JPH05128620A - 磁気ヘツド位置制御装置 - Google Patents

磁気ヘツド位置制御装置

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JPH05128620A
JPH05128620A JP28755591A JP28755591A JPH05128620A JP H05128620 A JPH05128620 A JP H05128620A JP 28755591 A JP28755591 A JP 28755591A JP 28755591 A JP28755591 A JP 28755591A JP H05128620 A JPH05128620 A JP H05128620A
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JP
Japan
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magnetic head
distance
disk
distance detection
magneto
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Application number
JP28755591A
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English (en)
Inventor
Hisamitsu Tanaka
久光 田中
Junji Nakajima
順次 中島
Yoshio Suzuki
芳夫 鈴木
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は磁界変調記録方式の光磁気記録再生装
置に用いて好適な、磁気ヘッド位置制御装置を提供する
ことにある。 【構成】静電容量型距離検出電極2は支持部6により磁
気ヘッド5と一体に取り付けられている。この静電容量
型距離検出電極2間の静電容量C1が、ディスク1と磁
気ヘッド5との距離に応じて変化することを利用して、
ディスク1と磁気ヘッド5との距離検出を行う。この距
離検出信号V1を用いてディスク1と磁気ヘッド5の距
離が一定となるように磁気ヘッド5の位置を制御する。 【効果】磁気ヘッドとディスクとの間隔を略一定とする
ことができるため、磁気ヘッドがディスクに接触する恐
れがなく、ディスクへの印加磁界強度も略一定に保つこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば光磁気ディスク
を用いた光磁気記録再生装置に係り、特に磁界変調方式
で記録を行うのに最適な磁気ヘッド位置制御装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】光磁気記録再生装置において、磁界変調
方式の場合、ディスクへの情報の記録は再生時のパワー
よりも強い一定パワーのレーザ光を連続的に照射し、記
録すべき情報に対応した外部磁界を磁気ヘッドによりデ
ィスクに与えて、入力情報に対応した磁界の方向に記録
膜を磁化させることによってなされる。この時、ディス
クの面振れにより磁気ヘッドとディスクが接触しないよ
うにする必要があるが、磁気ヘッドをディスクの面振れ
量以上の距離だけディスクから離して固定する場合(例
えば、コンパクトディスクではこの距離は1mm以上とな
る。)、ディスクと磁気ヘッドの間隔をあまり広くする
と、ディスク記録膜における印加磁界強度が減少してし
まうため磁気ヘッドから強い磁界を発生しなければなら
ず、このため、磁気ヘッドのコイルの巻数を増やす或い
は磁気ヘッドに大電流を流す等の方法が必要となる。し
かし、コイルの巻数を増やす方法はインダクタンスの増
加を招き、高周波記録には不向きとなる。また、大電流
を磁気ヘッドに与えると記録時に磁気ヘッドの温度が上
昇するという問題がある。更に、ディスクと磁気ヘッド
の間隔がディスクの面振れに応じて変化するとディスク
