JPH05105218A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH05105218A JPH05105218A JP3264655A JP26465591A JPH05105218A JP H05105218 A JPH05105218 A JP H05105218A JP 3264655 A JP3264655 A JP 3264655A JP 26465591 A JP26465591 A JP 26465591A JP H05105218 A JPH05105218 A JP H05105218A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chains
- chain
- substrate
- lateral direction
- supported
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/50—Fuel cells
Landscapes
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】搬送速度を速めずとも、基板搬送量を増大でき
るようにすること。 【構成】三本のチェーン２，４を用い、左側のチェーン
２と中央のチェーン３との間、および中央のチェーン３
と右側のチェーン４との間において、各チェーン２，４
の受け部５上に基板１をそれぞれ載せて保持させ、チェ
ーン２，４を移動させることによりそれと同方向に二つ
の基板１を横に並べて搬送する。
るようにすること。 【構成】三本のチェーン２，４を用い、左側のチェーン
２と中央のチェーン３との間、および中央のチェーン３
と右側のチェーン４との間において、各チェーン２，４
の受け部５上に基板１をそれぞれ載せて保持させ、チェ
ーン２，４を移動させることによりそれと同方向に二つ
の基板１を横に並べて搬送する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、半導体装置製
造ラインにおいて各工程処理装置間の基板搬送などに用
いられるチェーンタイプの搬送装置に関する。
造ラインにおいて各工程処理装置間の基板搬送などに用
いられるチェーンタイプの搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来からインライン型のリフロー半田付
け装置の導入口から排出口に至って、図４および図５に
示すような搬送装置が装備されている。
け装置の導入口から排出口に至って、図４および図５に
示すような搬送装置が装備されている。
【０００３】図例の搬送装置は、二列に並べられた二本
のチェーン５０，５１の間に基板５２を保持させ、図示
省略のモータなどによってチェーン５０，５１を同期し
て矢印方向に移動させることにより、チェーン移動方向
と同じ向きに基板５２を搬送する構成である。なお、基
板５２は、チェーン５０，５１それぞれの内側に設けら
れた複数個の円筒ピンからなる受け部５３，５４の上に
載せられている。
のチェーン５０，５１の間に基板５２を保持させ、図示
省略のモータなどによってチェーン５０，５１を同期し
て矢印方向に移動させることにより、チェーン移動方向
と同じ向きに基板５２を搬送する構成である。なお、基
板５２は、チェーン５０，５１それぞれの内側に設けら
れた複数個の円筒ピンからなる受け部５３，５４の上に
載せられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
搬送装置は、一個の基板５２を一列に並べて搬送するも
のであって、搬送量は搬送速度に依存する。この搬送速
度は、搬送中の基板脱落を防止することを考慮するとあ
まり速く設定することもできず、搬送量が少なくなると
言える。このような搬送装置を用いた製造ラインでは、
生産能力が不足することになる。
搬送装置は、一個の基板５２を一列に並べて搬送するも
のであって、搬送量は搬送速度に依存する。この搬送速
度は、搬送中の基板脱落を防止することを考慮するとあ
まり速く設定することもできず、搬送量が少なくなると
言える。このような搬送装置を用いた製造ラインでは、
生産能力が不足することになる。
【０００５】本発明は、このような課題を解決するため
に創案されたもので、搬送速度を速めずとも、基板搬送
量を増大できるようにすることを目的とする。
に創案されたもので、搬送速度を速めずとも、基板搬送
量を増大できるようにすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、平行に配置した二本のチェーンの
間に基板を保持させ、両チェーンをその長手方向に移動
することにより前記基板を所定位置まで搬送する搬送装
