それぞれ、電気的に独立した導体パタ−ンを
形成する。
【発明が解決しようとする課題】上記、従来技術の導体
パタ−ン形成方法では、導体パタ−ン上にエッチングレ
ジストを形成する時、導体側面にエッチングレジストを
形成することが困難なため、導体パタ−ン以外の金属箔
をエッチング除去する場合、同時に導体パタ−ンの側面
および裾部まで、エツチングされるため導体パタ−ンの
絶縁材に対する密着強度が低下し、導体パタ−ンの剥が
れを生じやすくするとともに、導体パタ−ンの部分的な
細り、欠損により電気的仕上がり品質が保証されなくな
るといえる。 また、用いる基材の金属箔厚が大きい場
合、導体パタ−ン以外の金属箔部をエッチングする場合
より顕著に上記の問題が生ずる。本発明の目的は、導体
パタ−ン以外の金属箔部を、エッチングにより除去する
場合、同時に導体パタ−ンの側面および裾部まで、エツ
チングされることがないようにして、導体パタ−ンの絶
縁材に対する密着強度の低下を防止し、導体パタ−ンの
剥がれをなくすとともに、電気的仕上がり品質も向上し
たプリント基板製造方法を提供することにある。
パタ−ン形成方法では、導体パタ−ン上にエッチングレ
ジストを形成する時、導体側面にエッチングレジストを
形成することが困難なため、導体パタ−ン以外の金属箔
をエッチング除去する場合、同時に導体パタ−ンの側面
および裾部まで、エツチングされるため導体パタ−ンの
絶縁材に対する密着強度が低下し、導体パタ−ンの剥が
れを生じやすくするとともに、導体パタ−ンの部分的な
細り、欠損により電気的仕上がり品質が保証されなくな
るといえる。 また、用いる基材の金属箔厚が大きい場
合、導体パタ−ン以外の金属箔部をエッチングする場合
より顕著に上記の問題が生ずる。本発明の目的は、導体
パタ−ン以外の金属箔部を、エッチングにより除去する
場合、同時に導体パタ−ンの側面および裾部まで、エツ
チングされることがないようにして、導体パタ−ンの絶
縁材に対する密着強度の低下を防止し、導体パタ−ンの
剥がれをなくすとともに、電気的仕上がり品質も向上し
たプリント基板製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、あらかじめ、エッチング除去する導体パタ−ン以外
の金属箔表面にエッチング速度を増す触媒となる物質を
付着させておくことにより、導体パタ−ン以外の金属箔
部を選択的にエッチング速度を増すようにしたものであ
る。
め、あらかじめ、エッチング除去する導体パタ−ン以外
の金属箔表面にエッチング速度を増す触媒となる物質を
付着させておくことにより、導体パタ−ン以外の金属箔
部を選択的にエッチング速度を増すようにしたものであ
る。
【作用】本発明による、プリント基板製造方法は、導体
パタ−ン形成時における、導体パタ−ン以外の金属箔部
をエッチング除去するとき、エッチング速度を増す触媒
作用により、速やかに溶解されるため、導体パタ−ンの
裾部のエッチング溶解が少ないため、導体パタ−ンの基
材からの剥離がなく、また、導体パタ−ンの電気的仕上
がり品質も良好といえる。
パタ−ン形成時における、導体パタ−ン以外の金属箔部
をエッチング除去するとき、エッチング速度を増す触媒
作用により、速やかに溶解されるため、導体パタ−ンの
裾部のエッチング溶解が少ないため、導体パタ−ンの基
材からの剥離がなく、また、導体パタ−ンの電気的仕上
がり品質も良好といえる。
【実施例】プリント基板の外層、もしくは、内層の導体
パタ−ンを形成する方法として、サブトラクティブ法、
アディティブ法がある。アディティブ法においてはフル
アディティブ法、セミアディティブ法に分けられる。本
発明は主としてセミアディティブ法を対象として以下に
述べる。一般的には積層接着した銅張積層板を用い、こ
の銅張積層板上に導体パタ−ンとなる部分以外を、めっ
きレジストで被覆する。この、めっきレジストの形成は
写真法、印刷法等が用いられている。導体パタ−ン以外
をめっきレジストで被覆した後、電気銅めっき、もしく
は、化学銅めっきで必要な厚さまで導体パタ−ンを形成
する。導体パタ−ン形成後、銅溶解に用いるエッチング
溶液に対しエッチングレジストとして耐える金属、例え
ば、半田、錫等の金属を導体パタ−ン上に、電気めっ
