JPH0481473A - 画像形成用樹脂組成物および蛍光検出方式自動外観検査方法 - Google Patents

画像形成用樹脂組成物および蛍光検出方式自動外観検査方法

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JPH0481473A
JPH0481473A JP2196508A JP19650890A JPH0481473A JP H0481473 A JPH0481473 A JP H0481473A JP 2196508 A JP2196508 A JP 2196508A JP 19650890 A JP19650890 A JP 19650890A JP H0481473 A JPH0481473 A JP H0481473A
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meth
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forming resin
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JP2196508A
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Kenji Kushi
憲治 串
Kenichi Inukai
健一 犬飼
Takayuki Izeki
井関　隆幸
Seiya Koyanagi
精也 小柳
Yasuyuki Fujimoto
藤本　保之
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Mitsubishi Rayon Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Rayon Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、蛍光を発する画像形成用樹脂組成物およびこ
れを用いた蛍光検出方式自動外観検査方法に関する。
〔従来の技術〕
プリント配線板の製造工程において、外観検査は、プリ
ント配線板の欠陥の有無を識別するためたけてなく、製
造工程条件の変動を監視し、欠陥の要因を発見して歩留
りや品質の向上を図るためにも重要である。
この外観検査は、以前はもっばら目視検査に頼っていた
か、検査精度や人件費の問題から現在では、自動外観検
査機か普及している。
従来の自動外観検査機は、基板に白色光を当て、基板か
らの反射光の強弱を検出することによりパターンを認識
するという原理のものであった。しタカって、この方法
では、銅張積層板をエツチングした後の金属パターン形
成基板のように、金属表面からは強い反射光か得られ、
絶縁層からは弱い反射光か得られる場合には使用できる
ものの、基板上に画像形成用樹脂で形成されたパターン
が存在するだけのエツチング前の基板あるいはソルター
レ／スト形成後の基板では、画像形成用樹脂表面からの
反射光か強いため金属表面からの反射光と区別できず、
外観検査を行なうことか不可能であった。
このため最近では、蛍光を利用した新しい方式の自動外
観検査機が開発されている。すなわち、特定波長（４０
０〜６５０　ｎｍの範囲内）の光を基板に照射し、銅張
積層板の絶縁層や画像形成用樹脂などの有機物から励起
される特定波長の蛍光を検出してパターン認識を行なう
ものである。
たとえば、オプトロチ／り社製の自動外観検査機ＶＩ５
１ＯＮ−２０６ては、４４２ｎｍの波長の光を照射し、
４９０〜６２０ｎｍの波長の蛍光を検出して外観検査を
行なっている。この方式によれば、有機物と金属部分と
をその表面、粗化状態によらずに区別する口とかできる
ため、エツチング前の基板たけてなく、エツチング前の
基板やツルターレノスト形成後の基板も検査可能である
。特に銅張積層板上に有機エツチングレジストあるいは
めっきレノストをパターン形成した後の自動外観検査か
