JP3125311B2 - 電気光学装置 - Google Patents
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Description
学装置に関する。更に詳しくは、液晶層を挟持した一対
の基板の一方の基板上に画素電極とそれに接続される非
線形素子とを配置した電気光学装置に関するものであ
る。
線形素子としてメタル・インシュレータ・メタル(Meta
l Insulator Metal,以下MIM素子という)を用いた液
晶表示装置を例にして説明する。図1はこの種の液晶表
示装置の一部の斜視図、図2はMIM素子を有する側の
基板の一部の平面図、図3は要部の拡大断面図である。
上下一対の基板であり、その一方の基板1にはITO等
よりなる対向電極4が形成され、他方の基板2にはIT
O等よりなる多数の画素電極5がマトリックス状に形成
されている。6はタンタル(Ta)等よりなる第1の導
電体、7は酸化タンタル(TaOx)等よりなる絶縁
体、8はクロム(Cr)等よりなる第2の導電体であ
り、それら第1の導電体6と絶縁体7および第2の導電
体8とで、MIM素子が構成されている。
6の側面だけを画素駆動用素子として利用するいわゆる
ラテラルMIMの構造を用いている。このラテラルMI
Mは、第1の導電体6の側面以外、つまりMIMを構成
する部分以外の表面をバリア層として厚い絶縁体7bで
覆うことにより、MIM素子を構成する第1の導電体6
の側面の薄い絶縁体7aよりも電気抵抗を高くして素子
として働かないようにしたものである。このような構造
にすることで、素子の面積を非常に小さくすることがで
きるもので、この種の素子を用いた液晶表示装置等の電
気光学装置の高密度化、高精細化に有効な技術である。
なMIM素子等の非線形素子を用いた電気光学装置にお
いて、素子の容量をCMIM 、その素子で駆動される画素
の容量をCLC、印加電圧をVとしたとき、 {CLC/(CMIM +CLC)}×V の電圧が素子に印加される。従って、印加電圧に対して
素子が良好に駆動するためには、CLCが一定であるとす
ると、CMIM を小さくしなければならない。一般的に
は、CLC/CMIM ≧10 が望ましいとされていた。し
かしながら、CMIM を小さくする(素子サイズを小さく
する)と素子の抵抗が増大し、走査駆動をすると、液晶
層に印加される実効電圧が下がってしまうという問題が
あった。
た結果、非線形素子の容量を必ずしも過度に小さくしな
くても素子を良好に駆動させて表示性能のよい電気光学
装置が得られることを見出したものである。
光学装置は、一対の基板と、該一対の基板のうちの一方
の基板上に配置された対向電極と、他方の基板上に配置
された画素電極と、前記画素電極に接続された非線形素
子とを具備し、前記対向電極と、前記画素電極と、それ
らに挟持された液晶層とによって画素が構成された電気
光学装置において、前記非線形素子は第1の導電体と、
絶縁体と、第2の導電体とを有し、前記第1の導電体
と、絶縁体と、第2の導電体とが重なる部分のうち非線
形素子となる部分の容量に対する画素の容量の比である
容量比を変化させたとき、通常の使用温度で前記電気光
学装置のコントラストが最も大きくなるように前記容量
比を設定したことを特徴とする。
量に対する画素の容量比を通常の使用温度でコントラス
トが最も大きくなるように設定したことにより、非線形
素子の容量を過度に小さくすることなく素子を良好に駆
動させて表示性能のよい電気光学装置を得ることが可能
となる。具体的には、例えば第1の導電体と絶縁体およ
び第2の導電体としてそれぞれタンタル、酸化タンタ
ル、クロムを用い、それらの重なる部分のうち非線形素
子となる部分の容量に対する画素の容量の比を、2から
8の範囲内に設定すればよい。
る画素電極の面積比に置き換えることができる。すなわ
ち前記第1の導電体と絶縁体および第2の導電体の重な
る部分のうち非線形素子となる部分の面積に対する画素
電極の面積比を変化させたとき通常の使用温度で電気光
学装置のコントラストが最も大きくなるように上記の面
積比を設定すればよい。具体的には、例えば上記と同様
に第1の導電体と絶縁体および第2の導電体としてそれ
ぞれタンタル、酸化タンタル、クロムを用い、それらの
重なる部分のうち非線形素子となる部分の面積に対する
画素電極の面積の比を、1000から4000の範囲内
に設定すればよい。
素子としてMIM素子を用いた液晶表示装置を例にして
