JPH05167252A - 多層回路用積層板の製造方法 - Google Patents
多層回路用積層板の製造方法Info
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- JPH05167252A JPH05167252A JP35334791A JP35334791A JPH05167252A JP H05167252 A JPH05167252 A JP H05167252A JP 35334791 A JP35334791 A JP 35334791A JP 35334791 A JP35334791 A JP 35334791A JP H05167252 A JPH05167252 A JP H05167252A
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- JP
- Japan
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- fluororesin
- circuit board
- inner layer
- circuit
- multilayer circuit
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- Laminated Bodies (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】回路パタ−ンの高密度化に有利で、かつ穴開け
加工性等に優れたふっ素樹脂性の多層回路用積層板を提
供する。 【構成】ふっ素樹脂内層回路板の回路面にふっ素樹脂デ
ィスパ−ジョンを塗布・乾燥し、この塗布層上にふっ素
樹脂系接着シ−トを介して金属箔を配置し、これらを加
熱,加圧により融着一体化することを特徴とする。
加工性等に優れたふっ素樹脂性の多層回路用積層板を提
供する。 【構成】ふっ素樹脂内層回路板の回路面にふっ素樹脂デ
ィスパ−ジョンを塗布・乾燥し、この塗布層上にふっ素
樹脂系接着シ−トを介して金属箔を配置し、これらを加
熱,加圧により融着一体化することを特徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電子機器等の機器内配線
に使用する多層回路用積層板の製造方法に関するもので
ある。
に使用する多層回路用積層板の製造方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】電子機器、通信機器,コンピュ−タ−等
の機器内配線に用いる多層回路板には、誘電体にふっ素
樹脂を使用したものが、その優れた誘電特性,耐熱性等
のために多用されている。
の機器内配線に用いる多層回路板には、誘電体にふっ素
樹脂を使用したものが、その優れた誘電特性,耐熱性等
のために多用されている。
【0003】従来、このふっ素樹脂製多層回路板の製造
には、通常、次ぎの方法が使用されている。即ち、ガラ
スクロスにポリテトラフルオロエチレン等のふっ素樹脂
を含浸したプリプレグの積層物の両面に金属箔を配置
し、これらを加熱,加圧により融着一体化して内層回路
用積層板を製作し、この内層回路用積層板の金属箔を所
定のパタ−ンで化学的にエッチングして内層回路板を得
る。
には、通常、次ぎの方法が使用されている。即ち、ガラ
スクロスにポリテトラフルオロエチレン等のふっ素樹脂
を含浸したプリプレグの積層物の両面に金属箔を配置
し、これらを加熱,加圧により融着一体化して内層回路
用積層板を製作し、この内層回路用積層板の金属箔を所
定のパタ−ンで化学的にエッチングして内層回路板を得
る。
【0004】次いで、この内層回路板の各回路面にふっ
素樹脂系接着シ−ト(ポリテトラフルオロエチレン、テ
トラフルオロエチレン・パ−フルオロアルキルビニルエ
−テル又はテトラフルオロエチレンヘキサフルオロプロ
ピレン共重合体等のふっ素樹脂シ−ト,ふっ素樹脂のプ
リプレグ等)を介して金属箔を配置し、これらを加熱・
加圧により融着一体化して多層回路用積層板を得、この
多層回路用積層板の金属箔を所定のパタ−ンで化学的に
