JPH0496203A - 希土類―鉄系中空磁石の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は希土類−鉄系合金の超急冷粉から直接如何なる
方向にも有効に着磁することができる磁気的に等方性の
高密度中空磁石を所定の中空形状に製造する方法に関す
る。

従来の技術 例えば特開昭５９−６４７３９号公報に記載されている
ように、希土類−鉄系合金を超急冷すると磁気的に等方
性で、一般に８〜２０ｋＯｅの固有保磁力と８ｋＧ程度
の残留磁束密度を有する永久磁石材料が得られる。しか
し、超急冷によって得られる材料形態は薄片、或いは箔
などの粉末状である。故に、モータなどに使用されるバ
ルク状の中空磁石とするには何等かの方法で超急冷粉を
固定化する技術が必要になる。粉末冶金における基本的
な固定化技術は常圧焼結であるが、希土類−鉄系合金の
超急冷粉は微細なＲ２ＴＭ１４Ｂ結晶（ＲはＮｄ／Ｐｒ
、ＴＭはＦ　ｅ　／　Ｃｏ　）に基づく固有保磁力を維
持する必要がある。結晶の粗大化は約７５０℃で顕著と
なるので常圧焼結の適用はできない。一方、超急冷粉を
樹脂で固定化する方法がある。この場合はＲ２７Ｍ、４
Ｂの結晶化温度（約５８０℃）以下で固定化できるので
微細なＲ２ＴＭ１１　Ｂ結晶に基づ（固有保磁力を維持
することができるが、樹脂成分による密度低下が避けら
れず、せいぜい超急冷粉の８０％程度の残留磁束密度し
か得られない。即ち、超急冷粉の８０％以上の残留磁束
密度を得るためには超急冷粉を直接固定化し、しかも微
細なＲ２Ｔ　Ｍ　１４　Ｂ結晶の粗大化を抑制する技術
が必要となる。即ち、超急冷粉を結晶化温度以上〜７５
０℃以下に加熱して迅速に塑性変形を行う固定化技術で
ある。超急冷粉を結晶化温度以上に迅速に加熱し、結晶
が粗大化しないように塑性変形を行う手段として直接通
電加圧法があるが、中空磁石での具体的方法は未だ明ら
かになっていない。

発明が解決しようとする課題 希土類−鉄系合金の超急冷粉を直接通電加圧により結晶
化温度以上に加熱して塑性変形させ所定の中空形状の磁
石とする場合、粉末冶金法で一般に行われるような予め
特定形状に賦形したグリーン体を自由空間で常圧焼結す
る場合と異なり−、成形型中で固定化するため寸法精度
が確保できる代わりに残留応力を避けることができない
。とくに中空磁石の場合には中空形状とするためのコア
を成形型部材として使用する。コアは中空磁石の形状と
の相対的な関係により、該磁石の残留応力へ大きな影響
を及ぼす。中空磁石の残留応力が高まると着磁時の電磁
力による機械的衝撃に耐えられなかったり、或いは中空
磁石を成形型から離型した時点で放射状の亀裂が発生す
る。この理由により、とくに中空磁石の場合には成形型
の構成材質や構造面での残留応力に対する具体的な配慮
が必要となる。

課題を解決するための手段 本発明は超急冷粉を直接通電加圧により結晶化温度以上
、約７５０℃以下に迅速に加熱し、成形型中で塑性変形
を行う固定化で所定形状の希土類〜鉄系中空磁石を得る
ための具体的方法を提示することを目的とする。

本発明は■：ダイと、窒化ボロン（ＢＮ）／有機高分子
膜を設けた一対の中空電極（（固有抵抗／体積比熱）１
０（〜１０４水準）と、熱膨張係数１３．５Ｘ１０’℃
−１以上の中空コアとでキャビティを形成し、一対の熱
補償体（（固有抵抗／体積比熱）１０’水準）で成形型
を構成する工程と、（２）：キャビティに希土類−鉄系
合金の超急冷粉を充填する工程と、■ニ一対の熱補償体
と電極を介し超急冷粉に２００〜５００ｋＩｒｆ／ｃＩ
ｉ？の一軸の圧力を加え、１０’　〜１０’　Ｔｏ　ｒ
　ｒの真空雰囲気を維持した状態で、超急冷粉を放電処
理して活性化し、圧着・固化し、更に通電により発生す
る熱補償体のジュール熱を電極を介して超急冷粉へ伝熱
することにより結晶化温度以上〜７５ｏ℃以下に加熱し
て塑性変形させ、所定形状に固定化する工程とを基本と
する。