具体的に説明する。一般に、MIM素子をはじめ非線形
な2端子素子を液晶表示装置に用いる場合には、非線形
素子に対する画素電極の容量もしくは面積の比は重要な
要素であり、それらの比を所定の値に設定する必要があ
る。
素の容量CLCの比CLC/CMIM は、前述のように従来一
般的には、10以上にするのが望ましいとされていた
が、実際には必ずしも10以上にしなくとも良好な表示
が得られることが分かった。具体的には、例えばMIM
素子を構成する第1の導電体と絶縁体および第2の導電
体としてそれぞれタンタル(Ta)、酸化タンタル(T
aOx)、クロム(Cr)を用い、上記酸化タンタルの
比誘電率が約27で膜厚を60nmに設定した場合の容
量比は、2から8の範囲内に設定するのが望ましい。そ
れは以下の理由による。
を大きくして容量比が2より小さくなるようにすると、
画素の選択時には大きな書き込み電流が流れ、充分な電
位を画素電極に与えることができる反面、画素の非選択
時にも大きな漏れ電流が生じてしまい、画素電極の電位
を充分に保持することができなくなる。従って画素の選
択時、非選択時をあわせた実効電圧は、容量比が小さく
なるほど下がってしまう。一方、素子の容量を小さくし
て容量比が大きくなるようにすると、画素の非選択時に
は漏れ電流が小さいので、充分に画素電極の電位を保持
することができる反面、画素の選択時においては大きな
書き込み電流を得られないので、画素電極に充分な電位
を与えることができない。従って画素の選択時、非選択
時を合わせた実効電圧は、容量比が大きくなるほど下が
ってしまう。
の近傍の容量比の変化に対する画素の実効電圧の変化率
が0になる容量比が存在することがわかる。その実効電
圧の変化率が0になる容量比は、具体的には前記の条件
においては約4程度であり、容量比を2から8の範囲、
より好ましくは3.5から5.5の範囲内に設定すれば
良好な表示が得られるものである。
構成する第1の導電体と絶縁体および第2の導電体とし
てそれぞれタンタル、酸化タンタル、クロムを用い、そ
の酸化タンタルの比誘電率が約27で膜厚を60nmに
設定し、対向電極基板間に液晶層(層厚約5ミクロン)
を介在させた液晶表示装置における容量比に対するコン
トラスト(オン・オフ時の透過光量比)を示すもので、
容量比が4程度で良好なコントラストが得られることが
わかる。酸化タンタルの比誘電率や膜厚を多少変化させ
た場合も同様である。
れぞれ0℃、25℃、50℃でのコントラストを示すも
ので、通常の使用温度0℃〜50℃の範囲においては、
温度変化によってもコントラストが最大となる容量比は
大きく変動せず、容量比を前記のような条件に設定する
ことにより常に高コントラストの表示が得られることが
わかる。
の面積に対する画素の面積、つまり画素電極の面積の比
(以下、駆動面積比という)に置き換えることができ
る。即ち、例えばMIM素子を構成する第1の導電体と
絶縁体および第2の導電体として、それぞれ前述のよう
にタンタル、酸化タンタル、クロムを用い、前記と同じ
条件に設定した液晶表示装置の場合には、容量比で2か
ら8は、駆動面積比でおよそ1000から4000に相
当する。従って、液晶や非線形素子の容量比を変えると
きには、駆動面積比を1000〜4000の範囲内、よ
り好ましくは1700〜2800の範囲内に設定すれば
よい。
ショットキー効果またはプールフレンケル効果に依存し
ており電流密度をjとして以下のように表される。 j=kVexp(β√V) ‥‥‥(1) β=1/αKT(q3 /πεr ε0 d)1/2 ‥‥‥(2) k=ημq/dexp(−φ/αKT) ‥‥‥(3) V: 電圧 εr :絶縁体の比誘電率 d: 絶縁体の膜厚 α=1: プールフレンケル α=2: ショットキー
厚60nm、比誘電率27)、クロムのMIM素子の場
合には、非線形素子の急峻性を示すβは上記式(2)か
ら約4〜8が得られる。また、この場合の素子容量CL
Cは、 CLC=εr ε0 S/d ‥‥‥(4) S: 素子面積 となり、素子容量は素子面積で調整される。
合、画素容量CLC、素子容量CMIMの容量比CLC/CMIM
には、前述したように表示特性(コントラスト、階調
再現性など)にとって最適な値が存在する。そのときの
容量比は約4(駆動面積比では約2000)である。C
LCは素子面積Sに依存するため、最適容量比(容量)と
なる素子面積をS´とした場合、上記(1)式から書き
込み時(素子印加電圧平均VON)の最適電流値の平均I
´は、 I´=j(VON)S´ ‥‥‥(5) となる。
