JPH0499175A - 観測窓 - Google Patents

観測窓

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JPH0499175A
JPH0499175A JP20391990A JP20391990A JPH0499175A JP H0499175 A JPH0499175 A JP H0499175A JP 20391990 A JP20391990 A JP 20391990A JP 20391990 A JP20391990 A JP 20391990A JP H0499175 A JPH0499175 A JP H0499175A
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JP
Japan
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glass
window
fixed
protective glass
opening
Prior art date
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Pending
Application number
JP20391990A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshihiro Oguchi
義広 小口
Saburo Ikeda
池田 三郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH0499175A publication Critical patent/JPH0499175A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、金属の真空溶解や蒸着に用いられる容器に取
付けられる観測窓に関する。
(従来の技術) 金属の真空溶解や蒸着等で用いられる装置について第5
図によって説明する。金属原料■を収容するるつぼ■を
真空雰囲気中に設置し例えば電子銃■により加速された
電子ビームに)を直流磁場により偏向して金属原料■に
衝突させることにより、その時のエネルギを加熱源とし
て金属原料ωを溶解し金属蒸発■をつくる。このような
蒸発装置0において、系内の蒸発状態およびるつぼ■内
の金属原料■の状態を観測するため1m8窓■が設けら
れている。観測窓■は窓ガラス(へ)が設けてあり蒸発
装置の開口部0と真空容器開口部(10)と−致するよ
うに真空容器(14)が取付けられている。
(発明が解決しようとする課M) 第3図と第4図に従来の観測窓を示す。第3図は、第4
図のIV−IV線で切断した断面図である。
観測窓■にはガラス窓(ハ)を取付けてあり、観測窓■
下部にはガラス窓(ハ)のくもり防止用フィルム巻上機
構(11)を設置している。金属蒸気(ハ)が上方へ進
みフィルム(12)でカットされガラス窓■のくもの防
止を行っている。(ハ)のガラス窓より覗きこみ見えな
くなれば回転機構(13)でフィルム(12)を巻き上
げ新しい面を出していた。このような構成においてフィ
ルム(12)は完全な引張りが加えられないためフィル
ム(12)面がしわ状になり系内の観測は、よどんだよ
うに見えていた。
本発明は、前述の事情に鑑み、ゆがみ、 Lt)状等が
出す健全な状態で観測できる観測窓を提供することを目
的とする。
〔発明の構成〕
(課題を解決するための手段) 本発明の1!測窓は、溶融金属、化学薬品等の蒸気や飛
沫を生ずる物質を収容する容器の開口部に取付けられ最
外部に透明板を取付けた筒と、この筒の途中に設けられ
回転する円板とこの円板の周縁部に取付けられた透明な
保護板とを有する保護板機構とを備えた構成とする。
(作用) 保護ガラスは、平面度があるため、ゆがみ。
しわ状等にならず、健全な状態で観測できる。また保護
ガラス面がくもり系内が観測出来なくなれば、回転機構
で円板を回転させ新しい面を出すことが出来る。
(実施例) 第1図と第2図に本発明の一実施例を示す。
第2図は、第1図の■−■矢視図である。観測窓■はゲ
ートバルブ(17)を介して真空容1l(14)の開口
部■に取付ける。観測窓■の上部に保護ガラス機構(1
5)を配置し回転機構(13)を設けである0回転機構
(13)の先端部は保護ガラス(16)を取付けた円板
(18)と駆動軸(19)を介し保護ガラス機構(15
)に固定している。また窓ガラス■は、真空容器(14
)の関口部と一致するよう保護ガラス機構(15)の上
部に設けられている。
金属蒸気■は、保護ガラス(16)に付着し、付着物で
くもり、系内が見えなくなれば、回転機構(13)で保
護ガラス(16)を回転させ新しい面を出し、常に健全
な状態で観測が可能である。
前述の如く本実施例では観測窓0部に保護ガラス(15
)機構を設けるので常に新しい平面で観測を行うことが
可能である。かつ、保護ガラス(16)の中心径とガラ
ス窓(ハ)の比で回転回数を大きくとることができ、保
護ガラス(16)の交換回数がへってくる。
なお1本発明は、金属を溶融蒸発させる装置のほかに、
化学薬品や液状有機物等の蒸気や飛沫のあがる容器にも
適用することができる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、保護ガラスの平面度により。
ゆがみ、しわ状等にならず、常に健全な状態で容器の内
容物を観測することが出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例の観測窓の断面図。 第2図は第1図のトl矢視図、第3図は従来の観測窓の
断面図、第4図は第3図のmV−4Vで切断した断面図
、第5図は一般的な金属溶解装置を示す図である。 1・・・金属原料      2・・・るつぼ3・・・
電子銃       4・・・電子ビーム5・・・金属
蒸気      6・・・蒸発装置7・・・観測窓  
     8・・・窓ガラス9・・・蒸発装置開口部 
  lO・・・真空容器開口部11・・・フィルム巻上
機構  12・・・フィルム13・・一回転機構   
   14・・・真空容器15・・・保護ガラス機構 
  16・・・保護ガラス17・・・ゲートバルブ 18・・・円板 19・・・駆動軸 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 第 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 溶融金属、化学薬品等の蒸気や飛沫を生ずる物質を収容
    する容器の開口部に取付けられ最外部に透明板を取付け
    た筒と、この筒の途中に設けられ回転する円板とこの円
    板の周縁部に取付けられた透明な保護板とを有する保護
    板機構とを備えたことを特徴とする観測窓。
JP20391990A 1990-08-02 1990-08-02 観測窓 Pending JPH0499175A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102425956A (zh) * 2011-12-07 2012-04-25 北京有色金属研究总院 一种电子束熔炼炉观察窗机构及其保护方法
CN103913072A (zh) * 2014-04-09 2014-07-09 宝钢工程技术集团有限公司 一种自清洁观察窗装置
CN105466232A (zh) * 2015-12-31 2016-04-06 合肥金星机电科技发展有限公司 监视设备与工业窑炉的连接机构
CN112610095A (zh) * 2020-12-15 2021-04-06 宁波创润新材料有限公司 一种观察窗玻璃装置

Cited By (5)

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