JPH05114620A - 電気部品の樹脂封止法 - Google Patents
電気部品の樹脂封止法Info
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- JPH05114620A JPH05114620A JP27589291A JP27589291A JPH05114620A JP H05114620 A JPH05114620 A JP H05114620A JP 27589291 A JP27589291 A JP 27589291A JP 27589291 A JP27589291 A JP 27589291A JP H05114620 A JPH05114620 A JP H05114620A
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Abstract
なしに行なうことを可能にする。 【構成並びに効果】 基板上に裸状態で搭載された電気
部品を孔版印刷手段を適用して樹脂封止するに際し、ス
キージ作動による孔版通孔への液状封止樹脂の押込み充
填を真空下で行なうことにより、気泡や形崩れを発生さ
せることなしに樹脂封止を行なうことができる。
Description
関する。
された半導体などの電気部品を樹脂封止する方法とし
て、予め成形された固型パッケージを用いる方法、液状
封止樹脂を滴下する方法及び孔版印刷手段を適用する方
法などが知られているが、孔版印刷手段による3番目の
方法が第1番目及び第2番目の方法に比べ、次の(a)
〜(d)の点で優れている。
的であり、多品種少量生産に適している。
が可能であり、生産性に優れている。
択できる。
の作動をして孔版通孔に液状封止樹脂を押込み充填する
ときに空気を巻き込み易く、また電気部品の隅や該部品
より高密度に張出されたワイヤーの下などに空気が残り
易く、これが樹脂封止の信頼性、特に耐湿耐ヒートサイ
クル性、物理的特性、機械的特性、耐熱特性、耐電圧お
よび電気特性などに悪影響を与えていることが判明し
た。特に近時、電気部品のワイヤーの高密度化に伴な
い、より厳しい封止エリアが求められ、また高信頼性の
要求から気泡の残存は許されなくなって来ており、その
対策が望まれていた。
ものである。
状態で搭載された電気部品を孔版印刷手段を適用して樹
脂封止するに際し、スキージ作動による孔版通孔への液
状封止樹脂の押込み充填を真空下で行なうことを特徴と
する電気部品の樹脂封止法に係る。尚本明細書におい
て、電気部品とは、半導体などの電子部品を含む。
き説明すると、次の通りである。
る装置の全体を概略的に示す説明図であり、該装置は気
密ケーシング1を具備し、該ケーシング1内は三方弁2
及び導管3を介し、真空発生装置4に接続されている。
る孔版5と、該孔版5上を往復移動されるスキージ6と
が設置される。該スキージ6は例えばケーシング1外に
設置されたサーボモータ7の作動をして回転される螺旋
軸8上をねじ送りの原理で移動される。
品9搭載の基板10を供給するための昇降自在なテーブ
ル11が設置され、該テーブル11は例えばケーシング
1外設置のサーボモータ12の作動をして回転される螺
旋軸13上をねじ送りの原理で昇降される。
23が形成されており、上記テーブル11は昇降につ
れ、上記出入口23を通じケーシング1内に出入りす
る。出入りの間、出入口23の縁部とテーブル11の縁
部との間をシールするために、上記縁部のいずれかにシ
ール部材(図示せず)が備えられる。スキージ6並びに
テーブル11の駆動はエアーシリンダなどの駆動装置を
用いて行なうことができる。
14が設置され、該タンク14内に液状封止樹脂15が
収容されている。該樹脂15の脱泡処理を目的として該
タンク14の頂部は開閉バルブ16付の導管17を介し
上記真空発生装置4に接続されている。
を開閉コック18付の供給管19を介し孔版5の所定部
位置に供給するために、該タンク14の頂部は開閉バル
ブ20付の導管21を介しコンプレッサー22に接続さ
れている。上記供給管19は例えばゴム製で可撓性を有
し、スキージ6の通過時には通過につれたわみ変形して
行き、通過後は保有弾性により元の状態に復元にする。
示し、この状態ではケーシング1内は三方弁2を通じ外
気中に開放されており、常圧を保持している。その他の
バルブ14,16及びコック18はいずれも閉状態にあ
る。
真空発生装置4の作動をしてタンク14内を真空にし、
タンク内収容の樹脂15中より気泡を追い出す。この脱
泡処理はタンク14内への樹脂15の供給直後に1回行
なえば充分であり、また脱泡処理後の樹脂15を用いる
場合は省略してもよい。脱泡処理後は、三方弁2を真空
発生装置4側に開き、ケーシング1内を所定の真空度に
保持する。
2の作動をしてタンク14内を加圧状態に保持した後、
コック18を開くと、タンク14内の樹脂15はタンク
14の加圧で供給管19を通じ孔版5上の所定部位に押
し出され、押出し樹脂15aの量が所定量に達するとコ
