JPH0467A - 真空槽のシール方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本発明は真空槽のシール方法に関する。

【従来の技術】

従来の真空槽のシール方法としては、本体のフランジと
蓋との間に内側シール部材と外側シール部材とを取り付
け、これらシール間をフランジに設けた通路を通して排
気することによりその部分を減圧状態として、シールの
微少リークを防ぐようにした方法がある（実開平１−１
４６０６３号公報）。第３図は一般的な真空槽の外形を
示し、第４図はこの方法を実行するための従来の真空槽
のシール部の構造を示しており、第３図の円で囲んだ部
分に相当する。 第３．４図において、１は真空槽本体、２は真空槽本体
のフランジ、３は蓋である。上記フランジ２とＭ３の間
には環状の内側シール部材５と環状の外側シール部材６
が装備されると共に、フランジ２には上記内側シール部
材５と外側シール部材６との間に排気通路７が設けられ
ている。この排気通路７は図示しない配管を介して図示
しない真空ポンプに連結され、これによって内側シール
部材５と外側シール部材６との間が減圧されるようにな
っている。

【発明が解決しようとする課題】

しかしながら、上記従来のシール方法によれば、内側ソ
ール部材５と外側シール部材６との間を減圧するために
、上記排気通路７およびこれに連結される図示しない配
管を、真空槽内の排気用に使用される排気系とは別に設
けねばならないため、真空装置全体が複雑かつ高価とな
るという問題がある。 そこで、本発明の目的は、本体のフランジと蓋との間に
内側シール部材と外側シール部材とを配置した２重シー
ル構造において、外側シール部材と内側シール部材間の
減圧状態を簡単かつ安価に作り出すことのできる真空槽
のシール方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、本発明の真空槽のシール方法
は、本体のフランジと蓋との間に内側ソール部材と外側
シール部材とを配置して真空槽をソールする方法であっ
て、まず、上記フランツと蓋とに上記外側シール部材を
密着させる一方、上記内側シール部材を上記フランジま
たは蓋から離間させ、次に、上記真空槽内を排気して上
記外側シール部材の内側を減圧し、次に、上記蓋を上記
フランジに押し付けて上記内側シール部材を上記蓋とフ
ランジとに密着させて、上記外側シール部材と内側シー
ル部材との間に減圧された空間を形成するようにしたこ
とを特徴としている。

【作用】

フランジと蓋とに外側ソール部材を密着させる一方、内
側ソール部材を上記フランジまたは蓋から離間させた状
態で真空槽内を排気するので、真空槽内の排気を通じて
外側ソール部材の内側の排気が行なわれる。このように
して外側シール部材の内側が減圧された状態で、蓋をフ
ランツに押し付けて内側シール部材を蓋とフランジとに
密着させると、外側シール部材と内側シール部材との間
に減圧された空間が形成される。この減圧空間の存在に
よって、内側シール部材の微少リークが防止される。