に印加される磁界強度も変化し、結果としてディスクの
記録特性も悪化してしまうという問題もある。従って、
ディスクと磁気ヘッドの距離を検出して、ディスクと磁
気ヘッドの間隔を一定に保つように磁気ヘッドの位置を
制御し、磁気ヘッドとディスクの間隔をできるだけ狭く
するのが望ましい。
【0003】このようなものとしては、例えば次のよう
な方法が提案されている。
【0004】図19に示すように、2つの反射型光セン
サ12a,12bを用いてディスク1と磁気ヘッド5の
距離hを検出する。各反射型光センサ12a,12bは
それぞれ一組の発光素子と受光素子で構成され、磁気ヘ
ッド5の両側にディスク1との距離が異なるように支持
部6に固定されている。各反射型光センサ12a,12
bの出力は、ディスク1と磁気ヘッド5の距離hに対し
てそれぞれ図20のV2,V3に示すような特性となり、
この各反射型光センサの出力V2,V3の差信号を差動増
幅器13で求めることにより、距離h0で0となる差信
号V4が得られる。更に差信号V4は磁気ヘッド駆動回路
4を介して磁気ヘッド駆動装置7に供給される。磁気ヘ
ッド駆動装置は、例えばボイスコイルと磁石で構成さ
れ、ディスク面と垂直方向に支持部6を移動させるアク
チュエータである。以上により、ディスク1と磁気ヘッ
ド5の間隔が常に距離h0で一定となるように磁気ヘッ
ド5の位置を制御する。
【0005】なお、この種の装置に関する特許としては
特開平2−265055或いは特開平2−289982
等が挙げられる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
ディスクと磁気ヘッドとの間隔を一定に保つように制御
すれば間隔を狭くすることができるため、高周波記録が
可能でかつ低電流で一定の印加磁界強度を確保すること
ができる。しかし、磁気ヘッド側のディスク面には、デ
ィスク番号、メーカ名等のラベルが印刷されている場合
が多く、反射型光センサを用いてディスクと磁気ヘッド
の距離を検出したのでは、印字されている文字,絵柄部
分で反射率が変化し、反射型光センサの出力がディスク
と磁気ヘッドの距離に関係なく変化してしまう。このた
め、この距離検出信号をそのまま用いて制御したので
は、文字,絵柄部分通過時にディスクと磁気ヘッドとの
距離に関係なく磁気ヘッドの位置制御が行われ、その結
果磁気ヘッドがディスクに接触しディスクを傷つけてし
まう危険性が生じる。
【0007】本発明の目的は、上記した従来の問題点を
解消し、磁界変調記録方式の光磁気記録再生装置に用い
て好適な磁気ヘッド位置制御装置を提供することにあ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記した目的は、ディス
クと磁気ヘッドの距離を静電容量型距離検出電極を用い
て検出し、この検出信号に基づいてディスクに対する磁
気ヘッドの位置を制御し、ディスクと磁気ヘッドとの間
隔を略一定に保つようにする磁気ヘッド位置制御装置に
より達成される。
【0009】
【作用】本発明の磁気ヘッド位置制御装置は、ディスク
を挟んで相対向する位置に光ヘッドと磁気ヘッドとを設
けてなる光磁気記録再生装置において、磁気ヘッド側或
いは光ヘッド側に静電容量型距離検出電極を配置し、こ
の静電容量型距離検出電極間の静電容量が、ディスクと
磁気ヘッドとの距離に対応して変化することを利用して
ディスクと磁気ヘッドとの距離検出を行う。
【0010】一般に、空中(誘電率:ε1)にある2つ
の電極を誘電体(誘電率:ε2)に近づけると電極間の
静電容量が増加するという特性がある(但し、誘電率:
ε1<ε2)。通常、ディスク基板はコンパクトディスク
等と同様なポリカーボネイト基板やガラス基板のような
誘電体である場合が多く、この特性を利用してディスク
との距離に対する静電容量型距離検出電極間の静電容量
の変化を、平衡ブリッジ回路を用いて電極間のインピー
ダンスの変化によって生ずる不平衡電圧を求めることに
より検出し、この不平衡電圧を距離検出信号として用い
