JPH0499175A - 観測窓 - Google Patents
観測窓Info
- Publication number
- JPH0499175A JPH0499175A JP20391990A JP20391990A JPH0499175A JP H0499175 A JPH0499175 A JP H0499175A JP 20391990 A JP20391990 A JP 20391990A JP 20391990 A JP20391990 A JP 20391990A JP H0499175 A JPH0499175 A JP H0499175A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- window
- fixed
- protective glass
- opening
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明は、金属の真空溶解や蒸着に用いられる容器に取
付けられる観測窓に関する。
付けられる観測窓に関する。
(従来の技術)
金属の真空溶解や蒸着等で用いられる装置について第5
図によって説明する。金属原料■を収容するるつぼ■を
真空雰囲気中に設置し例えば電子銃■により加速された
電子ビームに)を直流磁場により偏向して金属原料■に
衝突させることにより、その時のエネルギを加熱源とし
て金属原料ωを溶解し金属蒸発■をつくる。このような
蒸発装置0において、系内の蒸発状態およびるつぼ■内
の金属原料■の状態を観測するため1m8窓■が設けら
れている。観測窓■は窓ガラス(へ)が設けてあり蒸発
装置の開口部0と真空容器開口部(10)と−致するよ
うに真空容器(14)が取付けられている。
図によって説明する。金属原料■を収容するるつぼ■を
真空雰囲気中に設置し例えば電子銃■により加速された
電子ビームに)を直流磁場により偏向して金属原料■に
衝突させることにより、その時のエネルギを加熱源とし
て金属原料ωを溶解し金属蒸発■をつくる。このような
蒸発装置0において、系内の蒸発状態およびるつぼ■内
の金属原料■の状態を観測するため1m8窓■が設けら
れている。観測窓■は窓ガラス(へ)が設けてあり蒸発
装置の開口部0と真空容器開口部(10)と−致するよ
うに真空容器(14)が取付けられている。
(発明が解決しようとする課M)
第3図と第4図に従来の観測窓を示す。第3図は、第4
図のIV−IV線で切断した断面図である。
図のIV−IV線で切断した断面図である。
観測窓■にはガラス窓(ハ)を取付けてあり、観測窓■
下部にはガラス窓(ハ)のくもり防止用フィルム巻上機
構(11)を設置している。金属蒸気(ハ)が上方へ進
みフィルム(12)でカットされガラス窓■のくもの防
止を行っている。(ハ)のガラス窓より覗きこみ見えな
くなれば回転機構(13)でフィルム(12)を巻き上
げ新しい面を出していた。このような構成においてフィ
ルム(12)は完全な引張りが加えられないためフィル
ム(12)面がしわ状になり系内の観測は、よどんだよ
うに見えていた。
下部にはガラス窓(ハ)のくもり防止用フィルム巻上機
構(11)を設置している。金属蒸気(ハ)が上方へ進
みフィルム(12)でカットされガラス窓■のくもの防
止を行っている。(ハ)のガラス窓より覗きこみ見えな
くなれば回転機構(13)でフィルム(12)を巻き上
げ新しい面を出していた。このような構成においてフィ
ルム(12)は完全な引張りが加えられないためフィル
ム(12)面がしわ状になり系内の観測は、よどんだよ
うに見えていた。
本発明は、前述の事情に鑑み、ゆがみ、 Lt)状等が
出す健全な状態で観測できる観測窓を提供することを目
的とする。
出す健全な状態で観測できる観測窓を提供することを目
的とする。
(課題を解決するための手段)
本発明の1!測窓は、溶融金属、化学薬品等の蒸気や飛
沫を生ずる物質を収容する容器の開口部に取付けられ最
外部に透明板を取付けた筒と、この筒の途中に設けられ
回転する円板とこの円板の周縁部に取付けられた透明な
保護板とを有する保護板機構とを備えた構成とする。
沫を生ずる物質を収容する容器の開口部に取付けられ最
外部に透明板を取付けた筒と、この筒の途中に設けられ
回転する円板とこの円板の周縁部に取付けられた透明な
保護板とを有する保護板機構とを備えた構成とする。
(作用)
保護ガラスは、平面度があるため、ゆがみ。
しわ状等にならず、健全な状態で観測できる。また保護
ガラス面がくもり系内が観測出来なくなれば、回転機構
で円板を回転させ新しい面を出すことが出来る。
ガラス面がくもり系内が観測出来なくなれば、回転機構
で円板を回転させ新しい面を出すことが出来る。
(実施例)
第1図と第2図に本発明の一実施例を示す。
第2図は、第1図の■−■矢視図である。観測窓■はゲ
ートバルブ(17)を介して真空容1l(14)の開口
部■に取付ける。観測窓■の上部に保護ガラス機構(1
5)を配置し回転機構(13)を設けである0回転機構
(13)の先端部は保護ガラス(16)を取付けた円板
(18)と駆動軸(19)を介し保護ガラス機構(15
)に固定している。また窓ガラス■は、真空容器(14
)の関口部と一致するよう保護ガラス機構(15)の上
部に設けられている。
ートバルブ(17)を介して真空容1l(14)の開口
部■に取付ける。観測窓■の上部に保護ガラス機構(1
5)を配置し回転機構(13)を設けである0回転機構
(13)の先端部は保護ガラス(16)を取付けた円板
(18)と駆動軸(19)を介し保護ガラス機構(15
)に固定している。また窓ガラス■は、真空容器(14
)の関口部と一致するよう保護ガラス機構(15)の上
部に設けられている。
金属蒸気■は、保護ガラス(16)に付着し、付着物で
くもり、系内が見えなくなれば、回転機構(13)で保
護ガラス(16)を回転させ新しい面を出し、常に健全
な状態で観測が可能である。
くもり、系内が見えなくなれば、回転機構(13)で保
護ガラス(16)を回転させ新しい面を出し、常に健全
な状態で観測が可能である。
