JPH04130251A - 画像形成用樹脂組成物および蛍光検出方式自動外観検査方法 - Google Patents

画像形成用樹脂組成物および蛍光検出方式自動外観検査方法

Info

Publication number
JPH04130251A
JPH04130251A JP25146590A JP25146590A JPH04130251A JP H04130251 A JPH04130251 A JP H04130251A JP 25146590 A JP25146590 A JP 25146590A JP 25146590 A JP25146590 A JP 25146590A JP H04130251 A JPH04130251 A JP H04130251A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin composition
image
fluorescence
forming resin
meth
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP25146590A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenji Kushi
憲治 串
Kenichi Inukai
健一 犬飼
Takayuki Izeki
井関 隆幸
Seiya Komasu
小桝 精也
Yasuyuki Fujimoto
藤本 保之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Rayon Co Ltd filed Critical Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority to JP25146590A priority Critical patent/JPH04130251A/ja
Publication of JPH04130251A publication Critical patent/JPH04130251A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、蛍光を発する画像形成用樹脂組成物およびこ
れを用いた蛍光検出方式自動外観検査方法に関する。
〔従来の技術〕
プリント配線板の製造工程において、外観検査は、プリ
ント配線板の欠陥の有無を識別するためだけでなく、製
造工程条件の変動を監視し、欠陥の要因を発見して歩留
りや品質の向上を図るためにも重要である。この外観検
査は、以前はもっばら目視検査に頼っていたが、検査精
度や人件費の問題から現在では、自動外観検査機が普及
している。
従来の自動外観検査機は、基板に白色光を当て、基板か
らの反射光の強弱を検出することによりパターンを認識
するという原理のものであった。従ってこの方法では、
銅張積層板をエツチングした後の金属パターン形成基板
のように、金属表面からは強い反射光が得られ、絶縁層
からは弱い反射光が得られる場合には使用できるものの
、基板上に画像形成用樹脂で形成されたパターンが存在
するだけのエツチング前の基板あるいはソルダーレジス
ト形成後の基板では、画像形成用樹脂表面からの反射光
が強いため金属表面からの反射光と区別できず、外観検
査を行なうことが不可能であった。
このため最近では、蛍光を利用した新しい方式の自動外
観検査機が開発されている。すなわち、特定波長(40
0〜650nmの範囲内)の光を基板に照射し、銅張積
層板の絶縁層や画像形成用樹脂などの有機物から励起さ
れる特定波長の蛍光を検出してパターン認識を行なうも
のである。
たとえばオプトロチツク社製の自動外観検査機VISI
ON−206では、442na+の波長の光を照射し、
490〜620nmの波長の蛍光を検出して外観検査を
行なっている。この方式によれば、有機物と金属部分と
をその表面粗化状態によらずに区別することができるた
め、エツチング後の基板だけでなく、エツチング前の基
板やソルダーレジスト形成後の基板も検査可能である。
特に銅張積層板上に有機エツチングレジストあるいはめ
っきレジストをパターン形成した後の自動外観検査が可
能になったことは、欠陥の早期発見を可能にし、不良が
発生した場合でも、これら有機レジストを除去して銅張
積層板を再使用することかでき、コスト的に非常に有利
である。
しかしながら、従来の画像形成用樹脂のほとんどは、4
00〜650nmの光照射により励起される蛍光の強度
が極めて弱いため、蛍光検出方式の自動外観検査機で検
査する場合に、画像及び画像の欠陥を検知するためには
、入射蛍光を過度に増幅する必要があり、この過度の増
幅により表面の軽度の汚れや付着したゴミ等をも画像の
欠陥として検出することになり、誤報が発生しやすく、
検査が困難であった。特にパターンがファインな場合に
は誤報が極めて多く発生し外観検査が全く不可能であり
、蛍光検出方式の自動外観検査機の長所を全く生かすこ
とができなかった。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明の目的は、上記欠点を克服し、蛍光検出方式の自