ここで、中空コアは実用上の残留応力を低減するうえで
中空部分の圧力軸垂直方向面積を全断面積の５０％以上
とすることが有効である。

なお、必要に応じてキャビティは複数の貫通孔を設けた
ダイと、中空電極群と、中空コア群とで形成することも
、或いはそれらを適宜多段積することもできる。

作用 先ず、本発明の要点となる成形型構成を図面を用いて説
明する。

第１図は本発明に基づ（成形型構成例であり、超急冷粉
の磁気特性を維持しつつ、直接高度な寸法精度を確保し
た複数の希土類−鉄系中空磁石を製造し得るものの要部
外観図である。図において１は、少な（とも複数の貫通
孔１１〜ｎを設けたダイ、２ａｌ−１，２ｂ＋〜。はダ
イｌの複数の貫通孔１１〜ｎに対応し、ＢＮ／有機高分
子膜を設けたー対の中空電極（（固有抵抗／体積比熱）
１０’水準）である。また３１〜ｎは中空電極２ａｌ〜
。。

２ｂ＋〜。、に対応し、熱膨張係数１３．５Ｘ１０’℃
−１以上の中空コアである。ここで一対の電極２ａｌ〜
ｎ、２ｂ＋〜。はダイ１の複数の貫通孔１１〜。

とともに１〜ｎ個のキャビティを形成している。なお・
電極２ａｌ〜ｎ、　２ｂ＋−ｎｌまア・ソノ（・ロアポ
ンチを兼ねている。４ａ、４ｂは一対の電極２ａｌ〜ｎ
。

２ｂｚ〜。とダイ１の複数の貫通孔１１−１とともに１
〜ｎ個のキャビティを形成した全電極２ａｌ〜ｎ。

２ｂ＋−１の反キャビティ面に配置した一対の熱補償体
である。５１〜。は所定の中空磁石とすべき希土類−鉄
系合金の超急冷粉である。

次に本発明の動作を上記構成の成形型にて説明する。

先ず、１０−１〜１Ｏ−３Ｔｏ　ｒ　ｒの真空雰囲気中
にて、一対の熱補償体４ａ、４ｂの両端面より全電極２
　ａ　＋〜。、２ｂ１〜ｎを介して超急冷粉５１〜ｎに
圧力軸方同断面積当たり２００〜５００　’ｕ　ｆ　／
　ｃｉの圧縮圧力を加える。これにより超急冷粉５１〜
。

のポテンシャルエネルギーが低下する。

次に超急冷粉５１〜。に対して放電処理を行う。

放電処理は放電による電子、イオン、励起種などの活性
化字種が、ある程度の運動エネルギーをもって超急冷粉
表面に衝突することによって超急冷粉表面に付着してい
る汚染物質や低分子化合物と反応するエツチング効果が
あり、これにより超急冷粉５１〜ｎのポテンシャルエネ
ルギーが更に低下する。

上記のような放電処理ののち、一定の真空雰囲気と超急
冷粉５１〜ｎへの圧縮圧力を維持したまま一対の熱補償
体４ａ、４ｂの両端面より全電極２ａｌ〜。、２ｂ＋〜
。を介して超急冷粉５１〜。に通電を行う。

ＩＷ＝０．２３８９ｃａ　ｌ／ｓｅｅとすれば、通電時
のジュール熱による一対の熱補償体４ａ。

４ｂ、全電極２　ａ＋−、、２ｂ＋−ｎ及び超急冷粉５
１〜、の昇温速度ΔＴ／Δｔ（℃／５ｅｃ）は以　　下
　　余　　白 ρΩ ０．２３８９　　Ｉ　２　　ｙｒ　　ｒ２π　Ｉ２　Ω
ＳＣ Ｏ，２３８９Ｉ２　　ρ Ｉ２　Ｉ４　Ｓ　Ｃ ただし、に通電電流（Ａ）、Ｒ：電気抵抗（Ω）、Ｃ：
熱容量（ｃ　ａ　ｌ／’Ｃ）　、　ｃ　：比熱（ｃａ　
１／℃ｇ）、ｓ　＋比重、ρ・比抵抗（ΩＣＩ＝）、Ω
：圧力軸方向の距離（ｃｍ）、ｒ：圧力軸方向断面の半
径（ｃＩｌｌ）である。即ち、昇温速度ΔＴ／Δｔは（
Δｉ）２ρ／ｓｃとなり、距離Ωには無関係であり電流
密度（Δｉ＞（Ａ／ｃｆ）の二乗と比抵抗ρ（ΩｃＩｌ
）に比例し、体積比熱に反比例する。