てディスクと磁気ヘッドとの距離検出を行う。
【0011】このように、静電容量型距離検出電極を距
離検出センサとして用いてこの距離検出信号により磁気
ヘッド駆動装置を駆動し、ディスクの面振れに応じて磁
気ヘッドの位置制御を行えば、ラベルの影響を受けずに
ディスクと磁気ヘッドとの間隔を略一定に保つことが可
能となり、ディスク記録膜に印加される磁界強度も略一
定に保つことが可能となる。
【0012】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。
【0013】図1は第1の実施例を示すブロック図であ
る。図1において図19の従来例と同一機能部分には同
一の番号を附し、その説明は特に必要のない限り省略す
る。
【0014】図1において、静電容量型距離検出電極2
(以下、距離検出電極という)は、支持部6により磁気
ヘッド5と一体に取り付けられている。この距離検出電
極2間の静電容量C1は、ディスク1と磁気ヘッド5と
の距離hに応じて変化するので、この静電容量C1の変
化を平衡ブリッジ回路等で構成された距離検出回路3で
電圧に変換することにより、ディスク1と磁気ヘッド5
との距離hに応じて変化する距離検出信号V1を得る。
距離検出信号V1は磁気ヘッド駆動回路4を介して磁気
ヘッド駆動装置7に供給され、距離検出信号V1が一定
となるように磁気ヘッド駆動装置7を駆動する。この結
果、ディスク1と磁気ヘッド5の間隔が略一定となるよ
うに、ディスク1の面振れに応じて磁気ヘッド5の位置
が制御される。
【0015】以下に、ディスク1と磁気ヘッド5の距離
検出方法の具体的な実施例を図2〜図15を用いて説明
する。
【0016】図2は図1のディスク1と磁気ヘッド5と
の距離に対する距離検出電極2間の静電容量の変化を示
す特性図、図3は距離検出信号の変化を示す特性図、図
4及び図5は距離検出回路3の具体的な構成例を示す図
である。
【0017】図2に示すように、距離検出電極2間の静
電容量C1は、ディスク1と磁気ヘッド5との距離hが
ある程度近い場合、或いは遠い場合にはほとんど変化が
なく(範囲A或いは範囲C)、ある特定の距離でのみ変
化する(範囲B)ような特性となる。図2の点a(距離
1)或いは点b(距離h2)は範囲AからB或いは範囲
BからCの変化点を示している。この静電容量C1の変
化は、図4及び図5に示すような平衡ブリッジ回路10
と差動増幅器9で構成された距離検出回路3により距離
検出電極2の静電容量C1と基準コンデンサ8の静電容
量C2のインピーダンスの変化によって生ずる不平衡電
圧を求めることによって検出され、この不平衡電圧が図
3に示すような距離h0で0となる距離検出信号V1とな
る。この距離検出信号V1は、磁気ヘッド5が距離h0
らディスク1に近づく方向へ移動した場合には正極性の
値となり、遠ざかる方向へ移動した場合には負極性の値
となる。従って、ディスク1と磁気ヘッド5の距離h0
が例えば0.1mmのとき、距離検出電極2の静電容量
1と基準コンデンサ8の静電容量C2が平衡ブリッジ回
路10の平衡条件を満足するように基準コンデンサ8を
設定すれば、ディスク1と磁気ヘッド5の距離が0.1
mmで0となる距離検出信号V1が得られる。ここで、
距離h0は静電容量C1がディスク1と磁気ヘッド5との
距離hに応じて変化する範囲B間でなければならないこ
とは言うまでもない。また、ブリッジ回路10の平衡条
件は、図4の構成においては数1で、図5の構成におい
ては数2で与えられる。
【0018】
【数1】
【0019】
【数2】 但し、数1,数2において、ω=2πf(f:信号源の
周波数)、Z3,Z4はインピーダンスである。
【0020】次に、第1の実施例の距離検出回路内に設
けた基準コンデンサ8を距離検出電極に変えた場合の距
離検出方法について説明する。図6は本発明の第2の実
施例を示すブロック図、図7及び図8は図6のディスク
1と磁気ヘッド5との距離に対する距離検出電極2間の
静電容量の変化を示す特性図である。図6において図1
