JPH051237U - 搬送装置のハンドリングプレート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 各種の長さのセラミック製ハンドリングプレ
ートを短時間で且つ低コストで製造する。 【構成】 搬送装置におけるキャリッジ上或は平行リン
ク機構上に、ハンドリングプレートのプレート本体５の
元部が水平に固定され、シリコンウエハー等の被搬送物
をその上面又は下面に吸着して搬送する。セラミックで
成形されたプレート本体５内に、吸気通路２が長手方向
に沿って設けられ、吸気通路２の末端部がプレート本体
の端部で開口する。プレート本体上面又は下面の吸気通
路２の先端位置に吸着孔３が穿設される。プレート本体
５の元部の上面又は下面に、吸気源に接続される吸気接
続孔６が吸気通路２に連通して穿設され、プレート本体
５の端部に開口した吸気通路２の末端部が蓋体８により
閉鎖される。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、シリコンウエハー、ＬＣＤ用ガラス基板等の被搬送物をクリーンル ーム内で搬送する搬送装置のハンドリングプレートに関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体素子の製造工程において、材料として使用されるシリコンウエハーには 、クリーンルーム内で各種の金属材料、半導体材料をエピタキシャル成長させる など各種の処理、測定、加工等が施される。このように処理されるシリコンウエ ハーは、通常、カセット内に収納され、処理装置のステージ等の間で、ハンドリ ングを行う搬送装置によって搬送（出し入れ）が行われる。

【０００３】 シリコンウエハーの処理は、塵や不純物の付着を非常に嫌うために、クリーン ルーム内で行われ、塵等の不純物がその表面に付着しないようにしているが、搬 送装置のハンドリング時には、シリコンウエハーが金属製のハンドリングプレー トに直接吸着されて接触するため、この際の金属汚染が問題視される。このため 、搬送装置のハンドリングプレートをセラミック製にすることが考えられている 。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

この種のハンドリングプレートは、一般に図７に示すように、細長く薄い板状 に形成され、その内部に吸引用の吸気通路２０が形成され、吸気孔２１がその吸 気通路２０の先端部に連通してプレートの上面に穿設される。また、プレートの 元部上には吸気接続孔２２が吸気通路２０の末端に連通して穿設され、且つ複数 の取付孔がその元部に設けられる。

【０００５】 このように、ハンドリングプレートは、薄いプレート内部に吸気通路を設ける と共にその上面には吸気通路と連通する吸気孔や吸気接続孔を穿設する必要があ り、これをセラミックで製造する場合、特殊な中子を入れて成形し焼成すること になるため、工数が多くかかり、製造コストも高くなる課題があった。

【０００６】 さらに、この種の搬送装置のハンドリングプレートは、その搬送装置の型式に 応じて、或は被搬送物の大きさに応じて、各種の長さのものが必要となるため、 そのような搬送装置を製造する毎に、それに応じた長さのハンドリングプレート をセラミックで成形すると、その型の製造から製品の成形及び焼成に、非常に多 くの時間とコストがかかる課題があった。

【０００７】 本考案は、上記の課題を解決するためになされたもので、各種の長さのセラミ ック製ハンドリングプレートを短時間で且つ低コストで製造することができハン ドリングプレートを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

このために、本考案の搬送装置のハンドリングプレートは、搬送装置における キャリッジ上或は平行リンク機構上に、プレート本体の元部が水平に固定され、 シリコンウエハー等の被搬送物をその上面又は下面に吸着して搬送するハンドリ ングプレートにおいて、セラミックで成形されたプレート本体内に、吸気通路が 長手方向に沿って設けられ、吸気通路の末端部がプレート本体の端部で開口し、 プレート本体上面又は下面の吸気通路の先端位置に吸着孔が穿設され、プレート 本体の元部の上面又は下面に、吸気源に接続される吸気接続孔が吸気通路に連通 して穿設され、プレート本体の端部に開口した吸気通路の末端部が蓋体により閉 鎖されて構成される。

【０００９】

【作用・効果】

このように構成されたセラミック製のハンドリングプレートは、その内部の吸 気通路が長手方向に沿って且つプレートの末端部で開口するように形成されてい るため、その製造時、最大の長さのプレート素材をセラミックで多数本、成形し ておき、これらのプレート素材の元部を必要な長さ位置で切り落し、所定位置に 吸気接続孔と取付孔を穿設し、その吸気通路の末端部を接着剤等の蓋体で閉鎖す れば、長さの異なるプレートを短時間で且つ簡単に製造することができる。この ため、各種の搬送装置に対応した長さのセラミック製ハンドリングプレートを低 コストで且つ短時間で製造することができる。

【００１０】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。

【００１１】 図１は搬送装置のハンドリングプレートに使用されるプレート素材１の平面図 を示している。このプレート素材１は、セラミック材料により長尺の薄い板状に 成形・焼成されて製造され、その内部に、長手方向に沿って吸気通路２が形成さ れ、先端部の上面に吸着孔３が吸気通路２と連通して形成される。

