JPH0478429B2 - - Google Patents
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- JPH0478429B2 JPH0478429B2 JP59099050A JP9905084A JPH0478429B2 JP H0478429 B2 JPH0478429 B2 JP H0478429B2 JP 59099050 A JP59099050 A JP 59099050A JP 9905084 A JP9905084 A JP 9905084A JP H0478429 B2 JPH0478429 B2 JP H0478429B2
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- rotation
- axis
- polishing
- rotating
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Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
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- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 6
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
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- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明の面取り加工方法は、主としてフロツピ
ーデイスクヘツドの面取り加工に利用されるもの
である。
ーデイスクヘツドの面取り加工に利用されるもの
である。
従来例の構成とその問題点
フロツピーデイスクヘツド(被加工物)Aは第
1図に示す如く、セラミツクスなどの脆性材料か
らなる略直方体形状のものであるが、フロツピー
デイスクを傷付けないように、これに対向する面
(加工対象面)1の外縁部2には全周にわたつて
曲面状の面取り加工が施されている。そして前記
加工対象面1のフラツト部3と曲面状の面取り部
2aとの継ぎ目dの滑らかさが高精度で要求され
ている。例えば加工対象面1の短軸Y方向におい
て、a/b=0.0003mm/0.020mmという規格が実
用許容値として定められている(第2図)。これ
は継ぎ目dにおける傾斜曲面の傾斜角度〓が
0.86゜以下であることを意味する。
1図に示す如く、セラミツクスなどの脆性材料か
らなる略直方体形状のものであるが、フロツピー
デイスクを傷付けないように、これに対向する面
(加工対象面)1の外縁部2には全周にわたつて
曲面状の面取り加工が施されている。そして前記
加工対象面1のフラツト部3と曲面状の面取り部
2aとの継ぎ目dの滑らかさが高精度で要求され
ている。例えば加工対象面1の短軸Y方向におい
て、a/b=0.0003mm/0.020mmという規格が実
用許容値として定められている(第2図)。これ
は継ぎ目dにおける傾斜曲面の傾斜角度〓が
0.86゜以下であることを意味する。
このように被加工物Aを高精度で面取り加工す
る従来法として、第3図及び第4図に示す方法が
ある。この従来法は、回転円盤18上に弾性シー
ト4を介在させて研磨シート5を配設した研磨装
置6と、被加工物Aに自転,揺動及び自転軸方向
の付勢力を与える被加工物保持装置7とを用いて
面取り加工を行なうものである。
る従来法として、第3図及び第4図に示す方法が
ある。この従来法は、回転円盤18上に弾性シー
ト4を介在させて研磨シート5を配設した研磨装
置6と、被加工物Aに自転,揺動及び自転軸方向
の付勢力を与える被加工物保持装置7とを用いて
面取り加工を行なうものである。
前記被加工物保持装置7は3個の被加工物Aを
同時に面取り加工できるように3本のホルダ8を
備え、これらホルダ8の夫々に被加工物Aをその
加工対象面1が下になるように保持させている。
前記ホルダ8はそ中心線を自転軸P′として自転す
ることにより、被加工物Aに自転を与えている。
9は前記ホルダ8を自転させるためのモータであ
る。前記ホルダ8はホルダ支持体10に上下動可