超急冷粉５１〜。の初期状態のρ／　ｓ　ｃは１０４程
度である。そこでキャビティ群を構成する全電極２　ａ
　＋　−ｎ　、　２　ｂ　ｌ−ｎのρ／　ｓ　ｃを１０
−’程度、或いはそれよりやや低い１０（水準とするの
である。

そして全電極２ａ＋〜ｎ、２ｂ＋〜。の反キャビティ面
に接する一対の熱補償体４ａ、４ｂのρ／　ｓ　ｃを１
０−３水準とする。これにより接触抵抗などの影響によ
って複数のキャビティ群に対して必ずしも均一に分流し
ない通電電流に起因する各キャビティ中の超急冷粉５１
〜。のジュール熱に基づく昇温速度を一対の熱補償体４
ａ、４ｂのジュール熱による伝熱で補正することができ
る。その結果、各キャビティ中の超急冷粉５１〜。の均
一な昇温速度を確保することができる。具体的な電極材
質としては超硬合金（ＪＩＳ　　Ｈ２ＳＯ４で規格化さ
れたＧ５）を挙げることができ、一方の熱補償体おして
はグラファイトを挙げることができる。グラファイトが
好ましい理由は超急冷粉５１〜。を急速加熱し、結晶化
温度以上〜７５０℃以下の温度範囲に数十秒間保持する
ことが容易だからである。

上記のような通電によるジュール熱、とくに熱補償体４
ａ、４ｂのジュール熱による伝熱で、その昇温速度を律
則された各キャビティ中の超急冷粉５１〜。は、その結
晶化温度以上に加熱されることにより、それに応じて１
０−１〜１０″２Ｗｍ／ｓｅｃ、或いはそれ以上の歪み
速度で塑性変形する。歪み速度は粘性の低下とキャビテ
ィ中の超急冷粉５１〜。

の相対密度の上昇との相反する要因によってピークを示
し、次第に小さな値に移行する。超急冷粉５１〜ｎの相
対密度９０％以上での歪み速度は既にピークを越えてい
るが、なお通電を続ける。そして歪み速度１０−３〜Ｏ
＋ｍ／ｓｅｅ程度になった時点で通電電流を遮断すれば
超急冷粉５皿−□は、微細なＲ２ＴＭ１４　Ｂ結晶に基
づく固有保磁力を維持したまま固定化された高密度な１
〜ｎ個の中空磁石となる。なお、結晶の粗大化を抑制し
て固有保磁力の低下を抑えるためには約７５０℃以下で
固定化を完了することが望ましい。

上記、通電電流遮断後の圧縮圧力と真空雰囲気の維持は
、少な（ともダイの外表面温度が冷却に転じるまで行う
。ここでダイが非導電性であることは熱伝導率が小さい
ことにもなり、電流や熱の漏れを抑制し熱効率を高める
ことに効果的である。

なお、ダイの性質としては非導電性であることのほか、
耐熱衝撃性、超急冷粉５１〜ｎに対して不活性、耐磨耗
性、低熱膨張性２強高温強度、低熱容量性などの性質が
求められる。具体的なダイ材質の好ましい例として窒化
珪素、或いは窒化珪素とアルミナとを複合したサイアロ
ンなどを挙げることができる。

なお、固定化した超急例粉５１〜ｎをキャビティ中で冷
却することによりダイとは熱膨張差に基づき離型する。

また圧力軸方向に垂直な面は全電極２　ａｌ　−ｎ　ｒ
　２　ｋ）　１−ｎのＢＮ（窒化ボロン）を有効成分と
する離型膜からＢＮが固定化した超急冷粉５１〜ｎに転
写するので容易に離型する。

ところで希土類−鉄系中空磁石は冷却過程で熱応力に起
因した残留応力が発生する場合がある。

この残留応力の許容程度を実用上から判断すると、少な
（とも着磁時の電磁力による機械的衝撃に耐えるだけは
抑え込まなければならない。本発明は、残留応力は中空
磁石の結晶化温度以上、約７５０℃以下の未だ冷却初期
段階でのコアとの熱応力に主因があることを突き止めた
ものである。この温度領域での中空磁石の熱膨張係数は
２８．５Ｘ１０’℃−１．結晶化温度以下では１３．５
Ｘ１０’℃−１である。