可能になったことは、欠陥の早期発見を可能にし、不良
か発生し、た場合でも、これら有機レジストを除去して
銅張積層板を再使用することかでき、コスト的に非常に
有利である。
しかしながら、従来の画像形成用樹脂のほとんどは、４
００〜６５０ｎｍの光照射により励起される蛍光の強度
が極めて弱いため、蛍光検出方式の自動外観検査機で検
査する場合に画像および画像の欠陥を検知するためには
、入射蛍光量を過度に増幅する必要があり、この過度の
増幅により表面の軽度の汚れや付着したゴミ等をも画像
の欠陥として検出することになり、誤報か発生しやすく
、検査か困難であった。特にパターンかファインな場合
には誤報か極めて多く発生し外観検査か全く不可能であ
り、蛍光検出方式の自動外観検査機の長所を全く生かす
ことかできなかった。
〔発明か解決しようとする問題点〕
本発明の目的は、上記欠点を克服し、蛍光検出方式の自
動外観検査機で検査可能な、十分な強度の蛍光を発する
画像形成用樹脂組成物およびこれを用いた蛍光検出方式
自動外観検査方法を提供することにある。
〔問題を解決するための手段〕
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討した結果
、次のような画像形成用樹脂組成物を使用することで、
目的か達成されることを見いたし、本発明を完成するに
至った。
即ち本発明は、波長が４００〜６５０　ｎｍの光を照射
することにより蛍光を発する化合物を含有する画像形成
用樹脂組成物であって、該画像形成用樹脂組成物の硬化
物または乾燥物を、蛍光顕微鏡により写真撮影する際の
シャッタタイムが６秒以下であるような蛍光強度を有す
る画像形成用樹脂組成物とこれを用いた自動外観検査方
法に関する。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明における蛍光強度の評価法は、画像形成用樹脂組
成物を金属板上に蛍光顕微鏡の視野面積以上に塗布し、
乾燥あるいは硬化させて厚さ５０μｍのへ夕画像を形成
し、その画像を（株）ニコン製落射蛍光顕微鏡オプチフ
ォ）ＸＩ−ＥＦＤ２　（励起７）イルター：ＥＸ−４３
５／１０、タイクロイックミラー　ＤＭ−４５５、吸収
フィルター　ＢＡ４８０、対物１ｉ７ズＰｌａｎ４１０
．１３、投影レンズ　Ｃ！’ＰＬ５Ｘ、ＮＤ２フィルタ
、０ＰＥＮ、ＮＤ４フィルタ　０ＰＥＮ、視野絞りレバ
ー・０ＰＥＮ、シャッタ・０ＰＥＮ）および（株）ニコ
／製顕微鏡写真撮影装置ＡＦＸ−ＩＩ　（ＡＳＡ−１０
０、露出補正Ｏ）を用いて、反射法で写真撮影する際の
／ヤノタタイムで評価するものである。
そして、本発明の樹脂組成物は、この評価法によるツヤ
、ツタイム６秒以下、好ましくは５秒以下であることか
不可欠である。ンヤソタタイムか６秒を超えるような画
像形成用樹脂組成物では、蛍光検出方式の自動外観検査
機で検査する場合に誤報か発生しやすく、検査に支障を
きたす。特にパターンかファインな場合には、誤報か極
めて多く発生し、外観検査が全くできない。
本発明の画像形成用樹脂組成物に含有される蛍光発光物
質は、波長か４００〜６５０ｎｍの範囲内にある光を照
射したときに波長か８００ｎｍ以下の蛍光を発し、かつ
本発明の画像形成用樹脂組成物に均一に溶解または分散
する物質であればよく、特に構造的に限定されるもので
はない。このような蛍光発光物質の例としては、ＣＩ、
（カラーインデックス、以下同様）　Ｎｏ、Ｄｉｓｐｅ
ｒｓｅ　Ｙｅｌｌｏｗ　８２．　Ｃ１、Ｎｏ、５ｏｌｖ
ｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ　４４．　Ｃ，１，Ｎｏ、５ｏｌ
ｖｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ　１０４　　Ｃ，１，５ｏｌｖ
ｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ　１１６．　ＥＧ−３０２（三井
