JPH046927B2 - - Google Patents
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- JPH046927B2 JPH046927B2 JP56064628A JP6462881A JPH046927B2 JP H046927 B2 JPH046927 B2 JP H046927B2 JP 56064628 A JP56064628 A JP 56064628A JP 6462881 A JP6462881 A JP 6462881A JP H046927 B2 JPH046927 B2 JP H046927B2
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- Japan
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- metal
- liquid crystal
- metal oxide
- switch element
- linear switch
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- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はMIM素子を利用したドツトマトリク
ス型の液晶表示装置を関し、特にMIM部の金属
酸化物の構造および製法に関する。
ス型の液晶表示装置を関し、特にMIM部の金属
酸化物の構造および製法に関する。
本発明の目的は、金属の陽極酸化時の電流のコ
ントロールを容易にすることにより、また電流密
度の分布を均一化することにより、各ドツト部の
MIM素子特性のバラツキをなくすことである。
ントロールを容易にすることにより、また電流密
度の分布を均一化することにより、各ドツト部の
MIM素子特性のバラツキをなくすことである。
従来のMIM素子を利用したドツトマトリクス
型液晶表示装置の一例を第１図に示し、その断面
図を第２図に示す。図はマトリクス構造の１つの
縦ラインの一部を示す。例えば１はタンタルの走
査ラインで、その表面には陽極酸化によりタンタ
ル酸化物２３が形成されている。２はタンタルま
たは他の金属であり、１と２との交さ部がMIM
素子となつている。３は液晶駆動用電極で２と結
合されている。以上が片側基板２１に構成され、
４は対向基板２２に形成したデータ電極である。
第２図は第１図の５−５′部の断面図であり、２
４はツイストネマチツク型の液晶、２５は偏光板
である。この例においては、１はその幅が約100
ミクロン、MIM素子部が約10ミクロン、２が約
10ミクロンである。従つてパターン１を陽極酸化
する場合、MIM部分のパターンは他の部分に比
べて電流密度が小さくなる。例えば１cm2のタンタ
ルを初期電流密度αmmＡ、最終電圧を6Vとして
ＣÅの厚みの金属酸化物ができるとして、第１図
のようなパターンにその条件を適当としても、
MIM素子部の金属酸化物の厚みはＣÅより薄く
なつてしまう。従つてパターンの変更毎に陽極酸
化の条件を見つけ直さなければならない。また１
つの表示装置内でのパターン１の全面積は小さ
く、陽極酸化時の電流のコントロールが非常に大
変である。陽極酸化時の電流密度のバラツキ、あ
るいは金属酸化物の厚みのバラツキは、MIM素
子の電圧−電流特性に大きな影響を及ぼす。例え
ばMIM素子はプールフレンケル効果を示し、そ
の電圧−電流特性は次の式で表わされる。
型液晶表示装置の一例を第１図に示し、その断面
図を第２図に示す。図はマトリクス構造の１つの
縦ラインの一部を示す。例えば１はタンタルの走
査ラインで、その表面には陽極酸化によりタンタ
ル酸化物２３が形成されている。２はタンタルま
たは他の金属であり、１と２との交さ部がMIM
素子となつている。３は液晶駆動用電極で２と結
合されている。以上が片側基板２１に構成され、
４は対向基板２２に形成したデータ電極である。
第２図は第１図の５−５′部の断面図であり、２
４はツイストネマチツク型の液晶、２５は偏光板
である。この例においては、１はその幅が約100
ミクロン、MIM素子部が約10ミクロン、２が約
10ミクロンである。従つてパターン１を陽極酸化
する場合、MIM部分のパターンは他の部分に比
べて電流密度が小さくなる。例えば１cm2のタンタ
ルを初期電流密度αmmＡ、最終電圧を6Vとして
ＣÅの厚みの金属酸化物ができるとして、第１図
のようなパターンにその条件を適当としても、
MIM素子部の金属酸化物の厚みはＣÅより薄く
なつてしまう。従つてパターンの変更毎に陽極酸
化の条件を見つけ直さなければならない。また１
つの表示装置内でのパターン１の全面積は小さ