の実施例と同一機能部分には同一の番号を附し、その説
明は特に必要のない限り省略する。
【0021】図6において、ディスク1と磁気ヘッド5
との距離hは、支持部6により磁気ヘッド5と一体に取
り付けられた距離検出電極2によって検出される。この
距離検出電極2は電極の表面積が同じで電極の間隔が異
なる、或いは電極の間隔が同じで表面積が異なる2組の
距離検出電極2a及び2bで構成されており、2組の距
離検出電極2a及び2bは同一平面上に配置されてい
る。例えば、距離検出電極2bの間隔を距離検出電極2
aの間隔よりも狭くした場合は、図7に示すように距離
検出電極2bの静電容量C2は距離検出電極2aの静電
容量C1に静電容量△Cだけ加えた特性となる。また、
距離検出電極2bの表面積を距離検出電極2aの表面積
よりも広くした場合は、図8に示すように距離検出電極
2bの静電容量C2は距離検出電極2aの静電容量C1
Κ(定数)倍した特性となる。図7及び図8において点
aと点cは範囲AからBの変化点、点bと点dは範囲B
からCの変化点を示している。図4に示す平衡ブリッジ
回路10において、2組の距離検出電極2a及び2bの
静電容量C1及びC2が距離h0で数1を満足するように
平衡ブリッジ回路10を構成すれば、第1の実施例と同
様に、図3に示すような距離h0で0となる距離検出信
号V1が得られる。ここで、距離h0は静電容量C1及び
2が距離hに応じて変化する範囲B間でなければなら
ないことは言うまでもない。また上述の実施例において
は、電極の間隔或いは電極の表面積が異なる2組の距離
検出電極を用いた場合について説明したが、本発明はこ
れに限らず、同じ間隔同じ表面積の2組の電極を用いて
も同様な距離検出信号が得られる。
【0022】なお第1の実施例に比べ第2の実施例では
2組の距離検出電極を用いているので距離検出感度をあ
げることができる。
【0023】次に、2組の距離検出電極をディスクから
の距離が異なるように段差を設けて配置した場合の距離
検出方法について説明する。図9は本発明の第3の実施
例を示すブロック図、図10は図9のディスク1と磁気
ヘッド5との距離に対する距離検出電極2間の静電容量
の変化を示す特性図である。図9において図6の実施例
と同一機能部分には同一の番号を附し、その説明は特に
必要のない限り省略する。
【0024】図9において、ディスク1と磁気ヘッド5
との距離hは、支持部6により磁気ヘッド5と一体に取
り付けられた距離検出電極2によって検出される。この
距離検出電極2は電極の間隔及び表面積が同じである2
組の距離検出電極2a及び2bで構成されており、2組
の距離検出電極2a及び2bはディスク1からの距離が
異なるように段差を設けて配置されている。例えば、距
離検出電極2bを距離検出電極2aよりも段差Xだけデ
ィスク1に近づけて配置した場合、図10に示すように
距離検出電極2bの静電容量C2は距離検出電極2aの
静電容量C1をディスク1と磁気ヘッド5の距離hが遠
くなる方向に距離Xだけシフトした特性となる。図10
の点a或いは点cは静電容量C1或いはC2が変化し始め
る変化点、点b或いは点dは静電容量C1或いはC2が変
化しなくなる変化点を示している。図4に示す平衡ブリ
ッジ回路10において、2組の距離検出電極2a及び2
bの静電容量C1及びC2が距離h0で数1を満足するよ
うに平衡ブリッジ回路10を構成すれば、第1の実施例
と同様に、図3に示すような距離h0で0となる距離検
出信号V1が得られる。ここで、距離h0は図10に示す
ような静電容量C2の点cと静電容量C1の点bの間(範
囲D)に設定するのがよい。
【0025】次に、2組の距離検出電極を1組は磁気ヘ
ッド側、もう1組は光ヘッド側に配置した場合の距離検
出方法について説明する。図11は本発明の第4の実施
例を示すブロック図、図12は図11のディスク1と磁
気ヘッド5との距離に対する距離検出電極2間の静電容
量の変化を示す特性図である。図11において図9の実
施例と同一機能部分には同一の番号を附し、その説明は
特に必要のない限り省略する。