東圧染料（株）商品名）　、　ＥＧ−３０７（三井東圧
染料（株）商品名）等の着色剤、１，１′−ジヘキ／ル
ー２．２’−オキサカルボシアニン、フルオレセイン、
ＮＢＤ−ホスファチンルコリン、ペリレン、サフラニン
０１一般式ＩＩＥて示される骨格を有する化合物７ あるいは４．４’−ビス（ジアルキルアミノ）ヘンシフ
エノン等の化合物が挙げられ、これらは１種あるいは混
合して使用できる。
これらの蛍光発光性物質は、前記したように、画像形成
用樹脂組成物の硬化物又は乾燥物を蛍光顕微鏡を用いて
写真撮影する際のシャッタタイムが６秒以下になるよう
に組成物中に添加する必要がある。その添加量は、化合
物の種類により一概には言えないが、本発明の樹脂組成
物中０．０００５重量％以上、望ましくは０．００１重
量％以上添加するのか好ましい。なお硬化物又は乾燥物
の膜厚か薄い場合は、５０μｍ厚に換算した場合のシャ
ッタタイムか６秒以下であっても、使用する自動外観検
査機に合わせて十分に短かいンヤッタタイムになるよう
に蛍光を発する化合物の添加量を増やしておく必要かあ
る。
画像形成用樹脂組成物の樹脂としては、有機溶剤、水等
を揮散させることにより固化する樹脂、加熱することに
より固化する樹脂、光を照射することにより固化するネ
ガ型の樹脂、あるいは光か照射された部分だけが化学変
化をおこしその樹脂に適した現像溶媒を使用することに
より可溶化するボン型の樹脂などを挙げることかできる
。これらの樹脂を用いた画像形成用樹脂組成物は、オフ
セット印刷法、凸版印刷法、スクリーン印刷法などによ
って画像を形成することができるが、高い解像度を有す
る画像を形成させるためには、基材表面に画像形成用樹
脂組成物を付着させた後、露光、現像を行なってパター
ンを形成するいわゆる写真法が有利であり、従って樹脂
としては、光を照射することにより固化するネガ型の樹
脂あるいは光を照射することにより現像溶剤に可溶とな
るボン型の樹脂を用いることか好ましい。
光を照射することにより固化する樹脂としては、１分子
中に１個以上の重合性基を有する化合物を含有している
樹脂があり、例えばポリマーの主鎖、側鎖にこのような
重合性基か結合Ｉ７ている化合物からなる樹脂、重合性
基を有するモノマー・オリコマ−からなる樹脂、あるい
は熱可塑性バインター樹脂と重合性基を有するモノマー
・オリゴマーからなる樹脂等を挙げることかできるが、
これらの樹脂の混合物であってももちろん使用可能であ
る。
ポリマーの主鎖、側鎖に重合性基が結合している化合物
の例としては、反応性の二重結合をもつ不飽和多塩基酸
と多価アルコールとの縮重合によって得られた不飽和ポ
リエステル樹脂等があり、具体的には、無水マレイン酸
／無水フタル酸／プロピレングリコール、無水マレイン
酸／イソフタル酸／フロピレンゲリコール、マレイン酸
／フマール酸／イソフタル酸／１，３−ブタンジオール
、マレイン酸／イソフタル酸／ネオペンチルグリコール
、無水マレイン酸／無水テトラヒドロフタル酸／ジプロ
ピレングリコール等から得られる樹脂等を挙げることか
出来る。
重合性基を有するモノマーおよびオリゴマーとしては、
常圧での沸点か１００°Ｃ以」−で分子量か１００００
以下のものか用いられる。このようなモノマーおよびオ
リコマ−の例としては、フェノキンンエト牛シ（メタ）
アクリレート、メトキシポリエチレングリコール（メタ
）アクリレート、ｎ−ブトキン（メタ）メチルアクリル
アミド、ｉＳＯ−ブトキン（メタ）メチルアクリルアミ
ド等の単官能の（メタ）アクリレートや（メタ）アクリ
ルアミド及びポリエチレングリコールジ（メタ）アクリ
レート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレ
ート、１，３−ブタンンオールジ（メタ）アクリレート
、１，６−へ牛すンジオールジ（メタ）アクリレート、
ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、２，