たとすると前記(1)式からjが上昇するため、最適電
流値の平均I´を得るためには上記(5)式の最適素子
面積S´または素子印加平均電圧VONを小さくしなくて
はならないことがわかる。ところで、素子の急峻性β
は、 β∝√(1/εr d) ‥‥‥(6) であるから、非線形素子の絶縁体の比誘電率εr や膜
厚dを変えることによって最適素子サイズは変動するこ
とになる。
IMを例示したが、これに限られるものではない。また
実施例はMIM素子を構成する第1の導電体と絶縁体お
よび第2の導電体として、それぞれタンタル、酸化タン
タル、クロムを用いた場合を例にして説明したが、それ
らの材質は適宜であり、材質の如何に拘らず素子に対す
る画素の容量比もしくは駆動面積比を変化させたとき通
常の使用温度でコントラストが最も大きくなるように前
記の容量比もしくは駆動面積比を設定すれば、上記と同
様の効果が得られる。
明したが、他の各種液晶装置その他の電気光学装置にも
適用可能である。
を用いた液晶表示装置等の電気光学装置において、非線
形素子に対する画素の容量比もしくは面積比を変化させ
たとき通常の使用温度でコントラストが最も大きくなる
ように上記の容量比もしくは面積比を設定することによ
り、非線形素子の容量を過度に小さくすることなく素子
を良好に駆動させることが可能となるもので、表示性能
および安定性のよい電気光学装置が得られる等の効果が
ある。
図。
フ。
Claims (5)
- 【請求項1】 一対の基板と、該一対の基板のうちの一
方の基板上に配置された対向電極と、他方の基板上に配
置された画素電極と、前記画素電極に接続された非線形
素子とを具備し、前記対向電極と、前記画素電極と、そ
れらに挟持された液晶層とによって画素が構成された電
気光学装置において、 前記非線形素子は第1の導電体と、絶縁体と、第2の導
電体とを有し、 前記第1の導電体と、絶縁体と、第2の導電体とが重な
る部分のうち非線形素子となる部分の容量に対する画素
の容量の比である容量比を変化させたとき、 通常の使用温度で前記電気光学装置のコントラストが最
も大きくなるように前記容量比を設定したことを特徴と
する電気光学装置。 - 【請求項2】 請求項1記載の電気光学装置であって、
前記容量比を2から8の範囲内に設定したことを特徴と
する電気光学装置。 - 【請求項3】 一対の基板と、該一対の基板のうちの一
方の基板上に配置された対向電極と、他方の基板上に配
置された画素電極と、前記画素電極に接続された非線形
素子とを具備し、前記対向電極と、前記画素電極と、そ
れらに挟持された液晶層とによって画素が構成された電
気光学装置において、 前記非線形素子は第1の導電体と、絶縁体と、第2の導
電体とを有し、 前記第1の導電体と、絶縁体と、第2の導電体とが重な
る部分のうち非線形素子となる部分の面積に対する画素
電極の面積の比である面積比を変化させたとき、 通常の使用温度で前記電気光学装置のコントラストが最
も大きくなるように前記面積比を設定したことを特徴と
する電気光学装置。 - 【請求項4】 請求項3記載の電気光学装置であって、
前記面積比を1000から4000の範囲内に設定した
ことを特徴とする電気光学装置。 - 【請求項5】 一対の基板と、該一対の基板のうちの一
方の基板上に配置された対向電極と、他方の基板上に配
置された画素電極と、前記画素電極に接続された非線形
素子とを具備し、前記対向電極と、前記画素電極と、そ
れらに挟持された液晶層とによって画素が構成された電
気光学装置において、 前記非線形素子は第1の導電体と、絶縁体と、第2の導
電体とを有し、 前記第1の導電体と、絶縁体と、第2の導電体とが重な
る部分のうち非線形素子となる部分の容量に対する画素
の容量の比を約4に設定したことを特徴とする電気光学
装置。
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1992
- 1992-01-22 EP EP19920100994 patent/EP0501136A3/en not_active Withdrawn
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KR100247110B1 (ko) | 2000-03-15 |
EP0501136A3 (en) | 1992-12-09 |
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