SU1687883A1

SU1687883A1 - Способ получени вакуума

Info

Publication number: SU1687883A1
Application number: SU884610743A
Authority: SU
Inventors: Адхам Агзамович Адылов; Закир Сабитович Байбабаев; Иосиф Фроимович Лившиц; Махмуджан Ахмедович Туламетов; Борис Александрович Ципинюк
Priority date: 1988-11-29
Filing date: 1988-11-29
Publication date: 1991-10-30

Abstract

Изобретение может быть использовано дл откачки неконденсируемых газов из объектов с низким газовыделением. Цель изобретени - снижение предельного давлени в замкнутом обьеме и уменьшение времени получени предельного вакуума посредством ротационного механического вакуумного насоса. Газ откачивают из ва- кумного объема по вакуумному трубопроводу . Откачку осуществл ют циклами, периодически заполн замкнутый объем водородом через палладиевый фильтр. В каждом из циклов, кроме последнего, после откачки рабочей среды замкнутый объем заполн ют водородом до давлени , равного 0,3-1,0 атмосферного . В первом цикле откачку производ т до давлени 10-20 Па, в последующих - до наименьшего давлени , при котором в трубопроводе откачки сохран етс режим в зкого трени . 8 последнем цикле откачки замкнутый объем сообщают с атмосферой через нагретый фильтр 1 ил ё

Description

Изобретение относитс к вакуумной технике и может быть использовано дл откачки неконденсируемых газов из объектов с низким газовыделением.

Целью изобретени вл етс снижение предельного давлени в откачиваемом объеме и уменьшение времени получени предельного вакуума.

На чертеже изображена схема вакуумной установки дл реализации предлагаемого способа получени вакуума.

Вакуумна установка содержит откачиваемый замкнутый объем 1, сообщенный вакуумным трубопроводом 2 с ротационным механическим вакуумным насосом 3, баллон 4 с водородом, сообщенный трубопроводом 5 напуска водорода с замкнутым объемом 1, палладиевый фильтр 6, установленный в трубопроводе 5. Замкнутый объем

1 снабжен датчиками 7 и 8 низкого и высокого вакуума. В трубопроводах 2 и 5 установлены соответственно вакумные вентили 9 и 10. Палладиевый фильтр 6 снабжен нагревателем 11 и съемной крышкой 12.

Способ получени вакуума на описанной установке заключаетс в том, что из замкнутого объема 1 по трубопроводу 2 периодически осуществл ют откачку газа посредством ротационного механического вакуумного насоса 3 и заполнение замкнутого объема 1 через палладиевый фильтр 6 водородом. При этом в каждом из циклов. кроме последнего, после откачки рабочей среды замкнутый объем 1 заполн ют водородом до давлени , равного 0,3-1,0 атмосферного , в первом цикле откачку производ т до давлени 10-20 Па, в последующих - до наименьшего давлени , при котором в

трубопроводе 2 откачки сохран етс режим в зкого трени , а в последнем цикле после откачки замкнутого объема 1 последний сообщают с атмосферой через нагретый пал- ладиевый фильтр 6. Нагрев палладиевого фильтра б осуществл ют нагревателем 11. Величину вакуума в замкнутом объеме контролируют датчиками 7 и 8.

Claims

Формула изобретени Способ получени вакуума посредством ротационного механического вакуумного насоса, включающий откачку газа из замкнутого объема по вакуумному трубопроводу , отличающийс тем, что, с целью снижени предельного давлени в замкну0

5

том объеме и уменьшени времени получени предельного вакуума, откачку осуществл ют циклами, периодически заполн замкнутый объем водородом через паллади- евый фильтр, при этом в каждом из циклов, кроме последнего, после откачки рабочей среды замкнутый объем заполн ют водородом до давлени , равного 0,3-1,0 атмосферного , в первом цикле откачку производ т до давлени 10-20 Па, в последующих - до наименьшего давлени , при котором в трубопроводе откачки сохран етс режим в зкого трени , а в последнем цикле после откачки замкнутого объема последний сообщают с атмосферой через нагретый палла- диевый фильтр.

10

/ / П

11 11 6

/о

4Г