JPH0516127U - テープ回転研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 研磨テープを走行させかつ回転させること
で、被研磨材が常に新しい研磨テープと接触する。 【構成】 一端に研磨テープが巻かれたロールが回転自
在に取り付けられるテーブルであって、該テーブルの表
面上を通った研磨テープを他端で巻き取るためのロール
が他端に回転自在に取り付けられるテーブルと、該テー
ブルの裏面中央に、テーブルの面に対して垂直に取り付
けられる回転軸と、該回転軸を回転自在に支持する支持
手段とから成り、テーブルの裏面に取り付けられたモー
タにより研磨テープを巻き取るためのロールを回転させ
て、研磨テープをテーブル上で走行させ、モータにより
回転軸を回転させて、テーブルを研磨テープとともに回
転させる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、金属、セラミック、電子材料などを研磨テープにより超精密研磨す る研磨装置に関する。

【０００２】

【従来技術】

従来から、磁気ヘッドなどのような金属の表面を研磨するため研磨テープを用 いた研磨装置が利用されてきた。その研磨装置の一つが、図３に示されている。 この装置３１は、基本的に円形テーブル３２と、モータ３４が内蔵されたハウジ ング３３とから成る。そのテーブル３２はその中心に回転軸３５が連結され、ハ ウジング３３内のモータ３４により回転する。テーブル３２の表面には、テーブ ルと同形の研磨テープ３２′が接着されている。研磨は、テーブル３２を回転さ せ、被研磨材３６を研磨テーブル３２′に押し付けることにより行う。

【０００３】 他の従来の研磨テープを用いた研磨装置は、ロール状に巻き付けられた研磨テ ープを一定の速度で巻き上げ、その研磨テープ上に被研磨材を押し付けることに より研磨を行うものである。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

円形の研磨テープを用いた研磨装置は、研磨テープ３２′上に被研磨材３６を 押し続けると、被研磨材３６は研磨テープの一定の所と接触し続けるため、その 研磨力が低下する。そのため、常に新たな研磨テープ面と接触させるためには被 研磨材を半径方向に移動させなければならなかった。そのため、円形の研磨テー プを用いた研磨装置は、研磨テープの回転機構のほか、被研磨材を半径方向へ移 動させる移動機構をも必要としていた。

【０００５】 さらに、円形の研磨テープはその面積が限定されているため、研磨力が低下す るたび毎に取り替えなければならない。

【０００６】 ロール状に巻き付けられた研磨テープを一定速度で巻き上げる装置は、常に新 しい研磨テープが供給されるため研磨力は低下しない。しかし、研磨テープには 被研磨材と接触しない部分が多く存在するため、研磨テープを無駄に消費する。 研磨テープの幅を被研磨材の幅にすることにより、このような無駄な消費はなく なるが、被研磨材毎にその幅に対応させて研磨テープを形成することは実際上不 可能である。

【０００７】 本考案の目的は、研磨テープを走行させかつ回転させることで、被研磨材が常 に新しい研磨テープと接触するテープ回転研磨装置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、本考案のテープ回転研磨装置は、研磨テープが走 行しかつ回転するテープ回転研磨装置であって、ａ）一端に研磨テープが巻かれ たロールが回転自在に取り付けられるテーブルであって、該テーブルの表面上を 通った研磨テープを他端で巻き取るためのロールが前記他端に回転自在に取り付 けられるテーブルと、ｂ）該テーブルの裏面中央に、テーブルの面に対して垂直 に取り付けられる回転軸と、ｃ）該回転軸を回転自在に支持する支持手段とから 構成され、テーブルの裏面に取り付けられたモータにより研磨テープを巻き取る ためのロールを回転させて、研磨テープをテーブル上で走行させるとともに、他 のモータにより回転軸を回転させ、テーブルを回転させるものである。

【０００９】 ここで、研磨テープに張りを与えるために、研磨テープが巻かれたロールをテ ンションモータと連結させることが望ましい。

【００１０】 また、研磨テープに張りを与えるために、制動手段により前記研磨テープが巻 かれたロールの回転を制動させてもよい。

【００１１】 さらに、テーブルの一端および他端に対になった補助ロールを設け、一端に取 り付けられたロールからの研磨テープを一端に設けられた補助ロールの間を通し 、他端に設けられた補助ロールの間を通して他端に取り付けられたロールに巻き 取ることことが望ましい。

【００１２】

【作用】

研磨テープはテーブル上で走行することから、新しい研磨テープが常に供給さ れる。また、研磨テープがテーブルの回転とともに回転することから、被研磨材 は研磨テープの幅全体にわたって接触できる。

