SU387465A1 - Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос - Google Patents
Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насосInfo
- Publication number
- SU387465A1 SU387465A1 SU1742257A SU1742257A SU387465A1 SU 387465 A1 SU387465 A1 SU 387465A1 SU 1742257 A SU1742257 A SU 1742257A SU 1742257 A SU1742257 A SU 1742257A SU 387465 A1 SU387465 A1 SU 387465A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- ion pump
- hetter
- magnetic discharge
- combined magnetic
- discharge
- Prior art date
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
.1
Изобретение относитс к вакуумной технике , в частности к устройствам безмасл ной откачки разреженных газов.
Известный комбинировалный магниторазр дный геттерно-ионный насос, содержащий магниторазр дную ступень откачки, испаритель геттера и охлаждаемую сорбционную поверхность , роль которой играет корпус насоса , не обеспечивает высокой эффективности откачки из-за ограниченности сорбционной поверхности.
В предлагаемом устройстве повышение эффективности откачки достигаетс тем, что охлаждаема сорбционна поверхность выполнена в виде двух профилированных цилиндров и размещена вокруг испарител геттера внутри магниторазр дной ступени откачки.
На фиг. 1 схематически показан предлагаемый комбинированный магниторазр дный геттерно-ионный насос, в разрезе; на фиг. 2 - то же, вид с торца.
Магниторазр дный геттерно-ионный насос состоит из корпуса 1 с патрубком 2 дл предварительной откачки, фланца 3 дл герметичного присоединени к откачиваемому объему, карманов 4 дл размещени магниторазр дных блоков 5, соединенных токоподводами 6, токовводов 7 дл ввода электропитани к магнитроразр дны .м блокам 5, сорбционной поверхйости 8, имеющей ввод 9 и вывод 10 дл хладагента, накального испарительного устройства геттера, состо щего из аиода //, испарител J2 и эле1КТ|рО|Вводов 13 дл электропитани элементов накального испарительного устройства, смонтированных на съемном
флан-це 14, магнитной системы, смонтированной с -наружной стороны кармаиов 4, с системой 15 охлаждени . Магнитна система (см. фиг. 2) состоит из матнИТов 16 и мапнитопроводов 17.
Магниторазр дный геттерно-ионный насос работает следующим образом.
Через патрубок 2 создаетс начальное разрежение в насосе (например, цеолитовьш насосом ), необходимое дл его запуска. Затем
запускают магниторазр дные блоки 5, в результате работы которых во внутреннем объеме насоса создаетс разрежение за счет поглощени газа на поверхност х электродной системы этих блоков, а также за счет поглощени титаном, напыл емым на внешней стороне сорбционной поверхности 8. При достижении разрежени пор дка 5-10 мм рт. ст. включаетс накальное испарительное устройство геттера, состо щее из анода // и испарител 12, и титан напыл етс на внутренней стороне сорбционной поверхности 8, в винтовой полости которого циркулирует хладагент (например, вода или жидкий азот). В результате совместной .ра-боты магниторазр дных блоков, накального испарительного устройства геттера насос хорошо откачи
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1742257A SU387465A1 (ru) | 1972-02-08 | 1972-02-08 | Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1742257A SU387465A1 (ru) | 1972-02-08 | 1972-02-08 | Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU387465A1 true SU387465A1 (ru) | 1973-06-21 |
Family
ID=20501450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU1742257A SU387465A1 (ru) | 1972-02-08 | 1972-02-08 | Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU387465A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU187265U1 (ru) * | 2018-10-25 | 2019-02-27 | Закрытое акционерное общество "Время - Ч" | Комбинированный магниторазрядный геттерный насос для откачки вакуумных объемов рубидиевого стандарта частоты |
-
1972
- 1972-02-08 SU SU1742257A patent/SU387465A1/ru active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU187265U1 (ru) * | 2018-10-25 | 2019-02-27 | Закрытое акционерное общество "Время - Ч" | Комбинированный магниторазрядный геттерный насос для откачки вакуумных объемов рубидиевого стандарта частоты |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ES8308992A1 (es) | Perfeccionamientos en comprensores de refrigeracion hermeticos. | |
SU387465A1 (ru) | Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос | |
BR9708465A (pt) | Sistema silenciador de sucção para um compressor de refrigeração. | |
ES354776A1 (es) | Una bomba. | |
FR2099803A5 (en) | Motor-compressor heat exchange unit - silenced refrigerator or heat pump | |
SU1418495A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
JPS575592A (en) | Multivane compressor | |
SU741352A1 (ru) | Комбинированный магниторазр дный насос | |
SU868125A1 (ru) | Молекул рный вакуумный насос | |
SU877121A1 (ru) | Герметичный ротационный компрессор | |
SU979694A1 (ru) | Адсорбционный вакуумный насос | |
SU989135A1 (ru) | Криогенный насос | |
GB1048332A (en) | Improvements in and relating to high vacuum pumps | |
SU1268799A1 (ru) | Вакуумный сорбционный насос | |
SU1019103A1 (ru) | Способ откачки объема | |
RU1679832C (ru) | Вакуумный крионасос и способ охлаждени его откачивающего элемента | |
JPH0115715B2 (ru) | ||
JPH06100384B2 (ja) | ヒ−トポンプ装置 | |
SU473240A1 (ru) | Адсорбционноразр дный насос | |
SU1161721A1 (ru) | Винтовой компрессор | |
SU823630A1 (ru) | Вакуумный сорбционный насос | |
JPS562494A (en) | Rotary compressor | |
SU954603A1 (ru) | Газобалластное устройство механического вакуумного насоса | |
SU1082984A1 (ru) | Испарительный геттерный насос | |
SU763613A1 (ru) | Герметичный компрессор |