中空磁石の冷却において、通電電流を遮断するとジュー
ル熱で昇温か最高位になっている熱補償体４ａ、４ｂか
らの熱流が消失する。そしてコア→磁石→ダイに伝導に
よる熱流■が発生し、これにより磁石の冷却が律則され
る。伝導による熱流１（ｋｃａｌ／ｈｒｓ）は−λ・Ｆ
−ｄｔ／ｄｘで表すことができる。但し、λは熱伝導率
（ｋｃａｌ／ｍ−１１℃）、Ｆは熱伝導を求めている面
積（−）［ここで磁石とコアまたはダイとの境界条件は
最終的に成形された中空磁石との接触面積である］、ｄ
ｘは熱流方向の微小距離（ｍ　）である。尚、負の符号
は熱流が温度低下方向に起こることを示している。ここ
でθａ、θｂ、θＣをそれぞれコア、磁石、ダイの熱流
方向の温度差（℃）とすると、コア部分での熱流工はλ
ａ・θａ−Ｆ／ｘａであり、したがってθａ−（１／Ｆ
）ｘａ／λａである。またｔ１〜ｔ、を、それぞれの境
界点での温度とすればθａ十θｂ＋θＣはｔｌとｔ４と
の差であり、（Ｉ／Ｆ）である。すなわち、１＝Ｆ・θ
ａ〜Ｃ・ （（ｘａ／λａ＞＋（ｘｂ／λｂ） ＋（ｘ　ｃ／λｃ）ｌ　　　　　　　　　　（１）とな
る。λ（ｋＣａ１／ｍ−１１℃）の値を、それぞれ９（
コア）、４０〜５０（磁石）、０．９（ダイ）としコア
外径２０　ｍ　、磁石外径３６　ｍ　。

磁石高さ２　ｍ　、ダイ外径５６　ｗｌｌ、コア温度６
００℃とすれば（１／Ｆ）は８１３０となり、コアの熱
流方向の温度差θａは９．０３℃となる。

弾性係数２　Ｘ　１０６ｋｇｆ／ｃ＋＋１．熱膨張係数
１７×１０’℃−１のコアを使用したとき、塑性変形領
域（結晶化温度以上〜７５０℃）での中空磁石の熱膨張
係数は２８．５Ｘ１０’℃１程度であるから、温度勾配
θａ＝９．０３℃のとき磁石の冷却初期過程で生じる熱
応力σ―ｆ　／　ｃｄは、σ＝　（２８，５−１７，０
） ×１０４×θａＸ２Ｘ１０６ 勾２３×θａ　　　　　　　　　　　　（２）前の例（
磁石外径３６　＋ｓ　、内径２０　ｍ　、高さ２−）で
のθａは９．０３℃であるから概ね２０７ｋｚｆ／−の
熱応力が磁石の残留応力として蓄積されるものと推定さ
れる。

上記熱応力を低下させるには■磁石中空部分を小さくす
る。しかし、この場合は中空磁石の形状変更を意味する
もので磁石の形状対応力を低下させる欠点がある。■磁
石高さとコアの高さの差を小さくする。しかし、この場
合は超急冷物の嵩比重との関係から制約を受ける。従っ
て本発明ではコアを中空とすることにより、ｃ２）式の
θａを低下させようとするものである。なお、磁石の熱
膨張係数は超急冷物の結晶化温度以下では１３．５Ｘ１
０”Ｃ−１以下となり、コアによる熱応力を無視するこ
とができる。

