JPH05141937A - 移動物体の形状測定装置及び方法 - Google Patents
移動物体の形状測定装置及び方法Info
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- JPH05141937A JPH05141937A JP3332600A JP33260091A JPH05141937A JP H05141937 A JPH05141937 A JP H05141937A JP 3332600 A JP3332600 A JP 3332600A JP 33260091 A JP33260091 A JP 33260091A JP H05141937 A JPH05141937 A JP H05141937A
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- Japan
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/50—Fuel cells
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 軽量気泡コンクリートのような比較的大きな
寸法の被検体の寸法形状を連続的に、迅速に、正確に測
定する 【構成】 被検体を搬送する装置を設け、装置の下流に
比較的広範囲の視野を持つ２つのイメージセンサを幅方
向に配置し、またイメージセンサより上流側に後端位置
検出センサ群を搬送方向にそって並べ、先端位置検出セ
ンサをイメージセンサと後端位置検出センサの最下流の
センサとの間に配置する。先端位置検出センサが被検体
の先端を検出し、また後端位置検出センサが被検体の後
端を検出するときに得られるこれらのセンサからの信号
から寸法形状（ゆがみ等も含む）を算出する。
寸法の被検体の寸法形状を連続的に、迅速に、正確に測
定する 【構成】 被検体を搬送する装置を設け、装置の下流に
比較的広範囲の視野を持つ２つのイメージセンサを幅方
向に配置し、またイメージセンサより上流側に後端位置
検出センサ群を搬送方向にそって並べ、先端位置検出セ
ンサをイメージセンサと後端位置検出センサの最下流の
センサとの間に配置する。先端位置検出センサが被検体
の先端を検出し、また後端位置検出センサが被検体の後
端を検出するときに得られるこれらのセンサからの信号
から寸法形状（ゆがみ等も含む）を算出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、移動中の物体の平面形
状の測定装置及び方法に関し、特に、移動中の軽量気泡
コンクリートパネル等の長さと長手方向のゆがみを測定
する形状測定装置及び方法に関する。
状の測定装置及び方法に関し、特に、移動中の軽量気泡
コンクリートパネル等の長さと長手方向のゆがみを測定
する形状測定装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】建築用壁材である軽量気泡コンクリート
（以下ＡＬＣという）パネルは、半可塑性のＡＬＣブロ
ックを所定の大きさに切断し、オートクレーブを用いて
養生し、次いで、加工機で整形して製造している。この
製造工程では、半可塑性のＡＬＣを切断する際発生した
ゆがみはそのまま整形工程まで維持されることになる。
このため、加工機で整形する前にゆがみの大きなＡＬＣ
はこの加工工程前に排除することが必要となる。従来
は、このゆがみは、作業員が測定台にＡＬＣを１つずつ
載置し、直接ノギスや巻き尺を当てて測定してゆがみを
検出していた。
（以下ＡＬＣという）パネルは、半可塑性のＡＬＣブロ
ックを所定の大きさに切断し、オートクレーブを用いて
養生し、次いで、加工機で整形して製造している。この
製造工程では、半可塑性のＡＬＣを切断する際発生した
ゆがみはそのまま整形工程まで維持されることになる。
このため、加工機で整形する前にゆがみの大きなＡＬＣ
はこの加工工程前に排除することが必要となる。従来
は、このゆがみは、作業員が測定台にＡＬＣを１つずつ
載置し、直接ノギスや巻き尺を当てて測定してゆがみを
検出していた。
