JPH0475309B2 - - Google Patents
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- JPH0475309B2 JPH0475309B2 JP61243630A JP24363086A JPH0475309B2 JP H0475309 B2 JPH0475309 B2 JP H0475309B2 JP 61243630 A JP61243630 A JP 61243630A JP 24363086 A JP24363086 A JP 24363086A JP H0475309 B2 JPH0475309 B2 JP H0475309B2
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Landscapes
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- Soft Magnetic Materials (AREA)
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Description
[産業上の利用分野]
本発明は蒸着用Fe−Si−Al基合金に係り、特
にその高透磁率を利用したヘツド材や磁気記録材
料の下地材料として用いられる薄膜の製造に好適
な蒸着用Fe−Si−Al基合金に関する。 [従来の技術] 非磁性基板上に磁性合金薄膜を形成した磁気記
録材料は周知である。 この磁気記録材料の薄膜を製造する方法として
は、スパツタリングや真空蒸着、イオンプレーテ
イング等の蒸着法が広く用いられている。 特にスパツタリング法は、均一な内部組成で一
定の合金元素を含んだターゲツト材が得られさえ
すれば、スパツタリング装置内の圧力をコントロ
ールしながら組成的に均一な薄膜を得ることがで
きる点で有利である。 磁性合金薄膜を形成する強磁性合金としては、
ニツケル合金、コバルト合金、Fe−Si基合金な
どが従来より用いられている。 しかして、FeにSiあるいはAlを加えると磁性
が改善されることから、これら元素を同時に添加
したFe−Si−Al系合金もすぐれた磁性を示すも
のと予想され、高透磁率を有するセンダストが発
見されている。Fe−Si−Al系合金のうち、5〜
11%Si、3〜8%Alの組成範囲で高い透磁率が
現われる。そして、9.5%Si、5.5%Al合金ではK1
=0、λs=0となり、最高の透磁率が得られる
ことが知られている。これらは、特に、近年では
薄膜ヘツドとして注目されている。 [発明が解決しようとする問題点] 従来より用いられている磁性合金について種々
検討を重ねたところ、酸素、窒素、硫黄、炭素、
その他金属酸化物等の介在物が比較的多量に含ま
れており、得られる薄膜の磁気特性に多大な悪影
響をもたらすことが認められた。 [問題点を解決するための手段] 本発明は上記従来の実情に鑑み、不純物含有量
の少ない高特性磁性薄膜を安定かつ効率的に得る
ことができる蒸着用Fe−Si−Al基合金を提供す
るべくなされたものであつて、 Si5〜15重量%、Al3〜8重量%、Ca及び/又
はMg300ppm以下、O30ppm以下、N30ppm以下
を含有し、残部が実質的にFeであることを特徴
とする蒸着用Fe−Si−Al基合金、 及び Si5〜15重量%、Al3〜8重量%、Ti、Zr及び
Crよりなる群から選ばれる1種以上3重量%以
下、Ca及び/又はMg300ppm以下、O30ppm以
下、N30ppm以下を含有し、残部が実質的にFe
であることを特徴とする蒸着用Fe−Si−Al基合
金、 を要旨とするものである。 即ち、本発明者は、蒸着用合金の不純物に起因
する問題を解決し、高特性磁性薄膜を得るべく、
鋭意検討を重ねた結果、蒸着用Fe−Si−Al基合
金中に、特定量のCa及び/又はMg、あるいは更
にTiを含有させることにより、不純物含有量の
少ない合金が得られ、しかもCa及び/又はMgと
Al、Tiとによるゲツタ作用により、蒸着雰囲気
中のガス成分をも低減し、極めて高純度で高特性
の磁性薄膜を得ることができることを見出し、本
発明を完成させた。 以下、本発明につき詳細に説明する。 なお、本明細書において、「%」は「重量%」
を表すものである。 本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合金は、真空蒸
着あるいはスパツタリング、イオンプレーテイン