なお、希土類−鉄系合金の合金組成としてはＹを含む希
土類元素Ｒ；１３〜１５原子％、ＣＯ：○〜２０原子％
、Ｂ：４〜１１原子％、残部Ｆｅ及び不可避不純物から
なるものが好ましい。ここでＲはＮｄまたは／′及びＰ
ｒが高保磁力を得るのでとくに望ましい。またＲを１３
原子％以上とした理由はＲがそれより少ないと高保磁力
の超急冷物が得られず、塑性変形抵抗が高くなり、高密
度の中空磁石が得られないからである。一方、Ｒを１５
原子％以下とした理由はＲがそれより多いと飽和磁化の
低下や希土類元素の滲みによるパリの発生が甚だしくな
るので中空磁石の残留磁束密度の低下や、作業性が低下
するからである。ＣＯを２０原子％以下とした理由はＦ
ｅの一部をＣＯ置換することによりキュリー温度が高ま
るものの、高保磁力を確保しにくくなるからである。Ｂ
を４〜１１原子％とした理由は微細なＲ２Ｔ　Ｍ　１４
　Ｂ（ＴＭはＦｅおよび／またはＣｏ）結晶に基づ（固
有保磁力を維持するためてあり、塑性変形抵抗を極小に
するために、と（に６原子％にすることが望ましい。な
お、希土類−鉄系合金の超急冷物を製造する手段として
はメルトスピニング法によって代表される既知の超急冷
法によって得たもので結晶の大きさが単磁区臨界寸法３
００ｎｍより小さいことが必要である。

実施例 以下、本発明を実施例により更に詳しく説明する。

実施例１ 超急冷物は合金組成Ｎ　ｄ＋３Ｆ　ｅｓｅｃ　ｏ＋ｓＢ
　ｓの母合金をＡｒガス雰囲気中で高周波加熱すること
により溶融状態とし、周速度約５０ｍ／ｓｅｅのＣｕ製
単ロールに噴射するメルトスピニング法により厚さ２０
〜３０μｍの薄片状とし、これを適宜粉砕し５３〜３５
０μｍの粒度範囲としたものを用意した。この超急冷物
は合金が融液状態のまま凍結したものであることをＸ線
回折により確認した。粒度調整した超急冷物を５０ｋＯ
ｅパルス着磁し、ＶＳＭで固有保磁力を測定したところ
５、８　ｋ　Ｏｅであった。

成形型は第１図のように径２９ｍＸ４（ＰＣＤ４５ｍ）
の貫通孔を設けた外径８０　ｍｎ　、高さ１２５ｍのサ
イアロン製ダイ１．外径２９　ｍ　、内径１５膿。

高さ５＋ａｍでＢＮ／’有機高分子膜を設けた一対の超
硬合金製中空電極２ａ１〜４．２ｂｌ〜４（（固有抵抗
／体積比熱）１０′５水準）、熱膨張係数１７Ｘ１０’
℃−１の５ＵＳ３０４製で外径１５ｗｎ、内径の異なる
コア３１〜４（コアは中空部分の圧力軸垂直方向面積が
全面積の〜８０％）、外径７６　＋＋ｗｎ　、高さ１０
■の円盤部を備えた外径６０　＋ｎｍ　、内径５０　ｗ
ｎ　。

高さ２０１ａのグラファイト製熱補償体４．ａ、４ｂ（
（固有抵抗／体積比熱）１０−３水準）を用意した。

次に、下記工程（１）〜（３）により外径２９　ｗＩｌ
、内径１５＋ｍｎ、厚さ１睡の中空磁石とした。

工程（１）　　ダイ１．ＢＮ／有機高分子膜を設けた一
対の中空電極２　ａ＋−４，２ｂ　ｌ−４，中空コア３
１〜４でキャビティを形成し、一対の熱補償体４ａ、４
ｂで成形型を構成した。

工程（２）　　キャビティに超急冷物５１〜４を各３．
７０ｇ充填した。

工程（３）一対の熱補償体と中空電極を介し超急冷物に
２５０眩ｆ／ｃｎｉの一軸の圧力を加え１０−１〜１０
’Ｔｏｒｒの真空雰囲気を維持した状態で、超急冷物を
放電処理して活性化し、圧着・固化し、更に通電により
発生する熱補償体のジュール熱を電極を介して超急冷粉
へ伝熱することにより結晶化温度以上〜７５０℃以下に
加熱して塑性変形させ、所定形状の中空磁石とした。

ただし放電処理はパルス幅２０ｍ５ｅｃ、１０ＶＭ流電
圧の３０ｓｅｃ間の印加、続いての通電は２６００Ａの
直流電流である。通電による加熱と一定の圧縮圧力のも
とて超急冷粉５１〜４は急速に粘性低下し、歪み速度が
増加する。しかし、超急冷粉５１〜４の相対密度が９０
％を越えた時点では歪み速度はピークを越え、相対密度
の上昇に伴って次第に小さな値になる。歪み速度１０−
３〜Ｏｗｎ／Ｓｅｃの範囲で通電電流を遮断し、ダイ１
の外表面温度が冷却に転じたのち真空雰囲気と圧縮圧力
を解除した。この操作によって超急冷粉５１〜４から直
接、直径２９請、内径１５ｍｍ、厚さ１ｍ、密度７．６
〜７．７ｇ／ｃｍ２の中空磁石を得た。