置において、次のような構成をとる。
るために、本発明は、平行に配置した二本のチェーンの
間に基板を保持させ、両チェーンをその長手方向に移動
することにより前記基板を所定位置まで搬送する搬送装
置において、次のような構成をとる。
【０００７】本発明の第１の搬送装置は、基板を横方向
に並べた状態または上下方向に並べた状態で複数個ずつ
搬送するようにしたことに特徴を有する。
に並べた状態または上下方向に並べた状態で複数個ずつ
搬送するようにしたことに特徴を有する。
【０００８】本発明の第２の搬送装置は、一方のチェー
ンの側方に別のチェーンを配置してチェーン数を三本と
し、中央のチェーンとその両側のチェーンとで基板を横
二列に並べた状態で搬送するようにしたことに特徴を有
する。
ンの側方に別のチェーンを配置してチェーン数を三本と
し、中央のチェーンとその両側のチェーンとで基板を横
二列に並べた状態で搬送するようにしたことに特徴を有
する。
【０００９】なお、第２の搬送装置において、例えば、
中央のチェーンを横方向に不動とし、両側のチェーンを
横方向に変位自在とするか、また、一側のチェーンを横
方向に不動とし、他のチェーンを横方向に変位自在とす
ることにより、チェーン間の幅調整ができるようにな
る。
中央のチェーンを横方向に不動とし、両側のチェーンを
横方向に変位自在とするか、また、一側のチェーンを横
方向に不動とし、他のチェーンを横方向に変位自在とす
ることにより、チェーン間の幅調整ができるようにな
る。
【００１０】
【作用】複数の基板を並列に搬送できるようになってい
るので、搬送速度を別段速くせずとも、搬送量を従来よ
りも増やせる。
るので、搬送速度を別段速くせずとも、搬送量を従来よ
りも増やせる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。
に説明する。
【００１２】図１および図２に本発明の一実施例を示し
ている。図中、１は正方形の基板、２〜４は三本のチェ
ーンである。
ている。図中、１は正方形の基板、２〜４は三本のチェ
ーンである。
【００１３】総てのチェーン２〜４は、輪のようにつな
げられる無端状のもので、所定間隔離れて設けられる図
示省略のギヤ間に取り付けられており、図示省略のモー
タなどによって駆動されるようになっている。
げられる無端状のもので、所定間隔離れて設けられる図
示省略のギヤ間に取り付けられており、図示省略のモー
タなどによって駆動されるようになっている。
【００１４】そして、中央のチェーン３は、その両側に
円筒ピンからなる受け部５がそれぞれ設けられており、
左右両側のチェーン２，４は、内側にのみ円筒ピンから
なる受け部５が設けられている。左側のチェーン２と中
央のチェーン３との間、および中央のチェーン３と右側
のチェーン４との間において、各受け部５上に基板１が
それぞれ載せられて保持される。
円筒ピンからなる受け部５がそれぞれ設けられており、
左右両側のチェーン２，４は、内側にのみ円筒ピンから
なる受け部５が設けられている。左側のチェーン２と中
央のチェーン３との間、および中央のチェーン３と右側
のチェーン４との間において、各受け部５上に基板１が
それぞれ載せられて保持される。
【００１５】ところで、中央のチェーン３を横方向に不
動に支持させて、両側のチェーン２，４を横方向に変位
自在に支持させるか、あるいは、一側のチェーン２また
は４を横方向に不動に支持させて、他のチェーン３，４
または２を横方向に変位自在に支持させるようにすれ
ば、左側のチェーン２と中央のチェーン３との間、およ
び中央のチェーン３と右側のチェーン４との間の各幅寸
法を可変設定できるようになり、したがって、搬送対象
となる基板１の幅寸法に応じて任意に調整できるように
なる。
動に支持させて、両側のチェーン２，４を横方向に変位
自在に支持させるか、あるいは、一側のチェーン２また
は４を横方向に不動に支持させて、他のチェーン３，４
または２を横方向に変位自在に支持させるようにすれ
ば、左側のチェーン２と中央のチェーン３との間、およ
び中央のチェーン３と右側のチェーン４との間の各幅寸
法を可変設定できるようになり、したがって、搬送対象
となる基板１の幅寸法に応じて任意に調整できるように
なる。
【００１６】次に、動作を説明する。チェーン２〜４を
モータ（図示省略）によって駆動することにより矢印方
向に移動させると、二つの基板が横に並んでチェーン２
〜４の移動方向と同じ方向に搬送される。
モータ（図示省略）によって駆動することにより矢印方
向に移動させると、二つの基板が横に並んでチェーン２
〜４の移動方向と同じ方向に搬送される。
【００１７】なお、本発明は、上記実施例のみに限定さ
れず、例えば、図３に示すように、上述した両側のチェ
ーン２，４を二つ一対としたものを上下二段に配置する
