JPH0570947A - 蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 外部にノブ等が突出しないコンパクトな構造
であって、狭い箇所にも取り付けることのできる観察窓
を備えた蒸着装置 【構成】 観察窓の窓ガラスを挟んで両側に磁石対を設
ける。一方は窓ガラスの内部のシャッタ板の観察窓側の
面に固定し、他方は窓ガラスの外側に、それに対向する
ように設ける。そして、両磁石の対向面が互いに同一及
び反対の磁極となるように設定できるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体成膜装置等の蒸
着装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体等を製造する際、基板上に薄膜を
生成する工程は必須である。薄膜生成（成膜）には各種
の方法が使用されるが、蒸着による成膜工程では、真空
室内に基板等を置き、金属や酸化物を加熱やプラズマ照
射により蒸発させて基板上に蒸着させる。

【０００３】成膜を行なう蒸着装置では、基板等に正し
く蒸着が行なわれているか否かを観察したり、膜厚等を
光学的に測定するための窓（観察窓）を真空室に設ける
必要がある。しかし、成膜工程中は観察窓の内側にも金
属等の蒸気が蒸着するため、観察時以外は窓ガラスを蒸
着から保護するためのシャッタを内側に設けなければな
らない。

【０００４】従来、観察窓のシャッタを開閉する機構と
しては、ベローズ式と磁気結合式とがあった。これらは
外部から回転運動を導入する方法において異なるが、い
ずれも、真空室の外部に取り付けた回転ノブを回転する
ことにより真空室の内部のシャフトを回転させ、それに
よりシャッタ板を観察窓の内側で開閉するようになって
いる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来のシャッタ開閉機
構の外観を図４に示すが、真空室の観察窓４１の外側に
シャッタ板４２を回転させるためのノブ４３が大きく突
出している。蒸着装置の外部には一般に種々の配線や配
管が取り付けられており、特に観察窓４１の周辺は、操
作者が内部を観察しながら蒸着条件等を調整することが
できるようにするため、種々の操作ボタンやレバー等が
集中しやすい。従って、図４に示したようなノブ４３は
それら他の操作ボタン等のじゃまになることが多い。

【０００６】本発明はこのような課題を解決するために
成されたものであり、その目的とするところは、外部が
コンパクトであって、狭い箇所にも取り付けることので
きる観察窓を備えた蒸着装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明では、透明な窓板を蒸着から保護する
ためのシャッタを備えた観察窓を有する蒸着装置におい
て、 ａ）窓板の内側に回動自在に設けられたシャッタと、 ｂ）一方はシャッタの窓板側の面に固定され、他方は窓
板の外側に前記一方に対向するように設けられ、対向面
が互いに同一及び反対の磁極となるように設定すること
のできる磁石対と、を備えることを特徴とする。

【０００８】

【作用】磁石対ｂ）の対向面の磁極を同一にすると両磁
石は反発し合うため、回動自在なシャッタａ）の方が窓
板の内側の面から遠ざかる方向に回転し、窓板から蒸着
室内が観察できるようになる。一方、対向面の磁極が反
対となるようにすると両磁石は引き合うため、シャッタ
ａ）は窓板の内面に引きつけられ、窓板を蒸着から防止
する。

【０００９】

【実施例】本発明の一実施例である蒸着装置の観察窓の
断面を図１に、外側から見た正面図を図２に示す。図１
及び図２に示した観察窓は、蒸着装置の真空室の開口部
に取り付けるユニットとして構成されている。もちろ
ん、ユニットとして別個に設けるのではなく、真空室
（蒸着室）を製作する際に最初から組み付けるようにし
てもよい。

【００１０】本実施例の観察窓ユニット１０は、図示せ
ぬ蒸着装置の真空室の開口部に取り付けるための円筒状
の窓枠１１、窓枠１１の内部に気密に取り付けられた窓
ガラス（窓板）１２、窓枠１１内で窓ガラス１２のすぐ
内側（図１では左側）に設けられたシャッタ板１３、及
び、窓ガラス１２のすぐ外側（図１では右側）に設けら
れたトロイダル形状（ドーナツ状）の電磁石１４から構
成される。なお、この窓枠１１は周囲に設けられたボル
ト孔１５に差し込まれるボルト（図示せず）により、真
空室の開口部に気密に固定される。

【００１１】シャッタ板１３は窓枠１１の内周側の、こ
の窓枠１１が真空室の開口部に取り付けられる際に上部
となる箇所に、ヒンジ１６により回動自在に取り付けら
れている。そして図３に示すように、シャッタ板１３の
窓ガラス１２側の四隅には、永久磁石１７ａ、１７ｂ、
１７ｃ、１７ｄが、いずれも窓ガラス１２側がＮ極とな
るように、取り付けられている。