【００１３】

【実施例】

本考案のテープ回転研磨装置１１を図１に示す。テープ回転研磨装置１１は、 基本的にテーブル１２とモータ２５が内蔵されたハウジング２１から構成される 。テーブル１２は、ほぼ長方形をなし、その両端に側板１３および１４が延設さ れている。側板１３、１４の前端および後端のそれぞれには突出部１３ａ、１３ ｂ、１４ａ、１４ｂが突き出ている。

【００１４】 突出部１３ａと１４ａとの間に一対の補助ロール１５、１５′が配置され、ロ ール１５、１５′の軸が突出部１３ａ、１４ａから突き出て回転自在になってい る。同様に、突出部１３ｂと１４ｂとの間に一対の補助ロール１６、１６′が配 置され、ロール１６、１６′の軸が突出部１３ｂ、１４ｂから突き出て回転自在 になっている。

【００１５】 さらに、テーブル１２の前端に研磨テープが巻かれたロール１７の心棒が側板 １３および１４を貫通し、回転自在に配置されている。なお、ロールは、使用後 新しいロールと取り替えることができるように、着脱自在に配置する。たとえば 、側板に設けられたロールの心棒が貫通できる穴にいたる溝１３′を形成する（ 図４を参照）。

【００１６】 同様に、テーブル１２の後端には研磨テープを巻き取るためのロール１７の心 棒が側板１３および１４を貫通し、回転自在に配置されている。このロール１８ も、ロール１７と同様に着脱自在に配置されている。

【００１７】 ロール１７に巻かれた研磨テープＴは、補助ロール１５と補助ロール１５′と の間を通り、テーブルの上を通過し、補助ロール１６と補助ロール１６′との間 を通り、ロール１８に巻かれる。

【００１８】 テーブル１２の上には、被研磨材により研磨状況（仕上がり）が違うため、被 研磨材に合ったパッド１２′が取り付けられている。

【００１９】 テーブル１２の裏面のロール１７側にテンションモータ１９が、その回転軸が ロール１７の心棒と平行になるように設置されている。テンションモータ１９の 回転軸とロール１７の心棒とはベルト１９′により連結されている。このテンシ ョンモータは、ロール１７が研磨テープを供給する方向の回転（図１の矢印の方 向）とは反対の方向の回転をロール１７に与えるものである。

【００２０】 さらに、テーブル１２の裏面のロール１８側にモータ２０が、その回転軸がロ ール１８の心棒と平行になるように設置されている。このモータ２０の回転軸と ロール１８の心棒および補助ロール１６′の心棒とはベルト２０′、２０″によ り連結されている。したがって、これらベルトによりモータ２０の回転はロール １８および補助ロール１６′に伝えられる。ここで、補助ロール１６′をモータ により回転させているが、補助ロールは、補助ロール間、すなわち補助ロール１ ５、１５′と補助ロール１６、１６′との間で研磨テープＴが円滑かつ一定の張 りをもって走行させるものである。したがって、かかる走行ができれば補助ロー ル１６′をモータにより回転させる必要はない。

【００２１】 研磨テープはロール１７から供給され、補助ロール１５と１５′との間を通り 、テーブルの表面上に乗るようにして補助ロール１６と１６′との間を通りロー ル１８に巻き付けられる。したがって、モータ２０が駆動すると研磨テープＴは ロール１７からロール１８へと巻き取られる。そのときの研磨テープの走行速度 は０〜１００cm／分である。

【００２２】 前述したように、テンションモータ１９は、ロール１７から研磨テープを供給 する方向の回転と反対の方向に回転力を与えるので、モータ２０が駆動すると、 すなわち、研磨テープを巻き取るように回転すると、補助ロール１５、１５′と 補助ロール１６、１６′との間の研磨テープは常に張りをもつ。

【００２３】 実施例では、研磨テープにこのような張りを与えるために、テンションモータ を設置したが、ロール１７の回転を制動するブレーキを設け、ロール１７の回転 を制動して、研磨テープに張りを与えてもよい。

【００２４】 テーブル１２の背面中央にはそのテーブルを回転させるせる回転軸２２が取り 付けられ、その回転軸２２はハウジング２１内に伸びている。回転軸２２を回転 軸を回転自在にするため、ハウジング２１の２か所に軸受２３、および２４が設 けられている。ハウジング２１内には前述したようにモータ２５が、その回転軸 が回転軸２２と平行になるように配置されている。モータ２５の回転軸と回転軸 ２２とはベルト２６により連結されている。したがって、モータ２５が駆動する と、回転軸２２が回転し、テーブル１２が回転する（図２の矢印）。そのときの 回転速度は０〜４００ｒｐｍである。

