JPH0484354U - - Google Patents
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- JPH0484354U JPH0484354U JP12889890U JP12889890U JPH0484354U JP H0484354 U JPH0484354 U JP H0484354U JP 12889890 U JP12889890 U JP 12889890U JP 12889890 U JP12889890 U JP 12889890U JP H0484354 U JPH0484354 U JP H0484354U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- target
- sputtering
- back surface
- vacuum chamber
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 claims description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例であるマグネトロ
ン・スパツタリング装置の断面図、第2図は従来
のマグネトロン・スパツタリング装置の断面図で
ある。図において、1はスパツタリングホルダー
、2はシヤツター板、3はチヤンバー室、4はウ
エハー、5はシールド板、6はターゲント、7は
磁極A、8は磁極Bを示す。なお、図中、同一符
号は同一、又は相当部分を示す。
ン・スパツタリング装置の断面図、第2図は従来
のマグネトロン・スパツタリング装置の断面図で
ある。図において、1はスパツタリングホルダー
、2はシヤツター板、3はチヤンバー室、4はウ
エハー、5はシールド板、6はターゲント、7は
磁極A、8は磁極Bを示す。なお、図中、同一符
号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 金属膜あるいは絶縁膜を半導体基板等に形成す
るスパツタリング装置の真空槽内に前記半導体基
板とターゲツトとを対向させて配置し、かつ前記
半導体基板とターゲツトの間に設けたシヤツター
板の裏面中央部に磁極を設けたことを特徴とする
マグネトロン・スパツタリング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12889890U JPH0484354U (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12889890U JPH0484354U (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0484354U true JPH0484354U (ja) | 1992-07-22 |
Family
ID=31876336
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12889890U Pending JPH0484354U (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0484354U (ja) |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP12889890U patent/JPH0484354U/ja active Pending
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