【０００３】しかし、この作業員による測定方法では、
測定器の当て方等、個人差による影響が大きく、また測
定に時間がかかるという欠点があった。この欠点を解消
するものとして以下に説明するような測定方法が提案さ
れていた。即ち、ＡＬＣパネルの四隅に当たる箇所の上
方にイメージセンサを設け、これらのイメージセンサに
よりＡＬＣパネルの四隅の画像信号を撮り込み、これら
の信号を画像処理して得たイメージセンサとＡＬＣパネ
ルの間の距離と、イメージセンサ間の距離とから演算し
てＡＬＣパネルの形状、即ち、ゆがみを検出する方法が
あった。
測定器の当て方等、個人差による影響が大きく、また測
定に時間がかかるという欠点があった。この欠点を解消
するものとして以下に説明するような測定方法が提案さ
れていた。即ち、ＡＬＣパネルの四隅に当たる箇所の上
方にイメージセンサを設け、これらのイメージセンサに
よりＡＬＣパネルの四隅の画像信号を撮り込み、これら
の信号を画像処理して得たイメージセンサとＡＬＣパネ
ルの間の距離と、イメージセンサ間の距離とから演算し
てＡＬＣパネルの形状、即ち、ゆがみを検出する方法が
あった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の方法で
は、やはり作業員により、ＡＬＣパネルを測定位置に１
つずつ搬送しなければならず、連続的な測定は行うこと
ができなかった。またＡＬＣパネルは、その形状、即
ち、長さや幅が広範囲に変化するので、ＡＬＣパネルの
長さや幅の寸法が変わると、その都度イメージセンサの
位置を調節しなければならず、この調整に時間がかか
り、さらに、位置を変更した場合には、イメージセンサ
間の距離をやはり測定し直さなければならず、距離の測
定が複雑であるので、良好な測定精度が得られないとい
う問題もあった。
は、やはり作業員により、ＡＬＣパネルを測定位置に１
つずつ搬送しなければならず、連続的な測定は行うこと
ができなかった。またＡＬＣパネルは、その形状、即
ち、長さや幅が広範囲に変化するので、ＡＬＣパネルの
長さや幅の寸法が変わると、その都度イメージセンサの
位置を調節しなければならず、この調整に時間がかか
り、さらに、位置を変更した場合には、イメージセンサ
間の距離をやはり測定し直さなければならず、距離の測
定が複雑であるので、良好な測定精度が得られないとい
う問題もあった。
【０００５】したがって、本発明の目的は、高い測定精
度を持ち、連続的にＡＬＣパネルの形状を測定する装置
及び該装置を用いる方法を提供するものである。
度を持ち、連続的にＡＬＣパネルの形状を測定する装置
及び該装置を用いる方法を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めに、本発明は、被検体を搬送する搬送装置と、該搬送
装置の下流で、搬送方向と直交する線と前記被検体の両
縁部が移動する位置より内側にありかつ搬送方向に平行
な２線との交点である２つの基準点の直上にそれぞれ配
置された比較的広範囲の視野を持つイメージセンサと、
前記搬送方向と平行な２線上に、イメージセンサの視野
の一辺より狭い間隔で設けられた複数個の非接触式の後
端位置検出センサと、イメージセンサと前記後端位置検
出センサのうちの最下流の後端位置検出センサの間に設
けられた非接触式の先端位置検出センサとから成ること
を特徴とする移動物体の形状測定装置を採用するもので
ある。
めに、本発明は、被検体を搬送する搬送装置と、該搬送
装置の下流で、搬送方向と直交する線と前記被検体の両
縁部が移動する位置より内側にありかつ搬送方向に平行
な２線との交点である２つの基準点の直上にそれぞれ配
置された比較的広範囲の視野を持つイメージセンサと、
前記搬送方向と平行な２線上に、イメージセンサの視野
の一辺より狭い間隔で設けられた複数個の非接触式の後
端位置検出センサと、イメージセンサと前記後端位置検
出センサのうちの最下流の後端位置検出センサの間に設
けられた非接触式の先端位置検出センサとから成ること
を特徴とする移動物体の形状測定装置を採用するもので
ある。
【０００７】また、この形状測定方法を用いる形状測定
方法として、本発明は、先端位置検出センサが被検体の