動外観検査機で検査可能な、十分な強度の蛍光を発する
画像形成用樹脂組成物およびこれを用いた蛍光検出方式
自動外観検査方法を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討した結果
、次のような画像形成用樹脂組成物を使用することで、
目的が達成されることを見いだし、本発明を完成するに
至った。
即ち本発明は、 C,I、 D  isperseYe
11ow82を0.0005重量%以上含有する画像形
成用樹脂組成物であって、該画像形成用樹脂組成物の硬
化物または乾燥物を、蛍光顕微鏡により写真撮影する際
のシャッタタイムが8秒以下であるような蛍光強度を有
する画像形成用樹脂組成物とこれを用いた自動外観検査
方法に関する。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明における蛍光強度の評価法は、画像形成用樹脂組
成物を金属板上に蛍光顕微鏡の視野面積以上に塗布し、
乾燥あるいは硬化させて厚さ50μmのベタ画像を形成
し、その画像を(株)ニコン製落射蛍光顕微鏡オプチフ
中トXF−EFD2(励起フィルター:EX−435/
10、グイクロイックミラー:DM−455、吸収フィ
ルター:BA−480、対物レンズ: P  lan 
410,13、投影レンズ:CFPL5xSND2フィ
ルタ:0PEN、ND4フィルタ: 0PEN、視野絞
リレバー: OP E N s シャッタ: 0PEN
)およヒ(株)ニコン製顕微鏡写真撮影装置AFX−I
I(ASA−1oo、露出補正0)を、用いて、反射法
で写真撮影する際のシャッタタイムで評価するものであ
る。
そして、本発明の樹脂組成物は、この評価法によるシャ
ッタタイム8秒以下、好ましくは6秒以下であることが
不可欠である。シャッタタイムが8秒を超えるような画
像形成用樹脂組成物では、蛍光検出方式の自動外観検査
機で検査する場合に誤報が多く発生し、検査に支障をき
たす。特にパターンがファインな場合には、誤報が極め
て多く発生し、外観検査が全くできない。
本発明の画像形成用樹脂組成物には、 C,I 。
D  1sperse  Y ellov82 を含有
させることが必要である。C,1,D  1spers
aY el low 82  は、400〜650nm
の波長の光を照射した時に強い蛍光を発するため、画像
形成用樹脂組成物中に極少量配合することにより、蛍光
検出方式の自動外観検査機での外観検査を可能にする。
400〜650nmの波長の光を照射した時に蛍光を発
する化合物としては、C,1,D  1sl)erse
Y ellow82 以外に、ミヒラーズケトン、4.
4°−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等の4,
4°−ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン類が挙
げられるが、4.4゛−ビス(ジアルキルアミノ)ベン
ゾフェノン類を用いて蛍光検出方式の自動外観検査機で
の外観検査を可能にするには、該化合物を画像形成用樹
脂組成物中に多量に添加しなければならない。しかしな
がら、4.4−ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノ
ン類は、光重合開始剤としても使用され得る化合物であ
るため、感光性の画像形成用樹脂組成物中に該化合物を
多量に添加すると、樹脂組成物の硬化性、すなわち感度
や得られる画像の断面形状等に悪影響を与える。
これに対し、C,1,D  1sperse  Y e
l low 82  は、画像形成用樹脂組成物に少量
添加するだけで有効であり、しかも多量に添加した場合
でも樹脂組成物の硬化性にはほとんど影響を与えない。
C,1,D  1sperse  Y ellow82
は、K  ayaset  Y  e、l  low 
 5F−G(日本化薬(株)商品名)の名称で市販され
ているので、これをそのまま使用できるが、これに限定
されるものではない。
C,1,D  1sperse  Y ellow 8
2は、前記したように、画像形成用樹脂組成物の硬化物
又は乾燥物を蛍光顕微鏡を用いて写真撮影する際のシャ
ッタタイムが8秒以下になるように組成物中に添加する
必要があり、そのためにはC11、D  1spers
e  Y ellow 82を本発明の画像形成用樹脂
組成物中0.0005重量%以上添加することが必要で
あり、好ましくはo、oot重量%以上である。
C,1,D  1sperse  Y ellow82
の添加量がo、ooos重量%未満の画像形成用樹脂組
成物では、400〜650nmの波長の光によって励起
される蛍光の強度が弱く、蛍光検出方式の自動外観検査
機で検査する場合に誤報が多く発生し、検査に支障をき
たす。特にパターンがファインな場合には誤報が極めて
多く発生し、外観検査が全くできない。またC、1.D
  isperseYellow82の含有量が極端に
多いと、得られる画像形成用樹脂組成物の色が黄色味を
帯びてくること、および原料コストが高くなることから
、画像形成用樹脂組成物中への添加量は1.0重量%以