次に、上記中空磁石を成形型から離型し、厚さ方向へ４
極着磁した。着磁ヨークは２ターン／１ポールで電流波
高値２２ｋＡのパルスを通電した。

第１表は中空磁石５０個の着磁時の電磁力による破損確
率とコアの中空部分の圧力軸垂直方向面積比（％）との
関係を示す。表から明らかなようにコアを中空とするこ
とによって中空磁石の残留応力に基づく破損を低減する
ことができる。なお、コアの中空部分の圧力軸垂直方向
面積比（％）は中空磁石の寸法（内外径、高さ）によっ
て異なるが５０％以上とすることが望ましい。

以　　下　　余　　白 へ寸〇 一〇 −〇　　〇 −の Ｏ寸　　− 一　　寸 ω　００　　寸 へ 実施例２ 第２表は中空コアを使用した実施例１の中空磁石を５０
０℃Ｘｌｈの熱処理を行ったときの前後での磁気特性を
示す。

以　　下　　余　　白 ０　０　　Ｃ０ ［φ　汝 ヨ 派 ■ Ｏヘ　ヘ 国 ■ ω 在　韮＝ 残留応力の除去には一般に熱処理が行われるが第２表か
ら明らかなように熱処理をすると磁気特性が低下し、と
くに角型性Ｈｋが劣化するので好ましくない。

発明の効果 希土類−鉄系合金の超急冷粉を、成形型中で直接通電加
圧により結晶化温度以上に加熱して所定形状の中空磁石
とする場合、寸法精度が確保できる代わりに残留応力を
避けることができない。とくに中空磁石の場合には中空
形状とするためのコアを成形型部材として使用する。コ
アは中空磁石の形状との相対的な関係により、該磁石の
残留応力へ大きな影響を及ぼす。中空磁石の残留応力が
高まると着磁時の電磁力による機械的衝撃に耐えられな
かったり、或いは中空磁石を成形型から離型した時点で
放射状の亀裂が発生する。このような理由により、とく
に中空磁石の場合には成形型の構成材質や構造での残留
応力に対する具体的な配慮が必要となる。

本発明は超急冷粉を直接通電加圧により結晶化温度以上
、約７５０℃以下に迅速に加熱し、成形型中所定形状の
希土類−鉄系中空磁石を得るための具体的方法に関する
もので、これにより合理的に残留応力の少ない中空磁石
を製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は成形型構成図である。 第１ 図 １−一一夕゛イ ２−０中炉／＃！脂 ３−−−コア ４−一一褥へ、本市イ１ｑイ本 ５〜−一８も１→栃 代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　はが１名＼４ｂ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）（１）：ダイと、窒化ボロン／有機高分子膜を設
   けた一対の中空電極｛（固有抵抗／体積比熱）１０＾−
   ＾４〜１０＾−＾５水準｝と、熱膨張係数１３．５×１
   ０＾−＾６℃＾−＾１以上の中空コアとでキャビティを
   形成し、一対の熱補償体｛（固有抵抗／体積比熱）１０
   ＾−＾３水準｝で成形型を構成する工程と、（２）：キ
   ャビティに希土類−鉄系合金の超急冷粉を充填する工程
   と、（３）：一対の熱補償体と電極を介し、超急冷粉に
   ２００〜５００ｋｇｆ／ｃｍ＾２の一軸の圧力を加え、
   １０＾−＾１〜１０＾−＾３Ｔｏｒｒの真空雰囲気を維
   持した状態で、超急冷粉を放電処理して活性化し、圧着
   ・固定し更に直接通電により発生する熱補償体のジュー
   ル熱を電極を介して超急冷粉へ伝熱することで結晶化温
   度以上に加熱して塑性変形させ所定の中空形状に固定化
   する工程とからなる希土類−鉄系中空磁石の製造方法。
2. （２）中空コアの中空部分の圧力軸垂直方向面積が全面
   積の５０％以上である請求項１記載の希土類−鉄系中空
   磁石の製造方法。
3. （３）キャビティを複数の貫通孔を設けたダイと、中空
   電極群と、中空コア群とで形成する請求項１記載の希土
   類−鉄系中空磁石の製造方法。