２−ビス［４−（メタ）アクリロキンポリエトキンフェ
ニル］プロパン、２，２−ビス［４−（メタ）アクリロ
牛シポリブロビレンオキシフェニルコプロバン、ヒドロ
キシピバリン酸不オペンチルグリコールシ（メタ）アク
リレート、グリセリンン（メタ）アクリレート、グリセ
リントリ　（メタ）アクリレート、トリメチロールプロ
ンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ
　（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパン／（
メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ　（
メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリス［
ポリエトキ／（メタ）アクリレ−トコ、トリメチロール
プロパントリス［ポリプロピレンオキノ（メタ）アクリ
レート］、イソノアヌル酸トリエチロールン（メタ）ア
クリレート、イソンアヌル酸トリエチロールトリ　（メ
タ）アクリレート、ペンタエリスリトールン（メタ）ア
クリレート、ペンタエリスリトールトリ　（メタ）アク
リレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリ
レート、ンペンタエリスリトールトリ　（メタ）アクリ
レート、ノペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリ
レート、ジベンタエリスワトールペンタ　（メタ）アク
リレート、／ペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アク
リレート等の多価アルコールのポリ　（メタ）アクリレ
ート類、グリ７ンル基含有化合物に（メタ）アクリル酸
を付加させたエポキ／アクリレート類、特公昭４８へ４
１７０８号、特公昭５０−６０３４号、特開昭５１−３
７１９３号各公報芳容載されているようなウレタン（メ
タ）アクリレート類、特公昭４２−３０４９０号、特開
昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、各
公報に記載されているようなポリエステルポリ（メタ）
アクリレート類等の多官能（メタ）アクリレートを挙げ
ることができる。さらに、日本接着協会誌Ｖｏ１．２０
．　Ｎｏ７．　Ｐ、３０（１−３０８に記載されている
ような硬化性モノマー及びオリゴマーも使用することが
できる。これらは、１種あるいは混合して使用すること
ができ、その使用量は本発明の樹脂組成物中１０重量％
以上が好ましい。
本発明の画像形成用樹脂組成物が、１分子中に１個以上
の重合性基を有する重合性化合物を含有し、その画像形
成用樹脂組成物を活性光線で硬化させる場合には、本発
明の画像形成用樹脂組成物は、光重合開始剤を含有する
ことか好ましい。このような光重合開始剤の例としては
、ヘンジイン、ベンゾインヱチルエーテル、ヘンジイン
イソプロピルエーテル等のヘンジイン類、ヘンシルジメ
チルケタール等のヘンシルケタール類、２．２−／エト
キシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２メチル−１−
フェニルプロパン−１−オン、］ヒヒドロキンり口へキ
ンルフェニルケトン、ｐｔｅｒｔ−ブチルトリクロロア
セトフェノン、２メチル−［４−（メチルチオ）フェニ
ルコー２モルフォリノー１−プロパノン等のアセトフェ
ノン類、ベンジル等のα−７カルホニル［１フェニル−
１，２−プロパンジオン−２−（ｏ　−エトキンカルボ
ニル）オキシム等のα−アンルオキンム類、ベンゾフェ
ノン、Ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル等の芳香族ケトン
類、チオキサントン、２．４−ジエチルチオ牛サントン
等のチオキサントン類、アントラキノン類、ミヒラーズ
