JPH048083B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

（発明の利用分野） 本発明はLSI装置の製造などにおいて要求され
る高清浄度を持つ作業環境を実現するために用い
る空気清浄化用濾過体に関するものである。 （発明の背景） 電子工業、精密工業、製薬工業など塵埃の付着
が製品の性能などに致命的な影響を及ぼすものの
製造においては、高度な無塵化環境が要求されて
いる。これに伴い0.3μｍ径の粒子を99.97％以上
の効率で捕捉することができる精密濾過用の濾紙
が開発され、空気浄化用の高性能濾紙として用い
られる。 これらの高性能濾紙は、通常、細い硝子短繊維
を強度付与のための接着用の樹脂を混入した水中
に混合して抄紙したものを乾燥して製造されてい
る。 使用する繊維の太さは要求される性能に対応し
て選ばれる。 濾紙は、濾過要量を大にするために紙厚を大き
くすることが一般に行われており、空気入の塵埃
は濾紙の表面及び濾紙中に捕捉されるようになつ
ている。 例えば、濾紙の厚さを400μｍとした場合、空
気中の塵埃は、その空気入口側の表面及び入口側
から約200μｍの範囲に捕捉され、濾紙外に出て
くるものは殆どない。 しかしながら、本発明者が調べたところ、上記
のように空気中の塵埃を充分に除くことができる
濾紙を用いた場合にも、使用条件によつては、濾
紙の出口側から微細粒子が洩れてくることが判明
した。 そこで、本発明者は、市販の平均径が約0.4〜
0.7μｍの硝子短繊維を0.4mmの圧さに抄紙して作
られた、0.3μｍ径の粒子に対して99.97％の捕捉
効率をもつ濾紙を４cm×４cmの大きさに切断し、
これを無塵の水、即ち純粋100c.c.中に１分間宛３
回浸漬して、純水中に流出してくる微細粒子を測
定したところ第１表に示す結果を得た。

【表】 上記結果から、濾紙の出口側から微細粒子が洩
れてくるのは、濾紙に含まれている硝子繊維屑等
の微細粒子によるものであることが判明した。 濾紙に含まれている硝子繊維屑等の微細粒子
は、送風などにより振動・衝撃が与えられると濾
紙から脱落して浄化された空気中に混入してくる
ことになる。 濾紙は、細い硝子短繊維を強度付与のための接
着用の樹脂を混入した水中に混合して抄紙したも
のを乾燥して製造されるが、繊維を製造する際に
微細な繊維屑を生じ、これが濾紙中に混入してく
ることになる。また、使用する水中にも微細な粒
子が存在し、これも濾紙中に混入してくることと
なる。 これら微粒子は、抄紙に使用する接着剤の量を
多くすることにより繊維の表面に固定することは
できる。しかし接着剤の量を多くすると、繊維相
互間に形成される通気細孔を閉塞する割合も多く
なるため圧力損失が増大する。 以上のように、濾紙から洩れてくる微細粒子を
除くには、基本的には濾紙の製造工程において含
有微細粒子を作らないようにすることが必要であ
るが、その実現は難かしい。 そこで本発明者は、先に、例えばポリ四弗化エ
チレンなどの弗素系樹脂を処理して作られた、濾
紙の厚さ400〜500μｍに対して極めて薄い、厚さ
５〜20μｍの多孔質膜、例えばジヤパンゴアテツ
クス株式会社製、商品名ゴアテツクスが、抄紙濾
紙のような発塵物が全くなく、しかも、紙から洩
れてくる微細粒子を阻止するのに充分な小さい通
気細孔を持つと同時に、極めて薄く、最高95％程
度の極めて大きい開口率をもち、圧力損失が少な
いことから、第１図に示すように濾紙１の空気流
出口側、即ち下流方向面に発塵阻止用多孔質膜２
として重ね合わせることにより、少ない圧力損失
のもとに発塵を効果的に阻止して高性能濾紙の性
能の向上を図ることを提案した（特願昭61−
117497号参照）。 しかし、この多孔質膜２は圧力損失を少なくす
るために極めて薄くなつており、それ自体では必
要とする機械的強度を得ることができない。そこ
で濾紙１との重ね合わせに当つては、例えば接着
剤を使用し張り合わせることが強度的にも加工の
容易性からも有利であるが、濾紙１の表面には繊
維の緻密な重なり合いにもとずく細かい凹凸があ
り、多孔質膜２の表面は平滑であるため、充分な
強度を得ようとすると多孔質膜２の通気細孔が接
着剤によつて埋められ、開孔率が低下し、圧力損
失の増大を招いてしまう。 また、接着剤によつて通気細孔が埋められたこ
とによつてもたらされる圧力損失の増大を防ぐた
めに、濾紙の四周部において多孔質膜２を接着す
る方法、或いは多孔質膜２を枠体に貼つて濾紙１
と重ね合わせる方法をとると、送風圧に対する機
械的強度が充分でなくなる。 （発明の目的） したがつて、本発明の第１の目的は、硝子繊維