き、もしくは化学めっき等で必要な厚さまで形成する。
その後、めっきレジストを溶剤、例えば塩化メチレンで
溶解剥離した後、導体パタ−ン以外の部分である基材銅
をエッチング溶液、例えば塩化第二銅の塩酸溶液で溶解
除去する。基材銅を溶解除去する時、最も好ましいの
は、めっきで形成した導体パタ−ン巾と同等の巾を残し
基材銅が溶解除去されることである。そのためには、基
材銅箔が薄く短時間に基材銅箔がエッチング除去される
ことであるが、基材銅〜基材間の適切な密着強度を保つ
ためには、十数ミクロンの厚さが必要である。 また、
もう一つの問題は導体パタ−ン上にエッチングレジスト
を形成する場合、導体パタ−ンに対し、導体パタ−ンの
側面および基部まで、完全にカバ−することは困難であ
る。よって、基材銅をエッチング溶液で溶解除去する場
合、めっきで形成した導体パタ−ンの基部と基材銅部
は、エッチング除去され導体パタ−ンの基部は、導体パ
タ−ン上部に対し4〜6割の導体パタ−ン巾となってし
まう。 そのため、導体パタ−ンの品質上、電気的には
ライン抵抗大等の欠陥となる。また、絶縁材との接続面
積が小さくなるため、ハンドリング時、ライン浮き・ラ
イン剥がれ等の欠陥を生ずることとなる。この解決方法
として、本発明では、導体パタ−ン部以外の基材銅箔を
エッチング除去する場合、基材銅部のエッチング速度を
選択的に増すようにしたことである。特に、貴金属の粒
子がエッチング速度に触媒的に作用することに着目し、
エッチング除去する基材銅部に予め貴金属粒子を付着さ
せておくことにより、基材銅部のみ選択的に速やかに溶
解除去できるようにした。貴金属粒子は、吸着性の良い
イオンの状態で付着させた後還元する。本発明において
は、一般的に、化学銅めっきの触媒としてもちいられる
増感剤を用いた。以下、本発明の一実施例を図1により
説明する。図1のaは、一般的な、銅箔厚10数ミクロ
ンの銅張積層板の断面を示す。ここで、1は銅箔(基材
銅)、2は絶縁材である。図1のbは、図1のaの銅張
積層板に対して、銅箔のエッチング時の溶解速度を増す
触媒処理をした図を示す。本触媒3は、銅より、イオン
化傾向の貴な金属を用いれば良く、本実施例において
は、日立化成工業株式会社製のHS101Bを用いた。
HS101Bは、容量比でHS101Bを4容量、塩酸
を6容量で建浴し、室温において約120秒間浸漬し
た。(浸漬時間は触媒を付着するだけで良く、具体的に
は1秒程度以上の浸漬で良い。)以下、図1のc〜iに
おいても、基板の両面は構成としては同一であり、下面
の符号は省略する。図1のcは、図1のbの処理後、め
っきレジスト4となるドライフィルムで被覆したもので
ある。本実施例においては、日立化成工業株式会社製の
感光性ドライフィルム、フオテックSA−7070を用
いた。図1のdは、感光性ドライフィルムで被覆後、写
真法により導体パタ−ンを形成する部分を除去し、めっ
きレジスト4’を形成したものである。図1のeは、化
学銅めっきにより、導体パタ−ン5を形成したものであ
る。図1のfは、導体パタ−ン5の形成後、エッチング
レジスト6となる金属を電気めっき、もしくは、化学め
っきにより、導体パタ−ン5上に形成したものである。
本実施例においては、電気半田めっきによりエッチング
レジスト6を導体パタ−ン上に形成した。図1のgは、
めっきレジスト4’を溶剤で剥離除去した図を示す。図
1のhは、導体パタ−ン5以外の金属箔部、即ち、触媒
3の付着した基材銅1をエッチング除去した図である。
図1のiは、導体パタ−ン5以外の金属箔部をエッチン
グ除去した後、エッチングレジスト6である半田を除去
した図である。最終的には、絶縁材2上に、導体パタ−
ン5’が残る。以上の説明で述べるように、本実施例に
よるプリント基板の製造方法では、gからhへのエッチ
ング工程で、触媒3の効果により、導体パタ−ン5以外
の基材銅1が速やかに溶解除去されたので、導体パタ−
ン5の側面および裾部の食われが非常に少なかった。図
2は従来のプリント基板の製造方法を示すための図であ
る。本発明との相違点は、図1のbで示される触媒3を
付着する工程がないことである。この従来の方法では、
図2のgで示されているように、導体パタ−ンの裾部の
食われが大きい。
