CN212476956U - 一种多台单晶炉抽气管道 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多台单晶炉抽气管道，包括n台并联连接的单晶炉(1)和n‑1台并联连接的真空泵(2)，n台所述单晶炉(1)构成单晶炉(1)模块，n‑1台所述真空泵(2)构成真空泵(2)模块，所述单晶炉(1)模块和所述真空泵(2)模块通过管道串联连接，每台单晶炉(1)和每台真空泵(2)所在的支路上均设置有调节阀(3)，n为大于等于3的自然数。应用本实用新型实施例所提供的技术方案，n台单晶炉(1)配备n‑1台真空泵(2)进行抽真空和保压操作，节约了一台真空泵(2)和其他生产资源，降低了每台单晶炉(1)的设备成本，节约单晶炉(1)生产过程中的电能和氩气等资源消耗。

Description

一种多台单晶炉抽气管道

技术领域

本实用新型涉及抽气管道技术领域，特别是涉及一种多台单晶炉抽气管道。

背景技术

目前的单晶炉设备一般都是每台单晶炉配置一台独立的真空泵，进行抽真空和保压操作，这样的配置容易造成很大的资源浪费。

具体的说，当单晶炉保压时，真空泵进行抽气保压操作，有时会因为真空泵的抽气速度过快，造成保压所使用气体(如氩气)的输出过大，从而造成氩气的浪费，间接的也会造成电能的浪费。当单晶炉抽真空时，一台真空泵抽真空所花费的时间太长(一般需要两个小时)，这造成了生产时间的极大浪费。

综上所述，如何有效地解决单晶炉抽真空和保压生产中所产生的资源浪费等问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多台单晶炉抽气管道，该多台单晶炉抽气管道降低了每台单晶炉的设备成本，减少了单晶炉生产过程中的资源消耗。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：

一种多台单晶炉抽气管道，包括n台并联连接的单晶炉和n-1台并联连接的真空泵，n台所述单晶炉构成单晶炉模块，n-1台所述真空泵构成真空泵模块，所述单晶炉模块和所述真空泵模块通过管道串联连接，每台单晶炉和每台真空泵所在的支路上均设置有调节阀，n为大于等于3的自然数。

优选地，所述单晶炉的干路管道和所述真空泵的干路管道共用一条干路管道。

优选地，所述真空泵间隔设置于两台所述单晶炉之间。

优选地，所述调节阀设置于所述单晶炉和所述真空泵的支路分支点管道处。

优选地，所述调节阀为蝶阀。

优选地，所述单晶炉的数量为三台，真空泵的数量为两台，调节阀的数量为五个。

本实用新型所提供的多台单晶炉抽气管道，包括单晶炉、真空泵和调节阀，单晶炉的数量为n台，n为大于等于3的自然数，n台单晶炉并联连接，n台单晶炉构成单晶炉模块。真空泵的数量为n-1，n-1真空泵台并联连接，n-1台真空泵构成真空泵模块。需要说明的是真空泵为用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。单晶炉模块和真空泵模块通过管道串联连接，也就是n台单晶炉并联连接和n-1真空泵台并联连接后两者在串联连接。每台单晶炉所在的支路上和每台真空泵所在的支路上均设置有调节阀，调节阀可以控制所在支路的通断。

应用本实用新型实施例所提供的技术方案，n台单晶炉配备n-1台真空泵进行抽真空和保压操作，节约了一台真空泵和其他生产资源，降低了每台单晶炉的设备成本，节约单晶炉生产过程中的电能和氩气等资源消耗；根据n台单晶炉的腔体状态，状态是指单晶炉是否处于抽真空/保持工作压/保持常压，来判定n-1台真空泵的开启与否，以及通过控制所有调节阀的开关和开启程度，可以控制真空泵抽气速度，减少了氩气的消耗量；真空泵有时可以关闭，减少了电能的消耗。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型中一种具体实施方式所提供的多台单晶炉抽气管道的结构示意图。