【0026】図11において、ディスク1と磁気ヘッド
5との距離hは、支持部6により磁気ヘッド4と一体に
取り付けられた距離検出電極2によって検出される。こ
の距離検出電極2は電極の間隔及び表面積が同じである
2組の距離検出電極2a及び2bで構成されており、距
離検出電極2aは磁気ヘッド5側に、距離検出電極2b
は光ヘッド11側に配置されている。このように距離検
出電極2を配置すると、ディスク1が距離検出電極2a
に近づくと距離検出電極2bから離れ、逆に距離検出電
極2aから離れると距離検出電極2bに近づくので、各
距離検出電極2a及び2b間の静電容量C1及びC2は図
12に示すようにディスク1と磁気ヘッド5との距離h
に対して対称的な特性となる。図12の点a或いは点c
は静電容量C1或いはC2が変化し始める変化点、点b或
いは点dは静電容量C1或いはC2が変化しなくなる変化
点を示している。図5に示す平衡ブリッジ回路10にお
いて、2組の距離検出電極2aと2bの静電容量C1
2が距離h0で数2を満足するように平衡ブリッジ回路
10を構成すれば、第1の実施例と同様に図3に示すよ
うな距離h0で0となる距離検出信号V1が得られる。こ
こで、距離h0は図12に示すように静電容量C1及びC
2がディスク1と磁気ヘッド5との距離hに対して変化
する範囲Eでなければならない。
【0027】なお上述の第4の実施例においては、2組
の距離検出電極2aと2bの静電容量C1とC2がクロス
する距離をh0とした場合について説明したが、本発明
はこれに限らず、範囲E内であれば距離h0を静電容量
1とC2がクロスしない距離に設定してもよい。
【0028】また上述の第3,第4の実施例において
は、同じ間隔同じ表面積の2組の電極を用いた場合につ
いて説明したが、本発明はこれに限らず、電極間隔或い
は電極の表面積が異なる2組の電極を用いてもよい。
【0029】以上第1,第2,第3及び第4の実施例で
説明したように距離検出電極2及び距離検出回路3を構
成することにより、図3に示すような距離h0で0とな
る距離検出信号V1を検出することができる。従って、
ディスク1と磁気ヘッド5の距離が距離h0からずれた
場合には、磁気ヘッド5を距離検出信号V1が0となる
方向へ移動させることにより、ディスク1と磁気ヘッド
5が常に距離h0で一定となるように制御される。
【0030】ところで、これまでの実施例では距離h0
で0(ゼロクロス)となる距離検出信号の検出方法につ
いて説明したが、距離検出電極2をある特定な位置に配
置することにより距離h0でピーク値をもつような距離
検出信号を得ることができる。この場合の距離検出方法
の具体的な実施例を図13〜図15を用いて説明する。
【0031】図13は本発明の第5の実施例のディスク
1と磁気ヘッド5との距離に対する距離検出電極2間の
静電容量の変化を示す特性図、図14は距離検出信号の
変化を示す特性図である。
【0032】図9に示すように2組の距離検出電極2
a,2bを段差Xを設けて磁気ヘッド5側に配置した場
合、ディスク1と磁気ヘッド5との距離hに対して図1
3に示すように静電容量C1が変化しなくなる距離(点
b)と静電容量C2が変化し始める距離(点c)が同じ
距離h0となるように段差Xを設定し、図5に示す平衡
ブリッジ回路10において、2組の距離検出電極2aと
2bの静電容量C1とC2が距離h0で数2を満足するよ
うに平衡ブリッジ回路10を構成すれば、図14に示す
ような距離h0で最小値0となる距離検出信号V1を得る
ことができる。
【0033】従って、ディスク1と磁気ヘッド5の距離
が距離h0からずれた場合には、磁気ヘッド5を距離検
出信号V1が最小値0となる方向へ移動させることによ
り、ディスク1と磁気ヘッド5が常に距離h0で一定と
なるように制御される。また、回路系の温度ドリフトの
影響やオフセット等により、図14の一点鎖線で示すよ
うに距離検出信号V1が変動しても、常に距離h0で距離
検出信号V1は最小値となるので、上述の様な影響を受