【００１２】窓ガラス１２の外側の電磁石１４の内部に
は、大円の円周に沿うようにコイル１８が巻かれてお
り、外部に設けられた直流電源２０から、スイッチ２１
により反転切換可能な直流電流が供給される。このスイ
ッチ２１は開及び閉の２状態を有しており、開状態では
電磁石１４の窓ガラス側がＮ極となり、閉状態では電流
の向きが反転して窓ガラス側がＳ極となる。

【００１３】本実施例の蒸着装置の観察窓ユニット１０
はこのように構成されているため、次のようにして簡単
に観察窓のシャッタ板１３を開閉することができる。ま
ず、直流電源２０のスイッチ２１を開位置にすると、外
部の電磁石１４の窓ガラス側がＮ極となる。シャッタ板
１３に取り付けられた永久磁石１７ａ〜１７ｄは窓ガラ
ス側がＮ極となっているため、外部の電磁石１４により
反発され、シャッタ板１３が内部側に持ち上がる。これ
により、外部から窓ガラス１２を通して真空室の内部の
蒸着状況を観察したり、内部の試料の光学測定を行なう
ことが可能となる。直流電源２０のスイッチ２１を閉位
置にすると、電磁石１４の窓ガラス側がＳ極となり、シ
ャッタ板１３の永久磁石１７ａ〜１７ｄを引きつける。
これにより、窓ガラス１２は内部の金属等の蒸気による
蒸着から防止され、長期間、透明度が保たれるようにな
る。

【００１４】なお、窓ガラスの内部及び外部の磁石は、
上記実施例では内部を永久磁石、外部を電磁石とした
が、これは、内外部とも、永久磁石・電磁石のいずれで
も構わない。例えば、上記実施例とは逆に、内部のシャ
ッタ板に取り付ける方を電磁石とし、外部からのスイッ
チ操作で電流の向きを切り換えてシャッタ板を開閉する
こともできる。また、外部の電磁石を窓枠に軽く固定す
ることのできる永久磁石とし、その表裏を手で反転する
ことによりシャッタ板を開閉するという方法をとること
もできる。

【００１５】本発明では磁石の反発力を利用しているた
め、シャッタ板はできるだけ軽い方がより窓ガラスから
遠くに持ち上がり、真空室の内部への見通しが良くな
る。そのため、シャッタ板としては、例えばグラファイ
ト板のような軽いものを使用することが好ましい。ま
た、上記実施例ではシャッタ板の重量を軽くするという
点から、シャッタ板側の磁石をシャッタ板の全周に取り
付けるのではなく、四隅だけに取り付けるようにしてい
る。しかし、より強力な永久磁石或いは電磁石を使用す
れば、シャッタ板は通常のステンレス板でも構わない
し、シャッタ板側の磁石も全周に取り付けて、より強力
な反発力で大きく持ち上げるようにしてもよい。

【００１６】また、上記実施例ではシャッタ板が窓ガラ
スを防護するための閉鎖動作は、シャッタ板自身の重力
を利用しているが、真空室の機構上の都合等によりヒン
ジを窓枠の上部に設けることができない場合には、ヒン
ジを左右又は下部に設け、スプリングの力でシャッタ板
を閉じるようにしてもよい。この場合には、内部と外部
の磁石は、シャッタ板を開けるための反発力だけを利用
すればよい。

【００１７】

【発明の効果】本発明に係る蒸着装置では、観察窓の内
外に配置した磁石（永久磁石、電磁石）の反発力及び吸
引力を利用して観察窓の内部のシャッタ板を開閉する。
このため、従来の装置ようにシャッタを回転するための
つまみ等が観察窓の周辺から突出することがなく、観察
窓の周辺をコンパクトにすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例である蒸着装置の観察窓ユ
ニットの断面図。

【図２】 実施例の観察窓ユニットを外部側から見たと
きの正面図。

【図３】 実施例の観察窓ユニットのシャッタ板の正面
図。

【図４】 従来の観察窓を外部側から見たときの正面
図。

【符号の説明】

１０…観察窓ユニット １１…窓枠 １２…窓ガラス １３…シャッタ
板 １４…電磁石 １５…ボルト孔 １６…ヒンジ １７ａ〜１７ｄ
…永久磁石 １８…コイル ２０…直流電源

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明な窓板を蒸着から保護するためのシ
   ャッタを備えた観察窓を有する蒸着装置において、 ａ）窓板の内側に回動自在に設けられたシャッタと、 ｂ）一方はシャッタの窓板側の面に固定され、他方は窓
   板の外側に前記一方に対向するように設けられ、対向面
   が互いに同一及び反対の磁極となるように設定すること
   のできる磁石対と、 を備えることを特徴とする蒸着装置。