先端を検出したとき、前記イメージセンサと各後端位置
検出センサの出力を有効にし、被検体の最後部を検出す
る後端位置検出センサからの信号とイメージセンサから
の信号を演算処理することにより被検体の長さとゆがみ
を測定することを特徴とする移動物体の形状測定方法を
採用するものである。
方法として、本発明は、先端位置検出センサが被検体の
先端を検出したとき、前記イメージセンサと各後端位置
検出センサの出力を有効にし、被検体の最後部を検出す
る後端位置検出センサからの信号とイメージセンサから
の信号を演算処理することにより被検体の長さとゆがみ
を測定することを特徴とする移動物体の形状測定方法を
採用するものである。
【０００８】
【作用】本発明の装置では、先端位置検出センサが移動
している被検体の先端部がイメージセンサの視野に入っ
たことを検出した後、移動方向に２列に配置されたいず
れか一方の後端位置検出センサが物体の後端部が通過し
たことを検出すると、イメージセンサの出力が有効と
し、イメージセンサに接続された画像処理装置に取り込
まれる。そして、画像処理装置により基準点から被検体
の先端部の隅部までの長手方向と幅方向の寸法が求めら
れる。被検体の先端面及び後端面が移動方向になす角度
が直角でない場合には、この直後に、他方の後端位置検
出センサが物体の最後端部の通過したことを検出して、
イメージセンサの出力が画像処理装置に取り込まれ、同
様にして基準点から被検体の先端部隅部の長手方向と幅
方向の寸法が求められる。このようにして、被検体の形
状、即ち、ゆがみ等が求められる。
している被検体の先端部がイメージセンサの視野に入っ
たことを検出した後、移動方向に２列に配置されたいず
れか一方の後端位置検出センサが物体の後端部が通過し
たことを検出すると、イメージセンサの出力が有効と
し、イメージセンサに接続された画像処理装置に取り込
まれる。そして、画像処理装置により基準点から被検体
の先端部の隅部までの長手方向と幅方向の寸法が求めら
れる。被検体の先端面及び後端面が移動方向になす角度
が直角でない場合には、この直後に、他方の後端位置検
出センサが物体の最後端部の通過したことを検出して、
イメージセンサの出力が画像処理装置に取り込まれ、同
様にして基準点から被検体の先端部隅部の長手方向と幅
方向の寸法が求められる。このようにして、被検体の形
状、即ち、ゆがみ等が求められる。
【０００９】
【実施例】次に、本発明の好ましい実施例を図面を参照
して説明する。なお、被検体としては、ＡＬＣパネルを
用いた場合について説明する。図１及び図２は、それぞ
れ、本発明の形状測定装置の平面図と正面図を示す。
して説明する。なお、被検体としては、ＡＬＣパネルを
用いた場合について説明する。図１及び図２は、それぞ
れ、本発明の形状測定装置の平面図と正面図を示す。
【００１０】図において、水平なローラコンベヤ４がＡ
ＬＣパネル３を左方へ向けて移動させるように配置され
ている。また、ローラコンベヤの先端の上方、即ち下流
の上方には幅方向、即ちローラコンベヤの移送方向とは
直角方向に、各１つのイメージセンサ１、２がＡＬＣパ
ネルの幅よりわずかに狭い間隔（Ｗ−ＷＡ−ＷＢ）で配
置されている。各イメージセンサ１、２の視野５、６は
測定に必要な精度に応じて決められている。イメージセ
ンサのやや後方にはＡＬＣパネルの先端部を検出する先
端位置検出センサ７ａ、７ｂが水平に設けられている。
イメージセンサの視野５、６の中心点を基準点Ａ、Ｂと
して、これらの基準点Ａ、Ｂを通ってから距離Ｌ０を隔
ててＡＬＣパネルの進行方向と平行で幅方向の両側に視
野５、６の一辺ＬＣより短い間隔でＬ１で後端位置検出
センサ群９、１１が設定されている。これらの後端位置
検出センサ群９、１１は、光反射型でも、光透過型でも
よいが、本実施例では、光透過型センサを用いた。即
ち、後端位置検出センサ群９は、発光素子８ａ、８
ｂ、．．．．８ｈと受光素子９ａ、９ｂ、．．．．９ｈ
から成り、後端位置検出センサ群１１は、発光素子１０
ａ、１０ｂ、．．．１０ｈと受光素子１１ａ、１１
ｂ、．．．１１ｈから成るものである。以上の受光素子
群９、１１、さらに受光素子７ｂ及びイメージセンサ