パタ−ンを形成する方法として、サブトラクティブ法、
アディティブ法がある。アディティブ法においてはフル
アディティブ法、セミアディティブ法に分けられる。本
発明は主としてセミアディティブ法を対象として以下に
述べる。一般的には積層接着した銅張積層板を用い、こ
の銅張積層板上に導体パタ−ンとなる部分以外を、めっ
きレジストで被覆する。この、めっきレジストの形成は
写真法、印刷法等が用いられている。導体パタ−ン以外
をめっきレジストで被覆した後、電気銅めっき、もしく
は、化学銅めっきで必要な厚さまで導体パタ−ンを形成
する。導体パタ−ン形成後、銅溶解に用いるエッチング
溶液に対しエッチングレジストとして耐える金属、例え
ば、半田、錫等の金属を導体パタ−ン上に、電気めっ
き、もしくは化学めっき等で必要な厚さまで形成する。
その後、めっきレジストを溶剤、例えば塩化メチレンで
溶解剥離した後、導体パタ−ン以外の部分である基材銅
をエッチング溶液、例えば塩化第二銅の塩酸溶液で溶解
除去する。基材銅を溶解除去する時、最も好ましいの
は、めっきで形成した導体パタ−ン巾と同等の巾を残し
基材銅が溶解除去されることである。そのためには、基
材銅箔が薄く短時間に基材銅箔がエッチング除去される
ことであるが、基材銅〜基材間の適切な密着強度を保つ
ためには、十数ミクロンの厚さが必要である。 また、
もう一つの問題は導体パタ−ン上にエッチングレジスト
を形成する場合、導体パタ−ンに対し、導体パタ−ンの
側面および基部まで、完全にカバ−することは困難であ
る。よって、基材銅をエッチング溶液で溶解除去する場
合、めっきで形成した導体パタ−ンの基部と基材銅部
は、エッチング除去され導体パタ−ンの基部は、導体パ
タ−ン上部に対し4〜6割の導体パタ−ン巾となってし
まう。 そのため、導体パタ−ンの品質上、電気的には
ライン抵抗大等の欠陥となる。また、絶縁材との接続面
積が小さくなるため、ハンドリング時、ライン浮き・ラ
イン剥がれ等の欠陥を生ずることとなる。この解決方法
として、本発明では、導体パタ−ン部以外の基材銅箔を
エッチング除去する場合、基材銅部のエッチング速度を
選択的に増すようにしたことである。特に、貴金属の粒
子がエッチング速度に触媒的に作用することに着目し、
エッチング除去する基材銅部に予め貴金属粒子を付着さ
せておくことにより、基材銅部のみ選択的に速やかに溶
解除去できるようにした。貴金属粒子は、吸着性の良い
イオンの状態で付着させた後還元する。本発明において
は、一般的に、化学銅めっきの触媒としてもちいられる
増感剤を用いた。以下、本発明の一実施例を図1により
説明する。図1のaは、一般的な、銅箔厚10数ミクロ
ンの銅張積層板の断面を示す。ここで、1は銅箔(基材
銅)、2は絶縁材である。図1のbは、図1のaの銅張
積層板に対して、銅箔のエッチング時の溶解速度を増す
触媒処理をした図を示す。本触媒3は、銅より、イオン
化傾向の貴な金属を用いれば良く、本実施例において
は、日立化成工業株式会社製のHS101Bを用いた。
HS101Bは、容量比でHS101Bを4容量、塩酸
を6容量で建浴し、室温において約120秒間浸漬し
た。(浸漬時間は触媒を付着するだけで良く、具体的に
は1秒程度以上の浸漬で良い。)以下、図1のc〜iに
おいても、基板の両面は構成としては同一であり、下面
の符号は省略する。図1のcは、図1のbの処理後、め
っきレジスト4となるドライフィルムで被覆したもので
ある。本実施例においては、日立化成工業株式会社製の
感光性ドライフィルム、フオテックSA−7070を用
いた。図1のdは、感光性ドライフィルムで被覆後、写
真法により導体パタ−ンを形成する部分を除去し、めっ
きレジスト4’を形成したものである。図1のeは、化
学銅めっきにより、導体パタ−ン5を形成したものであ
る。図1のfは、導体パタ−ン5の形成後、エッチング
レジスト6となる金属を電気めっき、もしくは、化学め
っきにより、導体パタ−ン5上に形成したものである。
本実施例においては、電気半田めっきによりエッチング
レジスト6を導体パタ−ン上に形成した。図1のgは、
めっきレジスト4’を溶剤で剥離除去した図を示す。図
1のhは、導体パタ−ン5以外の金属箔部、即ち、触媒
3の付着した基材銅1をエッチング除去した図である。