【００１２】 このようなプレート素材１は、吸気通路２が素材の端部に開口し且つ先端部ま で直線的に配置されるため、比較的簡単な構造の型とコアを使用して、容易に型 成形を行うことができる。

【００１３】 上記のセラミック製のプレート素材１の長さは、各種の長さのハンドリングプ レートに共通して使用できるように、最大長さに設定され、予め多数のプレート 素材１が同じ型を用いて製造される。

【００１４】 図２は、搬送装置のハンドリングプレートの平面図を示している。

【００１５】 このハンドリングプレートは、上記のプレート素材１の元部を必要な長さ位置 で切り落し、先端部の上面に吸着孔３が吸気通路２と連通して形成される。さら に、プレート本体５の元部位置の上面に、吸気接続孔６を吸気通路２と連通して 穿設し、４個の取付孔７がその元部に穿設される。

【００１６】 このハンドリングプレートは、セラミック製のプレートではあるが、例えば２ mm程度の薄さのプレートであるため、セラミック用の加工工具で容易に切断・穿 設することができ、最後に、吸気通路２の端部が接着剤等の蓋体８で閉鎖される 。

【００１７】 図１のように、プレート素材１の吸気通路２はその末端部がプレートの端部に 開口し、長手方向に沿って直線的に形成されるため、セラミック材料による型成 形が比較的容易にでき、また、予めプレート素材１を多数成形しておき、ハンド リングプレートの製造時に、所定の長さ位置でプレートの元部を切断し、孔加工 を行なうと共に吸気通路２の端部を閉鎖すれば、短時間でハンドリングプレート を作ることができる。

【００１８】 このように形成されたプレート本体５は、図４、図５に示すように、搬送装置 のキャリッジ１０の上部に水平に固定される。

【００１９】 即ち、プレート本体５の元部上にヘッドブロック１１が取付ねじにより固定さ れる。このヘッドブロック１１の内部には、底部に開口した吸気路１２が形成さ れ、取付けの際、その吸気路１２がプレート本体５の元部上の吸気接続孔６に連 通接続される（図６）。また、ヘッドブロック１１の側部に、吸気路１２に連通 するジョイントが取付けられ、そのジョイント及びチューブを介して吸気源に接 続される。

【００２０】 なお、図示は省略されているが、ヘッドブロック１１にはプレート上のシリコ ンウエハーを検出するための光センサ等が設けられる。

【００２１】 さらに、キャリッジ１０の上部に、取付板１３が固定され、その取付板１３上 に上記のヘッドブロック１１が取付ねじによって固定される。搬送装置のキャリ ッジ１０は、昇降及び旋回可能に配設された水平移動部１４の内部に、その上部 を出した状態で水平往復移動可能に配置される。

【００２２】 このような搬送装置は、その水平移動部１４を昇降・旋回させると共に、水平 移動部１４内でキャリッジ１０を移動させて、ハンドリングプレートをウエハー のカセット内の定位置に挿入する。そして、吸引動作させながらプレートを上昇 させることによって、ハンドリングプレート上の吸着孔３にシリコンウエハーを 吸着させ、その状態でカセットからハンドリングプレートを引き出して反対側の ステージに搬送するように動作する。

【００２３】 なお、搬送装置には、キャリッジ式の他に平行リンク機構を採用したものがあ り、その場合、ハンドリングプレートはリンク部材の先端に固定される。また、 プレート本体の下面に吸着孔を設けプレートの下面でシリコンウエハーを吸着す ることもでき、吸気接続孔をプレート本体の下面に形成することもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】プレート素材の平面図である。

【図２】ハンドリングプレートの平面図である。

【図３】図２の III− III拡大断面図である。

【図４】搬送装置に取付けた状態のハンドリングプレー
トの側面図である。

【図５】同平面図である。

【図６】図５のVI−VI拡大断面図である。

【図７】従来のハンドリングプレートの平面図である。

【符号の説明】

１−プレート素材、２−吸気通路、３−吸着孔、５−プ
レート本体、６−吸気接続孔、８−蓋体、１０−キャリ
ッジ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 搬送装置におけるキャリッジ上或は平行
   リンク機構上に、プレート本体の元部が水平に固定さ
   れ、シリコンウエハー等の被搬送物をその上面又は下面
   に吸着して搬送するハンドリングプレートにおいて、セ
   ラミックで成形されたプレート本体内に、吸気通路が長
   手方向に沿って設けられ、該吸気通路の末端部が該プレ
   ート本体の端部で開口し、該プレート本体上面又は下面
   の該吸気通路の先端位置に吸着孔が穿設され、該プレー
   ト本体の元部の上面又は下面に、吸気源に接続される吸
   気接続孔が該吸気通路に連通して穿設され、該プレート
   本体の端部に開口した該吸気通路の末端部が蓋体により
   閉鎖されていることを特徴とする搬送装置のハンドリン
   グプレート。