附图中标记如下：

1-单晶炉、2-真空泵、3-调节阀。

具体实施方式

本实用新型的核心是提供一种多台单晶炉抽气管道，该多台单晶炉抽气管道降低了每台单晶炉的设备成本，减少了单晶炉生产过程中的资源消耗。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参考图1，图1为本实用新型中一种具体实施方式所提供的多台单晶炉抽气管道的结构示意图。

在一种具体实施方式中，本实用新型所提供的多台单晶炉抽气管道，包括n台并联连接的单晶炉1和n-1台并联连接的真空泵2，n台单晶炉1构成单晶炉1模块，n-1台真空泵2构成真空泵2模块，单晶炉1模块和真空泵2模块通过管道串联连接，每台单晶炉1和每台真空泵2所在的支路上均设置有调节阀3，n为大于等于3的自然数。

上述结构中，多台单晶炉抽气管道包括单晶炉1、真空泵2和调节阀3，单晶炉1的数量为n台，n为大于等于3的自然数，n台单晶炉1并联连接，n台单晶炉1构成单晶炉1模块。

真空泵2的数量为n-1，n-1真空泵2台并联连接，n-1台真空泵2构成真空泵2模块。需要说明的是真空泵2为用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。

单晶炉1模块和真空泵2模块通过管道串联连接，也就是n台单晶炉1并联连接和n-1真空泵2台并联连接后两者在串联连接。每台单晶炉1所在的支路上和每台真空泵2所在的支路上均设置有调节阀3，调节阀3可以控制所在支路的通断。

应用本实用新型实施例所提供的技术方案，n台单晶炉1配备n-1台真空泵2进行抽真空和保压操作，节约了一台真空泵2和其他生产资源，降低了每台单晶炉1的设备成本，节约单晶炉1生产过程中的电能和氩气等资源消耗；根据n台单晶炉1的腔体状态，状态是指单晶炉1是否处于抽真空/保持工作压/保持常压，来判定n-1台真空泵2的开启与否，以及通过控制所有调节阀3的开关和开启程度，可以控制真空泵2抽气速度，减少了氩气的消耗量；真空泵2有时可以关闭，减少了电能的消耗。

在上述具体实施方式的基础上，本领域技术人员可以根据具体场合的不同，对多台单晶炉抽气管道进行若干改变，单晶炉1的干路管道和真空泵2的干路管道共用一条干路管道，简化管路，连接方便，节省成本。

进一步优化上述技术方案，本领域的技术人员可以根据具体场合的不同对上述具体实施方式进行若干改变，真空泵2间隔设置于两台单晶炉1之间，结构紧凑，占用空间较小。

本实用新型所提供的多台单晶炉抽气管道，在其它部件不改变的情况下，调节阀3设置于单晶炉1和真空泵2的支路分支点管道处，可以省去端部支路中的重复调节阀3，减少调节阀3数量，简化结构。

另一种较为可靠的实施例中，在上述任意一个实施例的基础之上，调节阀3为蝶阀，蝶阀又叫翻板阀，是一种结构简单的调节阀3，结构简单，安装方便，外形尺寸小，结构长度短，体积小，重量轻，启闭方便迅速，可以经常操作，操作灵活省力，调节性能好，密封性能好。

在一种具体实施例中，单晶炉1的数量为三台，真空泵2的数量为两台，调节阀3的数量为五个，三台单晶炉1，两台真空泵2和五个蝶阀构成一个抽气管道线路，根据三台单晶炉1的保压和抽真空状况，来开启各个蝶阀和真空泵2，具体情况如下：

第一种情况：当三台单晶炉1中，有两台单晶炉1在保压状态，一台单晶炉1在抽真空时，只需要将通往抽真空单晶炉1的管道上蝶阀全部开启，通往保压状态单晶炉1的管道上蝶阀开启一半，并且两个真空泵2都开启，这样操作即可。例如单晶#1号炉和单晶#2号炉在保压状态，以及单晶#3号炉在抽真空状态时，真空泵2A和真空泵2B全开，蝶阀d、蝶阀b和蝶阀c全部开启，蝶阀a和蝶阀f则是只开启一半即可，这样操作，可以加快单晶#3号炉的抽真空，预计节约单晶#3号炉生产时间50分钟左右，单晶#1号炉和单晶#2号炉的氩气消耗量会减少；