前述の如く本実施例では観測窓0部に保護ガラス(15
)機構を設けるので常に新しい平面で観測を行うことが
可能である。かつ、保護ガラス(16)の中心径とガラ
ス窓(ハ)の比で回転回数を大きくとることができ、保
護ガラス(16)の交換回数がへってくる。
)機構を設けるので常に新しい平面で観測を行うことが
可能である。かつ、保護ガラス(16)の中心径とガラ
ス窓(ハ)の比で回転回数を大きくとることができ、保
護ガラス(16)の交換回数がへってくる。
なお1本発明は、金属を溶融蒸発させる装置のほかに、
化学薬品や液状有機物等の蒸気や飛沫のあがる容器にも
適用することができる。
化学薬品や液状有機物等の蒸気や飛沫のあがる容器にも
適用することができる。
本発明によれば、保護ガラスの平面度により。
ゆがみ、しわ状等にならず、常に健全な状態で容器の内
容物を観測することが出来る。
容物を観測することが出来る。
第1図は本発明の実施例の観測窓の断面図。
第2図は第1図のトl矢視図、第3図は従来の観測窓の
断面図、第4図は第3図のmV−4Vで切断した断面図
、第5図は一般的な金属溶解装置を示す図である。 1・・・金属原料 2・・・るつぼ3・・・
電子銃 4・・・電子ビーム5・・・金属
蒸気 6・・・蒸発装置7・・・観測窓
8・・・窓ガラス9・・・蒸発装置開口部
lO・・・真空容器開口部11・・・フィルム巻上
機構 12・・・フィルム13・・一回転機構
14・・・真空容器15・・・保護ガラス機構
16・・・保護ガラス17・・・ゲートバルブ 18・・・円板 19・・・駆動軸 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 第 図
断面図、第4図は第3図のmV−4Vで切断した断面図
、第5図は一般的な金属溶解装置を示す図である。 1・・・金属原料 2・・・るつぼ3・・・
電子銃 4・・・電子ビーム5・・・金属
蒸気 6・・・蒸発装置7・・・観測窓
8・・・窓ガラス9・・・蒸発装置開口部
lO・・・真空容器開口部11・・・フィルム巻上
機構 12・・・フィルム13・・一回転機構
14・・・真空容器15・・・保護ガラス機構
16・・・保護ガラス17・・・ゲートバルブ 18・・・円板 19・・・駆動軸 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 第 図
Claims (1)
- 溶融金属、化学薬品等の蒸気や飛沫を生ずる物質を収容
する容器の開口部に取付けられ最外部に透明板を取付け
た筒と、この筒の途中に設けられ回転する円板とこの円
板の周縁部に取付けられた透明な保護板とを有する保護
板機構とを備えたことを特徴とする観測窓。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20391990A JPH0499175A (ja) | 1990-08-02 | 1990-08-02 | 観測窓 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20391990A JPH0499175A (ja) | 1990-08-02 | 1990-08-02 | 観測窓 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0499175A true JPH0499175A (ja) | 1992-03-31 |
Family
ID=16481866
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20391990A Pending JPH0499175A (ja) | 1990-08-02 | 1990-08-02 | 観測窓 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0499175A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102425956A (zh) * | 2011-12-07 | 2012-04-25 | 北京有色金属研究总院 | 一种电子束熔炼炉观察窗机构及其保护方法 |
CN103913072A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-07-09 | 宝钢工程技术集团有限公司 | 一种自清洁观察窗装置 |
CN105466232A (zh) * | 2015-12-31 | 2016-04-06 | 合肥金星机电科技发展有限公司 | 监视设备与工业窑炉的连接机构 |
CN112610095A (zh) * | 2020-12-15 | 2021-04-06 | 宁波创润新材料有限公司 | 一种观察窗玻璃装置 |
-
1990
- 1990-08-02 JP JP20391990A patent/JPH0499175A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102425956A (zh) * | 2011-12-07 | 2012-04-25 | 北京有色金属研究总院 | 一种电子束熔炼炉观察窗机构及其保护方法 |
CN103913072A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-07-09 | 宝钢工程技术集团有限公司 | 一种自清洁观察窗装置 |
CN103913072B (zh) * | 2014-04-09 | 2016-01-20 | 宝钢工程技术集团有限公司 | 一种自清洁观察窗装置 |
CN105466232A (zh) * | 2015-12-31 | 2016-04-06 | 合肥金星机电科技发展有限公司 | 监视设备与工业窑炉的连接机构 |
CN112610095A (zh) * | 2020-12-15 | 2021-04-06 | 宁波创润新材料有限公司 | 一种观察窗玻璃装置 |
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