CN215628275U - 一种适用于镀膜机的抽空系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用于镀膜机的抽空系统，包括真空室上室、真空室下室、扩散泵、维持泵和罗茨泵，所述真空室上室的内部设置有用于镀膜的真空室下室，所述真空室下室的侧表面被抽下室管道所贯穿，所述真空室上室的侧表面被抽上室管道所贯穿，所述抽上室管道的一端连接有维持泵，所述维持泵的一侧通过管道连接有罗茨泵，所述罗茨泵远离维持泵的一侧通过管道连接有用于粗抽真空的机械泵。该适用于镀膜机的抽空系统，设置有罗茨泵、机械泵和扩散泵，通过机械泵进行粗抽真空，然后通过罗茨泵进一步的抽真空使得真空室下室中的气压达到扩散泵的启动标准，从而使得整个抽真空过程能够更快的进行，提升了整体的工作效率。

Description

一种适用于镀膜机的抽空系统

技术领域

本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体为一种适用于镀膜机的抽空系统。

背景技术

真空室是镀膜机的容器，镀膜机是通过铝丝融化，在真空状态下，分子成直线状态飞到所蒸镀的物体上，那真空室必须通过泵组来抽成真空，镀膜腔室分为上、下两个腔室，上室是存放蒸镀膜的和蒸镀所需要的辊子，下室是蒸发源和辊子，现有的泵体组成的镀膜剂的抽空系统往往是由单个真空泵对真空室进行抽真空，一些抽真空程度较高的泵体需要在压力较低的情况下才能启动，因此单泵的设计只能通过一些抽真空较慢的真空泵逐渐进行抽真空，大大降低了抽真空的效率，同时由于真空泵单次启动的时间较长，因此在不工作时也需要保持真空泵的运转，这就造成了能源的浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适用于镀膜机的抽空系统，以解决上述背景技术中提出的抽真空效率低和维持真空状态会大量消耗能源的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种适用于镀膜机的抽空系统，包括真空室上室、真空室下室、扩散泵、维持泵和罗茨泵，所述真空室上室的内部设置有用于镀膜的真空室下室，所述真空室下室下方安装有扩散泵，所述真空室下室的侧表面被抽下室管道所贯穿，所述真空室上室的侧表面被抽上室管道所贯穿，所述抽上室管道的一端连接有维持泵，所述维持泵的一侧通过管道连接有罗茨泵，所述罗茨泵远离维持泵的一侧通过管道连接有用于粗抽真空的机械泵。

优选的，所述扩散泵均匀分布在真空室下室的下表面，所述扩散泵的进气口贯穿真空室下室的下表面。

采用上述技术方案，使得扩散泵能够进一步对真空室下室进行抽真空以达到镀膜的标准。

优选的，所述扩散泵的一侧连接有第二排气管道，所述第二排气管道的上端安装有排气隔离阀，所述排气隔离阀的一端通过管道与罗茨泵相连接。

采用上述技术方案，使得排气隔离阀能够控制扩散泵与罗茨泵的通断，从而达到在罗茨泵和机械泵停止工作的情况下通过扩散泵对真空室上室中的压力进行维持。

优选的，所述抽下室管道的一端连接有抽下室隔离阀，所述抽下室隔离阀的另一端与抽上室管道相连接，所述抽上室管道均匀分布在真空室上室的侧表面。

采用上述技术方案，使得在抽下室隔离阀关闭时能够阻断抽上室管道与真空室下室的联通，避免真空室下室在抽真空过程中抽上室管道向真空室下室中注入气体。

优选的，所述第二排气管道的侧表面连接有第一排气管道，所述第一排气管道的另一端与维持泵相连接。

采用上述技术方案，使得维持泵在扩散泵的吸力作用下，能够通过第一排气管道对真空室上室进行抽真空。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该适用于镀膜机的抽空系统：

1.设置有罗茨泵、机械泵和扩散泵，通过机械泵进行粗抽真空，然后通过罗茨泵进一步的抽真空使得真空室下室中的气压达到扩散泵的启动标准，从而使得整个抽真空过程能够更快的进行，提升了整体的工作效率；

2.设置有维持泵，由于扩散泵启动时间长，因此在不需要镀膜时扩散泵也必须维持工作，所以利用真空室下室中的扩散泵所维持的压力使维持泵对真空室上室进行抽气，从而使得罗茨泵和机械泵在不镀膜时能够停止工作而不用一直运行，降低了维持真空室上室中压力所需要消耗的能源；

3.设置有排气隔离阀，通过排气隔离阀将罗茨泵与扩散泵相连通，从而使得在扩散泵工作过程中能够通过罗茨泵进行排气，使得真空室上室中的镀膜分子能够在压力的作用下进入真空室下室，完成整个的镀膜过程。