ケトン、ｐ−／メチルアミノ安息香酸エチル等のアミン
類、）　ｒＪメチルヘンゾイルジフェニルホスフィンオ
キサイド等公知のものに加えて［機能材料Ｊ　１９８６
年１０月号、Ｐ、４６〜６１に記載されているような可
視領域に感光性を持つ光重合開始剤なとか挙げられ、こ
れらは１種または混合して使用することかできる。
これら光重合開始剤は、本発明の画像形成用樹脂組成物
中に１０重量部以下含有させることか好ましいか、活性
光線か電子線の場合には含まれていなくてもよい。
本発明の画像形成用樹脂組成物は、密着性、現像性、フ
ィルム形成性など種々の性能を付与あるいは改善する目
的て熱可塑性バインター樹脂を含有することができる。
熱可う性バインター樹脂としては、他の成分との相溶性
を有している限りどれを使用してもかまわないが、例え
ば、（メタ）アクリル酸エステル（共）重合体、スチレ
ン・　（メタ）アクリル酸エステル共重合体、アクリロ
・　（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリビニル
ピロリドン、ポリビニルアルコール、（メタ）アクリル
酸エステル・　（メタ）アクリル酸共重合体、スチレン
・　（メタ）アクリル酸共重合体、スチレン・マレイン
酸共重合体、（メタ）アクリル酸エステル・　（メタ）
アクリルアミド共重合体等を用いることかできる。なお
、これらの重合体の１種を用いても良いか、また２種以
上を適当な比で混合して用いることもてきる。アルカリ
水溶液で未露光部を現像、除去するアルカリ現像型の光
重合性樹脂組成物の場合、３〜１５個の炭素原子を含む
、α、β−不飽和カルホキンル基含有単量体を共重合成
分として含むものが好ましく、最も好ましいのは、アク
リル酸、メタクリル酸である。これらの熱可塑性バイン
ター樹脂は、本発明の画像形成用樹脂組成物中に任意な
量を含有させることができる。しかし含有量が９０重量
％を超える場合は、形成される硬化物の機械的強度か弱
くなり好ましくない。
本発明の画像形成用樹脂組成物は、必要に応じて各種樹
脂類、硬化促進用助剤、密着促進剤、熱重合禁止剤、染
料、顔料、可塑剤、増粘剤、消泡剤、難燃剤および充填
剤のような成分を加えてもよい。
本発明の画像形成用樹脂組成物は、印刷版、フォトレノ
スト、塗料等種々の用途に用いることかできるが、特に
有用なのは、プリント配線板製造工程における画像形成
材料、すなわち、回路パターン形成用の二ソチングレジ
ストやめつきレジスト、ツルターレジスト、あるいは、
／ンホル印刷用インクなどである。これらの用途におい
て本発明の画像形成用樹脂組成物は、液状であるいはト
ライフィルムレジストのような半固形状で使用される。
本発明の画像形成用樹脂組成物は、そのままでも、対象
とする基材上に成膜することかできるが、沸点のあまり
高くない溶剤、例えばアセトン、メチルエチルケトン、
メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ジクロロメタン
、クロロホルム、メチルアルコール、エチルアルコール
、イソフロビルアルコール等の１種またはそれ以上に溶
解・混合することにより均一な溶液状とし、これを基材
上に塗布・乾燥して使用することもてきる。また、この
溶液状の画像形成用樹脂組成物を、ポリエチレンテレフ
タレート等の支持フィルム上に塗布・乾燥シてドライフ
ィルムレフストとし、これを対象とする基材にラミネー
トして使用することもてきる。
〔実施例〕
以下、実施例により本発明を具体的に説明する。
実施例１ 下記に示す成分を三本ロールで混線し、液状の樹脂組成
物を得た。
−ＴＯＨＲＡＤ　３８００　（東部化成（株）製、Ｃ０
０ＩＩ変性ビスフエノールＡタイプエポ牛／アクリレー
ト）３５重量部 ・トリメチロールプロパントリアクリレート３５重量部 ・ヘンシルアクリレート　　　　　　　１８重量部・ベ
ンジルジメチルケタール　　　　４重量部・アエロジル
＃２００（日本アエロジル（株）製無定形ンリカ）　　