グ等の蒸着用材料として用いられ、磁性薄膜の製
造等に利用されるものであつて、その組成は、下
記の通りである。 Si:5〜15% Fe:残部 Al:3〜8% Ti、Zr及びCrよりなる群から選ばれる1種以
上:含有せず(第1の発明)あるいは3%以下
(第2の発明) Ca及び又はMg:300ppm以下 O:30ppm以下 N:30ppm 以下に本発明の合金組成の限定理由について説
明する。 本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合金において、
Siは5〜15%とする。これは、この範囲のSi含有
率にて、極めて高い透磁率が得られるためであつ
て、特にSi含有率8〜12%とすることにより、著
しく高い透磁率が得られる。Siは透磁率の増大の
他、電気抵抗の増大に作用し、交流磁場における
損失を低減することができる。更に圧延加工や打
抜き等の加工性や熱処理性を向上させることがで
きる。 Alは磁性の改善に有効に作用する。このため、
Fe−Si−Al基合金では、高透磁率センダストが
発見されており、例えば5〜11%Si−3〜8%
Al−Feで高い透磁率が得られ、9.5%Si−5.5%Al
−Feで最高の透磁率が得られる。また、Fe−Si
−Al基合金は高硬度で耐摩耗性に優れるという
利点もある。しかしながら、Alをあまりに多く
含有すると、磁気特性や加工性に悪影響を及ぼす
ことから、本発明においてはAlは3〜8%、特
に5〜8%とする。 ところで、一般にFe−Si−Al基合金は、その
鋳塊に巣やピンホールが生じやすく、また加工中
に欠けやクラツクなどが入りやすいという欠点が
あるが、Ti、Zr、Crの添加により、これを改善
することができる。Ti、Zr、Crの添加量は多過
ぎると磁気特性に悪影響を及ぼすことから、これ
らの添加量は、3%以下とする。 ところで、Al及びTi、Zr、Crは、また、合金
の溶製を行なう際に、Ca、Mgと共に合金の清浄
化に作用し、また蒸着雰囲気中にてガス成分を捕
捉するゲツタ作用をも有する。ただし、Al、Ti、
Zr、Crはその量があまりに多過ぎ、合金特性に
影響を及ぼす量であつては好ましくなく、このた
め本発明においては、前述の如く、Alは3〜18
%。Ti、Zr、Crは3%以下である。なお、Al又
はTi、Zr、Crは、固溶Al又な固溶Tiの形態で合
金中に存在することにより、本発明の効果を奏す
るものであるので、Al又はTi、Zr、Crの存在形
態は固溶状態であることが重要である。 Ca、Mgは前述の如くAl及び/又はTiと共に
合金の清浄化に作用し、またゲツタ作用を奏す
る。Ca及びMgは、その含有量があまりに多過ぎ
ると合金特性に影響を及ぼし、また、金属間化合
物の析出により合金を脆くすることがある。この
ため、本発明においてはCa及び/又はMgの含有
量は300ppm以下とする。一方、Ca及び/又は
Mgの含有量は少な過ぎてもCa、Mgによる十分
な清浄化作用及びゲツタ作用が現れない。このよ
うなことから、Ca、Mg含有量は、各々、5〜
100ppmの範囲、好ましくは各々10〜50ppmの範
囲とするのが好ましい。なお、CaはCaOないし
CaO−Al2O3の形態では本発明の効果は奏し得
ず、同様に、MgはMgOの形態では本発明の効果
を奏し得ないことから、合金中のCa、Mgの存在
形態は金属Ca、金属Mgであることが重要であ
る。 合金中のO、Nの量が多いと、蒸着に使用した
際に、蒸着雰囲気の真空度を悪化させたり、また
良好な蒸着が行なえず、高特性の磁性薄膜が得ら
れない。このため、合金中のO含有量は30ppm以
下、好ましくは20ppm以下、N含有量は30ppm以
下、好ましくは20ppm以下とする。 なお、本発明において、Mn、P、S等の不純
物が合金中に不可避的に含有されるのは、特に問
題とはならないが、上述したことと同様の理由か
ら、本発明において、合金中の他の不純物はでき
るだけ少なくするのが良く、例えば、Mn含有量
は0.005%以下、P含有量は50ppm以下、S含有
量は10ppm以下とするのが好ましい。 このような本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合金
は、例えば、以下に説明する方法に従つて製造す
ることができる。 即ち、まず、合金化のためのSi、Fe、Al場合
によりTi、Zr及びCrの1種以上の金属又は合金
材料を、内面がCaO質耐火材で構成された容器中
で、真空又はアルゴン等の不活性ガス雰囲気等の