エッチングして多層回路板を製作している(特開昭60
−248346号)。
素樹脂系接着シ−ト(ポリテトラフルオロエチレン、テ
トラフルオロエチレン・パ−フルオロアルキルビニルエ
−テル又はテトラフルオロエチレンヘキサフルオロプロ
ピレン共重合体等のふっ素樹脂シ−ト,ふっ素樹脂のプ
リプレグ等)を介して金属箔を配置し、これらを加熱・
加圧により融着一体化して多層回路用積層板を得、この
多層回路用積層板の金属箔を所定のパタ−ンで化学的に
エッチングして多層回路板を製作している(特開昭60
−248346号)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、本発明
者等の実験結果によれば、上記した従来の多層回路板の
製造方法では、内層回路板の回路間に空気が抱き込まれ
て内層回路板の回路面と接着層との間にミクロボイドが
発生し易い(その理由としては、ふっ素樹脂は溶融粘度
が高いため、溶融時の樹脂流れが悪いことから、内層回
路パタ−ン近傍まで樹脂が埋まらずにミクロボイドが発
生しやすいと推定される)。
者等の実験結果によれば、上記した従来の多層回路板の
製造方法では、内層回路板の回路間に空気が抱き込まれ
て内層回路板の回路面と接着層との間にミクロボイドが
発生し易い(その理由としては、ふっ素樹脂は溶融粘度
が高いため、溶融時の樹脂流れが悪いことから、内層回
路パタ−ン近傍まで樹脂が埋まらずにミクロボイドが発
生しやすいと推定される)。
【0006】而るに、近来における回路パタ−ンの高密
度化のもとでは、回路面と接着層との界面での高度の水
密性による絶縁抵抗のより一層の向上が要請され、上記
回路面と接着層との界面でのボイドの発生は不可避的に
回路パタ−ンの高密度化に支障となる。
度化のもとでは、回路面と接着層との界面での高度の水
密性による絶縁抵抗のより一層の向上が要請され、上記
回路面と接着層との界面でのボイドの発生は不可避的に
回路パタ−ンの高密度化に支障となる。
【0007】本発明の目的は、内層回路板の回路面と接
着層との間の界面にポイドが発生し易いことに鑑み、プ
ライマ−の使用によりこのボイドを排除して回路パタ−
ンの高密度化に有利で、かつ穴開け加工性等に優れた多
層回路用積層板を提供することにある。
着層との間の界面にポイドが発生し易いことに鑑み、プ
ライマ−の使用によりこのボイドを排除して回路パタ−
ンの高密度化に有利で、かつ穴開け加工性等に優れた多
層回路用積層板を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の多層回路用積層
板の製造方法はふっ素樹脂内層回路板の回路面にふっ素
樹脂ディスパ−ジョンを塗布・乾燥し、この塗布層上に
ふっ素樹脂系接着シ−トを介して金属箔を配置し、これ
らを加熱,加圧により融着一体化することを特徴とする
方法である。
板の製造方法はふっ素樹脂内層回路板の回路面にふっ素
樹脂ディスパ−ジョンを塗布・乾燥し、この塗布層上に
ふっ素樹脂系接着シ−トを介して金属箔を配置し、これ
らを加熱,加圧により融着一体化することを特徴とする
方法である。
【0009】
【作用】ふっ素樹脂ディスパ−ジョンの塗布層がプライ
マ−として作用し、内層回路板の回路面とふっ素樹脂系
接着層との間をボイドレスで接着することを可能とす
る。
マ−として作用し、内層回路板の回路面とふっ素樹脂系
接着層との間をボイドレスで接着することを可能とす
る。
【0010】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面により説明す
る。図1の(イ)乃至(ハ)において、1は内層回路板
であり、11はふっ素樹脂含浸基材から成る絶縁板を、
12は回路をそれぞれ示し、ふっ素樹脂ディスパ−ジョ
ンを布状基材に樹脂含浸率55〜85重量%で含浸した
プリプレグ(プリプレグの重量をm0,布状基材の重量
をm1とすれば、含浸率は(m0−m1)/m0で与えられ
る)を所定枚数重ね、その両面に金属箔を配置し、必要
に応じ、プリプレグと金属箔との間にポリテトラフルオ
ロエチレン,テトラフルオロエチレン・パ−フルオロア
ルキルビニルエ−テルやテトラフルオロエチレン・ヘキ
