RU1784746C

RU1784746C - Вакуумна система и способ ее работы

Info

Publication number: RU1784746C
Application number: SU874287567A
Authority: RU
Inventors: Спартак Николаевич Скорынин; Фарит Габдулхакович Ситдиков; Анатолий Иванович Смирнов; Игорь Петрович Малкин
Original assignee: Предприятие П/Я В-2969
Priority date: 1987-07-21
Filing date: 1987-07-21
Publication date: 1992-12-30

Abstract

Изобретение относитс к вакуумной технике и позвол ет повысить экономичность при циклическом режиме работы системы , При разгерметизированной рабочей камере (К) 1 осуществл етс вакуумирование расширительной К 5 В этот момент вентиль (В) 3 закрыт, В 6 открыт, а насос (Н) 4 включен. Затем К 1 герметизируетс , Н 4 отключаетс , В 3 открываетс и К 1 сообщаетс с К 5, давлени в К1 и 5 выравниваютс . В 6 закрываетс , включаетс Н 4 и К 1 откачиваетс до рабочего давлени . По завершении технологического процесса в К 1 Н 4 отключаетс , В 6 открываетс , давлени в К 1и 5 выравниваютс , В 3 закрываетс , В 2 открываетс , К1 разгерметизируетс . Одновременно Н 4 включаетс , В 6 открываетс и К 5 откачиваетс . Далее цикл повтор етс . 2с.п. ф-лы, 1 ил.

Description

уг%

0

(Л

3

з

ЧУУУУ

t

S

t

I

, /

ч

А /

00

&

Изобретение относитс к области вакуумной техники, а именно к вакуумным системам и технологии вакуумировани вакуумных камер при их циклическом режиме работы.

Цель изобретени - повышение экономичности ,

На чертеже представлена схема вакуум- ной системы.

Вакуумна система содержит рабочую камеру 1, соединенную при помощи трубопроводов , снабженных вентил ми 2 и 3, с атмосферой, вакуумным насосом 4 и расширительной камерой 5. Между вакуумным насосом 4 и расширительной камерой 5 ус- тановлен вентиль 6

Способ работы вакуумной системы реализуетс следующим образом.

При разгерметизированной рабочей камере 1 (в процессе размещени в ней либо замены обрабатываемого в вакууме издели ) осуществл етс вакуумирование расширительной камеры 5 - вентиль 3 закрыт, а вентиль б открыт, насос 4 включен. После окончани подготовки издели рабоча ка- мера 1 герметизируетс , насос 4 отключаетс (либо перекрыЁаетс вентилем, на чертеже не показанным), вентиль 3 открываетс и давлени в рабочей и расширительной камерах 1 и 5 выравниваютс . Вентиль б закрываетс , включаетс насос 4 и рабоча камера 1 откачиваетс до требуемого давлени , при котором осуществл етс технологическа операци обработки загруженного издели . По окончании технологического процесса насос 4 отключаетс , вентиль б открываетс , камеры 1 и 5 сообщаютс , давление Ё них выравниваетс , затем вентиль 3 закрываетс , вентиль 2 открываетс , происходит разгерметизаци рабочей камеры 1, а одновременно включаетс насос 4 и осуществл етс вакуумирование расширительной камеры 5 Далее цикл повтор етс .

Экономичность достигаетс тем, что вакуумным насосом 4 из расширительной камеры 5 удал етс лишь количество газа, которое остаетс в ней после двухкратного сообщени с рабочей камерой 1, причем в процессе второго сообщени часть газа переходит в рабочую камеру 1, т.е. расширительна камера 5 как бы предварительно вакуумируетс перед подключением к насосу 4, тем самым затраты собственно насоса на ее вакуумирование снижаютс

Claims

1.Вакуумна система, содержаща рабочую камеру, соединенную при помощи трубопроводов, снабженных вентил ми, с атмосферой и расширительной камерой, и вакуумный насос, отличающас тем, что, с целью повышени экономичности при циклическом режиме работы, вакуумный насос подключен к трубопроводу, соедин ющему рабочую и расширительную камеры

2.Способ работы вакуумной системы, включающий предварительное вакуумирование расширительной камеры, герметизацию рабочей камеру, выравнивание давлений в рабочей и расширительной камерах путем их сообщени между собой, вакуумирование рабочей камеры до рабочего давлени и последующую ее разгерметизацию , отличающийс тем, что перед разгерметизацией рабочей камеры повторно выравнивают давление в ней и расширительной камере путем их сообщени между собой, отсоедин ют расширительную камеру от рабочей и осуществл ют ее вакуумирование одновременно с разгерметизацией рабочей камеры.