能に支持されると共にバネ11によつて下方に付
勢されている。この結果、被加工物Aは自転軸
P′方向に付勢され、その加工対象面1の外縁部2
は所定弾性荷重下前記研磨シート5に常に圧接す
る。前記ホルダ支持体10は揺動アーム12の先
端部に取付けられ、揺動アーム12の揺動に伴つ
て所定角度範囲a′内で揺動する。この結果ホルダ
8ひいては被加工物Aに、図にQ′で示される揺
動中心線回りの揺動が与えられる。尚、第3図及
び第4図において、13は揺動アーム12に揺動
を与えるクランク機構、14は被加工物保持装置
7全体を機枠15に対し上下動させるシリンダ装
置、16は前記研磨装置6の回転円盤18を回転
駆動するモータである。
同時に面取り加工できるように3本のホルダ8を
備え、これらホルダ8の夫々に被加工物Aをその
加工対象面1が下になるように保持させている。
前記ホルダ8はそ中心線を自転軸P′として自転す
ることにより、被加工物Aに自転を与えている。
9は前記ホルダ8を自転させるためのモータであ
る。前記ホルダ8はホルダ支持体10に上下動可
能に支持されると共にバネ11によつて下方に付
勢されている。この結果、被加工物Aは自転軸
P′方向に付勢され、その加工対象面1の外縁部2
は所定弾性荷重下前記研磨シート5に常に圧接す
る。前記ホルダ支持体10は揺動アーム12の先
端部に取付けられ、揺動アーム12の揺動に伴つ
て所定角度範囲a′内で揺動する。この結果ホルダ
8ひいては被加工物Aに、図にQ′で示される揺
動中心線回りの揺動が与えられる。尚、第3図及
び第4図において、13は揺動アーム12に揺動
を与えるクランク機構、14は被加工物保持装置
7全体を機枠15に対し上下動させるシリンダ装
置、16は前記研磨装置6の回転円盤18を回転
駆動するモータである。
従来法は上述のように被加工物Aに自転,揺動
及び自転軸P′方向の付勢力を与えつつ、その加工
対象面1の外縁部2を前記研磨装置6の研磨シー
ト5に圧接させることによつて面取り加工を行な
つている。そして被加工物Aの揺動範囲を、第4
図に示す如く、前記揺動中心線Q′を通り研磨シ
ート5に垂直な垂直線V′の片側にのみ存するよ
うに定めて、被加工物Aのフラツト部3(第1図
参照)が研磨シート5に接触して研磨痕跡が付け
られるのを回避している。又、被加工物Aが第4
図仮想線で示すように、前記垂直線V′に最も近
付いた揺動位置において、前記加工対象面1にフ
ラツト部3と面取り部2aとの継ぎ目dにおける
傾斜曲面の加工が行なわれるのであるが、このと
き研磨シート5の下の弾性シート4の弾性変形に
よつて、前記傾斜曲面の傾斜角度〓が0.86゜以下
の高精度な面取り加工が可能になる。
及び自転軸P′方向の付勢力を与えつつ、その加工
対象面1の外縁部2を前記研磨装置6の研磨シー
ト5に圧接させることによつて面取り加工を行な
つている。そして被加工物Aの揺動範囲を、第4
図に示す如く、前記揺動中心線Q′を通り研磨シ
ート5に垂直な垂直線V′の片側にのみ存するよ
うに定めて、被加工物Aのフラツト部3(第1図
参照)が研磨シート5に接触して研磨痕跡が付け
られるのを回避している。又、被加工物Aが第4
図仮想線で示すように、前記垂直線V′に最も近
付いた揺動位置において、前記加工対象面1にフ
ラツト部3と面取り部2aとの継ぎ目dにおける
傾斜曲面の加工が行なわれるのであるが、このと
き研磨シート5の下の弾性シート4の弾性変形に
よつて、前記傾斜曲面の傾斜角度〓が0.86゜以下
の高精度な面取り加工が可能になる。
しかし上記従来法は次のような問題点を有して
いる。
いる。
前記弾性シート4の弾性係数,表面硬さなど
の初期のばらつきやその経年変化によつて、前
記傾斜曲面の傾斜角度〓が大きく影響を受け、
製品の品質が不安定になる。
の初期のばらつきやその経年変化によつて、前
記傾斜曲面の傾斜角度〓が大きく影響を受け、
製品の品質が不安定になる。
フロツピーデイスクヘツドはそれが取付けら
れる機種毎に、面取り部2aの曲面形状の規格
が異なつている。このように面取り部2aの曲
面形状が異なる種々の被加工物Aに対応させる
ためには、前記弾性シート4を種々取揃えるこ
とが必要である上に、被加工物Aの種類,寸法
が異なる毎に、トライアンドエラー的に弾性シ
ート4を選択したり、加工条件を決めることが
必要である。
れる機種毎に、面取り部2aの曲面形状の規格