ことにより、二つの基板１を上下に並べて搬送できるよ
うにしたものも含む。
れず、例えば、図３に示すように、上述した両側のチェ
ーン２，４を二つ一対としたものを上下二段に配置する
ことにより、二つの基板１を上下に並べて搬送できるよ
うにしたものも含む。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数の基板を横方向または上下方向に並べて搬送するこ
とができるので、搬送速度を別段速くせずとも、搬送量
を従来よりも増やすことができる。したがって、本発明
の搬送装置を、例えば半導体装置などの製造ラインに用
いた場合、生産能力の向上に貢献できる。
複数の基板を横方向または上下方向に並べて搬送するこ
とができるので、搬送速度を別段速くせずとも、搬送量
を従来よりも増やすことができる。したがって、本発明
の搬送装置を、例えば半導体装置などの製造ラインに用
いた場合、生産能力の向上に貢献できる。
【図１】本発明の一実施例の搬送装置の要部を示す斜視
図。
図。
【図２】図１のチェーンの横断面図。
【図３】本発明の他の実施例で、図２に対応する図。
【図４】従来の搬送装置の要部を示す斜視図。
【図５】図４のチェーンの横断面図。
１ 基板 ２〜４ チェーン
Claims (4)
- 【請求項１】平行に配置した二本のチェーンの間に基板
を保持させ、両チェーンをその長手方向に移動すること
により前記基板を所定位置まで搬送する搬送装置であっ
て、 基板を横方向に並べた状態または上下方向に並べた状態
で複数個ずつ搬送するようにした、ことを特徴とする搬
送装置。 - 【請求項２】平行に配置した二本のチェーンの間に基板
を保持させ、両チェーンをその長手方向に移動すること
により前記基板を所定位置まで搬送する搬送装置であっ
て、 前記一方のチェーンの側方に別のチェーンを配置してチ
ェーン数を三本とし、中央のチェーンとその両側のチェ
ーンとで基板を横二列に並べた状態で搬送するようにし
た、ことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項３】請求項２に記載の搬送装置において、中央
のチェーンが横方向に不動に支持され、両側のチェーン
が横方向に変位自在に支持されている、ことを特徴とす
る搬送装置。 - 【請求項４】請求項２に記載の搬送装置において、一側
のチェーンが横方向に不動に支持され、他のチェーンが
横方向に変位自在に支持されている、ことを特徴とする
搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3264655A JPH05105218A (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3264655A JPH05105218A (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05105218A true JPH05105218A (ja) | 1993-04-27 |
Family
ID=17406373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3264655A Pending JPH05105218A (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05105218A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62130770A (ja) * | 1985-11-30 | 1987-06-13 | Tamura Seisakusho Co Ltd | リフロ−型はんだ付け装置 |
| JPH01299112A (ja) * | 1988-01-06 | 1989-12-01 | Rud Kettenfab Rieger Dietz Gmbh & Co | マルチストランド・チェーンコンベヤ |
-
1991
- 1991-10-14 JP JP3264655A patent/JPH05105218A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62130770A (ja) * | 1985-11-30 | 1987-06-13 | Tamura Seisakusho Co Ltd | リフロ−型はんだ付け装置 |
| JPH01299112A (ja) * | 1988-01-06 | 1989-12-01 | Rud Kettenfab Rieger Dietz Gmbh & Co | マルチストランド・チェーンコンベヤ |
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