JPS6334164U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6334164U JPS6334164U JP12831886U JP12831886U JPS6334164U JP S6334164 U JPS6334164 U JP S6334164U JP 12831886 U JP12831886 U JP 12831886U JP 12831886 U JP12831886 U JP 12831886U JP S6334164 U JPS6334164 U JP S6334164U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- coil
- ion plating
- film
- vacuum chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 claims description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims 2
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案のコイル可動式イオンプレーテ
イング装置の１実施例における導電性材料成膜時
の状態を示す模式断面図であり、第２図はその平
面図である。第３図は本案のコイル可動式イオン
プレーテイング装置の１実施例における絶縁性材
料成膜時の状態を示す模式断面図であり、第４図
はその平面図である。 １…真空槽、２…基板（被成膜体）、３…支持
台（被成膜体用支持台）、４…高周波励起用コイ
ル。
イング装置の１実施例における導電性材料成膜時
の状態を示す模式断面図であり、第２図はその平
面図である。第３図は本案のコイル可動式イオン
プレーテイング装置の１実施例における絶縁性材
料成膜時の状態を示す模式断面図であり、第４図
はその平面図である。 １…真空槽、２…基板（被成膜体）、３…支持
台（被成膜体用支持台）、４…高周波励起用コイ
ル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 吸排気系を有する真空槽と、 該真空槽内に設けられた蒸発源ルツボ、及び該
ルツボに対向する被成膜体用支持台と、 該ルツボと該支持台との間に位置する高周波励
起用コイルと、 を有するイオンプレーテイング装置において、 前記コイルは、前記ルツボの直上の位置と、該
直上の位置をはずれた位置とを、外部操作により
、移動可能に設置されていることを特徴とするコ
イル可動式イオンプレーテイング装置。 (2) 高周波励起用コイルは、被成膜体への絶縁
物成膜時に蒸発源ルツボから外れた位置へ移動さ
れる実用新案登録請求の範囲第１項記載のコイル
可動式イオンプレーテイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12831886U JPH06450Y2 (ja) | 1986-08-23 | 1986-08-23 | コイル可動式イオンプレ−テイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12831886U JPH06450Y2 (ja) | 1986-08-23 | 1986-08-23 | コイル可動式イオンプレ−テイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6334164U true JPS6334164U (ja) | 1988-03-04 |
| JPH06450Y2 JPH06450Y2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=31023878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12831886U Expired - Lifetime JPH06450Y2 (ja) | 1986-08-23 | 1986-08-23 | コイル可動式イオンプレ−テイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06450Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-08-23 JP JP12831886U patent/JPH06450Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06450Y2 (ja) | 1994-01-05 |
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