１、２は演算・制御装置１２に接続されている。
ＬＣパネル３を左方へ向けて移動させるように配置され
ている。また、ローラコンベヤの先端の上方、即ち下流
の上方には幅方向、即ちローラコンベヤの移送方向とは
直角方向に、各１つのイメージセンサ１、２がＡＬＣパ
ネルの幅よりわずかに狭い間隔（Ｗ−ＷＡ−ＷＢ）で配
置されている。各イメージセンサ１、２の視野５、６は
測定に必要な精度に応じて決められている。イメージセ
ンサのやや後方にはＡＬＣパネルの先端部を検出する先
端位置検出センサ７ａ、７ｂが水平に設けられている。
イメージセンサの視野５、６の中心点を基準点Ａ、Ｂと
して、これらの基準点Ａ、Ｂを通ってから距離Ｌ０を隔
ててＡＬＣパネルの進行方向と平行で幅方向の両側に視
野５、６の一辺ＬＣより短い間隔でＬ１で後端位置検出
センサ群９、１１が設定されている。これらの後端位置
検出センサ群９、１１は、光反射型でも、光透過型でも
よいが、本実施例では、光透過型センサを用いた。即
ち、後端位置検出センサ群９は、発光素子８ａ、８
ｂ、．．．．８ｈと受光素子９ａ、９ｂ、．．．．９ｈ
から成り、後端位置検出センサ群１１は、発光素子１０
ａ、１０ｂ、．．．１０ｈと受光素子１１ａ、１１
ｂ、．．．１１ｈから成るものである。以上の受光素子
群９、１１、さらに受光素子７ｂ及びイメージセンサ
１、２は演算・制御装置１２に接続されている。
【００１１】次に、前述の測定装置を用いる測定方法の
手順を説明する。ＡＬＣパネル３がローラコンベヤ４に
載せられてその上を移動させられる。ＡＬＣパネル３の
先端が先端位置検出センサ７ａ、７ｂの光路を遮ると、
ＡＬＣパネル３の先端がイメージセンサ５、６の視野に
入ったことが確認される。この確認により、各後端位置
検出センサとイメージセンサの出力が有効とされる。そ
の直後に最初にオンとなった後端位置検出センサ群１１
ａ〜１１ｈのどれか１つのセンサ、例えばセンサ１１ｆ
がＡＬＣパネル３の進行方向左側の後端部の通過を検出
し、同時にイメージセンサ１、２より撮り込まれた画像
が演算装置１２に送られ、画像処理されて基準点Ａ、Ｂ
からのＡＬＣパネル３の先端部までの距離ＬＡ１、ＬＢ
１が求められる。
手順を説明する。ＡＬＣパネル３がローラコンベヤ４に
載せられてその上を移動させられる。ＡＬＣパネル３の
先端が先端位置検出センサ７ａ、７ｂの光路を遮ると、
ＡＬＣパネル３の先端がイメージセンサ５、６の視野に
入ったことが確認される。この確認により、各後端位置
検出センサとイメージセンサの出力が有効とされる。そ
の直後に最初にオンとなった後端位置検出センサ群１１
ａ〜１１ｈのどれか１つのセンサ、例えばセンサ１１ｆ
がＡＬＣパネル３の進行方向左側の後端部の通過を検出
し、同時にイメージセンサ１、２より撮り込まれた画像
が演算装置１２に送られ、画像処理されて基準点Ａ、Ｂ
からのＡＬＣパネル３の先端部までの距離ＬＡ１、ＬＢ
１が求められる。
【００１２】次に、ＡＬＣパネル３がさらに移動して例
えば符号３’で示す位置にくると、後端位置検出センサ
群９ａ〜９ｈのどれか１つのセンサ、この場合、センサ
９ｆがＡＬＣパネル３のの進行方向右側の後端部の通過
を検出し、同時に再びイメージセンサ１、２より撮り込
まれた画像が演算装置１２に送られ、画像処理され、基
準点Ａ、ＢからＡＬＣパネル３の先端部までの距離ＬＡ
２、ＬＢ２が求められる。
えば符号３’で示す位置にくると、後端位置検出センサ
群９ａ〜９ｈのどれか１つのセンサ、この場合、センサ
９ｆがＡＬＣパネル３のの進行方向右側の後端部の通過
を検出し、同時に再びイメージセンサ１、２より撮り込
まれた画像が演算装置１２に送られ、画像処理され、基
準点Ａ、ＢからＡＬＣパネル３の先端部までの距離ＬＡ
２、ＬＢ２が求められる。
【００１３】このようにして求められた値ＬＡ１、ＬＢ
１、ＬＡ２、ＬＢ２と、ＡＬＣパネル３が視野５、６内
にあるときにＡＬＣパネル３の後端部の通過を確認した
位置センサまでの距離Ｌ０＋（ｎ−１）Ｌ１とによって
進行方向右側の長さＬＡ、進行方向左側の長さＬＢ、先
端部のゆがみ量ＬＦ、後端部のゆがみ量ＬＲが演算装置
１２によって求められる。なお、これらの値は以下の式
で表される。