非酸化性雰囲気にて、常法例えば高周波あるいは
低周波誘導加熱法等で加熱して溶解することによ
り、所望の組成の合金溶湯を得る。 本発明において、用いられる容器の内面を構成
するCaO質耐火材としては、カルシア(CaO)、
ラルナイト(安定化2CaO・SiO2)、メルウイナ
イト(3CaO・MgO・2SiO2)、アノルサイト
(CaO・Al2O3・2SiO2)ならびにCaOを富化した
ドロマイト等が挙げられるが、特に、電融カルシ
アが好適である。 このようなカルシア質炉材は、そのCaO含有率
が40%以上、特に60%以上のものが好ましい。 CaOは高融点であると共に、高温で極めて安定
であり、溶製にあたり、金属酸化物を生成して溶
湯を不純物により汚染することがなく、高清浄な
溶湯を得ることが可能とされる。 特に、CaO含有量の高いCaO質耐火材で内面が
構成された容器を用いた場合には、脱O、脱S、
脱介在物等の精錬作用も奏され、極めて有利であ
る。 しかも、溶湯中にAlあるいはA及びTi、Zr、
Crが存在するため、溶湯中の脱O、脱Sが行な
われ、これに伴つて脱Nも起こる。また、炉壁材
のCaOとAlとの反応により溶湯中へのCaの溶出
もおこる。即ち、Alは溶湯中のO及び炉壁の
CaOと溶湯中のSと反応して CaO+S→CaS+O となつて生じたOと反応して、 2Al+3O→Al2O3 となり、Al2O3を生じる。また溶湯中のAlは炉壁
のCaOと反応して 2Al+3CaO→Al2O3+3Ca(g) となり、これによつてもAl2O3が生じる。(この
場合、生じたCaは、ガスとなつて系外に抜ける
が、一部が合金中に残留して、本発明の合金の
Ca含有量を満足させる。) Al2O3は次式の如く炉壁のCaOと反応して、
3CaO・Al2O3又は12CaO・7Al2O3の活性な層が
炉壁表面に形成される。 Al2O3+3CaO→3CaO・Al2O3 7Al2O3+12CaO→ 12CaO・7Al2O3 この12CaO・7Al2O3及び3CaO・Al2O3、特に
3CaO・Al2O3は溶湯の脱S能が高く、脱Sが良
好に進行する。 このように、Alにより脱Oが、またAlの還元
作用により生じた活性な3CaO・Al2O3、
12CaO・7Al2O3やCaOにより脱Sが行なわれる。 また、耐火材がCaO−MgO系の容器を用いて
溶製を行なつた場合、Caと共にMgの溶出も見ら
れ、溶湯中に金属態Mgが残留し、Caと同様に蒸
着時にゲツタ作用を奏し、その効果を補完し、更
に強力なものとする。即ち、炉壁のMgOは 3MgO+CaO+2Al→ CaO・Al2O3+3Mg(g) となり、生じたMgの一部が合金中に残留する。 また溶湯中のNは前述のAlとCaOとの反応に
より生じたCa等の蒸発(沸騰)等に伴つて溶湯
中から離脱し、溶湯中のN量も低減される。 Tiが加わつた場合、Alの作用を補完し、更に
Alと同様の作用により脱O、脱S、脱Nを行な
う。 従つて、内面がCaO質耐火材で構成された容器
中で溶製を行なうことにより、本発明の低O、低
N含有量のFe−Si−Al基合金を容易に得ること
ができる。 ところで、本発明においては、内面がCaO質耐
火材で構成された容器中にて溶製する際に、Al
あるいはAl及びTi、Zr、Crの内の元素を冷却固
化後のAl、Ti残留量が本発明の範囲、即ち、Al3
〜8%あるいはAl3〜8%及びTi、Zr、Cr3%以
下となるように添加するのであるが、溶製に用い
る容器の内面を、特にCaO及びMgO(MgO含有
率60〜15%)のカルシア系耐火物よりなるものと
することにより、AlあるいはAl及びTi、Zrの添
加により、溶湯中へCaだけでなくMgの溶出も認
められ、得られる合金中のCa、Mg含有量を容易
に本発明の範囲即ち300ppm以下とすることがで
きる。 このようにして得られた合金溶湯を、常法に従
つて非酸化性雰囲気下で鋳造する。 このような方法によれば、Si5〜15%、Al3〜
8%、場合によりTi、Zr及びCrの1種以上3%
以下、Ca及び/又はMg100ppm以下、O30ppm
以下、N30ppm以下を含有し、残部が実質的に
Feである本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合金を極
めて容易に製造することができる。 [作用] 本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合金は、O、N
含有量が少ないため、高特性の磁性薄膜を得るこ