【実施例】

以下、本発明を図示の実施例により詳細に説明する。 第１図および第２図はそれぞれ第３図の円で囲まれた部
分に相当する部分の拡大断面図で、本発明の真空槽のシ
ール方法の実施例を説明する図である。なお、第３図は
従来例と本実施例の説明に共通な図面として使用する。 第１図において、１２は真空槽本体１のフランジ、１３
は蓋、１５は環状の内側シール部材、１６は環状の外側
シール部材、Ｉ７はボルト、Ｉ８はナツトである。 上記内側シール部材１５はガスの放出および透過を防止
する環状の金属弾性体によって形成されており、一方、
外側シール部材１６は断面Ｖ形状の環状の弾性金属材１
６ａとゴム材１６ｂ、１６ｂとで形成されている。また
、外側シール部材１６の非圧縮時の高さは内側シール部
材１５の非圧縮時の高さよりも高い。 本実施例のシール方法は以下の通りである。 まず、第１図（ａ）に示すように、フランジ１２上に内
側シール部材１５と外側シール部材【６とを配置した後
、蓋１３をボルト１７とナツト１８とで取り付ける。こ
のとき、内側シール部材１５とｉ１３との間には隙間が
おいている状態て、外側シール部材１６だけで真空槽が
ソールされるようにボルト１７を締める。 次に、真空槽本体ｌ内を予排気する。すると、内側ソー
ル部材１５と蓋１３との間の隙間を介して外側シール部
材１６と内側シール部材１５との間の空気も排気される
。内側シール部材１５と外側シール部材１６との間が一
定圧まで下がったところで、第１図（ｂ）に示すように
、ボルト１７をさらに締め付けて、内側シール部材１５
を７ランノ１２と蓋１３とに密着させる。この結果、内
側ソール部材１５と外側ソール部材１６との間に減圧さ
れた空間が形成される。 この後、真空槽内の本排気が行なわれる。 このように、内側ソール部材１５と外側シール部材１６
との間に減圧空間が形成されるので、内側シール部材１
５の内外の圧力差が少なく、内側シール部材１５の内側
にガスが侵入しにくい。また、外側シール部材１６の外
側から内側シール部材１５の内側にガスが侵入するため
には、減圧空間を経なければならないので、真空槽内に
ガスか侵入しにくい。 上記実施例では、内側ソール部材１５は上述のように金
属で形成しているので、ガスの放出および透過がな（、
真空槽内を高真空にすることができる。 また、内側シール部材１５と外側シール部材１６との間
を、真空槽自体の排気処理を利用して減圧するので、真
空槽の排気用に用いられる排気系のみがあればよく、し
たがって、別の排気系を必要とした上記従来のシール方
法に比べて、シールに要する費用を低減することができ
る。 第２図は外側シール部材の別の例を示している。 第１図に示した外側シール部材１６はＶ形状の断面を有
する金属材１６ａとその両端部に取り付けたゴム材１６
ｂとから形成したが、第２図に示した外側シール部材２
６はエラストマーで形成している。この点のみが第１図
に示した実施例と異なるので、他の部分については説明
を割愛する。 なお、外側シール部材の形状、材質、寸法は上記２つの
実施例のものに限るものではなく、要は、外側シール部
材だけで真空槽をシールしたときに、内側シール部材１
５とフランジ１２またはＭ２Ｓとの間に隙間ができ、し
かも排気を行っｒこ後に、内側ソール部材Ｉ５がフラン
ジ１２と蓋Ｉ３とに密着する箇所まで圧縮できるもので
あればよい。 【発明の効果］ 以上より明らかなように、本発明の真空槽のシール方法
は、フランジと蓋とに外側シール部材を密着させる一方
、内側シール部材を上記フランジまたは蓋から離間させ
た状態で真空槽内を排気し、これによって上記外側シー
ル部材の内側を減圧するようにしている。そして、上記
蓋を上記フランジに押し付けて上記内側シール部材を上
記蓋とフランジとに密着させて、上記外側シール部材と
内側シール部材との間に減圧された空間を形成するよう
にしている。このように、本発明によれば、内側シール
部材と外側シール部材との間の減圧状態を真空槽内の排
気を兼ねて行うことができるので、内側ソール部材と外
側シール部材との間に減圧空間を作り出すのに従来のよ
うにフランジに排気通路およびそれに連なる排気系を設
けることが不要となり、従来のシール方法に比べて簡単
、安価に真空槽内部を確実にシールすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である真空槽のシール方法を
説明する図、第２図は外側シール部材の変形例、第３図
は一般的な真空槽を示した正面図、第４図は従来の真空
槽のシール方法を説明する図である。 ２．１２・・・フランジ、３．１３・・・蓋、５．１５
・・・内側シール部材、６．１６．２６・・・外側シー
ル部材。 第１図 （ｂ） 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）本体のフランジと蓋との間に内側シール部材と外
   側シール部材とを配置して真空槽をシールする方法であ
   って、 まず、上記フランジと蓋とに上記外側シール部材を密着
   させる一方、上記内側シール部材を上記フランジまたは
   蓋から離間させ、次に、上記真空槽内を排気して上記外
   側シール部材の内側を減圧し、次に、上記蓋を上記フラ
   ンジに押し付けて上記内側シール部材を上記蓋とフラン
   ジとに密着させて、上記外側シール部材と内側シール部
   材との間に減圧された空間を形成するようにしたことを
   特徴とする真空槽のシール方法。