第二种情况：当三台单晶炉1中，有两台单晶炉1在抽真空状态，一台单晶炉1在保压状态时，只需要将通往抽真空单晶炉1的管道上蝶阀全部开启，通往保压状态单晶炉1的管道上蝶阀开启一半，并且两个真空泵2都开启，这样操作即可。例如单晶#1号炉在抽空和单晶#2号炉在抽真空状态，以及单晶#3号炉在保压状态时，真空泵2A和真空泵2B全开，蝶阀a、蝶阀b和蝶阀c，蝶阀f全部开启，蝶阀d则是只开启一半即可，这样操作，可以加快单晶#1号炉和单晶#2号炉的抽真空，预计节约单晶#1号炉和#2号炉生产时间各自减少30分钟左右，单晶#3号炉的氩气消耗量会减少；

第三种情况：当三台单晶炉1全部在抽真空时，先关闭一台单晶炉1上的管道蝶阀，将另外两台单晶炉1上的管道蝶阀全部开启，同时开启两个真空泵2。当两台单晶炉1的真空接近设定值，再开启另外一台单晶炉1的管道蝶阀，这样操作预计减少三台单晶炉1的总生产时间30分钟；

第四种情况：当三台单晶炉1全部在保压时，所有蝶阀全部开启，只开启一个真空泵2，这样操作即可。这可以减少三台单晶炉1总电能，并且减少三台单晶炉1的氩气消耗量；

第五种情况：当三台单晶炉1有一台停止生产，一台保压，一台抽真空时，抽真空单晶炉1的管道蝶阀全部开启，保压单晶炉1的管道蝶阀只开启四分之一即可，两台真空泵2全部开启，这样可以节约抽真空时间和保压时的氩气消耗量。例如当单晶#1号炉停止生产，单晶#2号炉在保压状态，单晶#3号炉在抽真空状态时，真空泵2A和真空泵2B全开，蝶阀a关闭，蝶阀b和蝶阀c，蝶阀d全部开启，蝶阀f则是只开启一半即可，这样操作即可。

本实用新型所提供的多台单晶炉抽气管道，3台单晶炉1配备2台真空泵2进行抽真空和保压操作，节约了一台真空泵2和其他生产资源，降低了每台单晶炉1的设备成本，节约单晶炉1生产过程中的电能和氩气等资源消耗；根据单晶炉1的腔体状态，状态是指单晶炉1是否处于抽真空/保持工作压/保持常压，来判定台真空泵2的开启与否，通过控制调节阀3的开关和开启程度，可以控制真空泵2抽气速度，减少了氩气的消耗量；真空泵2有时可以关闭，减少了电能的消耗。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

以上对本实用新型所提供的多台单晶炉抽气管道进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (6)

1.一种多台单晶炉抽气管道，其特征在于，包括n台并联连接的单晶炉(1)和n-1台并联连接的真空泵(2)，n台所述单晶炉(1)构成单晶炉(1)模块，n-1台所述真空泵(2)构成真空泵(2)模块，所述单晶炉(1)模块和所述真空泵(2)模块通过管道串联连接，每台单晶炉(1)和每台真空泵(2)所在的支路上均设置有调节阀(3)，n为大于等于3的自然数。

2.根据权利要求1所述的多台单晶炉抽气管道，其特征在于，所述单晶炉(1)的干路管道和所述真空泵(2)的干路管道共用一条干路管道。

3.根据权利要求2所述的多台单晶炉抽气管道，其特征在于，所述真空泵(2)间隔设置于两台所述单晶炉(1)之间。

4.根据权利要求3所述的多台单晶炉抽气管道，其特征在于，所述调节阀(3)设置于所述单晶炉(1)和所述真空泵(2)的支路分支点管道处。

5.根据权利要求4所述的多台单晶炉抽气管道，其特征在于，所述调节阀(3)为蝶阀。

6.根据权利要求1-5任一项所述的多台单晶炉抽气管道，其特征在于，所述单晶炉(1)的数量为三台，真空泵(2)的数量为两台，调节阀(3)的数量为五个。

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