SU868125A1 - Молекул рный вакуумный насос - Google Patents

Description

(54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Г

Изобретение относитс  к вакуумной техкике , а именно к устройству молекул ршых тзхуумных насосов.

Известны молекул рные вакуумные юоосы, содержащие корпус и расположенные в нем ротор и охлаждаемый статор, заключенный в тонкостенный цилиндр с образованием полости, заполненной сорбентом 1.

Недостатком известных насосов  вл етс  невысока  степень сжати .

Цель изобретени  - повышение степени сжати  насоса.

Указанна  цель достетаетс  тем, что ротор вьшолнен в ввде барабана, а статор имеет ширальные пазы и сообщенные с ними   полостью окна, в которых установлены металлические пластины из пористого материала.

На чертеже изображен насос, продольный разрез.I

Молекул рный вакуумный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем ротор 2 и охлаждаемый статор 3, заключенный в тонкостенный цилиндр 4 с образованием полости 5, заполненной сорбентом 6, причем рот(ф 2

вьшолнен в виде барабана, а статор 3 имеет спиральные пазы 7 и сообщенные с ними и not лостью 5 окна 8, в которьос установлены металлические пластины 9 из пористого материала . На тонкостенном щишнщте 4 расположены змеевик 10 дл  даркул ции хладагента н нагреватель И, а в полости 5 размещены перегородки 2 из высокотеплопрюводного материала .

Насос работает следующим образом.

10

В змеевик 10 подаетс  хладагент, который охлаждает статор 3, а вместе с ним и сорбент

6,что позвол ет обеспечить предварительное вакуумнрование внутренней полости насоса без использовани  форвакуумного насоса.

IS Затем приводитс  во вращение ротор 2 и газ из откачиваемого объема по спиральным пазам 7 переноситс  со стороны всасывани  иа сторону нагнетани , частично поглоща сь сорбентом 6 через окна 8, сообщешпле с пазам 

20

7.Неадсорбированные газы удал ютс  из по. лости насоса форвакуумным насоссим. После насыщени  сорбент 6 подвергаетс  регеиерации дутем прекращени  подачи хладагента в змеевик 10 и включени  нагревател  11. При этом насос может не отключатьс  от откачиваемого объем|1.

Такое вьшолнение насоса обеспечивает снижение давлени  всасывани  и повышение степени сжати .

Форм у л а и 3 о б ре те н и  

Молекул рный вакуумный насос, содержащий корпус н расположенные в нем ротор н охлаждаемый статор, заключенный в тонкостенный щшиндр с образованием полости, заполненной сорбентом, отличающийс  тем, что, с целью повышени  степени сжати , ротор выполнен в виде барабана, а статор имеет спиральные пазы и сообщенные с ними и полостью окна, в которых установлены металлические пластины из пористого материала.

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР N 533757 кл. F 04 D 19/04, 1973.

Claims (1)

1. Формула изоб ре те н и я

   Молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенные в нем ротор и охлаж8681?5 4 даемый статор, заключенный в тонкостенный цилиндр с образованием полости, заполненной сорбентом, отличающийся тем, что, с целью повышения степени сжатия, ротор выпол₅ нен в виде барабана, а статор имеет спиральные пазы и сообщенные с ними и полостью окна, в которых установлены металлические пластины из пористого материала.