下が望ましい。
なお本発明の画像形成用樹脂組成物の硬化物又は乾燥物
の膜厚が薄い場合は、50μl厚に換算した場合のシャ
ッタタイムが8秒以下であっても、使用する自動外観検
査機に合わせて十分に短かいシャッタタイムになるよう
に蛍光を発する化合物の添加量を増やすことが望ましい
画像形成用樹脂組成物の樹脂としては、有機溶剤、水等
を揮散させることにより固化する樹脂、加熱することに
より固化する樹脂、光を照射することにより固化するネ
ガ型の樹脂、あるいは光が照射された部分だけが化学変
化をおこしその樹脂に適した現像溶媒を使用することに
より可溶化するポジ型の樹脂などを挙げることができる
。これらの樹脂を用いた画像形成用樹脂組成物は、オフ
セット印刷法、凸版印刷法1.スクリーン印刷法などに
よって画像を形成することができるが、高い解像度を有
する画像を形成させるためには、基材全面に画像形成用
樹脂組成物を付着させた後、露光、現像を行なってパタ
ーンを形成するいわゆる写真法が有利であり、従って樹
脂としては、光を照射することにより固化するネガ型の
樹脂あるいは光を照射することにより現像溶剤に可溶と
なるポジ型の樹脂を用いることが好ましい。
光を照射することにより固化する樹脂としては、1分子
中に1個以上の重合性基を有する化合物を含有している
樹脂があり、例えばポリマーの主鎖、側鎖にこのような
重合性基が結合している化合物からなる樹脂、重合性基
を有するモノマー・オリゴマーからなる樹脂、あるいは
熱可塑性パインダ−樹脂と重合性基を有するモノマー・
オリゴマーからなる樹脂等を挙げることができるが、こ
れらの樹脂の混合物であってももちろん使用可能である
ポリマーの主鎖、側鎖に重合性基が結合している化合物
の例としては、反応性の二重結合をもつ不飽和多塩基酸
と多価アルコールとの縮重合によって得られた不飽和ポ
リエステル樹脂等があり、具体的には、無水マレイン酸
/無水フタル酸/プロピレングリコール、無水マレイン
酸/イソフタル酸/プロピレングリコール、マレイン酸
/フマール酸/イソフタル酸/l、3−ブタンジオール
、マレイン酸/イソフタル酸/ネオペンチルグリコール
、無水マレイン酸/無水テトラヒドロフタル酸/ジプロ
ピレングリコール等から得られる樹脂等を挙げることが
出来る。
重合性基を有するモノマーおよびオリゴマーとしては、
常圧での沸点が100℃以上で分子量が10000以下
のものが用いられる。このようなモノマーおよびオリゴ
マーの例としては、フェノキシジェトキシ (メタ)ア
クリレート、メトキシポリエチレングリコール(メタ)
アクリレート、n−ブトキシメチルアクリルアミド、1
so−ブトキシメチルアクリルアミド等の単官能の(メ
タ)アクリレートや(メタ)アクリルアミド、及びポリ
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロ
ピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1゜3−ブ
タンジオールジ(メタ)アクリレート、1゜6−ヘキサ
ンシオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリ
コールジ(メタ)アクリレート、2゜2−ビス[4−(
メタ)アクリロキシポリエトキシフェニル]プロパン、
2.2−ビス[4−(メタ)アクリロキシポリプロピレ
ンオキシフェニルコプロパン、ヒドロキシピバリン酸ネ
オペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、グリセ
リンジ(メタ)アクリレート、グリセリントリ(メタ)
アクリレート、トリメチロールエタンジ(メタ)アクリ
レート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレー
ト、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、
トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ト
リメチロールプロパントリス[ポリエトキシ(メタ)ア
クリレート]、トリメチロールプロパントリス[ポリプ
ロピレンオキシ(メタ)アクリレート]、イソシアヌル
酸トリエチロールジ(メタ)アクリレート、イソシアヌ
ル酸トリエチロールトリ(メタ)アクリレート、ペンタ
エリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリス
リトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリト
ールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリト
ールジトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリト
ールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリト
ールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリト
ールヘキサ(メタ)アクリレート等の多価アルコールの
ポリ(メタ)アクリレート類、グリシジル基含有化合物
に(メタ)アクリル酸を付加させたエポキシアクリレー
ト類、特公昭4B−41708号、特公昭50−603
4号、特開昭51−37193号各公報に記載されてい
るようなウレタン(メタ)アクリレート類、特公昭42
−30490号、特開昭48−64183号、特公昭4
9−43191号各公報に記載されているようなポリエ
ステルポリ(メタ)アクリレート類等の多官能(メタ)
アクリレートを挙げることができる。さらに日本接着協
会誌Vo1.2G、 No7. P、300〜308に
記載されているような硬化性モノマー及びオリゴマーも
使用することができる。これらは、1種あるいは混合し
て使用することができ、その使用量は本発明の樹脂組成
物中10重量%以上が好ましい。
本発明の画像形成用樹脂組成物が、1分子中に1個以上
の重合性基を有する重合性化合物を含有し、その画像形
成用樹脂組成物を活性光線で硬化させる場合には、本発
明の画像形成用樹脂組成物は、光重合開始剤を含有する
ことが好ましい。このような光重合開始剤の例としては
、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾイン
イソプロピルエーテル等のベンゾイン類、ベンジルジメ
チルケタール等のベンジルケタール類、2.2−ジェト
キシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1
−フェニルプロパン−1−オン、t−ヒドロキシシクロ
へキシルフェニルケトン、p−tert−ブチルトリク
ロロアセトフェノン、2−メチル−[4−(メチルチオ
)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン等の
アセトフェノン類、ベンジル等のα−ジカルボニル類、
1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(o−エ
トキシカルボニル)オキシム等のα−アシルオキシム類
、ベンゾフェノン、0−ベンゾイル安息香酸メチル等の
芳香族ケトン類、チオキサントン、2.4−ジエチルチ
オキサントン等のチオキサントン類、アントラキノン類
、ミヒラーズケトン、p−ジメチルアミノ安息香酸エチ
ル等のアミン類、トリメチルベンゾイルジフェニルホス
フィンオキサイド等公知のものに加えて「機能材料J 
19g6年lO月号、P、46〜61に記載されている
ような可視領域に感光性を持つ光重合開始剤などが挙げ
られ、これらは1種または混合して使用することができ
る。
これら光重合開始剤は、本発明の画像形成用樹脂組成物
中に10重量%以下の範囲で含有させることが好ましい
が、活性光線が電子線の場合には含まれていなくてもよ
い。
本発明の画像形成用樹脂組成物は、密着性、現像性、フ
ィルム形成性など種々の性能を付与あるいは改善する目
的で熱可塑性バインダー樹脂を含有することができる。
熱可塑性バインダー樹脂としては、他の成分との相溶性
を有している限りどれを使用してもかまわず、例えば、
 (メタ)アクリル酸エステル(共)重合体、スチレン
・ (メタ)アクリル酸エステル共重合体、アクリロニ
トリル(メタ)アクリル酸エステル共重合体、ポリビニ
ルピロリドン、ポリビニルアルコール、 (メタ)アク
リル酸エステル・ (メタ)アクリル酸共重合体、スチ
レン・ (メタ)アクリル酸共重合体、スチレン・マレ
イン酸共重合体、(メタ)アクリル酸エステル・ (メ
タ)アクリルアミド共重合体等を用いることができる。
これらの重合体は1種を用いても良いが、2種以上を適
当な比で混合して用いることもできる。
これらの熱可塑性バインダー樹脂のうち、弱アルカリ水
溶液で現像可能なものを使用するのがより望ましい。こ
のようなアルカリ水溶液可溶性の熱可塑性バインダー樹
脂としては、3〜tsgの炭素原子を含む、α、β−不
飽和カルボキシル基含有単量体を共重合成分として含む
ものが好ましく、最も好ましいのは、アクリル酸、メタ
クリル酸である。
これらの熱可塑性バインダー樹脂は、本発明の画像形成
用樹脂組成物中に任意な量を含有させることができる。
しかし含有量が90重量%を超える場合は、形成される
硬化物の機械的強度が弱くなり好ましくない。
本発明の画像形成用樹脂組成物は、必要に応じて各種樹
脂類、硬化促進用助剤、密着促進剤、熱重合禁止剤、染
料、顔料、可塑剤、増粘剤、消泡剤、難燃剤および充填
剤のような成分を加えてもよい。
本発明の画像形成用樹脂組成物は、印刷版、フォトレジ
スト、塗料等種々の用途に用いることができるが、特に
有用なのは、プリント配線板製造工程における画像形成
材料、すなわち、回路パターン形成用のエツチングレジ
ストやめつきレジスト、ソルダーレジスト、あるいは1
.シンボル印刷用インクなどであり、さらにこれらの中
でも、写真法で画像形成を行なう材料に特に適している
。これらの用途において本発明の画像形成用樹脂組成物
は、液状であるいはドライフィルムレジストのような半
固形状で使用される。
本発明の画像形成用樹脂組成物は、そのままでも、対象