とができる。 また、本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合金に含
有されるAl及びTi、Ca、Mgは、真空蒸着又は
スパツタリング等の蒸着雰囲気中にて、 4Al+3O2→2Al2O3 2Al+N2→2AlN 2Ca+O2→2CaO 3Ca+N2→Ca3N2 のように反応して、雰囲気中のガス成分を低下さ
せる、いわゆるゲツタ作用を奏する。 Ti、Mgについても同様にそれぞれAl、Caの
作用を下式のように補完して良好なゲツタ作用を
奏する。 Ti+O2→TiO2 Ti+N2→TiN2 2Mg+O2→2MgO 3MgO+N2→Mg3N2 また、Zr、Crについても同様なゲツター作用
が期待される。 このため、蒸着時の薄膜形成安定性及び形成速
度を向上させると共に、得られる薄膜は高純度で
磁気特性が大幅に改善され、高特性薄膜を高生産
効率で製造することを可能とする。 [実施例] 以下、実施例について説明する。 実施例 1 第1表に示す組成のFe−Si基合金を蒸着用材
料として用い、下記仕様のスパツタリング装置に
て、直径10cmのガラス基盤上に薄膜を形成した。
なお、基盤加熱温度は150℃とした。 スパツタリング装置仕様 マグネトロンタイプ高周波スパツタリング装置 最大出力:1Kw 到達真空度:10-7torr ターゲツト寸法:100mm(φ)×3mm(t)
にその高透磁率を利用したヘツド材や磁気記録材
料の下地材料として用いられる薄膜の製造に好適
な蒸着用Fe−Si−Al基合金に関する。 [従来の技術] 非磁性基板上に磁性合金薄膜を形成した磁気記
録材料は周知である。 この磁気記録材料の薄膜を製造する方法として
は、スパツタリングや真空蒸着、イオンプレーテ
イング等の蒸着法が広く用いられている。 特にスパツタリング法は、均一な内部組成で一
定の合金元素を含んだターゲツト材が得られさえ
すれば、スパツタリング装置内の圧力をコントロ
ールしながら組成的に均一な薄膜を得ることがで
きる点で有利である。 磁性合金薄膜を形成する強磁性合金としては、
ニツケル合金、コバルト合金、Fe−Si基合金な
どが従来より用いられている。 しかして、FeにSiあるいはAlを加えると磁性
が改善されることから、これら元素を同時に添加
したFe−Si−Al系合金もすぐれた磁性を示すも
のと予想され、高透磁率を有するセンダストが発
見されている。Fe−Si−Al系合金のうち、5〜
11%Si、3〜8%Alの組成範囲で高い透磁率が
現われる。そして、9.5%Si、5.5%Al合金ではK1
=0、λs=0となり、最高の透磁率が得られる
ことが知られている。これらは、特に、近年では
薄膜ヘツドとして注目されている。 [発明が解決しようとする問題点] 従来より用いられている磁性合金について種々
検討を重ねたところ、酸素、窒素、硫黄、炭素、
その他金属酸化物等の介在物が比較的多量に含ま
れており、得られる薄膜の磁気特性に多大な悪影
響をもたらすことが認められた。 [問題点を解決するための手段] 本発明は上記従来の実情に鑑み、不純物含有量
の少ない高特性磁性薄膜を安定かつ効率的に得る
ことができる蒸着用Fe−Si−Al基合金を提供す
るべくなされたものであつて、 Si5〜15重量%、Al3〜8重量%、Ca及び/又
はMg300ppm以下、O30ppm以下、N30ppm以下
を含有し、残部が実質的にFeであることを特徴
とする蒸着用Fe−Si−Al基合金、 及び Si5〜15重量%、Al3〜8重量%、Ti、Zr及び
Crよりなる群から選ばれる1種以上3重量%以
下、Ca及び/又はMg300ppm以下、O30ppm以
下、N30ppm以下を含有し、残部が実質的にFe
であることを特徴とする蒸着用Fe−Si−Al基合
金、 を要旨とするものである。 即ち、本発明者は、蒸着用合金の不純物に起因
する問題を解決し、高特性磁性薄膜を得るべく、
鋭意検討を重ねた結果、蒸着用Fe−Si−Al基合
金中に、特定量のCa及び/又はMg、あるいは更
にTiを含有させることにより、不純物含有量の
少ない合金が得られ、しかもCa及び/又はMgと
Al、Tiとによるゲツタ作用により、蒸着雰囲気
中のガス成分をも低減し、極めて高純度で高特性
の磁性薄膜を得ることができることを見出し、本
発明を完成させた。 以下、本発明につき詳細に説明する。 なお、本明細書において、「%」は「重量%」
を表すものである。 本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合金は、真空蒸