１、ＬＡ２、ＬＢ２と、ＡＬＣパネル３が視野５、６内
にあるときにＡＬＣパネル３の後端部の通過を確認した
位置センサまでの距離Ｌ０＋（ｎ−１）Ｌ１とによって
進行方向右側の長さＬＡ、進行方向左側の長さＬＢ、先
端部のゆがみ量ＬＦ、後端部のゆがみ量ＬＲが演算装置
１２によって求められる。なお、これらの値は以下の式
で表される。
【００１４】進行方向右側の長さＬＡ＝（Ｌ０＋ＬＡ
２）＋（ｎ−１）Ｌ１ 進行方向左側の長さＬＢ＝（Ｌ０＋ＬＢ２）＋（ｎ−
１）Ｌ１ 先端部のゆがみ量ＬＦ ＝ＬＡ１−ＬＢ１ 後端部のゆがみ量ＬＲ ＝ＬＡ１＋ＬＡ２またはＬＢ１
＋ＬＢ２
２）＋（ｎ−１）Ｌ１ 進行方向左側の長さＬＢ＝（Ｌ０＋ＬＢ２）＋（ｎ−
１）Ｌ１ 先端部のゆがみ量ＬＦ ＝ＬＡ１−ＬＢ１ 後端部のゆがみ量ＬＲ ＝ＬＡ１＋ＬＡ２またはＬＢ１
＋ＬＢ２
【００１５】ここで、ｎは、ＡＬＣパネル３の後端部の
通過を検出したセンサが後端部位置検出センサ郡９ａ〜
９ｈ、１１ａ〜１１ｈのうちの基準点Ａ及びＢからｎ番
目にセンサであることを意味するものである。このよう
にして、移動する物体の長手方向の寸法の詳細について
測定することができる。前述の例では、後端位置検出セ
ンサ１１ｆが先にオンした場合を説明したが、後端位置
検出センサ９ｆが先にオンしても、また同時にオンして
も問題はなく、上記と同様に測定できる。
通過を検出したセンサが後端部位置検出センサ郡９ａ〜
９ｈ、１１ａ〜１１ｈのうちの基準点Ａ及びＢからｎ番
目にセンサであることを意味するものである。このよう
にして、移動する物体の長手方向の寸法の詳細について
測定することができる。前述の例では、後端位置検出セ
ンサ１１ｆが先にオンした場合を説明したが、後端位置
検出センサ９ｆが先にオンしても、また同時にオンして
も問題はなく、上記と同様に測定できる。
【００１６】以上の実施例では、後端部位置検出センサ
群の配置は、距離Ｌ１の等間隔としたが、移動してくる
物体の長さがほぼ一定であれば、両側とも一組のセンサ
を配置すればよく、また、測定対象物の種類によっては
これに限られることなく間隔を変えて配置してもよい。
群の配置は、距離Ｌ１の等間隔としたが、移動してくる
物体の長さがほぼ一定であれば、両側とも一組のセンサ
を配置すればよく、また、測定対象物の種類によっては
これに限られることなく間隔を変えて配置してもよい。
【００１７】なお、被検体は、ＡＬＣパネルに限らず、
ローラコンベヤ上で移動できるような板状の物体であれ
ばよく、本発明の測定装置及び測定方法が適用できるも
のである。
ローラコンベヤ上で移動できるような板状の物体であれ
ばよく、本発明の測定装置及び測定方法が適用できるも
のである。
【００１８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によると、移
動中の測定対象物の後端部を検出して、その瞬間にその
先端の画像を撮り込み、画像処理をすることにより測定
対象物の長さと長手方向のゆがみを非接触で測定でき、
また測定センサを移動することなくその移動速度のバラ
ツキに影響されることなく高速で連続的に正確に測定で
きる移動物体の形状測定装置が得られる。
動中の測定対象物の後端部を検出して、その瞬間にその
先端の画像を撮り込み、画像処理をすることにより測定
対象物の長さと長手方向のゆがみを非接触で測定でき、
また測定センサを移動することなくその移動速度のバラ
ツキに影響されることなく高速で連続的に正確に測定で
きる移動物体の形状測定装置が得られる。
【００１９】また、後端位置検出センサ群を所望の間隔
で配置しておけば、測定対象物の長さが変わっても全く
同様に測定することができる。
で配置しておけば、測定対象物の長さが変わっても全く
同様に測定することができる。
【図１】図１は、本発明の形状測定装置の平面図であ
る。
る。
【図２】図２は、本発明の形状測定装置の正面図であ
る。
る。
１、２ イメージセンサ ３ 移動物体 ４ ローラコンベヤ ５、６ イメージセンサの視野 ７ 先端位置検出センサ ９、１１ 後端位置検出センサ群
Claims (3)
- 【請求項１】 被検体を搬送する搬送装置と、該搬送装
