SU1079885A1

SU1079885A1 - Способ получения сверхвысокого вакуума и устройство для его осуществления

Info

Publication number: SU1079885A1
Application number: SU823406796A
Authority: SU
Inventors: Anatolij A Chaga; Aleksandr V Drozdov
Original assignee: Mi G Pt Exi Orgstankinprom
Priority date: 1982-03-11
Filing date: 1982-03-11
Publication date: 1984-03-15

Description

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к способам и устройствам для получения сверхвысокого вакуума.

Известны способ получения вакуума путем откачки газа из реципиента в атмосферу и устройство для его осуществления, содержащее реципиент, соединенный с вакуумным насосом [1].

Недостатком известных способа и устройства является невозможность достижения сверхвысокого вакуума без предварительного прогрева реципиента, требующего значительных энергозатрат.

Наиболее близкими к изобретению являются способ получения сверхвысокого вакуума путем откачки газа из реципиента, размещенного в герметичном кожухе, и полости последнего и устройство для его осуществления, содержащее герметичный кожух, размещенный в нем реципиент и вакуумные насосы, подсоединенные к полости кожуха и реципиента [2].

Однако данные способ и устройство обеспечивают недостаточно высокий предельный вакуум, вследствие значительной разницы в величине вакуума в реципиенте и в полости между кожухом и реципиентом, которая обуславливает значительную газопроницаемость в реципиент.

Целью изобретения является повышение предельного вакуума.

Указанная цель достигается тем, что согласно способу получения сверхвысокого вакуума путем откачки газа из реципиента, размещенного в герметичном кожухе, и полости последнего, откачку газа из реципиента и полости кожуха осуществляют последовательно.

В устройстве для получения сверхвысокого вакуума, содержащем герметичный кожух, размещенный в нем реципиент и вакуумные насосы, подсоединенные один к полости кожуха, а другой — к реципиенту, в полости кожуха установлена по меньшей мере одна герметичная перегородка, разделяющая ее на внутреннюю и наружную камеры, вакуумный насос реципиента расположен во внутренней камере и выход его сообщен с последней, а в наружной камере установлен дополнительный насос, вход которого соединен с внутренней камерой, а выход — с наружной.

На чертеже схематично представлено устройство для получения сверхвысокого вакуума.

Устройство содержит герметичный кожух 1, размещенный в нем реципиент 2 и вакуумные насосы Зиф подсоединенные к полости кожуха 1 и реципиенту 2, причем в полости кожуха 1 установлена по меньшей мере одна герметичная перегородка 5, разделяющая ее на внутреннюю и наружную 0 камеры, вакуумный насос 3 реципиента 2 расположен во внутренней камере и выход его сообщен с последней, а в наружной камере установлен дополнительный насос 6, вход которого соединен с внутренней камерой, а выход — с наружной.

⁵ Устройство также содержит перегородку 7, разделяющую наружную камеру на две полости 8 и 9, при этом в полости 9 расположен еще один дополнительный насос 10, вход которого соединен с полостью 8, а 10 выход — с полостью 9. Управление насосами.3, 4, 6 и 10 осуществляется следящей системой 11.

Способ получения сверхвысокого вакуума осуществляется следующим образом.

Газ из реципиента 2 откачивается насо²⁵ сом 3 во внутреннюю камеру, образованную перегородкой 5 и реципиентом 2. Далее из внутренней камеры газ откачивается насосом 6 в полость 8, затем насосом 10 в полость 9 и насосом 4 в атмосферу. При этом количество перегородок может быть любым, соответственно и количество дополнительных насосов. В результате в реципиенте 2, в полости между реципиентом и перегородкой 5, в полостях 8 и 9 установится остаточное давление в соответствии с условием 35 ^Р1< ^Рг< ^Р3^{Д Р}4 < ^Ратмгде Р}—давление в реципиенте 2;

Р₂ — давление в полости между реципиентом 2 и перегородкой 5;

₽з - давление в полости 8; — давление в полости 9;

⁴⁰ Ра-гн- атмосферное давление.

Следящая система 11 поддерживает постоянный перепад давлений на каждой из перегородок, отключая и включая насосы.

Таким образом достигается повышение 4₅ предельного вакуума вследствие уменьшения перепада давлений на каждой из перегородок.

Claims

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СВЕРХВЫСОКОГО ВАКУУМА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ (57) 1. Способ получения сверхвысокого вакуума путем откачки газа из реципиента, размещенного в герметичном кожухе, и полости последнего, отличающийся тем, что, с целью повышения предельного, вакул^иа, откачку газа из реципиента и полости·- кожуха осуществляют последовательно.
2. Устройство для получения сверхвысокого вакуума, содержащее герметичный кожух, размещенный в нем реципиент и вакуумные насосы, подсоединенные один к полости кожуха, а другой — к реципиенту, отличающееся тем. что, с целью повышения предельного вакуума, в полости кожуха установлена по меньшей мере одна герметичная перегородка, разделяющая ее на внутреннюю и наружную камеры, вакуумный насос реципиента расположен во внутренней камере и выход его сообщен с последней, а в наружной камере установлен дополнительный насос, вход которого соединен с внутренней камерой, а выход — с наружной.