【００２５】 本装置を用いて研磨を行うためには、モータ１９および２０を駆動する。これ により、研磨テープは張りを維持しつつテーブル上を走行する（図２を参照）。 同時に、モータ２５を駆動する。これによりテーブル１２が回転する。このとき 被研磨材をテーブル上の研磨テープに押し付けると（図２の点Ａ）、研磨テープ がテーブル上を走行し、かつテーブルが回転しているので点Ａは一点鎖線に示す 螺旋の軌跡を描き、点Ｂに至る。このように、研磨テープが走行し、テーブルが 回転すると、被研磨材は常に新しい研磨テープ上に位置する。

【００２６】 被研磨材の研磨の軌跡は、研磨テープの走行速度とテーブルの回転速度により 調節できる。したがって、研磨テープの研磨粒子の大きさ、被研磨材の大きさ、 堅さ等にしたがって、研磨テープを無駄なく、かつ研磨効率よくするために、研 磨テープの走行速度とテーブルの回転速度を調節する。

【００２７】

【考案の効果】

本考案のテープ回転研磨装置は、被研磨材を常に新しい研磨テープと接触させ ることができるため、研磨効率がよい。また、被研磨材と研磨テープとの接触が 研磨テープの幅全体で行われるため、研磨テープ全体を利用することができ、研 磨テープの無駄がない。

【００２８】 さらに、本考案のテープ回転研磨装置は、テーブルが回転するため被研磨材と 研磨テープとの接触面に回転運動が作用し、そのため研磨テープの走行による研 磨以上に研磨が行われる。また、研磨テープがロールより常に供給されるため、 テープの交換の手間が著しく減少する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のテープ回転研磨装置の一部断面となっ
た側面図を示す。

【図２】本考案のテープ回転研磨装置の平面図を示す。

【図３】従来の回転式研磨装置を示す。

【図４】本考案のテープ回転研磨装置のテーブルの一部
拡大側面図を示す。

【符号の説明】

Ｔ 研磨テープ １１ テープ回転研磨装置 １２ テーブル １２′ パッド １３、１４ 側板 １３ａ、１３ｂ 突出部 １４ａ，１４ｂ 突出部 １５、１５′ 補助ロール １６、１６′ 補助ロール １７、１８ ロール １９ テンションモータ １９′ ベルト ２０ モータ ２０′、２０″ ベルト ２１ ハウジング ２２ 回転軸 ２３、２４ 軸受 ２５ モータ ２６ ベルト

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】研磨テープが走行し、かつ回転するテープ
   回転研磨装置であって、 ａ） 一端に研磨テープが巻かれたロールが回転自在に
   取り付けられるテーブルであって、該テーブルの表面上
   を通った研磨テープを他端で巻き取るためのロールが前
   記他端に回転自在に取り付けられるテーブルと、 ｂ） 該テーブルの裏面中央に、前記テーブルの面に対
   して垂直に取り付けられる回転軸と、 ｃ） 該回転軸を回転自在に支持する支持手段と、 を含み、 前記テーブルの裏面に取り付けられたモータにより研磨
   テープを巻き取るためのロールを回転させて、前記研磨
   テープを前記テーブル上で走行させ、 モータにより前記回転軸を回転させ、前記テーブルを前
   記研磨テープとともに回転させることを特徴とするテー
   プ回転研磨装置。
2. 【請求項２】請求項１に記載のテープ回転研磨装置であ
   って、 前記研磨テープが巻かれたロールをテンションモータに
   連結させ、前記研磨テープに張りを与えることを特徴と
   するテープ回転研磨装置。
3. 【請求項３】請求項１に記載のテープ回転研磨装置であ
   って、 前記研磨テープが巻かれたロールの回転を制動手段によ
   り制動させ、前記研磨テープに張りを与えることを特徴
   とするテープ回転研磨装置。
4. 【請求項４】請求項１に記載のテープ回転研磨装置であ
   って、 前記テーブルの一端および他端にさらに、対になった補
   助ロールを設け、前記一端に取り付けられたロールから
   の研磨テープを前記一端に設けられた補助ロールの間を
   通し、前記他端に設けられた補助ロールの間を通して前
   記他端に取り付けられたロールに巻き取ることを特徴と
   するテープ回転研磨装置。