着あるいはスパツタリング、イオンプレーテイン
グ等の蒸着用材料として用いられ、磁性薄膜の製
造等に利用されるものであつて、その組成は、下
記の通りである。 Si:5〜15% Fe:残部 Al:3〜8% Ti、Zr及びCrよりなる群から選ばれる1種以
上:含有せず(第1の発明)あるいは3%以下
(第2の発明) Ca及び又はMg:300ppm以下 O:30ppm以下 N:30ppm 以下に本発明の合金組成の限定理由について説
明する。 本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合金において、
Siは5〜15%とする。これは、この範囲のSi含有
率にて、極めて高い透磁率が得られるためであつ
て、特にSi含有率8〜12%とすることにより、著
しく高い透磁率が得られる。Siは透磁率の増大の
他、電気抵抗の増大に作用し、交流磁場における
損失を低減することができる。更に圧延加工や打
抜き等の加工性や熱処理性を向上させることがで
きる。 Alは磁性の改善に有効に作用する。このため、
Fe−Si−Al基合金では、高透磁率センダストが
発見されており、例えば5〜11%Si−3〜8%
Al−Feで高い透磁率が得られ、9.5%Si−5.5%Al
−Feで最高の透磁率が得られる。また、Fe−Si
−Al基合金は高硬度で耐摩耗性に優れるという
利点もある。しかしながら、Alをあまりに多く
含有すると、磁気特性や加工性に悪影響を及ぼす
ことから、本発明においてはAlは3〜8%、特
に5〜8%とする。 ところで、一般にFe−Si−Al基合金は、その
鋳塊に巣やピンホールが生じやすく、また加工中
に欠けやクラツクなどが入りやすいという欠点が
あるが、Ti、Zr、Crの添加により、これを改善
することができる。Ti、Zr、Crの添加量は多過
ぎると磁気特性に悪影響を及ぼすことから、これ
らの添加量は、3%以下とする。 ところで、Al及びTi、Zr、Crは、また、合金
の溶製を行なう際に、Ca、Mgと共に合金の清浄
化に作用し、また蒸着雰囲気中にてガス成分を捕
捉するゲツタ作用をも有する。ただし、Al、Ti、
Zr、Crはその量があまりに多過ぎ、合金特性に
影響を及ぼす量であつては好ましくなく、このた
め本発明においては、前述の如く、Alは3〜18
%。Ti、Zr、Crは3%以下である。なお、Al又
はTi、Zr、Crは、固溶Al又な固溶Tiの形態で合
金中に存在することにより、本発明の効果を奏す
るものであるので、Al又はTi、Zr、Crの存在形
態は固溶状態であることが重要である。 Ca、Mgは前述の如くAl及び/又はTiと共に
合金の清浄化に作用し、またゲツタ作用を奏す
る。Ca及びMgは、その含有量があまりに多過ぎ
ると合金特性に影響を及ぼし、また、金属間化合
物の析出により合金を脆くすることがある。この
ため、本発明においてはCa及び/又はMgの含有
量は300ppm以下とする。一方、Ca及び/又は
Mgの含有量は少な過ぎてもCa、Mgによる十分
な清浄化作用及びゲツタ作用が現れない。このよ
うなことから、Ca、Mg含有量は、各々、5〜
100ppmの範囲、好ましくは各々10〜50ppmの範
囲とするのが好ましい。なお、CaはCaOないし
CaO−Al2O3の形態では本発明の効果は奏し得
ず、同様に、MgはMgOの形態では本発明の効果
を奏し得ないことから、合金中のCa、Mgの存在
形態は金属Ca、金属Mgであることが重要であ
る。 合金中のO、Nの量が多いと、蒸着に使用した
際に、蒸着雰囲気の真空度を悪化させたり、また
良好な蒸着が行なえず、高特性の磁性薄膜が得ら
れない。このため、合金中のO含有量は30ppm以
下、好ましくは20ppm以下、N含有量は30ppm以
下、好ましくは20ppm以下とする。 なお、本発明において、Mn、P、S等の不純
物が合金中に不可避的に含有されるのは、特に問
題とはならないが、上述したことと同様の理由か
ら、本発明において、合金中の他の不純物はでき
るだけ少なくするのが良く、例えば、Mn含有量
は0.005%以下、P含有量は50ppm以下、S含有
量は10ppm以下とするのが好ましい。 このような本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合金
は、例えば、以下に説明する方法に従つて製造す
ることができる。 即ち、まず、合金化のためのSi、Fe、Al場合
によりTi、Zr及びCrの1種以上の金属又は合金