　　　　　８重量部・着色剤Ｃ，１，Ｎｏ、５ｏｌｖｅ
ｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ　１１６０、０５重量部 この液状樹脂組成物を、銅張積層板上に厚さ５０μｍと
なるように塗布し、厚さ２０μπのポリエチレンテレフ
タレートフィルムをがふせたのち、その上に下記２種類
のフォトツールをあて、超高圧水銀灯を用いて ■　全面透明 ■　ライン／スペース（Ｌ／５）−２（１０／２００μ
ｍ露光、硬化させた。露光量は三菱レイヨン（株）製２
５段ステップタブレットで１５段残りとなるように調整
した。続いて１％炭酸ナトリウム水溶液を用い、未露光
部分をスプレー現像した。現像は液温３０°Ｃで１分間
行なった。
■のフォトツールを用いて得られた画像を（株）ニコン
製落射蛍光顕微鏡オブチフｔ　）ＸＦＥＦＤ２　（励起
フィルター：ＥＸ４３５／１０、ダイクロイックミラー
：ＤＭ−４５５、吸収フィルター：ＢＡ−４８０、対物
Ｌ／７ズ：Ｐｌａｎ４１０．１３、投影レンズ：ＣＦＰ
Ｌ５Ｘ、ＮＤ２フィルタ：０ＰＥＮ、ＮＤ４フィルタ：
０ＰＥＮ。
視野絞りレバー、０ＰＥＮ、／ヤッタ：０ＰＥＮ）およ
び（株）ニコン製顕微鏡写真撮影装置ＡＦＸ−ＩＩ　（
ＡＳＡ−１００、露出補正Ｏ）を用いて、反射法で写真
撮影し、その際のンヤソタタイムを測定した。結果を表
１に示す。
また、■のフォトツールを用いて得られた画像を実際に
オプトロチツク社自動外観検査機ＶＩＳＩＯＮ−２０６
を用いて蛍光増幅率を各種かえて外観検査を行なった。
最も誤報率の少ない状態での結果を表１に示す。
実施例２ 実施例１の着色剤Ｃ，１，Ｎｏ、５ｏｌｖｅｎｔ　Ｙｅ
ｌｌｏｗ　１１６のかわりに、着色剤ＥＧ−３０２（三
井東圧染料（株）製）０．００５重量部を用い、他は実
施例１と同様にして液状の樹脂組成物を得た。得られた
液状樹脂組成物を実施例１と同様にして評価し、その結
果を表１に示した。
実施例３ 実施例１の着色剤Ｃ，１，Ｎｏ、５ｏｌｖｅｎｔ　Ｙｅ
ｌｌｏｗ　１１６のかわりに、着色剤ＥＧ−３０７（三
井東圧染料（株）製）０．００５重量部を用い、他は実
施例１と同様にして液状の樹脂組成物を得た。得られた
液状樹脂組成物を実施例１と同様にして評価し、その結
果を表１に示した。
実施例４ 実施例１の着色剤Ｃ，１，Ｎｏ、５ｏｌｖｅｎｔ　Ｙｅ
ｌｌｏｗ　１１６のかわりに、４．４’−ビス（ンメチ
ルアミノ）ヘンシフエノン０４重量部を用い、他は実施
例１と同様にして液状の樹脂組成物を得た。得られた液
状樹脂組成物を実施例１と同様にして評価し、その結果
を表１に示した。
実施例５ 実施例１の着色剤Ｃ，１，Ｎｏ、５ｏｌｖｅｎｔ　Ｙｅ
ｌｌｏｗ　１１６のかわりに、４，４′−ビス（ジエチ
ルアミノ）ベンゾフェノン０．４重量部を用い、他は実
施例１と同様にして液状の樹脂組成物を得た。得られた
液状樹脂組成物を実施例１と同様にして評価し、その結
果を表１に示した。
比較例１ 実施例１の着色剤Ｃ，１，Ｎｏ、５ｏｌｖｅｎｔ　Ｙｅ
ｌｌｏｗ　１１６を添加せず、他は実施例１と同様にし
て液状の樹脂組成物を得た。得られた液状樹脂組成物を
実施例１と同様にして評価し、その結果を表１に示した
。
表　　１ ※　◎・・・誤報なし、検査可能 ○・・少数の誤報はあるか、検査可能 ×・・・誤報か多すぎて、検査不可能 実施例６ 下記の成分を混合し、液状の樹脂組成物を調合した。
・メチルメタクリレート／メチルアクリレート／メタク
リル酸（５５／２０／２５重量比）共重合体（平均分子
量約９万）のイソプロピルアルコール／メチルエチルケ
トン（重量比５０１５０）に溶解した溶液 １５０重量部（固形分５８重量部） ・トリメチロールプロパントリアクリレート１５重回部 ・テトラエチレングリコール／アクリレート２０重量部 ・ヘン／ルノメチルヶタール　　　　６．９重１　部・
マラカイトグリーン　　　　　　　０１重量部・着色剤
Ｃ，１，Ｎｏ、５ｏｌｖｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ　１１６