サフルオロプロピレン共重合体の接着シ−トを介し、こ
れらを加圧,加熱により融着・一体化して内層回路板を
得、この内層回路板の金属箔を所定の回路パタ−ンで化
学的にエッチングしてある。
る。図1の(イ)乃至(ハ)において、1は内層回路板
であり、11はふっ素樹脂含浸基材から成る絶縁板を、
12は回路をそれぞれ示し、ふっ素樹脂ディスパ−ジョ
ンを布状基材に樹脂含浸率55〜85重量%で含浸した
プリプレグ(プリプレグの重量をm0,布状基材の重量
をm1とすれば、含浸率は(m0−m1)/m0で与えられ
る)を所定枚数重ね、その両面に金属箔を配置し、必要
に応じ、プリプレグと金属箔との間にポリテトラフルオ
ロエチレン,テトラフルオロエチレン・パ−フルオロア
ルキルビニルエ−テルやテトラフルオロエチレン・ヘキ
サフルオロプロピレン共重合体の接着シ−トを介し、こ
れらを加圧,加熱により融着・一体化して内層回路板を
得、この内層回路板の金属箔を所定の回路パタ−ンで化
学的にエッチングしてある。
【0011】このプリプレグのふっ素樹脂には、ポリテ
トラフルオロエチレン,テトラフルオロエチレン・パ−
フルオロアルキルビニルエ−テル,テトラフルオロエチ
レンヘキサフルオロプロピレン共重合体等を使用でき、
特に、ポリテトラフルオロエチレンが70〜95重量
%、テトラフルオロエチレン・パ−フルオロアルキルビ
ニルエ−テル及び/又はテトラフルオロエチレンヘキサ
フルオロプロピレン共重合体が5〜30重量%の混合物
を使用することが好ましい。
トラフルオロエチレン,テトラフルオロエチレン・パ−
フルオロアルキルビニルエ−テル,テトラフルオロエチ
レンヘキサフルオロプロピレン共重合体等を使用でき、
特に、ポリテトラフルオロエチレンが70〜95重量
%、テトラフルオロエチレン・パ−フルオロアルキルビ
ニルエ−テル及び/又はテトラフルオロエチレンヘキサ
フルオロプロピレン共重合体が5〜30重量%の混合物
を使用することが好ましい。
【0012】同じく布状基材には、ガラス繊維、アスベ
スト繊維、アルミナ繊維、ボロン繊維、窒化ホウ素繊
維、シリコ−ンカ−バイト繊維、ポリテトラフルオロエ
チレン繊維、超高分子量ポリエチレン繊維、芳香族ポリ
エステル繊維等の有機繊維から成る織布、不織布等を使
用できる。この布状基材の厚さは適宜設定できるが、通
常、50〜300μmである。
スト繊維、アルミナ繊維、ボロン繊維、窒化ホウ素繊
維、シリコ−ンカ−バイト繊維、ポリテトラフルオロエ
チレン繊維、超高分子量ポリエチレン繊維、芳香族ポリ
エステル繊維等の有機繊維から成る織布、不織布等を使
用できる。この布状基材の厚さは適宜設定できるが、通
常、50〜300μmである。
【0013】上記金属箔のパタ−ン加工には、通常のプ
リント回路板の製造と同様に、剥離現像型フォトレジス
ト、溶剤現像型フォトレジストまたはアルカリ現像型フ
ォトレジストを用いる方法を使用できる。例えば、内層
回路用積層板の金属箔表面にアルカリ現像型フォトレジ
スト層を形成し、その上からフォトマスクを介してパタ
−ン状に露光を行ない、次いで、フォトレジストの未露
光部分を溶解除去して金属箔を部分的に露出せしめ、そ
の後、金属箔の露出部を化学的エッチングにより除去
し、更に、フォトレジストの露光部を溶剤により除去す
れば、フォトレジストの露光パタ−ンに対応するパタ−
ンの金属回路を有する回路板を得ることができる。
リント回路板の製造と同様に、剥離現像型フォトレジス
ト、溶剤現像型フォトレジストまたはアルカリ現像型フ
ォトレジストを用いる方法を使用できる。例えば、内層
回路用積層板の金属箔表面にアルカリ現像型フォトレジ
スト層を形成し、その上からフォトマスクを介してパタ
−ン状に露光を行ない、次いで、フォトレジストの未露
光部分を溶解除去して金属箔を部分的に露出せしめ、そ
の後、金属箔の露出部を化学的エッチングにより除去
し、更に、フォトレジストの露光部を溶剤により除去す
れば、フォトレジストの露光パタ−ンに対応するパタ−
ンの金属回路を有する回路板を得ることができる。
【0014】本発明により多層回路用積層板を製造する
には、まず、図1の(イ)に示すように、上記の回路板
