JPH05110258A - 多層セラミツク基板 - Google Patents
多層セラミツク基板Info
- Publication number
- JPH05110258A JPH05110258A JP26594791A JP26594791A JPH05110258A JP H05110258 A JPH05110258 A JP H05110258A JP 26594791 A JP26594791 A JP 26594791A JP 26594791 A JP26594791 A JP 26594791A JP H05110258 A JPH05110258 A JP H05110258A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- ceramic
- ceramic green
- sintering
- green sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】セラミック生シートに焼結したセラミックシー
トを貼りつけて、焼結前加工、積層、焼結を行い、シー
ト変形を防止する事による微細パターンの実現、厚さ方
向への一方向収縮による平面方向収縮率の安定化を目的
とする。 【構成】セラミック生シート２に、薄いセラミックシー
トを貼りつけ、そのままスルーホール７の形成、パター
ン印刷８を行い、これを積層焼結する事により多層セラ
ミック基板を得る。 【効果】パターンの微細化および高密度化。 パターン寸法の安定化。
トを貼りつけて、焼結前加工、積層、焼結を行い、シー
ト変形を防止する事による微細パターンの実現、厚さ方
向への一方向収縮による平面方向収縮率の安定化を目的
とする。 【構成】セラミック生シート２に、薄いセラミックシー
トを貼りつけ、そのままスルーホール７の形成、パター
ン印刷８を行い、これを積層焼結する事により多層セラ
ミック基板を得る。 【効果】パターンの微細化および高密度化。 パターン寸法の安定化。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高密度に配線された電
子回路用セラミック基板に関する。
子回路用セラミック基板に関する。
【０００２】
【従来の技術】セラミックの生シートはスルーホール形
成からパターン印刷をして焼結するまでの間に伸びた
り、縮んだりの変形をする。例えば、スルーホール形成
では打ち抜き加工を行うことによってシートは伸びる。
これを防ぐ為に例えば特開昭６１−９８５０９では打ち
抜き加工の温度を−３５℃〜０℃に制限をしている。
成からパターン印刷をして焼結するまでの間に伸びた
り、縮んだりの変形をする。例えば、スルーホール形成
では打ち抜き加工を行うことによってシートは伸びる。
これを防ぐ為に例えば特開昭６１−９８５０９では打ち
抜き加工の温度を−３５℃〜０℃に制限をしている。
【０００３】また、焼結においてはシートの密度が部分
的に異なることによりシートの収縮率が基板内の部分、
部分で違ってくる。これを防ぐ為に例えば特開昭５７−
１３６３９６ではシート密度の高い部分を回転させて多
層構成している。
的に異なることによりシートの収縮率が基板内の部分、
部分で違ってくる。これを防ぐ為に例えば特開昭５７−
１３６３９６ではシート密度の高い部分を回転させて多
層構成している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】セラミック生シートは
穴明けから印刷し、焼結するまでの間にさまざまな変形
をする。例えばスルーホール形成では打ち抜き加工によ
りシートは伸びる。また、パターン印刷後にはシートは
縮んでいく。これらの変形は印刷ズレや積層時の層間ズ
レの原因となり、セラミック多層基板の高密度化を困難
にしている。本発明ではこれら焼結前のシート加工によ
るセラッミク生シートの変形を防止し、セラミック多層
基板の高密度化を実現しようとするものである。
穴明けから印刷し、焼結するまでの間にさまざまな変形
をする。例えばスルーホール形成では打ち抜き加工によ
りシートは伸びる。また、パターン印刷後にはシートは
縮んでいく。これらの変形は印刷ズレや積層時の層間ズ
レの原因となり、セラミック多層基板の高密度化を困難
にしている。本発明ではこれら焼結前のシート加工によ
るセラッミク生シートの変形を防止し、セラミック多層
基板の高密度化を実現しようとするものである。
【０００５】セラミック生シートを多層構成し、焼結す
る時、基板の各部分でシート密度に違いがあると基板の
収縮率が各部分で異なり、等方な収縮を起こさない。こ
のことはセラミック基板の寸法精度を悪くする一つの原
因となるが、本発明では基板の各部分での収縮率のバラ
ツキがセラミック基板のパターンの寸法誤差にならない
様にするものである。
る時、基板の各部分でシート密度に違いがあると基板の
収縮率が各部分で異なり、等方な収縮を起こさない。こ
のことはセラミック基板の寸法精度を悪くする一つの原
因となるが、本発明では基板の各部分での収縮率のバラ
ツキがセラミック基板のパターンの寸法誤差にならない
様にするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】変形しやすいセラミック
生シートに、すでに焼結して変形しない５〜５０μmの
うすいセラミックシートを貼りつけることにより、平面
方向を拘束する。
生シートに、すでに焼結して変形しない５〜５０μmの
うすいセラミックシートを貼りつけることにより、平面
方向を拘束する。
【０００７】セラミック生シートにすでに焼結した５〜
５０μmのうすいセラミックシートをはりつけ、この状
態で多層構成する。生シートはセラミックシートで平面
方向に固定されている為、厚さ方向への一方向収縮とな
る。
５０μmのうすいセラミックシートをはりつけ、この状
態で多層構成する。生シートはセラミックシートで平面
方向に固定されている為、厚さ方向への一方向収縮とな
る。
【０００８】
【作用】すでに焼結したセラミックシートは変形しない
為、セラミック生シートの平面方向に拘束する。これに
より、スルーホール形成やパターン印刷によるセラミッ
ク生シートの変形を防げる。
為、セラミック生シートの平面方向に拘束する。これに
より、スルーホール形成やパターン印刷によるセラミッ
ク生シートの変形を防げる。
【０００９】セラミック生シートをセラミックシートに
よって焼結時に平面方向の拘束させることにより、セラ
ミック生シートを基板の厚さ方向へ、一方向収縮させ
る。これにより各部の収縮率の差およびシート本来の収
縮率特性のバラツキはパターン表われない為、高精度の
パターンが形成できる。
よって焼結時に平面方向の拘束させることにより、セラ
ミック生シートを基板の厚さ方向へ、一方向収縮させ
る。これにより各部の収縮率の差およびシート本来の収
縮率特性のバラツキはパターン表われない為、高精度の
パターンが形成できる。
【００１０】
【実施例】図１に示す様にセラミック生シートをキャス
ティングする時、キャスティング装置１に極いセラミッ
クシートのロール２をセットする。セラミックシート２
に薄く接着剤３を塗り、その上にセラミック生シートの
