CN207933523U - 适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，将一套包含有前级泵和高真空泵的真空抽气系统安装在可移动式平台上，可移动式真空抽气系统以快接的方式与气相沉积真空装置连接起来，气相沉积真空装置正常生产时只需配备一台振动小的维持泵即可。可移动式真空抽气系统能够高效解决一台或者多台气相沉积真空装置的真空抽气问题，大大降低了硬件成本，并且提高了真空抽气效率。

Description

适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统

技术领域

本实用新型涉及气相沉积真空装置，具体涉及一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统。

背景技术

气相沉积真空装置配备有一套真空抽气系统，包括维持泵、前级泵、高真空泵。其中，维持泵是生产过程中气量很小不能有效地利用前级泵时配备的容量很小的辅助泵，一般是小型的旋片式机械泵，或者直接使用前级泵；前级泵一般是旋片式机械泵或者罗茨泵，前级泵的作用是将反应腔室的真空度由大气压抽至一定真空度直到满足高真空泵的启动要求,另外前级泵也可以当做维持泵使用；高真空泵一般是涡轮式分子泵或者油扩散泵，高真空泵启动前要求使用前级泵将反应腔室真空度抽至一定的真空度，一般达到10Pa以下。另外，高真空泵开始工作前需要预启动，例如油扩散泵启动前需要对泵油进行预热、涡轮式分子泵启动前需要转子转速达到一定要求。高真空泵预启动过程需要等待一定时间，并且有一定的振动干扰。前级泵与高真空泵前端直连的管道为主抽气管道，前级泵与高真空泵后端直连的管道为旁抽气管道。使用前级泵对气相沉积真空装置反应腔室进行粗抽至高真空泵真空度启动范围之内时，尾气通过旁抽气管道排走；启动高真空泵对气相沉积真空装置反应腔室进行精抽至本底真空时，尾气通过主抽气管道排走。

气相沉积真空装置在工业量产过程中对反应腔室的本底真空度和周边振动干扰有一定的要求。反应腔室的本底真空度越低，反应腔室内的残余气体对产品的污染越少。周边振动干扰过大会导致反应腔室内的产品发生位移，甚至可能影响气相反应均匀性从而影响产品质量。其中，作为前级泵的旋片式机械泵和罗茨泵的振动是最大的，高真空泵次之，维持泵振动最小。

气相沉积真空装置基本生产流程步骤：对反应腔室进行充气至大气压，打开反应腔室腔门，放入待处理产品，关闭腔门，抽真空至预设值以下，启动程序进行气相沉积，反应结束后排空反应尾气，对反应腔室进行充气至大气压，打开反应腔室腔门，取出处理完成的产品。气相沉积前使用前级泵和高真空泵将反应腔室抽至本底真空是为了减少残余气体的污染。气相沉积过程中通过调节维持泵抽真空速率和气源输入流量来维持一定的沉积气压。

现有技术存在以下缺点：每台设备单独使用一套抽真空的真空抽气系统，投入成本大，抽真空时间长(高真空泵预启动需要一定时间)，真空泵使用过程中的振动会影响设备生产稳定性。抽速小的前级泵振动小、耗时长，抽速大的前级泵振动大。气相沉积装置会根据反应腔室的大小配备一台抽速适中的前级泵，另外再配备一台高真空泵。另外，气相沉积对振动干扰有要求的气相沉积装置会另外配备一台振动较小、抽速较小的维持泵。每台设备单独配一套真空抽气系统在性价比方面优势不明显，而且耗时较长。为了降低设备成本，使用前级泵充当维持泵使用。与维持泵相比，前级泵耗电量大、振动大。

实用新型内容

针对现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，该系统将包含有前级泵和高真空泵的真空抽气系统安装在可移动式平台上，可移动式真空抽气系统以快接的方式与气相沉积真空装置连接起来，气相沉积真空装置正常生产时只需配备一台振动小的维持泵即可。可移动式真空抽气系统能够高效解决一台或者多台气相沉积真空装置的真空抽气问题，大大降低了硬件成本，并且提高真空抽气效率。

为此，本实用新型采用了以下技术方案：

一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，包括前级泵和高真空泵；所述前级泵和高真空泵安装在一个可移动式的平台上；所述前级泵的一端和高真空泵的一端连接在一起；所述前级泵和高真空泵的另一端均设有快接端口。

优选地，所述前级泵采用旋片式机械泵或罗茨泵；所述高真空泵采用涡轮式分子泵或油扩散泵。

优选地，所述快接端口包括真空阀、快接卡套和放气阀；所述真空阀位于抽气管道或排气管道上，所述放气阀位于三通管道的垂直端，所述三通管道的水平段的两端分别通过所述快接卡套与所述可移动式快接真空抽气系统的进气管道或排气管道以及气相沉积真空装置的相应管道连接。