が異なつている。このように面取り部2aの曲
面形状が異なる種々の被加工物Aに対応させる
ためには、前記弾性シート4を種々取揃えるこ
とが必要である上に、被加工物Aの種類,寸法
が異なる毎に、トライアンドエラー的に弾性シ
ート4を選択したり、加工条件を決めることが
必要である。
発明の目的
本発明は上記従来法の諸問題点を一挙に解消す
ると共に、前記傾斜曲面の傾斜角度の一層の微小
化を図ることを目的とする。
ると共に、前記傾斜曲面の傾斜角度の一層の微小
化を図ることを目的とする。
発明の構成
本発明は上記目的を達成するため平面状の加工
対象面を有する被加工物の前記加工対象面の外縁
部を、回転ドラムに捲き掛けた研磨テープの研磨
面に圧接させて、被加工物の面取り加工を行う方
法において、被加工物をその加工対象面に垂直な
自転軸の回りに自転させると共に、前記自転軸を
含み且つ前記回転ドラムの回転軸心に平行な面上
に、前記被加工物を揺動させ、更に被加工物を前
記自転軸方向に変位可能に配すると共に、その加
工対象面の外縁部が常に前記研磨面に接触するよ
うにこれを研磨面側に向け付勢し、且つ前記回転
ドラムを前記被加工物と前記回転ドラムとの前記
研磨テープを介しての接触部における前記回転ド
ラムの周速度ベクトルのうち前記被加工物の自転
軸と平行な方向の成分が前記回転ドラムの回転軸
側とは反対の方向を向くように回転させて面取り
を行なうことを特徴とする。
対象面を有する被加工物の前記加工対象面の外縁
部を、回転ドラムに捲き掛けた研磨テープの研磨
面に圧接させて、被加工物の面取り加工を行う方
法において、被加工物をその加工対象面に垂直な
自転軸の回りに自転させると共に、前記自転軸を
含み且つ前記回転ドラムの回転軸心に平行な面上
に、前記被加工物を揺動させ、更に被加工物を前
記自転軸方向に変位可能に配すると共に、その加
工対象面の外縁部が常に前記研磨面に接触するよ
うにこれを研磨面側に向け付勢し、且つ前記回転
ドラムを前記被加工物と前記回転ドラムとの前記
研磨テープを介しての接触部における前記回転ド
ラムの周速度ベクトルのうち前記被加工物の自転
軸と平行な方向の成分が前記回転ドラムの回転軸
側とは反対の方向を向くように回転させて面取り
を行なうことを特徴とする。
実施例の説明
以下本発明を図面に示す実施例に基き具体的に
説明する。
説明する。
第5図及び第6図は本発明方法を実施する装置
を示している。研磨装置20としては水平方向の
回転軸心Sの回りに回転する剛性の回転ドラム4
0に研磨テープ41を捲き掛けたものが用いられ
る。23は前記回転ドラム40を回転駆動するモ
ータ、24はベルト、25a,25bはプーリで
ある。そして、前記回転ドラム40は面取り加工
時、第5図に矢印で示す方向に回転し、研磨テー
プ41を矢印方向に走行させて、被加工物Aを研
磨する。42,43はテープラツプローラであつ
て、回転ドラム40に対し従動関係にある。逆
に、回転ドラム40をフリーにして、テープラツ
プローラ42,43を駆動側にしてもよい。
を示している。研磨装置20としては水平方向の
回転軸心Sの回りに回転する剛性の回転ドラム4
0に研磨テープ41を捲き掛けたものが用いられ
る。23は前記回転ドラム40を回転駆動するモ
ータ、24はベルト、25a,25bはプーリで
ある。そして、前記回転ドラム40は面取り加工
時、第5図に矢印で示す方向に回転し、研磨テー
プ41を矢印方向に走行させて、被加工物Aを研
磨する。42,43はテープラツプローラであつ
て、回転ドラム40に対し従動関係にある。逆
に、回転ドラム40をフリーにして、テープラツ
プローラ42,43を駆動側にしてもよい。
被加工物保持装置26は前記被加工物Aを着脱
可能に保持するホルダ27を備え、このホルダ2
7に被加工物Aをその加工対象面1が下になるよ
うに保持させている。前記ホルダ27はホルダ支
持体28に回転自在且つ上下動自在に保持されて
いる。29は前記ホルダ27を回転駆動するモー
タで、この回転は一対のプーリ30a,30b及
びタイミングベルト31を経てホルダ27に伝え
られる。これによつてホルダ27はその中心線を
自転軸Pとして自転することにより、被加工物A
に自転を与えている。前記ホルダ支持体28には
バネ32が内装されており、このバネ32によつ
てホルダ27を下方に向け付勢している。これに
よつて被加工物Aは前記自転軸P方向に変位可能