けずにディスクと磁気ヘッドの距離を一定に保つことが
できるという利点がある。ここで、最小値を検出する方
法としては、例えば、微分回路を用いる方法、或いは同
期検波等、種々の方法が適用できるが、これは本発明と
は直接関係ないので説明は省略する。
【0034】図15は本発明の第6の実施例のディスク
1と磁気ヘッド5との距離に対する距離検出電極2間の
静電容量の変化を示す特性図である。
【0035】図11に示すように2組の距離検出電極2
a,2bを1組は磁気ヘッド5側に、もう1組は光ヘッ
ド11側に配置した場合、図15に示すようにディスク
1と磁気ヘッド5との距離hに対して静電容量C1が変
化しなくなる距離(点b)と静電容量C2が変化し始め
る距離(点c)が同じ距離h0となるように2組の距離
検出電極2a及び2bを配置し、図4に示す平衡ブリッ
ジ回路10において、2組の距離検出電極2a及び2b
の静電容量C1及びC2が距離h0で数1を満足するよう
に平衡ブリッジ回路10を構成すれば、第5の実施例と
同様に図14に示すような距離h0で最小値0となる距
離検出信号V1を得ることができる。
【0036】なお、上述の第5,第6の実施例において
距離検出電極2の形状は、同じ間隔同じ表面積の2組の
電極の場合でも、電極間隔或いは電極の表面積が異なる
2組の電極の場合でも、変化点bとcあるいは変化点a
とdのh軸の値(h0)を等しくすれば、距離h0でピー
ク値をもつような距離検出信号V1を得ることができ
る。
【0037】図16〜図18は、距離検出電極2の具体
的な構成例を示す図である。図16は支持部6の同一平
面上に2組の電極2aと2bを同心円に配置した例であ
る。図17は支持部6に段差を設けてそれぞれの段に1
組ずつ電極を配置した例である。また、図18は磁気ヘ
ッド5の外周部コアに半周だけ段差を設けてそれぞれの
段に1組ずつ電極を半周だけコア上に配置した例を示し
ている。
【0038】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ディスク
に印刷されるラベルの影響を受けることなくディスクと
磁気ヘッドとの距離が検出できるので、この検出信号を
用いて磁気ヘッドの位置を制御することにより、ディス
クと磁気ヘッドとの間隔を略一定に保つことができる。
【0039】従って、ディスクの記録膜面上の印加磁界
強度を一定に保つことができるため、安定した記録、消
去及びオーバーライトが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示すブロック図であ
る。
【図2】ディスクと磁気ヘッドとの距離に対する距離検
出電極間の静電容量の変化を示す特性図である。
【図3】本発明の第1,第2,第3及び第4の実施例の
ディスクと磁気ヘッドとの距離に対する距離検出信号の
変化を示す特性図である。
【図4】距離検出回路の構成例を示す図である。
【図5】距離検出回路の第2の構成例を示す図である
【図6】本発明の第2の実施例を示すブロック図であ
る。
【図7】電極の間隔が異なる場合の、ディスクと磁気ヘ
ッドとの距離に対する距離検出電極間の静電容量の変化
を示す特性図である。
【図8】電極の面積が異なる場合の、ディスクと磁気ヘ
ッドとの距離に対する距離検出電極間の静電容量の変化
を示す特性図である。
【図9】本発明の第3の実施例を示すブロック図であ
る。
【図10】2組の電極をディスクとの距離を変えて配置
した場合の、ディスクと磁気ヘッドとの距離に対する距
離検出電極間の静電容量の変化を示す特性図である。
【図11】本発明の第4の実施例を示すブロック図であ
る。
【図12】2組の電極を1組は磁気ヘッド側に、もう1
組は光ヘッド側に配置した場合の、ディスクと磁気ヘッ
ドとの距離に対する距離検出電極間の静電容量の変化を
示す特性図である。
【図13】本発明の第5の実施例のディスクと磁気ヘッ
ドとの距離に対する距離検出電極間の静電容量の変化を
示す特性図である。
【図14】本発明の第5及び第6の実施例のディスクと
磁気ヘッドとの距離に対する距離検出信号の変化を示す