により形成され、0.3μｍ径の粒子を99.97％以上
の効率で捕捉することができる空気清浄化用の高
性能濾紙から脱落してくる微粒子を除き、無塵の
空気を得るための空気清浄化用濾過体を提供する
ことにある。 本発明の第２の目的は、機械的強度が改良され
た空気清浄化用濾過体を提供することにある。 （発明の構成） 本発明の上記の目的は、硝子繊維により形成さ
れ、0.3μｍ径の粒子を99.97％以上の効率で捕捉
することができる空気清浄化用の高性能濾紙の空
気流出側面に、該高性能濾紙内に含有又は表面に
付着している繊維の再発微粒子の通過を阻止しう
る径の通気細孔を多数有し、その開孔率が大きい
薄い発塵阻止用多孔質膜の一面に通気性のよい網
状布体を接着した微細粒子阻止体を、通気性のよ
い網状布体が上記高性能濾紙の空気流出側面に向
くように重ね合わせたことを特徴とする空気清浄
化用濾過体によつて形成される。 （発明の具体的構成） 以下、本発明を詳細に説明する。 第２図は本発明の空気清浄化用濾過体の例を示
すものであり、本発明を第２図にしたがつて詳細
に説明する。 第２図において、１は硝子繊維により形成さ
れ、0.3μｍ径の粒子を99.97％以上の効率で捕捉
することができる空気清浄化用の高性能の抄紙濾
紙、２は濾紙１内に含有又は表面に付着している
繊維の再発微粒子の通過を阻止しうる径の通気細
孔を多数有し、その開孔率が大きい薄い多孔質膜
からなる発塵阻止多孔質膜である。 多孔質膜２はその一面には、図に示すように通
気性のよい網状布体３が接着されており、濾紙１
の空気流出側面に重ね合わされている。また、重
ね合わせに当たつては接着剤を用いることができ
る。 次に具体例について説明する。 ポリエチレン繊維より作られた線径0.3mmであ
つて、網目５mm×５mmの網状布体３を多孔質膜２
に重ね合わせたものを、250〜300℃に加熱したロ
ーラ間に通して圧力を加えることにより、多孔質
膜２と網状布体３とを融着する。 次いで、これを硝子短繊維を抄紙して製造した
濾紙１の下流面に重ね合わせるか、または、濾紙
１の下流面にアクリル樹脂水エマルジヨン液を塗
布し、網状布体３が濾紙１に面するように重ね合
わせて接着し、本発明の空気清浄化用濾過体とす
る。 網状布体３として硝子繊維製のものを使用し、
多孔質膜２として弗素樹脂のものが使用された場
合には、網状布体３の一面に弗素樹脂水エマルジ
ヨン液を塗布し、150℃程度の温度で乾燥し、400
〜500℃で加熱処理したのち、多孔質膜２と重ね
合わせて加熱したローラ間に通して接着し、これ
を硝子短繊維を抄紙して製造した濾紙１の下流面
に重ね合わせるか、または、上記と同一要領によ
り濾紙１面に接着し、本発明の空気清浄化用濾過
体とする。 実験によれば、前記のように線径0.3mmであつ
て、網目５mm×５mmの網状布体３を、開口率が95
％の多孔質膜に接着した場合、開孔の低下は約10
〜15％であつた。 （発明の効果） 以上のように、本発明においては、多孔質膜２
と通気性のよい網状布体３が接着されているの
で、多孔質膜２は網状布体３によつて補強され、
また、接着による開孔率の低下を少なくすること
ができる。従つて、本発明の微細粒子阻止体を濾
紙の空気流出側面に重ね合わせても送風圧に耐え
ることができる。しかも本発明の微細粒子阻止体
を濾紙と接着しても、接着される濾紙１と網状布
体３の面にはそれぞれ凹凸があるので、接着によ
る通気細孔の目詰まりは少なく圧力損失の大きな
上昇を招くおそれがない。 また、高性能濾紙からの再発塵を防ぎ、安定し
た空気清浄化度を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は発塵阻止用多孔質膜を有する空気清浄
化用濾過体の説明斜視図、第２図は本発明の実施
例斜視図である。 １……高性能濾紙、２……発塵阻止用多孔質
膜、３……網状布体。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 硝子繊維により形成され、0.3μｍ径の粒子を
   99.97％以上の効率で捕捉することができる空気
   清浄化用の高性能濾紙の空気流出側面に、該高性
   能濾紙内に含有又は表面に付着している繊維の再
   発微粒子の通過を阻止しうる径の通気細孔を多数
   有し、その開孔率が大きい薄い発塵阻止用多孔質
   膜の一面に通気性のよい網状布体を接着した微細
   粒子阻止体を、通気性のよい網状布体が上記高性
   能濾紙の空気流出側面に向くように重ね合わせた
   ことを特徴とする空気清浄化用濾過体。