に配されると共に、その加工対象面1の外縁部2
が常に前記研磨テープ41の研磨面21に接触す
るように付勢される。
可能に保持するホルダ27を備え、このホルダ2
7に被加工物Aをその加工対象面1が下になるよ
うに保持させている。前記ホルダ27はホルダ支
持体28に回転自在且つ上下動自在に保持されて
いる。29は前記ホルダ27を回転駆動するモー
タで、この回転は一対のプーリ30a,30b及
びタイミングベルト31を経てホルダ27に伝え
られる。これによつてホルダ27はその中心線を
自転軸Pとして自転することにより、被加工物A
に自転を与えている。前記ホルダ支持体28には
バネ32が内装されており、このバネ32によつ
てホルダ27を下方に向け付勢している。これに
よつて被加工物Aは前記自転軸P方向に変位可能
に配されると共に、その加工対象面1の外縁部2
が常に前記研磨テープ41の研磨面21に接触す
るように付勢される。
前記ホルダ支持体28は略形の揺動アーム3
3の先端部に取付けられている。この揺動アーム
33はその基端部において、水平方向の揺動中心
線Q回りに揺動するように、機枠34に支持され
ている。35は揺動アーム33に揺動を与えるク
ランク機構、36はこれを駆動するモータであ
る。かくして前記ホルダ支持体28ひいてはホル
ダ27は前記揺動中心線Qの回りに揺動するの
で、被加工物Aにも第6図及び第7図に示す如き
揺動が与られる。
3の先端部に取付けられている。この揺動アーム
33はその基端部において、水平方向の揺動中心
線Q回りに揺動するように、機枠34に支持され
ている。35は揺動アーム33に揺動を与えるク
ランク機構、36はこれを駆動するモータであ
る。かくして前記ホルダ支持体28ひいてはホル
ダ27は前記揺動中心線Qの回りに揺動するの
で、被加工物Aにも第6図及び第7図に示す如き
揺動が与られる。
前記被加工物Aが揺動する面、すなわち揺動面
Fは、前記自転軸Pを含み且つ前記回転軸心Sに
平行な面となるように設定される。本実施例では
この揺動面Fは鉛直面となる。又その揺動中心線
Qは被加工物Aの加工対象面1より若干下方に位
置するように定められている。更に被加工物Aの
揺動範囲aは、その鉛直方向の基準線Vに対し左
右対称の所定角度範囲にある。
Fは、前記自転軸Pを含み且つ前記回転軸心Sに
平行な面となるように設定される。本実施例では
この揺動面Fは鉛直面となる。又その揺動中心線
Qは被加工物Aの加工対象面1より若干下方に位
置するように定められている。更に被加工物Aの
揺動範囲aは、その鉛直方向の基準線Vに対し左
右対称の所定角度範囲にある。
前記回転軸心Sと前記揺動面Fとの間の距離x
(第5図,第8図)は、前記加工対象面1の自転
時の最小径(これは第1図に示す如く、被加工物
Aの短軸Y方向の幅に該当する。)をL、前記円
筒形砥石22の半径をrとしたとき、次の関係式
を充足する範囲で定めると好適である。
(第5図,第8図)は、前記加工対象面1の自転
時の最小径(これは第1図に示す如く、被加工物
Aの短軸Y方向の幅に該当する。)をL、前記円
筒形砥石22の半径をrとしたとき、次の関係式
を充足する範囲で定めると好適である。
(x/r−L/2r)<0.015 ……(1)
本発明方法は上記装置を用いて以下のように実
施することができる。
施することができる。
本発明方法を面取り加工の最終仕上加工として
用いる場合には、先ずxをr及びLとの関係で上
記関係式(1)を満足するように定める。又回転ドラ
ム40を被加工物Aと回転ドラム40との研磨テ
ープ41を介しての接触部における回転ドラム4
0の周速度ベクトルのうち被加工物Aの自転軸P
と平行な方向の成分が回転ドラム40の回転軸心
Sとは反応の方向を向くように回転させる。次い
で被加工物Aを前記ホルダ27にセツトし、この
被加工物Aに自転軸P回りの自転、前記揺動面F
内の揺動、自転軸P方向の付勢力を与えて、その
加工対象面1の外縁部2を研磨テープ41の前記
研磨面21に圧接させ、前記研磨装置20による
面取り加工を行なう。
用いる場合には、先ずxをr及びLとの関係で上
記関係式(1)を満足するように定める。又回転ドラ
ム40を被加工物Aと回転ドラム40との研磨テ
ープ41を介しての接触部における回転ドラム4
0の周速度ベクトルのうち被加工物Aの自転軸P
と平行な方向の成分が回転ドラム40の回転軸心
