SU1006833A1 - Способ герметизации вакуумной камеры - Google Patents

Abstract

СПОСОБ ГЕРМЕТИЗАЦИИ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ двум  полыми уплотнительными элементами путем подачи в их полости сжатого газа и вакуумировани  пространства между ними, отличающийс  тем, что, с целью повышени  экономичности, сжатый газ подают в полость уплотнительного элемента, расположенного со стороны атмосферы , после чего вакуумируют камеру, а затем подают сжатый газ в полость второго уплотнительного элемента.

Description

- 7

(Л

а оо со оо Изобретение относитс  к уплотнительной технике, в частности к способам герметизации вакуумных систем. Известен способ герметизации вакуумной камеры двум  уплотнительными элементами, включающий сжатие их фланцами камеры, вакуумирование пространства между уплотнительными элементами и последующую откачку камеры 1. Снижение давлени  между уплотнительными элементами уменьшает натекание через уплотнение и позвол ет улучшить вакуум в камере, однако этот способ требует высокого качества изготовлени  фланцев, поскольку их неплоскостность может быть некомпенсирована деформацией уплотнительных элементов, и герметизаци  не буДет осуществлена; а также требует большого усили  сжати  фланцев. Известен также способ уплотнени  вакуумной камеры двум  полыми уплотнительными элементами путем одновременной подачи в их полости сжатого газа и последующего вакуумировани  пространства между ними 2. Недостатком известного способа  вл етс  то, что дл  создани  пониженного давлени  в полости между уплотнительными элементами необходим дополнительный вакуумный насос, используемый только в начальный период уплотнени  камеры, что снижает экономичность и усложн ет эксплуатацию вакуумной камеры.

Цель изобретени  - повышение экономичнoctи .

Поставленна  цель достигаетс  тем, что при герметизации вакуумной камеры двум 

тами замкнутое отвакуумированное пространство . После этого продолжают откачку камеры до рабочего давлени  вакуумной системой 8.

Таким образом, применение предлагаемого способа позвол ет осуществл ть вакуумирование пространства между уплотнительными элементами и откачку камеры одной вакуумной системой, что значительно повышает экономичность герметизации. полыми уплотнительными элементами путем подачи в их полости сжатого газа и вакуумировани  пространства между ними, сжатый , газ подают в полость уплотнительного элемента, расположенного со стороны атмосферы , после чего вакуумируют камеру. а затем подают сжатый газ в полость второго уплотнительного элемента. На чертеже изображена схема устройства дл  герметизации вакуумной камеры предлагаемым способом. Вакуумна  камера содержит корпус 1 с фланцем 2, на котором установлены полые уплотнительные элементы 3 и 4, полости которых соединены с источником 5 сжатого газа, и крышку 6 с фланцем 7. Камера соединена с вакуумной системой 8. Герметизацию вакуумной камеры осушествл ют следую1дим образом. Крышку 6 подвод т к корпусу 1 и фиксируют . Затем подают сжатый газ из источника 5 в полость уплотнительного элемента 3, установленного со стороны атмосферы. после чего откачивают камеру вакуумной системой 8 до требуемого остаточного давлени , а затем подают сжатый газ в полость уплотнительного элемента 4 и образуют таким образом между уплотнительными элемен

Claims (1)

1. СПОСОБ ГЕРМЕТИЗАЦИИ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ двумя полыми уплотнительными элементами путем подачи в их полости сжатого газа и вакуумирования пространства между ними, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности, сжатый газ подают в полость уплотнительного элемента, расположенного со стороны атмосферы, после чего вакуумируют камеру, а затем подают сжатый газ в полость второго уплотнительного элемента.