く、陽極酸化時の電流のコントロールが非常に大
変である。陽極酸化時の電流密度のバラツキ、あ
るいは金属酸化物の厚みのバラツキは、MIM素
子の電圧−電流特性に大きな影響を及ぼす。例え
ばMIM素子はプールフレンケル効果を示し、そ
の電圧−電流特性は次の式で表わされる。
Ｉ＝KVexp（β√）
たヾし
Ｋ＝nμq／ｄexp（−φ／kT）
β＝１／kT（q3／πεε0d）Å
ｎ：キヤリア密度
μ：モビリテイー
ｑ：単位電荷
ｋ：ボルツマン定数
ｄ：金属酸化物の厚み
Ｔ：絶対温度
φ：トラツブ深さ
ε：金属酸化物の誘電率
ε0：真空誘電率
で近似的に表わせる。
陽極酸化時の電流密度は特にε、Ｍ、ｎ、φな
どに影響を及ぼし、金属酸化物の厚みｄは直接Ｋ
あるいはβの値を変えてしまう。その結果MIM
素子のバラツキは表示特性に大きく影響し、バラ
ツキをなくすことが大きな課題である。
どに影響を及ぼし、金属酸化物の厚みｄは直接Ｋ
あるいはβの値を変えてしまう。その結果MIM
素子のバラツキは表示特性に大きく影響し、バラ
ツキをなくすことが大きな課題である。
本発明は金属酸化物をほぼ基板全面に構成する
構造とすることにより従来の欠点を解決するもの
である。以下に図面を用いて説明する。
構造とすることにより従来の欠点を解決するもの
である。以下に図面を用いて説明する。
第３図は本発明の実施例で、平面図は第１図と
同じ（同じにしか書けない）であるため断面図を
示す。片側基板３６にタンタル３１（第１図の１
と同じ）を形成し、次にタンタルを全面にスパツ
タなどで形成して、陽極酸化により全面にタンタ
ル酸化物３３を形成する。３２はタンタルまたは
他の金属で形状は第１図２と同じである。３４は
液晶駆動用電極、３５は液晶、３７は対向基板
で、３８は対向基板に形成したデータ電極であ
る。このように本実施例によれば、３３を走査電
極端子部を除いてほぼ全面に形成していることか
ら、陽極酸化時の酸化面積が大きく電流をコント
ロールしやすい。また局部的に細かいパターンが
ないから電流密度のバラツキは生じない。その結
果MIM素子部の面積あるいはパターンの違いに
よる金属酸化物の厚みのバラツキは生じない。ま
た酸化物の膜質も均一にできることからＫ値、β
値も均一になる均一な表示特性を得ることができ
る。なお本実施例では３２と３４を異なつた金属
で形成しているが、同一の透明電極で形成しても
よい。なお３３はその厚みの全てを陽極酸化して
いる。
同じ（同じにしか書けない）であるため断面図を
示す。片側基板３６にタンタル３１（第１図の１
と同じ）を形成し、次にタンタルを全面にスパツ
タなどで形成して、陽極酸化により全面にタンタ
ル酸化物３３を形成する。３２はタンタルまたは
他の金属で形状は第１図２と同じである。３４は
液晶駆動用電極、３５は液晶、３７は対向基板
で、３８は対向基板に形成したデータ電極であ
る。このように本実施例によれば、３３を走査電
極端子部を除いてほぼ全面に形成していることか
ら、陽極酸化時の酸化面積が大きく電流をコント
ロールしやすい。また局部的に細かいパターンが
ないから電流密度のバラツキは生じない。その結
果MIM素子部の面積あるいはパターンの違いに
よる金属酸化物の厚みのバラツキは生じない。ま
た酸化物の膜質も均一にできることからＫ値、β
値も均一になる均一な表示特性を得ることができ
る。なお本実施例では３２と３４を異なつた金属
で形成しているが、同一の透明電極で形成しても
よい。なお３３はその厚みの全てを陽極酸化して
いる。
上述の如く本発明の液晶表示装置は、一対の基
板内に液晶が封入され、該基板上に複数の液晶駆
動用画素電極が形成され、該液晶駆動用画素電極
に表示信号を供給してなる第１金属−金属酸化物
−第２金属からなる非線型スイツチ素子が形成さ
れてなる液晶表示装置において、該非線型スイツ
チ素子の第１金属は該基板上に形成され、該非線
型スイツチ素子の金属酸化物は該第１金属上に該
基板の全面に形成されてなり、該非線型スイツチ
素子の第２金属、及び該液晶駆動用画素電極は、
該非線型スイツチ素子の金属酸化物上に形成され
てなり、該非線型スイツチ素子の金属酸化物は金
属を陽極酸化してなるものにしたから、金属を陽
極酸化して金属酸化物を形成時に、電流密度の分
布を均一化することができ非線型素子特性のバラ
ツキの小さい均一なものが得られ、コントラスト
の均一なむらのない表示が得られるという格別な
効果を奏する。
板内に液晶が封入され、該基板上に複数の液晶駆
動用画素電極が形成され、該液晶駆動用画素電極
に表示信号を供給してなる第１金属−金属酸化物
−第２金属からなる非線型スイツチ素子が形成さ
れてなる液晶表示装置において、該非線型スイツ
チ素子の第１金属は該基板上に形成され、該非線