Sとは反応の方向を向くように回転させる。次い
で被加工物Aを前記ホルダ27にセツトし、この
被加工物Aに自転軸P回りの自転、前記揺動面F
内の揺動、自転軸P方向の付勢力を与えて、その
加工対象面1の外縁部2を研磨テープ41の前記
研磨面21に圧接させ、前記研磨装置20による
面取り加工を行なう。
前記被加工物Aの揺動範囲aは適宜定めること
ができるが、例えば前記基準線Vの左右に夫々
40゜,計80゜に定めることができる。又被加工物A
が上記揺動範囲aを1往復すると、研磨作業が完
了するように構成すると好適であり、これに要す
る時間を例えば40秒とすることができる。前記研
磨テープ41として、ポリエステル製基布上に酸
化クロムの砥粒を塗布したものを用いると好適で
ある。前記研磨テープ41の走行速度を10m/分
とするとよく、又被加工物Aの自転速度は例えば
200r..P.mとするとよい。
ができるが、例えば前記基準線Vの左右に夫々
40゜,計80゜に定めることができる。又被加工物A
が上記揺動範囲aを1往復すると、研磨作業が完
了するように構成すると好適であり、これに要す
る時間を例えば40秒とすることができる。前記研
磨テープ41として、ポリエステル製基布上に酸
化クロムの砥粒を塗布したものを用いると好適で
ある。前記研磨テープ41の走行速度を10m/分
とするとよく、又被加工物Aの自転速度は例えば
200r..P.mとするとよい。
本発明方法は上述の如く、回転ドラム40に捲
き掛けた研磨テープ41によつて被加工物Aを研
磨する方法を採用しているが、その研磨テープ4
1の走行方向、換言すれば回転ドラム40の回転
方向によつて、被加工物Aの前記傾斜曲面におけ
る傾斜角度〓に大きな差異が現われることが実験
によつて確められた成果をも含んでいる。すなわ
ち研磨テープ41をダウンカツト方向に走行させ
た場合には、前記傾斜角度〓の微小化を図ること
が極めて困難である反面、本発明方法のように研
磨テープ41を第5図および第8図の矢印方向に
走行させると前記傾斜角度〓の微小化を容易に図
ることができたのである。
き掛けた研磨テープ41によつて被加工物Aを研
磨する方法を採用しているが、その研磨テープ4
1の走行方向、換言すれば回転ドラム40の回転
方向によつて、被加工物Aの前記傾斜曲面におけ
る傾斜角度〓に大きな差異が現われることが実験
によつて確められた成果をも含んでいる。すなわ
ち研磨テープ41をダウンカツト方向に走行させ
た場合には、前記傾斜角度〓の微小化を図ること
が極めて困難である反面、本発明方法のように研
磨テープ41を第5図および第8図の矢印方向に
走行させると前記傾斜角度〓の微小化を容易に図
ることができたのである。
本発明は上記実施例に示す外、種々の態様に構
成することができる。
成することができる。
例えば前記被加工物保持装置26を複数本のホ
ルダ27,ホルダ支持体28,揺動アーム33を
有する構造として、複数個の被加工物Aを同時に
面取り加工できるようにして、本発明方法を実施
することができる。
ルダ27,ホルダ支持体28,揺動アーム33を
有する構造として、複数個の被加工物Aを同時に
面取り加工できるようにして、本発明方法を実施
することができる。
発明の効果
本発明は回転ドラムを被加工物と回転ドラムと
の研磨テープを介しての接触部における回転ドラ
ムの周速度ベクトルのうち被加工物の自転軸と平
行な方向の成分が回転ドラムの回転軸側とは反対
の方向を向くように回転させて、研磨テープによ
る面取り加工を行なつているので、面取り加工精
度が向上する。
の研磨テープを介しての接触部における回転ドラ
ムの周速度ベクトルのうち被加工物の自転軸と平
行な方向の成分が回転ドラムの回転軸側とは反対
の方向を向くように回転させて、研磨テープによ
る面取り加工を行なつているので、面取り加工精
度が向上する。
第1図は本発明方法の被加工物の一例であるフ
ロツピーデイスクヘツドの斜視図、第2図はその
Y軸方向の断面を示す斜視図、第3図は従来法に
用いられる装置を示す側面図、第4図はその要部
の拡大正面図、第5図は本発明方法に用いられる
装置の一例を示す側面図、第6図は第5図の−
線矢視図、第7図は本発明方法の原理を示す正
面図、第8図はその側面図である。 1……加工対象面、2……外縁部、21……研
磨面、40……回転ドラム、41……研磨テー
プ、A……被加工物、P……自転軸、S……回転