とする基材上に成膜することができるが、沸点のあまり
高くない溶剤、例えばアセトン、メチルエチルケトン、
メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ジクロロメタン
、クロロホルム、メチルアルコール、エチルアルコール
、イソプロピルアルコール等の1種またはそれ以上に溶
解・混合することにより均一な溶液状とし、これを基材
上に塗布・乾燥して使用することもできる。また、この
溶液状の画像形成用樹脂組成物を、ポリエチレンテレフ
タレート等の支持フィルム上に塗布・乾燥してドライフ
ィルムレジストとし、これを対象とする基材にラミネー
トして使用することもできる。
〔実施例〕
以下、実施例により本発明を具体的に説明する。
実施例1 下記に示す成分を三本ロールで混練し、液状の樹脂組成
物を得た。
・TOHRAD :Hloo (東部化成(株)製、C
0OH変性ビスフエノールAタイプエボキンアクリレー
ト)35重量部 ・トリメチロールプロパントリアクリレート35重量部 ・ベンジルアクリレート18重量部 ・ベンジルジメチルケタール    4重量部・アエロ
ジル# 200(日本アエロジル(株)製鎖定形シリカ
)      8重量部 ・Kayaset Y ellow S F −G (
日本化薬(株)製)0.1重量部 この液状樹脂組成物を、銅張積層板上に厚さ50μmと
なるように塗布し、厚さ20μmのポリエチレンテレフ
タレートフィルムをかぶせた後、その上に下22種類の
フォトツールを密着させ、超高圧水銀灯を用いて ■ 全面透明 ■ ライン/スペース(L / S ) = 200/
 200 μm露光、硬化させた。露光量は三菱レイヨ
ン(株)製25段ステップタブレットで15段残りとな
るように調整した。続いて1%炭酸ナトリウム水溶液を
用い、未露光部分をスプレー現像した。現像は液温30
℃で1分間行なった。
■のフォトツールを用いて得られた画像を(株)ニコン
製落射蛍光顕微鏡オブチフオトXF−EFD2(励起フ
ィルター : EX435/I O、グイクロイックミ
ラー :DM−455、吸収フィルター :BA−48
0、対物レンズ:Plan410.13、投影レンズ:
CFPL5XSND2フィルタ:0PEN、ND4フィ
ルタ:OP E N。
視野絞すLzパー:0PEN、シャッタ:0PEN)お
よび(株)ニコン製顕微鏡写真撮影装置AFX−II(
ASA−100、露出補正0)を用いて、反射法で写真
撮影し、その際のシャッタタイムを測定した。結果を表
1に示す。
また、■のフォトツールを用いて得られた画像を実際に
オプトロチツク社自動外観検査機VISION−206
を用いて蛍光増幅率を各種かえて外観検査を行なった。
最も誤報率の少ない状態での結果を表1に示す。
比較例1 実施例1のKayaset Yellow S F−G
を添加せず、他は実施例1と同様にして液状の樹脂組成
物を得た。得られた液状樹脂組成物を実施例1と同様に
して評価し、その結果を表1に示した。
表  1 ※ O・・・誤報なし、検査可能 ×・・・誤報が多すぎて、検査不可能 実施例2〜5、比較例2〜4 表2に示す組成を有する液状の樹脂組成物を調合し、こ
れを厚さ25μmのポリエチレンテレフタレートフィル
ム上に、厚さ50μmとなるように塗布、乾燥してドラ
イフィルムレジストを得た。
続いて得られたドライフィルムレジストの塗布膜面を銅
張積層板にラミネートし、その上に下記2種類のフォト
ツールを密着させ、 ■ 全面透明 ■ ライン/スペース(L / S )= 200/ 
200μm超高圧水銀灯を用いて露光、硬化させた。超
高圧水銀灯は、ウシオ電機USH−102Dを用い、三
菱レイヨン(株)製25段ステップタブレットで15段
残りとなるような露光量で露光した。その際に必要な露
光量を表3に示した。
露光後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し
、1%炭酸ナトリウム水溶液を用いて未露光部分をスプ
レー現像した。現像は液温30”Cで1分間行なった。
■のフォトツールを用いて得られた画像を、実施例1と
同様にしてシャッタタイムを測定し、結果を表3に示し
た。また、■のフォトツールを用いて得られた画像を、
実施例1と同様にしてVISIGN−206での外観検
査を実施した。最も誤報率が少ない状態での結果を表3
に示した。
また、■のフォトツールを用いて得られた画像をミクロ
トーム装置で切削して画像の断面を出し、幅200μm
のラインの断面形状を観察した。その結果も表3に示し
た。
以下余白 〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明の画像形成用樹脂組成物に
よれば、波長400〜650nmの範囲の光を照射する
ことにより、十分な強度の蛍光を発するため、蛍光検出
方式の自動外観検査機による検査が可能であり、特にプ
リント配線板及び製造工程における品質や歩留りの向上
、製造コストの低減が可能となる。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)C.I.DisperseYellow82を0