型スイツチ素子の金属酸化物は該第１金属上に該
基板の全面に形成されてなり、該非線型スイツチ
素子の第２金属、及び該液晶駆動用画素電極は、
該非線型スイツチ素子の金属酸化物上に形成され
てなり、該非線型スイツチ素子の金属酸化物は金
属を陽極酸化してなるものにしたから、金属を陽
極酸化して金属酸化物を形成時に、電流密度の分
布を均一化することができ非線型素子特性のバラ
ツキの小さい均一なものが得られ、コントラスト
の均一なむらのない表示が得られるという格別な
効果を奏する。
第１図は従来の実施例の平面図。第２図は従来
の実施例の断面図。第３図は本発明の実施例の断
面図。
の実施例の断面図。第３図は本発明の実施例の断
面図。
Claims (1)
- １ 一対の基板内に液晶が封入され、該基板上に
複数の液晶駆動用画素電極が形成され、該液晶駆
動用画素電極に表示信号を供給してなる第１金属
−金属酸化物−第２金属からなる非線型スイツチ
素子が形成されてなる液晶表示装置において、該
非線型スイツチ素子の第１金属は該基板上に形成
され、該非線型スイツチ素子の金属酸化物は該第
１金属上に該基板の全面に形成されてなり、該非
線型スイツチ素子の第２金属、及び該液晶駆動用
画素電極は、該非線型スイツチ素子の金属酸化物
上に形成されてなり、該非線型スイツチ素子の金
属酸化物は金属を陽極酸化してなるものであるこ
とを特徴とする液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56064628A JPS57179884A (en) | 1981-04-28 | 1981-04-28 | Liquid crystal display unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56064628A JPS57179884A (en) | 1981-04-28 | 1981-04-28 | Liquid crystal display unit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57179884A JPS57179884A (en) | 1982-11-05 |
| JPH046927B2 true JPH046927B2 (ja) | 1992-02-07 |
Family
ID=13263706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56064628A Granted JPS57179884A (en) | 1981-04-28 | 1981-04-28 | Liquid crystal display unit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57179884A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60134216A (ja) * | 1983-12-23 | 1985-07-17 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置 |
| JPS60151612A (ja) * | 1984-01-19 | 1985-08-09 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置 |
| JPS60247686A (ja) * | 1984-05-23 | 1985-12-07 | シャープ株式会社 | 液晶表示素子の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5437697A (en) * | 1977-08-30 | 1979-03-20 | Sharp Corp | Liquid crystal display unit of matrix type |
-
1981
- 1981-04-28 JP JP56064628A patent/JPS57179884A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5437697A (en) * | 1977-08-30 | 1979-03-20 | Sharp Corp | Liquid crystal display unit of matrix type |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57179884A (en) | 1982-11-05 |
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