図1のiは、導体パタ−ン5以外の金属箔部をエッチン
グ除去した後、エッチングレジスト6である半田を除去
した図である。最終的には、絶縁材2上に、導体パタ−
ン5’が残る。以上の説明で述べるように、本実施例に
よるプリント基板の製造方法では、gからhへのエッチ
ング工程で、触媒3の効果により、導体パタ−ン5以外
の基材銅1が速やかに溶解除去されたので、導体パタ−
ン5の側面および裾部の食われが非常に少なかった。図
2は従来のプリント基板の製造方法を示すための図であ
る。本発明との相違点は、図1のbで示される触媒3を
付着する工程がないことである。この従来の方法では、
図2のgで示されているように、導体パタ−ンの裾部の
食われが大きい。
【発明の効果】本発明のプリント基板の製造方法を用い
れば、導体パタ−ンの側面および裾部の食われを少なく
でき、導体パタ−ンの基材からの剥がれを防止できる。
れば、導体パタ−ンの側面および裾部の食われを少なく
でき、導体パタ−ンの基材からの剥がれを防止できる。
【図1】本発明によるプリント基板の製造方法を示す。
【図2】従来のプリント基板の製造方法を示す。
1・・・基材銅 2・・・絶縁材 3・・・触媒 4・・・めっきレジスト 4’・・めっきレジスト 5・・・めっき銅(導体パタ−ン) 5’・・導体パタ−ン 6・・・エッチングレジスト
Claims (1)
- 【請求項1】絶縁基材上に金属箔が設けられた基板に、
エッチングにより、導体パタ−ンを形成する時、除去す
べき前記金属箔部分に、あらかじめ、貴金属を付着させ
るステップを設けたプリント基板製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34435891A JPH05175640A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | プリント基板製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34435891A JPH05175640A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | プリント基板製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05175640A true JPH05175640A (ja) | 1993-07-13 |
Family
ID=18368623
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34435891A Pending JPH05175640A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | プリント基板製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05175640A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002359454A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 銅メッキ回路層付銅張積層板及びその銅メッキ回路層付銅張積層板を用いたプリント配線板の製造方法 |
-
1991
- 1991-12-26 JP JP34435891A patent/JPH05175640A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002359454A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 銅メッキ回路層付銅張積層板及びその銅メッキ回路層付銅張積層板を用いたプリント配線板の製造方法 |
JP4683769B2 (ja) * | 2001-05-31 | 2011-05-18 | 三井金属鉱業株式会社 | 銅メッキ回路層付銅張積層板及びその銅メッキ回路層付銅張積層板を用いたプリント配線板の製造方法 |
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