置の下流で、搬送方向と直交する線と前記被検体の両縁
部が移動する位置より内側にありかつ搬送方向に平行な
２線との交点である２つの基準点の直上にそれぞれ配置
された比較的広範囲の視野を持つイメージセンサと、前
記搬送方向と平行な２線上に、イメージセンサの視野の
一辺より狭い間隔で設けられた複数個の非接触式の後端
位置検出センサと、イメージセンサと前記後端位置検出
センサのうちの最下流の後端位置検出センサの間に設け
られた非接触式の先端位置検出センサとから成ることを
特徴とする移動物体の形状測定装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の形状測定装置において、
前記後端位置検出センサが前記搬送方向と平行な２線上
に等間隔で配置されかつ対抗する各対の後端位置検出セ
ンサが前記イメージセンサからぞれぞれ等しい距離に配
置されていることを特徴とする形状測定装置。 - 【請求項３】 請求項１または２のいずれか１つに記載
の形状測定装置を用いる形状測定方法において、先端位
置検出センサが被検体の先端を検出した後、前記平行な
２線上に配置された後端位置検出センサのいずれか一方
が被検体の後端部が通過したことを検出したとき、前記
イメージセンサと各後端位置検出センサの出力を有効に
し、被検体の最後部を検出する後端位置検出センサから
の信号とイメージセンサからの信号を演算処理すること
により被検体の長さとゆがみを測定することを特徴とす
る移動物体の形状測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3332600A JP3039716B2 (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 移動物体の形状測定装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3332600A JP3039716B2 (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 移動物体の形状測定装置及び方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05141937A true JPH05141937A (ja) | 1993-06-08 |
| JP3039716B2 JP3039716B2 (ja) | 2000-05-08 |
Family
ID=18256762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3332600A Expired - Lifetime JP3039716B2 (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 移動物体の形状測定装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3039716B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016194489A (ja) * | 2015-04-01 | 2016-11-17 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 平面形状測定装置 |
-
1991
- 1991-11-21 JP JP3332600A patent/JP3039716B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016194489A (ja) * | 2015-04-01 | 2016-11-17 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 平面形状測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3039716B2 (ja) | 2000-05-08 |
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