０００５重量部 この液状樹脂組成物を、厚さ２５μｍのポリエチレンテ
レフタレートフィルム上に、厚さ５０μｍとなるように
塗布、乾燥してトライフィルムレ／ストを得た。続いて
得られたドライフィルムレジストの塗布膜面を銅張積層
板にラミネートし、その上に下記３種類のフォトツール
を密着させ、■　全面透明 ■　ライン／スペース（Ｌ　／　Ｓ　）　−２００／　
２００μｍ■　　　　　　　　　　　　　＝　１００／
　１００μｍ超高圧水銀灯を用いて露光、硬化させた。
露光量は三菱レイヨン（株）製２５段ステップタブレッ
トで１５段残りとなるように調整した。続いてポリエチ
レンテレフタレートフィルムを剥離し、１％炭酸す）　
ｌ）ラム水溶液を用いて未露光部分をスプレー現像した
。現像は液温３０°Ｃで１分間行なった。
■のフォトツールを用いて得られた画像を、実施例１と
同様にして／ヤノタタイムを測定し、結果を表２に示し
た。また、■、■のフォトツールを用いて得られた画像
を、実施例１と同様にしてＶＩＳＩＯＮ−２０６での外
観検査を実施した。
その結果も表２に示した。
実施例７ 実施例６の着色剤Ｃ，１，Ｎｏ、５ｏｌｖｅｎｔ　Ｙｅ
ｌｌｏｗ　１１６の添加量を０．００２重量部とし、他
は実施例６と同様にしてドライフィルムレジストを得た
。得られたトライフィルムレジストを実施例６と同様に
して評価し、その結果を表２に示した。
実施例８ 実施例６の着色剤Ｃ，１，Ｎｏ、５ｏｌｖｅｎｔ　Ｙｅ
ｌｌｏｗ　１１６のかわりに、着色剤ＥＧ−３０２（三
井東圧染料（株）製）０．００４重量部を用い、他は実
施例６と同様にしてトライフィルムレ／ストを得た。
得られたドライフィルムレ／ストを実施例６と同様にし
て評価し、その結果を表２に示した。
実施例９ 実施例６の着色剤Ｃ，１，Ｎｏ、５ｏｌｖｅｎｔ　Ｙｅ
ｌｌｏｗ　１１６のかわりに、４，４′−ビス（／エチ
ルアミノ）ヘン゛／フェノン０４重量部を用い、他は実
施例６と同様にしてトライフィルムレ／ストを得た。得
られたドライフィルムレ／ストを実施例６と同様にして
評価し、その結果を表２に示した。
比較例２ 実施例６の着色剤Ｃ，１，Ｎｏ、５ｏｌｖｅｎｔ　Ｙｅ
ｌｌｏｗ　１．１６を添加せず、他は実施例６と同様に
してトライフィルムレ／ストを得た。得られたドライフ
ィルムレジストを実施例６と同様にして評価し、その結
果を表２に示した。
比較例３ 実施例６の着色剤Ｃ，１，Ｎｏ、５ｏｌｖｅｎｔ　Ｙｅ
ｌｌｏｗ　１１６のかわりに、着色剤ＥＧ−３０２０，
００１５重量部を用い、他は実施例６と同様にしてトラ
イフィルムレ／ストを得た。得られたトライフィルムレ
ジストを実施例６と同様にして評価し、その結果を表２
に示した。
表 ◎・・誤報なし、検査可能 ○・少数の誤報はあるか、検査可能 ×・−・誤報が多すぎて検査不可能 〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明によれば、波長４００〜６
５０ｎｍの範囲の光を照射することにより、十分な強度
の蛍光か得られ、蛍光検出方式の自動外観検査機による
検査か可能であり、特にプリント配線板及び製造工程に
おける品質や歩留りの向上、製造コストの低減か可能と
なる。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）波長４００〜６５０ｎｍの光を照射することによ
    り蛍光を発する化合物を含有する画像形成用樹脂組成物
    であって、該画像形成用樹脂組成物の硬化物または乾燥
    物を、蛍光顕微鏡により写真撮影する際のシャッタタイ
    ムが６秒以下であるような蛍光強度を有する画像形成用
    樹脂組成物。
  2. （２）請求項（１）記載の画像形成用樹脂組成物を用い
    て形成した画像を用いることを特徴とする蛍光検出方式
    自動外観検査方法。
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