を内層回路板1とし、その回路板1の回路面上にふっ素
樹脂ディスパ−ジョンを塗布・乾燥して未焼結のふっ素
樹脂プライマ−2を形成する。
には、まず、図1の(イ)に示すように、上記の回路板
を内層回路板1とし、その回路板1の回路面上にふっ素
樹脂ディスパ−ジョンを塗布・乾燥して未焼結のふっ素
樹脂プライマ−2を形成する。
【0015】ディスバ−ジョンのふっ素樹脂には、ポリ
テトラフルオロエチレン,テトラフルオロエチレン・パ
−フルオロアルキルビニルエ−テル,テトラフルオロエ
チレンヘキサフルオロプロピレン共重合体等、ふっ素樹
脂全般を使用できる。また、ディスバ−ジョンのふっ素
樹脂含有率は、30〜10重量%とすることが好まし
い。
テトラフルオロエチレン,テトラフルオロエチレン・パ
−フルオロアルキルビニルエ−テル,テトラフルオロエ
チレンヘキサフルオロプロピレン共重合体等、ふっ素樹
脂全般を使用できる。また、ディスバ−ジョンのふっ素
樹脂含有率は、30〜10重量%とすることが好まし
い。
【0016】このようにして、ふっ素樹脂のプライマ−
2を塗布したのちは、図1の(ロ)に示すように、ふっ
素樹脂系接着シ−ト3、例えば、ポリテトラフルオロエ
チレンシ−ト、テトラフルオロエチレン・パ−フルオロ
アルキルビニルエ−テルシ−ト又はテトラフルオロエチ
レンヘキサフルオロプロピレン共重合体シ−ト或いはふ
っ素樹脂プリプレグ若しくはこれらの2種以上を介して
金属箔4を配置し、これらを図1の(ハ)に示すよう
に、加熱・加圧により融着一体化して多層回路用積層板
を得る。更に、この多層回路用積層板の表面金属箔を所
定のパタ−ンで化学的にエッチングして多層回路板を作
成する。
2を塗布したのちは、図1の(ロ)に示すように、ふっ
素樹脂系接着シ−ト3、例えば、ポリテトラフルオロエ
チレンシ−ト、テトラフルオロエチレン・パ−フルオロ
アルキルビニルエ−テルシ−ト又はテトラフルオロエチ
レンヘキサフルオロプロピレン共重合体シ−ト或いはふ
っ素樹脂プリプレグ若しくはこれらの2種以上を介して
金属箔4を配置し、これらを図1の(ハ)に示すよう
に、加熱・加圧により融着一体化して多層回路用積層板
を得る。更に、この多層回路用積層板の表面金属箔を所
定のパタ−ンで化学的にエッチングして多層回路板を作
成する。
【0017】上記において、ふっ素樹脂系接着シ−ト3
として使用するプリプレグには、内層回路板1の製造に
使用したプリプレグと同一のものを使用することが好ま
しい。
として使用するプリプレグには、内層回路板1の製造に
使用したプリプレグと同一のものを使用することが好ま
しい。
【0018】上記の加熱・加圧は、ふっ素樹脂の溶融温
度以上の温度において圧力10〜50kg/cm2の条件で行
なうが、ふっ素樹脂が充分に溶融するまで低圧(5〜1
0kg/cm2)を保持し、溶融をまって上記の圧力(10〜
50kg/cm2)で後加圧する2段階プレス方式を使用する
ことが好ましい。
度以上の温度において圧力10〜50kg/cm2の条件で行
なうが、ふっ素樹脂が充分に溶融するまで低圧(5〜1
0kg/cm2)を保持し、溶融をまって上記の圧力(10〜
50kg/cm2)で後加圧する2段階プレス方式を使用する
ことが好ましい。
【0019】上記の多層回路板の製造方法によれば、内
層回路板の回路間をふっ素樹脂ディスパ−ジョンでボイ
ドレスに充填でき、加熱・加圧時にそのふっ素樹脂ディ
スパ−ジョン塗布層がプライマ−として働き、内層回路
板とふっ素樹脂系接着層との間をボイドレスで接着でき
るから、内層回路板と接着層との間の水密性を極めて高
くできる。このことは次ぎの実施例と比較例との沸騰蒸
留水中放置後での抵抗値の対比からも確認できる。
層回路板の回路間をふっ素樹脂ディスパ−ジョンでボイ
ドレスに充填でき、加熱・加圧時にそのふっ素樹脂ディ
スパ−ジョン塗布層がプライマ−として働き、内層回路
板とふっ素樹脂系接着層との間をボイドレスで接着でき
るから、内層回路板と接着層との間の水密性を極めて高
くできる。このことは次ぎの実施例と比較例との沸騰蒸
留水中放置後での抵抗値の対比からも確認できる。