材料を、内面がCaO質耐火材で構成された容器中
で、真空又はアルゴン等の不活性ガス雰囲気等の
非酸化性雰囲気にて、常法例えば高周波あるいは
低周波誘導加熱法等で加熱して溶解することによ
り、所望の組成の合金溶湯を得る。 本発明において、用いられる容器の内面を構成
するCaO質耐火材としては、カルシア(CaO)、
ラルナイト(安定化2CaO・SiO2)、メルウイナ
イト(3CaO・MgO・2SiO2)、アノルサイト
(CaO・Al2O3・2SiO2)ならびにCaOを富化した
ドロマイト等が挙げられるが、特に、電融カルシ
アが好適である。 このようなカルシア質炉材は、そのCaO含有率
が40%以上、特に60%以上のものが好ましい。 CaOは高融点であると共に、高温で極めて安定
であり、溶製にあたり、金属酸化物を生成して溶
湯を不純物により汚染することがなく、高清浄な
溶湯を得ることが可能とされる。 特に、CaO含有量の高いCaO質耐火材で内面が
構成された容器を用いた場合には、脱O、脱S、
脱介在物等の精錬作用も奏され、極めて有利であ
る。 しかも、溶湯中にAlあるいはA及びTi、Zr、
Crが存在するため、溶湯中の脱O、脱Sが行な
われ、これに伴つて脱Nも起こる。また、炉壁材
のCaOとAlとの反応により溶湯中へのCaの溶出
もおこる。即ち、Alは溶湯中のO及び炉壁の
CaOと溶湯中のSと反応して CaO+S→CaS+O となつて生じたOと反応して、 2Al+3O→Al2O3 となり、Al2O3を生じる。また溶湯中のAlは炉壁
のCaOと反応して 2Al+3CaO→Al2O3+3Ca(g) となり、これによつてもAl2O3が生じる。(この
場合、生じたCaは、ガスとなつて系外に抜ける
が、一部が合金中に残留して、本発明の合金の
Ca含有量を満足させる。) Al2O3は次式の如く炉壁のCaOと反応して、
3CaO・Al2O3又は12CaO・7Al2O3の活性な層が
炉壁表面に形成される。 Al2O3+3CaO→3CaO・Al2O3 7Al2O3+12CaO→ 12CaO・7Al2O3 この12CaO・7Al2O3及び3CaO・Al2O3、特に
3CaO・Al2O3は溶湯の脱S能が高く、脱Sが良
好に進行する。 このように、Alにより脱Oが、またAlの還元
作用により生じた活性な3CaO・Al2O3、
12CaO・7Al2O3やCaOにより脱Sが行なわれる。 また、耐火材がCaO−MgO系の容器を用いて
溶製を行なつた場合、Caと共にMgの溶出も見ら
れ、溶湯中に金属態Mgが残留し、Caと同様に蒸
着時にゲツタ作用を奏し、その効果を補完し、更
に強力なものとする。即ち、炉壁のMgOは 3MgO+CaO+2Al→ CaO・Al2O3+3Mg(g) となり、生じたMgの一部が合金中に残留する。 また溶湯中のNは前述のAlとCaOとの反応に
より生じたCa等の蒸発(沸騰)等に伴つて溶湯
中から離脱し、溶湯中のN量も低減される。 Tiが加わつた場合、Alの作用を補完し、更に
Alと同様の作用により脱O、脱S、脱Nを行な
う。 従つて、内面がCaO質耐火材で構成された容器
中で溶製を行なうことにより、本発明の低O、低
N含有量のFe−Si−Al基合金を容易に得ること
ができる。 ところで、本発明においては、内面がCaO質耐
火材で構成された容器中にて溶製する際に、Al
あるいはAl及びTi、Zr、Crの内の元素を冷却固
化後のAl、Ti残留量が本発明の範囲、即ち、Al3
〜8%あるいはAl3〜8%及びTi、Zr、Cr3%以
下となるように添加するのであるが、溶製に用い
る容器の内面を、特にCaO及びMgO(MgO含有
率60〜15%)のカルシア系耐火物よりなるものと
することにより、AlあるいはAl及びTi、Zrの添
加により、溶湯中へCaだけでなくMgの溶出も認
められ、得られる合金中のCa、Mg含有量を容易
に本発明の範囲即ち300ppm以下とすることがで
きる。 このようにして得られた合金溶湯を、常法に従
つて非酸化性雰囲気下で鋳造する。 このような方法によれば、Si5〜15%、Al3〜
8%、場合によりTi、Zr及びCrの1種以上3%
以下、Ca及び/又はMg100ppm以下、O30ppm
以下、N30ppm以下を含有し、残部が実質的に
Feである本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合金を極
めて容易に製造することができる。 [作用] 本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合金は、O、N
