JPH05139845A - ホウ化チタン焼結体の製造方法 - Google Patents

ホウ化チタン焼結体の製造方法

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JPH05139845A
JPH05139845A JP3331440A JP33144091A JPH05139845A JP H05139845 A JPH05139845 A JP H05139845A JP 3331440 A JP3331440 A JP 3331440A JP 33144091 A JP33144091 A JP 33144091A JP H05139845 A JPH05139845 A JP H05139845A
Authority
JP
Japan
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titanium boride
container
sintered
sintered body
sintered compact
Prior art date
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Pending
Application number
JP3331440A
Other languages
English (en)
Inventor
Hidenobu Miyazawa
英伸 宮澤
Hiroshi Tamura
博 田村
Toshihiko Shindo
敏彦 進藤
Shu Kashida
周 樫田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【構成】 容器にホウ化チタン未焼結体を収納し、これ
を焼結してホウ化チタン焼結体を製造する方法におい
て、前記容器内においてホウ化チタン未焼結体の一部又
は全部を六方晶系窒化ホウ素と接触させた状態で焼結す
る。 【効果】 本発明によれば、ホウ化チタン未焼結体を容
器内で焼結した場合、ホウ化チタン焼結体と容器とが付
着したり変形することなく良質なホウ化チタン焼結体を
得ることができ、その結果、ホウ化チタン焼結体の歩留
まりが向上し、コストダウンが図れるという利点があ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ホウ化チタン焼結体の
製造方法に関し、更に詳述すると焼結時に容器に付着す
ることなく良質なホウ化チタン焼結体を得ることができ
るホウ化チタン焼結体の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】ホウ化
チタン焼結体は機械的物性に優れ、かつ化学的及び熱的
に安定した材料であり、このような特性を生かした各種
構造部材への用途が期待されている。また、ホウ化チタ
ンは絶縁抵抗が低いため、抵抗加熱が可能であり、アル
ミニウム等の金属の真空蒸着用ボートの材料として実用
化されている。
【0003】従来、ホウ化チタン焼結体を製造する方法
としては、ホウ化チタンが難焼結性物質であるため、ホ
ウ化チタン焼結体はホットプレスやHIP(熱間加圧
法)などの限られた方法でのみ製造されていた。そのた
め、ホウ化チタン焼結体は工業材料としては高価な材料
であり、また、一定の大きさ以上の焼結体を製造するこ
とも困難であったが、近年、焼結助剤やバインダーの改
良に伴い、常圧焼結法を採用してホウ化チタン焼結体を
比較的安価に製造することが可能となった。
【0004】しかし、ホウ化チタン焼結体を常圧焼結法
で製造する場合、黒鉛容器にホウ化チタンを収納し、焼
結していたが、ホウ化チタン焼結体と黒鉛材料とが付着
するという問題があり、また付着には至らなくてもホウ
化チタン焼結体が変形するという問題があるため、この
点の解決が望まれていた。
【0005】本発明は上記事情に鑑みなされたもので、
ホウ化チタン焼結体を常圧焼結法で製造する場合、ホウ
化チタン焼結体と容器とが付着することなく良質なホウ
化チタン焼結体を得ることができる製造方法を提供する
ことを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明者は上記
目的を達成するため鋭意検討を行った結果、ホウ化チタ
ン焼結体を常圧焼結法で製造する際に、ホウ化チタン未
焼結体を収納する容器内においてホウ化チタン未焼結体
の一部又は全部を六方晶系窒化ホウ素(以下、h−BN
という)と接触させた状態で焼結した場合、ホウ化チタ
ン焼結体と容器とが付着することなく良質なホウ化チタ
ン焼結体を得ることができることを知見し、本発明をな
すに至った。
【0007】以下、本発明を更に詳しく説明すると、本
発明は、容器にホウ化チタン未焼結体を収納し、これを
焼結してホウ化チタン焼結体を製造する方法において、
前記容器内においてホウ化チタン焼結体の一部又は全部
をh−BNと接触させた状態で焼結するものである。
【0008】ここで、ホウ化チタン未焼結体は例えばホ
ウ化チタンに4〜8%(重量%、以下同じ)のケイ化ジ
ルコニウム等を添加した混合粉末を公知の方法で成形す
ることにより得ることができる。
【0009】本発明においては、このホウ化チタンの未
焼結体を焼結する場合は、h−BNと接触させた状態で
行うもので、かかる方法としては図面に示した如き方法
を採用することができる。
【0010】即ち、図1は、ホウ化チタン未焼結体を収
容する容器1全体をh−BNにより形成し、この容器1
内にホウ化チタン未焼結体2を入れて焼結する例を示す
ものであり、図2は、容器1を黒鉛等の他材料で形成す
ると共に、未焼結体2が当接する容器1内底面にh−B
Nの敷板3を載置し、該h−BN製敷板3上に未焼結体
2を置いて焼結する例を示すものである。また、図3
は、黒鉛等の材料で形成した容器1内にh−BN粉末4
を充填し、この中に未焼結体2を埋設して焼結する例で
あり、この例は特に未焼結体の形状が特殊で、容器1内
底面や敷板3上などに安定して載置し難い場合に有効で
ある。
【0011】このように、ホウ化チタン未焼結体をh−
BN成形体又は粉末と接触した状態で焼結した場合、黒
鉛と接触した場合に見られるような付着や変形がないも
のである。
【0012】なお、ホウ化チタンの焼結は公知の常圧焼
結法によって行うことができ、1800〜2000℃で
0.5〜5時間、アルゴン等の不活性ガス雰囲気中で焼
結することによりホウ化チタン焼結体を得ることができ
る。
【0013】
【実施例】以下、実施例と比較例を示し、本発明を具体
的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるも
のではない。
【0014】[実施例]ホウ化チタンにケイ化ジルコニ
ウムを5%添加した混合粉末を30MPaの圧力でプレ
ス成形し、更に200MPaの圧力でCIP(冷間加
圧)して、100mm×100mm×10mmの板状に
ホウ化チタン未焼結体を成形した。このホウ化チタン未
焼結体を図1に示したh−BN製容器1内に収納し、1
900℃で1時間アルゴン雰囲気中で焼結し、室温まで
冷却した後、炉外へ取り出した。容器から取り出したホ
ウ化チタン焼結体は容器との付着や変形もなく良質なも
のであった。
【0015】[比較例]実施例と同様に製造したホウ化
チタン未焼結体を黒鉛で形成した図1と同様の容器内に
収納し、同様な条件で焼結したところ、ホウ化チタン焼
結体と黒鉛容器との付着がみられ、焼結体断面が台形の
板状に変形した。
【0016】
【発明の効果】本発明によれば、ホウ化チタン未焼結体
を容器内で焼結した場合、ホウ化チタン焼結体と容器と
が付着したり変形することなく良質なホウ化チタン焼結
体を得ることができ、その結果、ホウ化チタン焼結体の
歩留まりが向上し、コストダウンが図れるという利点が
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図2】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図3】本発明の別の実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 容器 2 ホウ化チタン未焼結体 3 六方晶窒化ホウ素敷板 4 六方晶窒化ホウ素粉末
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 樫田 周 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 容器にホウ化チタン未焼結体を収納し、
    これを焼結してホウ化チタン焼結体を製造する方法にお
    いて、前記容器内においてホウ化チタン未焼結体の一部
    又は全部を六方晶系窒化ホウ素と接触させた状態で焼結
    することを特徴とするホウ化チタン焼結体の製造方法。
JP3331440A 1991-11-20 1991-11-20 ホウ化チタン焼結体の製造方法 Pending JPH05139845A (ja)

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