【0020】実施例 厚さ50μmのガラスクロス〔日東紡(株)製WEA0
5E〕にポリテトラフルオロエチレンディスバ−ジョン
〔三井・デュポン・フロロケミカル(株)製3443−
J)を含浸率77重量%で含浸したプリプレグを11枚
重ね合わせ、その両面に厚さ35μmの銅箔〔古河・サ
−キットフォイル(株)製の電解銅箔〕を配置し、これ
らを温度390℃,圧力50kg/cm2で30分間加熱・加
圧することにより内層回路用積層板を得、この内層回路
板の銅箔をアルカリ現像型フォトレジストを用いてパタ
−ン加工することにより内層回路板を製作した。
5E〕にポリテトラフルオロエチレンディスバ−ジョン
〔三井・デュポン・フロロケミカル(株)製3443−
J)を含浸率77重量%で含浸したプリプレグを11枚
重ね合わせ、その両面に厚さ35μmの銅箔〔古河・サ
−キットフォイル(株)製の電解銅箔〕を配置し、これ
らを温度390℃,圧力50kg/cm2で30分間加熱・加
圧することにより内層回路用積層板を得、この内層回路
板の銅箔をアルカリ現像型フォトレジストを用いてパタ
−ン加工することにより内層回路板を製作した。
【0021】この内層回路板の回路面に上記と同一のポ
リテトラフルオロエチレンディスバ−ジョン〔三井・デ
ュポン・フロルケミカル(株)製3443−J)を塗布
し、80℃で10分間乾燥し、各塗布面上に厚み50μ
mのポリテトラフルオロエチレンシ−ト〔日東電工
(株)製N0900)を介して、厚み18μmの銅箔
〔古河・サ−キットフォイル(株)製の電解銅箔〕を配
置し、これらを温度380℃,圧力4kg/cm2で15分間
加熱・加圧後、同温度,圧力25kg/cm2で15分間加熱
・加圧する2段階プレス方式で融着・一体化して多層回
路用積層板を製作した。更に、両表面の銅箔をアルカリ
現像型フォトレジストを用いてパタ−ン加工することに
より多層回路板を得た。
リテトラフルオロエチレンディスバ−ジョン〔三井・デ
ュポン・フロルケミカル(株)製3443−J)を塗布
し、80℃で10分間乾燥し、各塗布面上に厚み50μ
mのポリテトラフルオロエチレンシ−ト〔日東電工
(株)製N0900)を介して、厚み18μmの銅箔
〔古河・サ−キットフォイル(株)製の電解銅箔〕を配
置し、これらを温度380℃,圧力4kg/cm2で15分間
加熱・加圧後、同温度,圧力25kg/cm2で15分間加熱
・加圧する2段階プレス方式で融着・一体化して多層回
路用積層板を製作した。更に、両表面の銅箔をアルカリ
現像型フォトレジストを用いてパタ−ン加工することに
より多層回路板を得た。
【0022】比較例1 内層回路板にふっ素樹脂ディスパ−ジョンを塗布しない
以外、実施例と同じにした。
以外、実施例と同じにした。
【0023】比較例2 内層回路板にふっ素樹脂ディスパ−ジョンを塗布せず、
多層回路用積層板の融着・一体化に2段階プレス方式を
使用せずに温度380℃,圧力25kg/cm2で30分間の
加熱・加圧を使用した以外、実施例と同じとした。
多層回路用積層板の融着・一体化に2段階プレス方式を
使用せずに温度380℃,圧力25kg/cm2で30分間の
加熱・加圧を使用した以外、実施例と同じとした。
【0024】これらの実施例品並びに比較例品を沸騰蒸
留水中に2時間放置後、JIS C6481規定の方法
により絶縁抵抗を測定したところ、実施例品においては
2.0×1013(Ω)であり、これを100℃の熱水中
で2時間煮沸した後の値は1.0×1013(Ω)で、殆
ど変化しなかったが、比較例品では2.0×10
13(Ω)であったが、煮沸後には3.2×1012(Ω)
に悪化し、本発明におけるふっ素樹脂ディスパ−ジョン
のプライマ−効果が確認できた。
留水中に2時間放置後、JIS C6481規定の方法
により絶縁抵抗を測定したところ、実施例品においては
2.0×1013(Ω)であり、これを100℃の熱水中
で2時間煮沸した後の値は1.0×1013(Ω)で、殆
ど変化しなかったが、比較例品では2.0×10
13(Ω)であったが、煮沸後には3.2×1012(Ω)
に悪化し、本発明におけるふっ素樹脂ディスパ−ジョン
のプライマ−効果が確認できた。
【0025】
【発明の効果】本発明の多層回路用積層板の製造方法