含有量が少ないため、高特性の磁性薄膜を得るこ
とができる。 また、本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合金に含
有されるAl及びTi、Ca、Mgは、真空蒸着又は
スパツタリング等の蒸着雰囲気中にて、 4Al+3O2→2Al2O3 2Al+N2→2AlN 2Ca+O2→2CaO 3Ca+N2→Ca3N2 のように反応して、雰囲気中のガス成分を低下さ
せる、いわゆるゲツタ作用を奏する。 Ti、Mgについても同様にそれぞれAl、Caの
作用を下式のように補完して良好なゲツタ作用を
奏する。 Ti+O2→TiO2 Ti+N2→TiN2 2Mg+O2→2MgO 3MgO+N2→Mg3N2 また、Zr、Crについても同様なゲツター作用
が期待される。 このため、蒸着時の薄膜形成安定性及び形成速
度を向上させると共に、得られる薄膜は高純度で
磁気特性が大幅に改善され、高特性薄膜を高生産
効率で製造することを可能とする。 [実施例] 以下、実施例について説明する。 実施例 1 第1表に示す組成のFe−Si基合金を蒸着用材
料として用い、下記仕様のスパツタリング装置に
て、直径10cmのガラス基盤上に薄膜を形成した。
なお、基盤加熱温度は150℃とした。 スパツタリング装置仕様 マグネトロンタイプ高周波スパツタリング装置 最大出力:1Kw 到達真空度:10-7torr ターゲツト寸法:100mm(φ)×3mm(t)
【表】
【表】
アルゴンガス圧、スパツタ時間を変えて、各蒸
着用材料により形成された薄膜の膜厚及び膜厚の
ばらつきを調べた結果を、それぞれ第2表、第3
表に示す。
着用材料により形成された薄膜の膜厚及び膜厚の
ばらつきを調べた結果を、それぞれ第2表、第3
表に示す。
【表】
【表】
【表】
* 一部剥離
第2表、第3表より、本発明の蒸着用Fe−Si
−Al基合金は、剥離もなく、また膜形成効率が
高いことのみならず、形成時の安定性が向上し、
ばらつきが少ないことが判明した。 実施例 2 実施例1で用いたスパツタリング装置及び基盤
を用い、第1表のNo.1〜8の蒸着用合金にて、
Ar圧又は基板加熱温度を変えて、それぞれ3μm
厚さの薄膜を形成して高透磁率薄膜を作成した。
なお、スパツタ電圧は300Wで行なつた。 得られた高透磁率材料薄膜の保磁力Hc(Oe)
を調べ、基盤加熱温度との関係を第4表に示す。
第2表、第3表より、本発明の蒸着用Fe−Si
−Al基合金は、剥離もなく、また膜形成効率が
高いことのみならず、形成時の安定性が向上し、
ばらつきが少ないことが判明した。 実施例 2 実施例1で用いたスパツタリング装置及び基盤
を用い、第1表のNo.1〜8の蒸着用合金にて、
Ar圧又は基板加熱温度を変えて、それぞれ3μm
厚さの薄膜を形成して高透磁率薄膜を作成した。
なお、スパツタ電圧は300Wで行なつた。 得られた高透磁率材料薄膜の保磁力Hc(Oe)
を調べ、基盤加熱温度との関係を第4表に示す。
【表】
【表】
第4表より、本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合
金によれば、極めて保磁率の低い高透磁率な磁性
材料が得られることが認められる。また、基盤加
熱等の生産上手数がかかる工程も省略することが
でき、工業上極めて有利となる。 実施例 3 実施例2において、No.1及び5の合金材料より
基盤加熱温度200℃、Ar圧1×10-2torrにて得ら
れた磁気記録材料について、その磁気特性を調べ
た結果を第5表に示す。
金によれば、極めて保磁率の低い高透磁率な磁性
材料が得られることが認められる。また、基盤加
熱等の生産上手数がかかる工程も省略することが
でき、工業上極めて有利となる。 実施例 3 実施例2において、No.1及び5の合金材料より
基盤加熱温度200℃、Ar圧1×10-2torrにて得ら
れた磁気記録材料について、その磁気特性を調べ
た結果を第5表に示す。
【表】
第5表より、本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合
金により得られる磁気ヘツド材料はヒステリシス
特性に優れ、極めて高特性のものであることが認
められる。 [発明の効果] 以上詳述した通り、本発明の蒸着用Fe−Si−
Al基合金は、O、N含有量が少ない上に、Al、
あるいはAl及びTiとCa、Mgによるゲツタ作用
により、蒸着雰囲気中のガス成分が大幅に低減さ