スリップ４を注ぐ。乾燥したセラミック生シート５とセ
ラミックシート２は切断機６でカットされた後格納され
る。
ティングする時、キャスティング装置１に極いセラミッ
クシートのロール２をセットする。セラミックシート２
に薄く接着剤３を塗り、その上にセラミック生シートの
スリップ４を注ぐ。乾燥したセラミック生シート５とセ
ラミックシート２は切断機６でカットされた後格納され
る。
【００１１】セラミック生シートとセラミックシートは
図２に示す様にスルーホール７の形成およびパターン印
刷８がおこなわれ多層構成される。
図２に示す様にスルーホール７の形成およびパターン印
刷８がおこなわれ多層構成される。
【００１２】この基板を焼結し、厚さ方向に一方向収縮
させ多層セラミックス基板をえる。
させ多層セラミックス基板をえる。
【００１３】
【発明の効果】焼結前のシートの変形を防止することに
よる印刷不良、積層ズレ不良の低減、および高密度、微
細パターンの実現。
よる印刷不良、積層ズレ不良の低減、および高密度、微
細パターンの実現。
【００１４】厚さ方向への一方向収縮による焼結後のパ
ターン寸法の安定化。
ターン寸法の安定化。
【図１】セラミックシートを用いたセラミック生シート
キャスティング装置を示す図である。
キャスティング装置を示す図である。
【図２】セラミックシートをセラミック生シートに貼り
つけた時の多層セラミック基板の断面図である。
つけた時の多層セラミック基板の断面図である。
１…キャスティング装置 ２…セラミックシート ３…接着剤 ４…セラミック生シートのスリップ ５…セラミック生シーート ６…切断機 ７…スルーホール ８…パターン印刷
Claims (2)
- 【請求項１】セラミック生シートに極薄い焼結したセラ
ミックシートを貼りつけ、このままの状態で、スルーホ
ール形成、パターン印刷、積層、焼結を行うことを特徴
とする多層セラミック基板。 - 【請求項２】セラミック生シートに極薄い焼結したセラ
ミックシートを貼りつけ、この状態で多層構成し、焼結
においてシートの厚さ方向に一方向収縮させたことを特
徴とする多層セラミック基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26594791A JPH05110258A (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 多層セラミツク基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26594791A JPH05110258A (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 多層セラミツク基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05110258A true JPH05110258A (ja) | 1993-04-30 |
Family
ID=17424288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26594791A Pending JPH05110258A (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 多層セラミツク基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05110258A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006066741A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Kyocera Corp | 電子部品の製造方法 |
| WO2009110579A1 (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-11 | 日本碍子株式会社 | セラミックグリーンシート、及びセラミックグリーンシート積層体、並びに、セラミックグリーンシートの製造方法、及びセラミックグリーンシート積層体の製造方法 |
| US8450615B2 (en) | 2007-08-29 | 2013-05-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ceramic multilayer substrate |
-
1991
- 1991-10-15 JP JP26594791A patent/JPH05110258A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006066741A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Kyocera Corp | 電子部品の製造方法 |
| JP4570423B2 (ja) * | 2004-08-27 | 2010-10-27 | 京セラ株式会社 | 電子部品の製造方法 |
| US8450615B2 (en) | 2007-08-29 | 2013-05-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ceramic multilayer substrate |
| WO2009110579A1 (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-11 | 日本碍子株式会社 | セラミックグリーンシート、及びセラミックグリーンシート積層体、並びに、セラミックグリーンシートの製造方法、及びセラミックグリーンシート積層体の製造方法 |
| US8178192B2 (en) | 2008-03-06 | 2012-05-15 | Ngk Insulators, Ltd. | Ceramic green sheet, ceramic green sheet laminate, production method of ceramic green sheet, and production method of ceramic green sheet laminate |
| US9089993B2 (en) | 2008-03-06 | 2015-07-28 | Ngk Insulators, Ltd. | Ceramic green sheet, ceramic green sheet laminate, production method of ceramic green sheet, and production method of ceramic green sheet laminate |
| JP5774306B2 (ja) * | 2008-03-06 | 2015-09-09 | 日本碍子株式会社 | セラミックグリーンシート、及びセラミックグリーンシート積層体、並びに、セラミックグリーンシートの製造方法、及びセラミックグリーンシート積層体の製造方法 |
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