軸心、F……被加工物が揺動する面。
ロツピーデイスクヘツドの斜視図、第2図はその
Y軸方向の断面を示す斜視図、第3図は従来法に
用いられる装置を示す側面図、第4図はその要部
の拡大正面図、第5図は本発明方法に用いられる
装置の一例を示す側面図、第6図は第5図の−
線矢視図、第7図は本発明方法の原理を示す正
面図、第8図はその側面図である。 1……加工対象面、2……外縁部、21……研
磨面、40……回転ドラム、41……研磨テー
プ、A……被加工物、P……自転軸、S……回転
軸心、F……被加工物が揺動する面。
Claims (1)
- 1 平面状の加工対象面を有する被加工物の前記
加工対象面の外縁部を、回転ドラムに捲き掛けた
研磨テープの研磨面に圧接させて、被加工物の面
取り加工を行う方法において、被加工物をその加
工対象面に垂直な自転軸の回りに自転させると共
に、前記自転軸を含み且つ前記回転ドラムの回転
軸心に平行な面上に、前記被加工物を揺動させ、
更に被加工物を前記自転軸方向に変位可能に配す
ると共に、その加工対象面の外縁部が常に前記研
磨面に接触するようにこれを研磨面側に向け付勢
し、且つ前記回転ドラムを前記被加工物と前記回
転ドラムとの前記研磨テープを介しての接触部に
おける前記回転ドラムの周速度ベクトルのうち前
記被加工物の自転軸と平行な方向の成分が前記回
転ドラムの回転軸側とは反対の方向を向くように
回転させて面取りを行なうことを特徴とする面取
り加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9905084A JPS60242949A (ja) | 1984-05-17 | 1984-05-17 | 面取り加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9905084A JPS60242949A (ja) | 1984-05-17 | 1984-05-17 | 面取り加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60242949A JPS60242949A (ja) | 1985-12-02 |
JPH0478429B2 true JPH0478429B2 (ja) | 1992-12-11 |
Family
ID=14236741
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9905084A Granted JPS60242949A (ja) | 1984-05-17 | 1984-05-17 | 面取り加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60242949A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63232952A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-28 | Canon Inc | 研磨装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56128647A (en) * | 1980-03-12 | 1981-10-08 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Production of aluminum coated steel wire |
-
1984
- 1984-05-17 JP JP9905084A patent/JPS60242949A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56128647A (en) * | 1980-03-12 | 1981-10-08 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Production of aluminum coated steel wire |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS60242949A (ja) | 1985-12-02 |
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