特性図である。
【図15】本発明の第6の実施例のディスクと磁気ヘッ
ドとの距離に対する距離検出電極間の静電容量の変化を
示す特性図である。
【図16】距離検出電極の具体的な構成例を示す図であ
る。
【図17】距離検出電極の第2の具体的な構成例を示す
図である。
【図18】距離検出電極の第3の具体的な構成例を示す
図である。
【図19】ディスクと磁気ヘッドとの距離検出方法の従
来例を示すブロック図である。
【図20】従来例の反射型光センサの出力信号の変化を
示す特性図である。
【符号の説明】
1…ディスク、 2…静電容量型距離検出電極、 3…距離検出回路、 4…磁気ヘッド駆動回路、 5…磁気ヘッド、 6…支持部、 7…磁気ヘッド駆動装置、 8…基準コンデンサ、 9…差動増幅器、 10…平衡ブリッジ回路、 11…光ヘッド。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】情報を記録あるいは再生するための光磁気
    記録媒体と、前記光磁気記録媒体にレーザ光を集光する
    ための対物レンズを含む光学ヘッドと、外部磁界を発生
    するための磁気ヘッドを具備し、前記光磁気記録媒体に
    対し情報を記録あるいは再生を行う光磁気記録再生装置
    において、前記光磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの距
    離を検出するための静電容量型距離検出電極を設け、前
    記静電容量型距離検出電極間の静電容量に基づいて得ら
    れる距離検出信号により、前記磁気ヘッドの位置を制御
    し、前記光磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの間隔を略
    一定に保つようにしたことを特徴とする磁気ヘッド位置
    制御装置。
  2. 【請求項2】請求項1記載の磁気ヘッド位置制御装置に
    おいて、前記静電容量型距離検出電極を2組用いて前記
    光磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの距離を検出し、前
    記2組の静電容量型距離検出電極の形状を、電極の間隔
    及び表面積を同じとした、或いは電極の間隔を変えた、
    或いは電極の表面積を変えたことを特徴とする磁気ヘッ
    ド位置制御装置。
  3. 【請求項3】請求項2記載の磁気ヘッド位置制御装置に
    おいて、前記2組の静電容量型距離検出電極を前記光磁
    気記録媒体との距離が異なるように段差を設けて配置す
    るようにしたことを特徴とする磁気ヘッド位置制御装
    置。
  4. 【請求項4】請求項2記載の磁気ヘッド位置制御装置に
    おいて、前記2組の静電容量型距離検出電極の一方の電
    極を前記磁気ヘッド側に配置し、他方を前記光学ヘッド
    側に配置するようにしたことを特徴とする磁気ヘッド位
    置制御装置。
  5. 【請求項5】請求項2記載の磁気ヘッド位置制御装置に
    おいて、前記2組の静電容量型距離検出電極を前記磁気
    ヘッドのコア上に配置するようにしたことを特徴とする
    磁気ヘッド位置制御装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190086261A (ko) * 2018-01-12 2019-07-22 주식회사 지티에스엠 웨이퍼의 챔버에 대한 갭핑을 감지하는 웨이퍼형 갭핑 감지 센서

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KR20190086261A (ko) * 2018-01-12 2019-07-22 주식회사 지티에스엠 웨이퍼의 챔버에 대한 갭핑을 감지하는 웨이퍼형 갭핑 감지 센서

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