优选地，气相沉积真空装置配备一套振动小的维持泵，在维持泵前端管道上安装有一个三通快接端口，用于连接可移动式快接真空抽气系统；在维持泵后端管道上安装有一个三通快接端口，用于将可移动式快接真空抽气系统的尾气集中进行处理。

优选地，所述三通快接端口包含真空阀、放气阀、真空快接法兰端口，用于保证可移动式快接真空抽气系统在安装与移除过程中不会影响到气相沉积真空装置的真空系统。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型使用一套可移动式快接真空抽气系统，可以高效解决一台或者多台设备的抽真空问题。另外，抽气前高真空泵已经预启动完成可以提高真空抽气效率。

(2)每台气相沉积真空装置只需配备一个振动小的维持泵辅助生产即可，可大大降低设备硬件成本。

(3)气相沉积真空装置气相沉积过程中只使用振动小的维持泵辅助生产，可大大降低周围振动干扰。另外，可移动式快接真空抽气系统与气相沉积真空装置连接前高真空泵已经预启动完成，高真空泵的预启动也不会造成振动干扰。

附图说明

图1是本实用新型所提供的一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统的结构简图。

图2是三通快接端口的结构简图。

附图标记说明：1、前级泵；2、高真空泵；3、三通快接端口；4、真空阀； 5、真空快接法兰端口；6、放气阀。

具体实施方式

下面结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，其中的具体实施例以及说明仅用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。

如图1所示，本实用新型公开了一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，包括前级泵1和高真空泵2；所述前级泵1和高真空泵2安装在一个可移动式的平台上；所述前级泵1的一端和高真空泵2的一端连接在一起；所述前级泵1和高真空泵2的另一端均设有三通快接端口3。气相沉积真空装置配备一套振动小的维持泵，在维持泵前端管道上安装一个三通快接端口3用于连接可移动式快接真空抽气系统，在维持泵后端管道上安装一个三通快接端口3 用于将可移动式快接真空抽气系统的尾气集中进行处理。

如图2所示，所述三通快接端口3包括真空阀4、真空快接法兰端口5和放气阀6；所述真空阀4位于气相沉积真空装置抽气管道和可移动式快接真空抽气系统排气管道上，所述放气阀6位于三通快接端口3的垂直端。

具体地，所述真空快接法兰端口5将气相沉积真空装置和可移动式快接真空抽气系统连接起来，使用卡箍紧固连接保证抽气管道的真空气密性。

作为一种优选，所述前级泵1采用旋片式机械泵或罗茨泵；所述高真空泵2 采用涡轮式分子泵或油扩散泵。

实施例

气相沉积真空装置需要抽真空之前，可移动式快接真空抽气系统中的高真空泵2处于预启动状态。气相沉积真空装置需要抽真空时，通过三通快接端口3 将气相沉积真空装置与可移动式快接真空抽气系统连接起来，使用卡箍紧固连接保证抽气管道的真空气密性。关闭放气阀6，打开真空阀4，启动前级泵1，气相沉积真空装置开始抽真空，气相沉积真空装置反应腔室内的真空度抽至高真空泵2真空度要求范围以内后，高真空泵2开始工作，气相沉积真空装置反应腔室内的真空度抽至本底真空后，关闭真空阀4，打开放气阀6，拆拆真空快接法兰端口5位置的卡箍即可移除可移动式快接真空抽气系统。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则范围之内所作的任何修改、等同替换以及改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，包括前级泵和高真空泵，其特征在于：所述前级泵和高真空泵安装在一个可移动式的平台上；所述前级泵的一端和高真空泵的一端连接在一起；所述前级泵和高真空泵的另一端均设有快接端口。

2.根据权利要求1所述的一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，其特征在于：所述前级泵采用旋片式机械泵或罗茨泵；所述高真空泵采用涡轮式分子泵或油扩散泵。

3.根据权利要求1所述的一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，其特征在于：所述快接端口包括真空阀、快接卡套和放气阀；所述真空阀位于抽气管道或排气管道上，所述放气阀位于三通管道的垂直端，所述三通管道的水平段的两端分别通过所述快接卡套与所述可移动式快接真空抽气系统的进气管道或排气管道以及气相沉积真空装置的相应管道连接。

4.根据权利要求1所述的一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，其特征在于：气相沉积真空装置配备一套振动小的维持泵，在维持泵前端管道上安装有一个三通快接端口，用于连接可移动式快接真空抽气系统；在维持泵后端管道上安装有一个三通快接端口，用于将可移动式快接真空抽气系统的尾气集中进行处理。

5.根据权利要求4所述的一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，其特征在于：所述三通快接端口包含真空阀、放气阀、真空快接法兰端口，用于保证可移动式快接真空抽气系统在安装与移除过程中不会影响到气相沉积真空装置的真空系统。