れる。 このため、蒸着による膜形成安定性及び膜形成
速度が向上されるとともに、得られる薄膜は高純
度で極めて磁気特性に優れたものとなる。 従つて、本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合金に
よれば、高特性薄膜を高効率で得ることができ、
本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合金は、高透磁率
材料の薄膜製造用蒸着材料として極めて有用であ
る。
金により得られる磁気ヘツド材料はヒステリシス
特性に優れ、極めて高特性のものであることが認
められる。 [発明の効果] 以上詳述した通り、本発明の蒸着用Fe−Si−
Al基合金は、O、N含有量が少ない上に、Al、
あるいはAl及びTiとCa、Mgによるゲツタ作用
により、蒸着雰囲気中のガス成分が大幅に低減さ
れる。 このため、蒸着による膜形成安定性及び膜形成
速度が向上されるとともに、得られる薄膜は高純
度で極めて磁気特性に優れたものとなる。 従つて、本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合金に
よれば、高特性薄膜を高効率で得ることができ、
本発明の蒸着用Fe−Si−Al基合金は、高透磁率
材料の薄膜製造用蒸着材料として極めて有用であ
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 Si5〜15重量%、Al3〜8重量%、Ca及び/
又はMg300ppm以下、O30ppm以下、N30ppm以
下を含有し、残部が実質的にFeであることを特
徴とする蒸着用Fe−Si−Al基合金。 2 Si5〜15重量%、Al3〜8重量%、Ti、Zr及
びCrよりなる群から選ばれる1種以上3重量%
以下、Ca及び/又はMg300ppm以下、O30ppm
以下、N30ppm以下を含有し、残部が実質的に
Feであることを特徴とする蒸着用Fe−Si−Al基
合金。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61243630A JPS63100156A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | 蒸着用Fe−Si−Al基合金 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61243630A JPS63100156A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | 蒸着用Fe−Si−Al基合金 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63100156A JPS63100156A (ja) | 1988-05-02 |
JPH0475309B2 true JPH0475309B2 (ja) | 1992-11-30 |
Family
ID=17106679
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61243630A Granted JPS63100156A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | 蒸着用Fe−Si−Al基合金 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63100156A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0742554B2 (ja) * | 1988-10-26 | 1995-05-10 | 松下電器産業株式会社 | 磁性材料及びそれを用いた磁気ヘッド |
KR101122464B1 (ko) | 2001-03-30 | 2012-02-29 | 하츠이치 마츠모토 | 인공광석 및 인공광석을 함유하는 도포제 또는 내화블럭 |
-
1986
- 1986-10-14 JP JP61243630A patent/JPS63100156A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63100156A (ja) | 1988-05-02 |
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