附图说明

图1为本实用新型整体正剖视结构示意图；

图2为本实用新型整体俯剖视结构示意图；

图3为本实用新型真空室上室与真空室下室连接侧剖视结构示意图。

图中：1、真空室上室；2、真空室下室；3、扩散泵；4、抽下室管道；5、抽下室隔离阀；6、排气隔离阀；7、抽上室管道；8、维持泵；9、罗茨泵；10、机械泵；11、第一排气管道；12、第二排气管道。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种适用于镀膜机的抽空系统，包括真空室上室1、真空室下室2、扩散泵3、抽下室管道4、抽下室隔离阀5、排气隔离阀6、抽上室管道7、维持泵8、罗茨泵9、机械泵10、第一排气管道11和第二排气管道12，真空室上室1的内部设置有用于镀膜的真空室下室2，真空室下室2下方安装有扩散泵3，扩散泵3均匀分布在真空室下室2的下表面，扩散泵3的进气口贯穿真空室下室2的下表面，在罗茨泵9将真空室上室1和真空室下室2中的气压抽至3帕斯卡后，扩散泵3启动对真空室下室2进行进一步的抽真空，将真空室下室2内的气压抽至0.05帕斯卡以满足真空镀膜的压力要求，同时也大大提升了真空室抽真空的速率。

如图1-3所示，真空室下室2的侧表面被抽下室管道4所贯穿，真空室上室1的侧表面被抽上室管道7所贯穿，抽上室管道7的一端连接有维持泵8，维持泵8的一侧通过管道连接有罗茨泵9，罗茨泵9远离维持泵8的一侧通过管道连接有用于粗抽真空的机械泵10，抽下室管道4的一端连接有抽下室隔离阀5，抽下室隔离阀5的另一端与抽上室管道7相连接，抽上室管道7均匀分布在真空室上室1的侧表面，首先通过罗茨泵9和机械泵10同时对真空室上室1和真空室下室2同时进行抽真空，直至真空室上室1和真空室下室2中的压力达到扩散泵3的启动压力，抽下室隔离阀5在真空室下室2中压力达标后将真空室下室2与罗茨泵9隔开，然后扩散泵3启动单独对真空室下室2进行进一步的抽真空。

如图1和图3所示，扩散泵3的一侧连接有第二排气管道12，第二排气管道12的上端安装有排气隔离阀6，排气隔离阀6的一端通过管道与罗茨泵9相连接，排气隔离阀6打开通过罗茨泵9的分支对扩散泵3进行抽气，从而达到对扩散泵3的排气效果完成镀膜。

如图1-3所示，第二排气管道12的侧表面连接有第一排气管道11，第一排气管道11的另一端与维持泵8相连接，在不镀膜时，由于扩散泵3使用油来驱动，因此扩散泵3的启动时间较长，即使在不镀膜时扩散泵3也需要保持工作，此时通过第一排气管道11将扩散泵3通过与维持泵8连通，维持泵8通过抽上室管道7对真空室上室1进行抽真空，从而实现在关停罗茨泵9和机械泵10的情况下保持真空室上室1中压力的目的，大大降低了维持压力所需要的能源。

工作原理：在使用该适用于镀膜机的抽空系统时，首先罗茨泵9和机械泵10通过抽上室管道7和抽下室管道4同时对真空室上室1和真空室下室2进行抽真空，待真空室上室1和真空室下室2中的压力达到扩散泵3的启动压力后，将抽下室隔离阀5关闭，然后启动扩散泵3对真空室下室2进行抽真空，直至真空室下室2中压力达到镀膜的压力标准，此时打开排气隔离阀6，通过排气隔离阀6让扩散泵3排气，从而使得真空室下室2能够通过压力的变化和气体的流动将真空室上室1中的镀膜物质吸入真空室下室2，完成对物体的镀膜，当不需要镀膜时，启动维持泵8，第一排气管道11将扩散泵3通过与维持泵8连通，维持泵8在扩散泵3的作用下通过抽上室管道7对真空室上室1进行抽真空，从而实现在关停罗茨泵9和机械泵10的情况下保持真空室上室1中压力的目的，大大降低了维持压力所需要的能源，增加了整体的实用性。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种适用于镀膜机的抽空系统，包括真空室上室（1）、真空室下室（2）、扩散泵（3）、维持泵（8）和罗茨泵（9），其特征在于：所述真空室上室（1）的内部设置有用于镀膜的真空室下室（2），所述真空室下室（2）下方安装有扩散泵（3），所述真空室下室（2）的侧表面被抽下室管道（4）所贯穿，所述真空室上室（1）的侧表面被抽上室管道（7）所贯穿，所述抽上室管道（7）的一端连接有维持泵（8），所述维持泵（8）的一侧通过管道连接有罗茨泵（9），所述罗茨泵（9）远离维持泵（8）的一侧通过管道连接有用于粗抽真空的机械泵（10）。

2.根据权利要求1所述的一种适用于镀膜机的抽空系统，其特征在于：所述扩散泵（3）均匀分布在真空室下室（2）的下表面，所述扩散泵（3）的进气口贯穿真空室下室（2）的下表面。

3.根据权利要求1所述的一种适用于镀膜机的抽空系统，其特征在于：所述扩散泵（3）的一侧连接有第二排气管道（12），所述第二排气管道（12）的上端安装有排气隔离阀（6），所述排气隔离阀（6）的一端通过管道与罗茨泵（9）相连接。

4.根据权利要求1所述的一种适用于镀膜机的抽空系统，其特征在于：所述抽下室管道（4）的一端连接有抽下室隔离阀（5），所述抽下室隔离阀（5）的另一端与抽上室管道（7）相连接，所述抽上室管道（7）均匀分布在真空室上室（1）的侧表面。

5.根据权利要求3所述的一种适用于镀膜机的抽空系统，其特征在于：所述第二排气管道（12）的侧表面连接有第一排气管道（11），所述第一排气管道（11）的另一端与维持泵（8）相连接。

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