は、ふっ素樹脂プリプレグで絶縁基板を成形した内層回
路板にふっ素樹脂系接着層を介して金属箔を加熱・加圧
により融着・一体化する多層回路用積層板の製造におい
て、内層回路板と接着層との界面におけるミクロボイド
防止対策として、ふっ素樹脂ディスパ−ジョンをプライ
マ−として使用することによりボイドの排除を可能にし
ており、内層回路板の回路面での絶縁抵抗の飛躍的向上
により回路の高密度化を有効に達成できる。
は、ふっ素樹脂プリプレグで絶縁基板を成形した内層回
路板にふっ素樹脂系接着層を介して金属箔を加熱・加圧
により融着・一体化する多層回路用積層板の製造におい
て、内層回路板と接着層との界面におけるミクロボイド
防止対策として、ふっ素樹脂ディスパ−ジョンをプライ
マ−として使用することによりボイドの排除を可能にし
ており、内層回路板の回路面での絶縁抵抗の飛躍的向上
により回路の高密度化を有効に達成できる。
【図1】本発明の多層回路用積層板の製造方法の異なる
段階を示す説明図である。
段階を示す説明図である。
1 内層回路板 2 ふっ素樹脂ディスパ−ジョンの塗布層 3 ふっ素樹脂系接着層 4 金属箔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 江里口 冬樹 大阪府茨木市下穂積1丁目1番2号 日東 電工株式会社内
Claims (1)
- 【請求項1】ふっ素樹脂内層回路板の回路面にふっ素樹
脂ディスパ−ジョンを塗布・乾燥し、この塗布層上にふ
っ素樹脂系接着シ−トを介して金属箔を配置し、これら
を加熱,加圧により融着一体化することを特徴とする多
層回路用積層板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35334791A JPH05167252A (ja) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | 多層回路用積層板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35334791A JPH05167252A (ja) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | 多層回路用積層板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05167252A true JPH05167252A (ja) | 1993-07-02 |
Family
ID=18430232
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35334791A Pending JPH05167252A (ja) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | 多層回路用積層板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05167252A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07323501A (ja) * | 1994-06-01 | 1995-12-12 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 多層板用プリプレグ、積層板、多層プリント回路基板およびその製造方法 |
-
1991
- 1991-12-16 JP JP35334791A patent/JPH05167252A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07323501A (ja) * | 1994-06-01 | 1995-12-12 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 多層板用プリプレグ、積層板、多層プリント回路基板およびその製造方法 |
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