ック18を閉じる。尚バルブ20はタンク14内の樹脂
の全量が消費されるまで開いておけばよい。
動をして上昇し、テーブル11上に載置の基板10に搭
載されている電気部品9を常法通りの孔版通孔5a内に
同心状にセットする。
作動してスキージ6を往動し、樹脂15aを孔版通5a
内に押込み充填する。この押込み充填後の状況が図2に
拡大して示されている。孔版通孔5a内への樹脂15a
の押込み充填は真空下で行なわれるので、押込み充填時
に樹脂15a中に空気が巻き込まれるという危険性が一
掃される。同時に電気部品9からワイヤー9aが高密度
に張出されている場合であっても、ワイヤー9aの下方
に空気が残存するという危険性も一掃される。
15aの押込み充填を終えた後は、三方弁2を再び外気
側に開きケーシング1内を常圧に戻し、しかる後モータ
ー12の作動をしてテーブル11ひいては該テーブル1
1上に載置の基板10を降下することにより、図3に示
すように基板10上に搭載の電気部品9を樹脂層15a
で封止できる。
テーブル11上においてケーシング1より下方の降下位
置で、今から樹脂封止を受ける新しい基板10と常法に
従い入れ換えられ、その後テーブル11並びに上記スキ
ージ6が図1に示す位置に戻され、次の操作に備える。
以下このような操作の繰返しで、電気部品が樹脂封止さ
れて行く。
図4は従来の孔版印刷法より得られた製品をそれぞれ示
している。
ように樹脂層15A′中、特に電気部品9′より張出さ
れたワイヤー9a′の下方に残存空気による大きな気泡
aが認められ、また樹脂層15A′全体に、小さな気泡
bが多数存在する。このような気泡a,bは樹脂層15
A′の形成後直ちに吸引脱気すればある程度除去できる
が、吸引で内部気泡が膨張し破裂するために樹脂層15
A′が形崩れし、設定封止領域を越える場合があり、封
止性能を低下する。
版通孔への樹脂の押込み充填を真空下で行なうので、空
気巻込みや残存空気にもとづく気泡発生を防止でき、ま
た樹脂層形成後に真空脱気する必要がないので、樹脂層
に形崩れを生ずるおそれはない。
み充填時に於けるケーシング内の真空度は特に制限はな
いが、高及び中真空度の保持は、ケーシングの強度や気
密保持性に厳しい制限を受けるので、低真空度で充分で
あり、例えば10torr以下、好ましくは3.0〜
0.1torr程度の低真空度に保持される。真空度が
10torrより大きくなると、樹脂層中に気泡を発生
する虞れがあるので好ましくない。
ずまた樹脂層に形崩れを生ずることがなく、高品質、高
性能のこの種製品を提供できる。
ある。
図である。
面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 基板上に裸状態で搭載された電気部品を
孔版印刷手段を適用して樹脂封止するに際し、スキージ
作動による孔版通孔への液状封止樹脂の押込み充填を真
空下で行なうことを特徴とする電気部品の樹脂封止法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3275892A JPH0666350B2 (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 電気部品の樹脂封止法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3275892A JPH0666350B2 (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 電気部品の樹脂封止法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05114620A true JPH05114620A (ja) | 1993-05-07 |
JPH0666350B2 JPH0666350B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=17561895
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3275892A Expired - Lifetime JPH0666350B2 (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 電気部品の樹脂封止法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0666350B2 (ja) |
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- 1991-10-24 JP JP3275892A patent/JPH0666350B2/ja not_active Expired - Lifetime
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