    .0005重量%以上含有する画像形成用樹脂組成物で
    あって、該画像形成用樹脂組成物の硬化物または乾燥物
    を、蛍光顕微鏡により写真撮影する際のシャッタタイム
    が8秒以下であるような蛍光強度を有する画像形成用樹
    脂組成物。
  2. (2)請求項(1)記載の画像形成用樹脂組成物を用い
    て形成した画像を用いることを特徴とする蛍光検出方式
    自動外観検査方法。
JP25146590A 1990-09-20 1990-09-20 画像形成用樹脂組成物および蛍光検出方式自動外観検査方法 Pending JPH04130251A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25146590A JPH04130251A (ja) 1990-09-20 1990-09-20 画像形成用樹脂組成物および蛍光検出方式自動外観検査方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25146590A JPH04130251A (ja) 1990-09-20 1990-09-20 画像形成用樹脂組成物および蛍光検出方式自動外観検査方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04130251A true JPH04130251A (ja) 1992-05-01

Family

ID=17223224

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25146590A Pending JPH04130251A (ja) 1990-09-20 1990-09-20 画像形成用樹脂組成物および蛍光検出方式自動外観検査方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04130251A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA1258597A (en) Photopolymerizable photosensitive composition
KR20150095193A (ko) 감광성 엘리먼트
US4985343A (en) Crosslinking-curable resin composition
TWI397769B (zh) Alkali-soluble resin and method for producing the same, and a photosensitive resin composition, a hardened product and a color filter using an alkali-soluble resin
KR101318517B1 (ko) 필름형 광분해성 전사재료
JPS60208748A (ja) 感光性樹脂組成物及びこれを用いた積層体
JP7105786B2 (ja) 低官能化され部分ケン化されたポリ酢酸ビニルを含む放射線硬化性混合物
JP5376043B2 (ja) 感光性樹脂組成物並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
WO2021152709A1 (ja) 感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
JP2947601B2 (ja) 画像形成用樹脂組成物および蛍光検出方式自動外観検査方法
JPH0481473A (ja) 画像形成用樹脂組成物および蛍光検出方式自動外観検査方法
JPH04130251A (ja) 画像形成用樹脂組成物および蛍光検出方式自動外観検査方法
JP3010058B2 (ja) 画像形成用樹脂組成物および蛍光検出方式自動外観検査方法
JP2003270785A (ja) 着色感光性樹脂組成物及びカラーフィルター
JP2004302049A (ja) 感光性樹脂組成物
JPH04130162A (ja) 画像形成用樹脂組成物および蛍光検出方式自動外観検査方法
WO2022102675A1 (ja) 感光性エレメント、硬化物の製造方法、硬化物パターンの製造方法、及び、配線板の製造方法
WO2024116513A1 (ja) 感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、及びプリント配線板の製造方法
WO2024176541A1 (ja) 感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、及びプリント配線板の製造方法
TWI770665B (zh) 感光性樹脂組合物及感光性樹脂積層體
JPS6327830A (ja) 蛍光性光硬化組成物
JP4489918B2 (ja) 感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性材料
CN116348294A (zh) 感光性树脂层叠体
JPS6356649A (ja) 蛍光性光硬化膜
JP2004170485A (ja) 感光性樹脂組成物および感光性樹脂積層体